Beschreibung

Vorrichtung und Verfahren zur optischen 3D-Vermessung

Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur optischen 3D-Vermessung.

Stand der Technik

Aus dem Stand der Technik sind mehrere Vorrichtung zur optischen 3D-Vermessung bekannt. In vielen Fällen erfolgt die optische 3D-Vermessung durch optische Abtastung der Ober- flächen eines Messobjekts mit einem oder mehreren Licht ^¬ strahlen. Die Oberflächen können mit einem punktförmigen Lichtstrahl bzw. mit einem oder mehreren Lichtstreifen abgetastet werden.

Es sind Vorrichtungen bekannt, bei denen eine linienförmige Vermessung durchgeführt wird, indem ein Lichtstreifen in senkrechter Richtung zum Lichtstreifen die Oberfläche abtastet.

Diese Vorrichtungen funktionieren oft auf der Grundlage einer chromatisch konfokalen Messmethode, einer klassischen konfokalen Messmethode mit mechanischen Tiefenscan, einer Triangulation- Messmethode, einer klassischen Interfero- metrie- Messmethode, einer Weißlichtinterferometrie- Mess ^¬ methode oder einer Deflektometrie- Messmethode.

Bei der chromatisch konfokalen Messmethode wird eine poly- chromatische Punktlichtquelle durch ein sogenanntes chroma ^¬ tisches Objektiv wellenlängenabhängig auf ein Messobjekt abgebildet. Das reflektierte Licht wird hinter einer Blende mit Hilfe eines Farbsensors, z.B. eines Spektrometers oder einer CCD- Kamera, spektral analysiert. Aus der Spektral- Verteilung des zurückgestrahlten Lichts kann die relative

Lage des Messobjekts in der z- Richtung senkrecht zur Ober ^¬ fläche des Messobjekts bestimmt werden.

Bei einer klassischen konfokalen Messmethode mit mechanischen Tiefenscan wird die Fokuslage durch mechanisches Scannen der Optik oder des Objekts relativ zur Optik verändert.

Bei der Triangulation- Messmethode wird ein einzelner Lichtstrahl oder mehrere beispielsweise parallele Licht ^¬ streifen auf das Messobjekt projiziert und senkrecht zur Ausrichtung der Lichtstreifen bewegt. Das reflektierte Licht wird dann mittels eines Bildsensors, wie beispiels ^¬ weise einer CCD- Kamera, detektiert. Aus der Lage und den Winkeln des Projektionsstrahls und eines zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls zum Messobjekt kann unter Verwendung trigonometrischer Rechenmethoden der Abstand zum Messobjekt bestimmt werden.

Bei der klassischen Interferometrie- Messmethode werden mittels eines Interferometers unter Verwendung des physika ^¬ lischen Effekts der Interferenz Informationen über das Messobjekt gewonnen. Der vom Messobjekt zurückgestrahlte Beobachtungsstrahl wird mit dem Beleuchtungsstrahl mittels eines Interferometers zu einem Interferogramm überlagert. Voraussetzung für eine erfolgreiche Interferenz ist, dass die Lichtstrahlen kohärent überlagert werden. Das bedeutet, dass die aus verschiedenen Richtungen kommenden Lichtstrahlen nur dann interferieren können, wenn sich die Weglängen der beiden Lichtstrahlen nur um weniger als die Kohärenzlänge unterscheiden. Die Kohärenzlänge ist dabei abhängig von der Wellenlänge und der spektralen Bandbreite des ver- wendeten Lichts.

Die Weißlichtinterferometrie- Messmethode nutzt die Inter ^¬ ferenz eines breitbandigen Lichts, wie beispielsweise des

Weißlicht. Diese Messmethode vergleicht die Laufzeit des vom Messobjekt zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls mit ^¬ tels eines Interferometers, beispielsweise eines Michelson- Interferometers, mit der Laufzeit des Beleuchtungsstrahls mit bekannter optischer Weglänge als Referenz. Die Interferenz der beiden Lichtstrahlen ergibt ein Muster, aus dem man die relative optische Weglänge abgeleitet werden kann.

Bei der Deflektometrie- Messmethode beobachtet man das Bild eines Lichtmusters, wie beispielsweise eines Gitters, in Reflexion über die Oberfläche des Messobjekts. Aus der De ^¬ formation des Gitterbildes kann man den lokalen Gradienten der Oberfläche bestimmen und daraus die 3D-Informationen des Messobjekts erzeugen.

Die Abtastbewegung der Lichtstrahlen wird bei bekannten Vorrichtungen beispielsweise durch einen Drehspiegel innerhalb eines Gehäuses der Vorrichtung realisiert. Der Dreh ^¬ spiegel wird um eine Drehachse, die senkrecht zur Richtung des Lichtstrahls verläuft, gekippt und lenkt den Licht ^¬ strahl durch eine oszillierende Bewegung innerhalb einer Winkelbereichs ab. Der oszillierende Lichtstrahl wird dann durch einen am vorderen Ende der Vorrichtung befindlichen fest befestigten Strahlumlenker auf die Oberfläche des Messobjekts umgelenkt.

In der DE 198 29 278 Cl wird eine 3D-Kamera zur Erfassung von Oberflächenstrukturen, insbesondere für zahnmedizinische Zwecke offenbart. Ein Projektionsstrahl wird in seiner Richtung durch eine Blende verändert und durch ein Prisma am vorderen Ende der Vorrichtung auf das Messobjekt umge ^¬ lenkt. Ein vom Messobjekt reflektierter Beobachtungsstrahl wird durch das Prisma wiederum umgelenkt und zu einem Bild ^¬ sensor zur Bildanalyse umgeleitet.

Ein Nachteil solcher Vorrichtungen ist dass, ein Spiegel oder ein Prisma zur Umlenkung des Projektionsstrahls bzw. Beleuchtungsstrahls zum Messobjekt und zur Umlenkung des zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls zum Bildsensor ver- wendet wird, der unbeweglich installiert ist. Dadurch geben seine Ausmaße im Wesentlichen die Größe des möglichen Mess ^¬ feldes solcher Vorrichtungen vor. Das Messfeld ist das Feld, das auf dem Messobjekt mit dem Projektionsstrahl bzw. Beobachtungsstrahl abgetastet wird. Ein Spiegel oder ein Prisma muss nämlich so groß gestaltet sein, dass der Pro ^¬ jektionsstrahl bzw. Beobachtungsstrahl auf das Messobjekt innerhalb des Messfeldes umgelenkt werden kann. Die Bauhöhe der Vorrichtungen ist deshalb bei einem größerem Messfeld ebenfalls so groß, dass insbesondere eine 3D-Vermessung von Zähnen innerhalb einer Mundhöhle eines Patienten erschwert wird.

Die Aufgabe dieser Erfindung besteht also darin, eine Vor ^¬ richtung zur 3D-Vermessung bereitzustellen, die in ihrer Bauhöhe schmal gestaltet ist und zugleich die Abtastung ei- nes möglichst großen Messfeldes erlaubt.

Darstellung der Erfindung Diese Aufgabe wird durch die vorliegende Erfindung gelöst.

Erfindungsgemäß umfasst die Vorrichtung zur optischen 3D- Vermessung einen ersten Strahlumlenker zur Umlenkung eines Beleuchtungsstrahls auf ein Messobjekt und zur Umlenkung des vom Messobjekt zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls, wobei der erste Strahlumlenker entlang einer Wegstrecke S bewegbar ist.

Der erste Strahlumlenker kann beispielsweise in Form eines Umlenkspiegels, eines Umlenkprisma oder einer sonstigen

Vorrichtung ausgeführt sein, die sich richtungsändernd auf einen Lichtstrahl auswirkt.

Die Vorrichtung kann für bekannte optischer Messmethoden, wie die chromatisch konfokalen Messmethode, die Triangula- tion- Messmethode, die klassischen Interferometrie- Messme ^¬ thode, die Weißlichtinterferometrie- Messmethode oder die Deflektometrie- Messmethode, verwendet werden.

Der Beleuchtungsstrahl kann abhängig von der verwendeten Messmethode sowohl monochromatisch als auch polychromatisch sein. Bei Verwendung eines monochromatischen Beleuchtungsstrahls für die Triangulation- Messmethode, die klassischen Interferometrie- Messmethode, die Weißlichtinterferometrie- Messmethode oder die Deflektometrie- Messmethode muss der Beleuchtungsstrahl nicht notwendigerweise fokussiert wer- den. Falls keine Fokussierung erfolgt wird ausschließlich der erste Strahlumlenker, ohne ein fokussierendes optisches System, wie ein Objektiv, entlang der Wegstrecke S bewegt. Ansonsten wird der Beleuchtungsstrahls mittels eines fokus- sierenden optischen Systems, wie eines Objektivs, der mit dem ersten Strahlumlenker mitbewegt wird, fokussiert.

Der sich entlang der Wegstrecke S bewegende erste Strahlumlenker lenkt den Beleuchtungsstrahl auf das Messobjekt, wobei der eingestrahlte Beleuchtungsstrahl unverändert bleibt. Somit erfolgt eine Abtastbewegung des Beleuchtungs- Strahls durch die Bewegung des ersten Strahlumlenkers ent ^¬ lang der Wegstrecke S. Der erste Strahlumlenker kann beispielsweise linear entlang einer Wegstrecke S bewegt wer ^¬ den, die parallel zur Richtung des eingestrahlten Beleuchtungsstrahls ist, so dass ein Messfeld auf dem Messobjekt mit der Länge S abgetastet wird. Der Beleuchtungsstrahl trifft auf das Messobjekt und wird durch Reflexions- und Streuvorgänge teilweise zurückgestrahlt und wird als Beo-

bachtungsstrahl durch den ersten Strahlumlenker zurück an den Bildsensor zur Bildsignalanalyse weitergeleitet.

Die 3D-Vermessung eines Messfeldes kann durch einmaliges Abtasten durch den Beobachtungsstrahl erfolgen. Bei einem Beleuchtungsstrahl in Form eines Streifens kann die 3D-

Vermessung durch eine einmalige Abtastbewegung in senkrechter Richtung zum Streifen erfolgen. Diese einmalige Abtastbewegung wird dabei durch eine einmalige Bewegung des ers ^¬ ten Strahlumlenkers entlang der Wegstrecke S erzeugt. Als Beleuchtungsstrahl können auch mehrere Lichtstreifen oder auch sonstige Lichtmuster verwendet werden. Ein punktförmiger Beleuchtungsstrahl muss die Abtastbewegung mehrmals vorführen um ein Messfeld zeilenweise abzutasten.

Der erste Strahlumlenker ist im Gegensatz zu bekannten Vor- richtungen, die einen fest montierten Strahlumlenker zur

Umlenkung des Beobachtungsstrahls aufweisen, beweglich. Der Beleuchtungsstrahl bleibt dabei in seiner Richtung unverändert. Dadurch muss der erste Strahlumlenker nur von geringen Ausmaßen sein, um den Beobachtungsstrahl umzulenken. Die Vorrichtung kann folglich in ihrer Bauhöhe schmaler als die bekannten Vorrichtungen konstruiert werden, so dass besonders bei zahnmedizinischer Anwendung der Zugang zu Zähnen innerhalb einer Mundhöhle erheblich erleichtert wird.

Ein weiterer Vorteil ist, dass mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ein größeres Messfeld mit der Länge S abgetas ^¬ tet werden kann, denn die Wegstrecke S ist ausschließlich durch die Baulänge der Vorrichtung begrenzt.

Vorteilhafterweise kann ein Objektiv zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls zusammen gleichlaufend mit dem entlang der Wegstrecke S bewegbaren ersten Strahlumlenker bewegbar sein .

Bei der chromatisch konfokalen Messmethode wird der polychromatische Beleuchtungsstrahl auf die Oberfläche des Messobjekts fokussiert, so dass ein Objektiv mit dem ersten Strahlumlenker zusammen gleichlaufend bewegt werden muss, um den Fokuspunkt bei gleichbleibender Brennweite des Ob ^¬ jektivs in einer Ebene parallel zur Bewegungsrichtung des ersten Strahlumlenkers zu halten. Bei Verwendung eines po ^¬ lychromatischen Beleuchtungsstrahls für die übrigen opti ^¬ schen 3D-Vermessungsverfahren, wie die Triangulation- Mess- methode, die klassischen Interferometrie- Messmethode, die Weißlichtinterferometrie- Messmethode oder die Deflekto- metrie- Messmethode, muss der Beleuchtungsstrahl auch fo ^¬ kussiert werden, so dass ebenfalls ein mit dem ersten Strahlumlenker mitbewegtes Objektiv notwendig ist. Vorteilhafterweise kann der Strahlumlenker entlang der Wegstrecke S oszillierend bewegbar sein.

Falls der Beleuchtungsstrahl punktförmig ist, kann dieser bei der 3D-Vermessung das Messfeld zeilenweise oszillierend abtasten. Eine solche Abtastbewegung wird durch die oszil- lierende Bewegung des Strahlumlenkers entlang der Wegstre ^¬ cke S erzeugt.

Bei einem Beleuchtungsstrahl in Form eines Streifens reicht eine einmalige Abtastbewegung aus, um ein Messfeld mit der Breite des Streifens zu vermessen. Eine solche 3D- Vermessung kann jedoch auch oszillierend erfolgen, um eine kontinuierliche Abtastung der aktuellen Oberflächeninforma ^¬ tion zu erhalten. Dies ist bei sich zeitlich ändernden Messobjekten wesentlich. Bei einer solchen oszillierenden 3D-Vermessung kann die Vorrichtung um das Messobjekt bewegt werden, um Oberflächeninformationen des Messobjekts aus unterschiedlichen Richtungen zu erhalten. Die einzelnen 3D- Aufnahmen aus verschiedenen Richtungen können dann zu einer

gesamten 3D-Aufnahme des Messobjekts zusammengesetzt wer ^¬ den .

Die 3D-Vermessung eines Messfeldes kann durch einmaliges Abtasten durch den Beobachtungsstrahl erfolgen. Bei einem Beleuchtungsstrahl beispielsweise in Form eines Streifens kann durch eine einmalige Abtastbewegung in senkrechter Richtung zum Streifen, die durch eine einmalige Bewegung des ersten Strahlumlenkers entlang der Wegstrecke S erzeugt wird, die 3D- Vermessung erfolgen. Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker entlang der Wegstrecke S mittels Führungsmittel innerhalb des Ge ^¬ häuses der Vorrichtung linear geführt werden. Dadurch wird der erste Strahlumlenker in seinen Freiheitsgraden auf eine lineare Bewegung begrenzt. Vorteilhafterweise kann eine Gegenmasse einer Kraftaus ^¬ gleichseinheit entgegengesetzt zur Bewegung des ersten Strahlumlenkers bewegbar sein, so dass die bei der Bewegung des ersten Strahlumlenkers und der Gegenmasse entstehenden Kräfte und Drehmomente sich nach Möglichkeit gegenseitig aufheben.

Die Kraftausgleichseinheit umfasst eine Gegenmasse, die in ^¬ nerhalb des Gehäuses der Vorrichtung angebracht ist und entgegengesetzt zum ersten Strahlumlenker bewegt wird. Ab ^¬ hängig von der Beschleunigung und der bewegten Masse ent- stehen Beschleunigungskräfte, die Drehmomente als Vektor ^¬ produkt aus Kraft und Wegstrecke zum Drehpunkt verursachen. Beispielsweise kann die Gegenmasse die gleiche Masse wie der erste Strahlumlenker mit seinen mitbewegten Befestigungsteilen aufweisen, so dass bei entgegengesetzter Bewe- gung mit Beschleunigungen vom gleichen Betrag entgegengerichtete Beschleunigungskräfte entstehen die sich gegensei ^¬ tig ausgleichen. Die Beschleunigungskräfte greifen an Punk-

ten an, deren orthogonale Abstände zum Drehpunkt möglichst gleich sind, so dass die Drehmomente sich ebenfalls nahezu ausgleichen. Die Angriffspunkte der Beschleunigungskräfte sind dabei die Massenschwerpunkte der bewegten Massen, näm- lieh des ersten Strahlumlenkers mit seinen Befestigungstei ^¬ len und der Gegenmasse. Durch die Kraftausgleichseinheit wird folglich ein Vibrieren der Vorrichtung während der 3D- Vermessung verhindert, das ansonsten durch den Benutzer kompensiert werden müsste und verwacklungsfreie Vermessung unmöglich machen würde.

Vorteilhafterweise kann die Gegenmasse entgegengesetzt zur linearen Bewegung des ersten Strahlumlenkers mittels Führungsmittel innerhalb des Gehäuses der Vorrichtung linear geführt werden. Dadurch wird der Strahlumlenker und die Ge- genmasse in der gewünschten Richtung und innerhalb der gewünschten Wegstrecke S geführt.

Vorteilhafterweise kann die Bewegung der Gegenmasse an die Bewegung des ersten Strahlumlenkers über Kopplungsmittel gekoppelt sein. Dadurch muss die Gegenmasse nicht separat angetrieben werden und aufwendig zum Antrieb für die linea ^¬ re Bewegung des ersten Strahlumlenkers synchronisiert wer ^¬ den. Eine mechanische Kopplung hat nämlich den Vorteil, dass die Bewegungen des ersten Strahlumlenkers und der Ge ^¬ genmasse bei unvorhergesehener eventueller Frequenzänderung trotzdem synchron bleiben.

Vorteilhafterweise können die Kopplungsmittel Zahnräder, Zahnstangen, Federn und/ oder elastische Fasern sein. Dadurch werden die Bewegungen mechanisch auf eine einfache Weise aneinander gekoppelt. Vorteilhafterweise kann die Wegstrecke S zwischen 1 mm und 40 mm betragen. Dadurch kann ein Messfeld mit der Länge S zwischen 1 mm und 40 mm abgetastet werden. Bei 3D-Aufnähme

in der Mundhöhle eines Patienten können somit Abschnitte einer Zahnreihe vermessen werden.

Vorteilhafterweise kann die oszillierende Bewegung des ers ^¬ ten Strahlumlenkers eine Frequenz zwischen 1 Hz und 100 Hz betragen. Für eine zeitsparende 3D-Vermessung sollte die Frequenz der Abtastbewegung möglichst hoch eingestellt werden. Andererseits ist die Verarbeitungsgeschwindigkeit des Bildsensors ein begrenzender Faktor für die Frequenz der Abtastbewegung . Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker ein Teil einer Scaneinheit sein, die oszillierend innerhalb des Ge ^¬ häuses der Vorrichtung bewegbar ist. Der erste Strahlumlenker kann sich beispielsweise innerhalb einer transparenten Scaneinheit aus Plexiglas befinden, die zusammen mit dem ersten Strahlumlenker in Form gegossen wurde. Der erste

Strahlumlenker kann auch auf eine andere Weise mit der Sca ^¬ neinheit fest verbunden sein. Die gesamte Scaneinheit voll ^¬ führt somit zusammen mit dem Strahlumlenker die oszillie ^¬ rende, vorzugsweise lineare Abtastbewegung innerhalb der Vorrichtung. Die Masse der Gegenmasse muss demnach so aus ^¬ gelegt sein, dass die Beschleunigungskraft der gesamten Scaneinheit ausgeglichen wird. Beispielsweise kann die Ge ^¬ genmasse die Masse der Scaneinheit aufweisen. Eine weitere Alternative wäre eine Gegenmasse mit geringerer oder größe- rer Masse mit einer stärkeren oder schwächeren Beschleunigung, um eine ausgleichende Beschleunigungskraft bereitzu ^¬ stellen .

Vorteilhafterweise kann die Scaneinheit mehrere Strahlum ^¬ lenker umfassen, um den Beleuchtungsstrahl mehrfach umzu- lenken. Dadurch kann der Strahlengang des Beleuchtungsstrahls innerhalb des Gehäuses der Vorrichtung in gewünsch-

ter Weise umgelenkt werden, so dass die Bauform der Vorrichtung variieren kann.

Vorteilhafterweise kann die Scaneinheit ein Objektiv zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls auf die Oberfläche des Messobjekts umfassen. Das Objektiv wird zusammen mit dem ersten Strahlumlenker in der Scaneinheit bewegt, so dass die parallelen Beleuchtungsstrahlen auf die Oberfläche des Messobjekts fokussiert werden. Die Brennweite des Objektivs entspricht demnach der Wegstrecke von der Hauptebene des Objektiv entlang der optischen Achse zum ersten Strahlumlenker und vom ersten Strahlumlenker bis zum Fokuspunkt auf der Oberfläche des Messobjekts. Die Gegenmasse kann der Masse der Scaneinheit mit dem Objektiv entsprechen, um die Beschleunigungskraft auszugleichen . Vorteilhafterweise kann das Objektiv ein chromatisches Ob ^¬ jektiv sein und der Beleuchtungsstrahl wellenlängenabhängig auf die Oberfläche des Messobjekts fokussiert werden. Bei der chromatisch konfokalen Messmethode zur 3D-Vermessung wird ein chromatischen Objektiv verwendet. Die Brennweite ändert sich abhängig von der Wellenlänge der eingestrahlten Lichtphotonen, so dass nur ein begrenzter Spektralbereich des eingestrahlten polychromatischen Lichts auf der Oberfläche des Messobjekts scharf fokussiert wird. Eine Spekt ^¬ ralanalyse des reflektierten Lichts gibt dann Aufschluss über die relative Lage des Messobjekts entlang einer Strahlmittelachse .

Vorteilhafterweise kann die Vorrichtung einen Anschluss für einen Lichtleiter aufweist, der die Vorrichtung mit einer Basiseinheit verbindet, wobei der Lichtleiter den Beleuch- tungsstrahl von einer Lichtquelle in der Basiseinheit an die Vorrichtung weiterleitet und den vom Messobjekt zurück ^¬ gestrahlten Beobachtungsstrahl an die Basiseinheit zurück-

führt, der mittels eines Strahlteilers umgelenkt und analy ^¬ siert wird. Dadurch kann die Vorrichtung unabhängig von der Basiseinheit bewegt werden. Die Basiseinheit umfasst dabei die Lichtquelle, den Strahlteiler vor der Lichtquelle und einen Lichtsensor, wie eines Spektrometers oder einer CCD- Kamera, zur Analyse des reflektierten Lichts. Darüber hinaus kann die Vorrichtung in ihren Außenmaßen kleiner und leichter hergestellt werden, so dass der Bedienkomfort und der Zugang zu einem Messobjekt, insbesondere zu Zähnen in- nerhalb einer Mundhöhle bei zahnärztlicher Anwendung, verbessert wird.

Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenkers sich an einem gegenüber dem Anschluss für den Lichtleiter liegenden Ende der Vorrichtung befindet. Dadurch wird der Zugang ins- besondere zu den hinteren Backenzähnen erleichtert.

Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker einen Winkel von 45° zum Beleuchtungsstrahl aufweisen, so dass dieser im rechten Winkel ablenkt wird. Die Vorrichtung muss demnach senkrecht zu der zu vermessenden Oberfläche des Messobjekts gehalten werden. Dadurch wird die optische 3D- Vermessung von Zahnoberflächen verbessert, denn Zahnoberflächen reflektieren den Beleuchtungsstrahl vorwiegend diffus in alle Richtungen oberhalb der Zahnoberfläche mit ei ^¬ ner Vorzugsrichtung größter Intensität senkrecht zur Zahn- Oberfläche.

Vorteilhafterweise kann der Beleuchtungsstrahl aus einer Reihe von Teilstrahlen bestehen, die in einer Ebene angeordnet sind. Dadurch kann eine parallele 3D-Vermessung mit den Teilstrahlen durchgeführt werden, so dass die Vermes- sungsdauer verkürzt wird. Falls eine chromatisch konfokale Messmethode Anwendung findet, können mehrere in einer Reihe nebeneinander angeordnete punktförmigen Teilstrahlen ver-

wendet werden, die einzeln mittels der im Strahlengang der Teilstrahlen angeordneten chromatische Objektive fokussiert werden und die zurückgestrahlten Beobachtungsstrahlen mittels der entsprechend angeordneten Blenden konfokal auf ei- nen Farbsensor abgebildet werden.

Vorteilhafterweise kann die Vorrichtung zur optischen 3D- Vermessung ein dentales Handstück zur Vermessung von Zahnoberflächen in der Mundhöhle eines Patienten sein. Dadurch kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zu zahnärztlichen Zwecken verwendet werden.

Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker zwischen zwei Positionen verstellbar sein, wobei der erste Strahlumlenker in der ersten Position den Beleuchtungsstrahl in eine erste Richtung umlenkt und in der zweiten Position den Beleuchtungsstrahl in eine zweite Richtung umlenkt, die zu der ersten Richtung entgegengesetzt ist.

In der ersten Position kann der Beleuchtungsstrahl in die erste Richtung, beispielsweise zu den Zähnen des unteren Kiefers, und in der zweiten Position in die zweite Rich- tung, beispielsweise zu den Zähnen des oberen Kiefers, um ^¬ gelenkt werden. Dadurch kann die Richtung der 3D-Vermessung der Vorrichtung gewechselt werden, ohne die Vorrichtung wenden zu müssen. Die Verstellung von der ersten in die zweite Position kann durch eine Drehung des Strahlumlenkers um eine Achse die senkrecht zum Beleuchtungsstrahl ist er ^¬ folgen .

Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker bei einer ersten Ausrichtung der Polarisation den Beleuchtungsstrahl in die erste Richtung und in einer zweiten Ausrichtung der Polarisation in die zweite Richtung umlenkt, die zu der ersten Richtung entgegengesetzt ist.

Bei einer ersten Ausrichtung der Polarisation wird der linear polarisierte Beleuchtungsstrahl in die erste Richtung und einer zweiten Ausrichtung der Polarisation in die zweite Richtung umgelenkt. Ein solcher polarisationsabhängiger Strahlumlenker kann beispielsweise aus einem Polarisations ^¬ filter und einem im Strahlengang des Beleuchtungsstrahls dahinter angeordneten Umlenkspiegel bestehen. Falls die Polarisation des Beleuchtungsstrahls senkrecht zur Durchlass ^¬ richtung des Polarisationsfilters ist, wird der Beleuch- tungsstrahl nahezu vollständig vom Polarisationsfilter reflektiert und in die erste Richtung umgelenkt. Falls die Polarisation des Beleuchtungsstrahls parallel zur Durch ^¬ lassrichtung des Polarisationsfilters ist, wird der Be ^¬ leuchtungsstrahl nahezu vollständig transmittiert und vom dahinter angeordneten Umlenkspiegel reflektiert und somit in die zweite entgegengesetzte Richtung umgelenkt.

Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker in seinem Winkel bezüglich der Ausrichtung des Beleuchtungsstrahls verstellbar sein. Dadurch kann ein gewünschter Umlenkwinkel des Beleuchtungs ^¬ strahls eingestellt werden, so dass auch schwer zugängliche Messfelder, die vor der Vorrichtung liegen, vermessen werden können.

Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur optischen 3D-Vermessung mit einer Vorrichtung, umfassend einen ersten Strahlumlenker, wobei mittels des ersten Strahlumlenkers, der entlang einer Wegstrecke S bewegt wird, ein Beleuchtungsstrahl auf ein Messobjekt umgelenkt wird und ein vom Messobjekt zurückgestrahlter Beo- bachtungsstrahl erneut umgelenkt wird.

Eine Abtastbewegung des Beleuchtungsstrahls erfolgt also durch die Abtastbewegung des ersten Strahlumlenkers, wobei

der erste Strahlumlenker beispielsweise linear entlang einer Wegstrecke S bewegt werden kann, die parallel zur Rich ^¬ tung des Beleuchtungsstrahls ist. Auf dem Messobjekt kann dadurch ein Messfeld mit der Länge S vermessen werden. Ein Vorteil des Verfahrens ist, dass ein relativ großes Messfeld mit der Länge S abgetastet werden kann, weil der erste Strahlumlenker entlang der erfinderischen Vorrichtung bewegt wird und somit nur durch die Baulänge der Vorrich ^¬ tung begrenzt ist. Ein weiterer Vorteil des Verfahrens ist, dass der Beleuch ^¬ tungsstrahl an jeder Stelle der Messfeldes mit der Länge S unter dem gleichen relativen Winkel zur Vorrichtung auf die Oberfläche des Messobjekts fällt. Dadurch ist die Intensi ^¬ tät des reflektierten Strahls besser vergleichbar, denn die Intensität des reflektierten Lichts ist bei diffuser Refle ^¬ xion winkelabhängig.

Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker entlang der Wegstrecke S oszillierend bewegt werden.

Die oszillierende Abtastbewegung, die durch die oszillie- rende Bewegung des ersten Strahlumlenkers erzeugt wird, er ^¬ möglicht eine zeilenweise Abtastung eines Messfeldes mit einem punktförmigen Beleuchtungsstrahl, eine kontinuierliche Abtastung eines sich zeitlich ändernden Messobjekts o- der eine Abtastung eines Messobjekts aus unterschiedlichen Richtungen.

Vorteilhafterweise kann der Strahlumlenker entlang der Wegstrecke S linear bewegt werden. Dadurch wird der Be ^¬ leuchtungsstrahl an jedem Punkt der Wegstrecke S unter dem gleichen Winkel umgelenkt. Vorteilhafterweise kann eine Gegenmasse einer Kräfteaus ^¬ gleichseinheit entgegengesetzt zum ersten Strahlumlenker

oszillierend bewegt werden, so dass die bei der Bewegung des ersten Strahlumlenkers und der Gegenmasse entstehenden Kräfte und Drehmomente sich nach Möglichkeit gegenseitig aufheben . Die Gegenmasse kann die gleiche Masse wie der erste Strah- lumlenker mit seinen mitbewegten Befestigungsteilen aufweisen, so dass bei entgegengesetzter Bewegung sich ausgleichende Beschleunigungskräfte entstehen. Die Beschleuni ^¬ gungskräfte greifen an Punkten der Vorrichtung mit dem gleichen orthogonalen Abstand zu einem Drehpunkt, so dass die Drehmoment sich ebenfalls aufheben. Dadurch verhindert die Kraftausgleichseinheit ein Vibrieren während der 3D- Vermessung, das ansonsten durch den Benutzer kompensiert werden müsste und verwacklungsfreie Vermessung unmöglich machen würde.

Vorteilhafterweise kann die Gegenmasse entgegengesetzt zur Bewegung des ersten Strahlumlenkers linear bewegt werden. Dadurch kann die Gegenmasse entgegengesetzt zur ebenfalls linearen Bewegung des ersten Strahlumlenkers bewegt werden. Vorteilhafterweise kann die Wegstrecke S zwischen 1 mm und 40 mm betragen. Dadurch wird eine 3D-Vermessung eines Zahnreihenbereichs mit der Länge zwischen 1 mm und 40 mm ermög ^¬ licht.

Vorteilhafterweise kann die oszillierende Bewegung des ers- ten Strahlumlenkers eine Frequenz zwischen 1 Hz und 100 Hz betragen. Die Frequenz der Abtastbewegung sollte für eine zeitsparende 3D-Vermessung möglichst hoch gewählt werden. Die Verarbeitungsgeschwindigkeit des Bildsensors, wie eines Spektrometers oder einer CCD- Kamera, begrenzt jedoch die mögliche Frequenz der Abtastbewegung für die Aufnahme des Beobachtungsstrahls .

Vorteilhafterweise kann der Beleuchtungsstrahl durch weitere im Strahlengang vor dem ersten Strahlumlenker angeordnete Strahlumlenker mehrfach umgelenkt werden. Dadurch kann der Strahlengang des Beleuchtungsstrahls innerhalb der Vor- richtung mehrfach umgelenkt werden und unter einem gewünschten Winkel zu der Oberfläche des Messobjekts umgelei ^¬ tet werden.

Vorteilhafterweise kann der Beleuchtungsstrahl durch ein Objektiv auf die Oberfläche des Messobjekts fokussiert wer- den. Dadurch befindet sich die Oberfläche des Messobjekts im Fokuspunkt des Objektivs und wird scharf abgebildet. Die Masse des Objektivs als Bestandteil der oszillierend beweg ^¬ baren Scaneinheit trägt zur Beschleunigungskraft der Sca ^¬ neinheit bei. Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker den Be ^¬ leuchtungsstrahl im rechten Winkel ablenken. Die Vorrichtung kann demnach parallel zur Oberfläche des Messobjekts gehalten werden, wobei der Beleuchtungsstrahl senkrecht auf die Oberfläche des Messobjekt fällt. Dies ist besonders bei der 3D-Vermessung von Zähnen wegen des schwierigen Zugangs vorteilhaft. Bei senkrechter Einstrahlung ist die Intensi ^¬ tät des reflektierten Lichts am höchsten, denn Zahnoberflächen reflektieren diffus mit der maximaler Intensität senkrecht zur Zahnoberfläche. Vorteilhafterweise kann der eingestrahlte polychromatische Beleuchtungsstrahl durch ein Objektiv auf die Oberfläche des Messobjekts wellenlängenabhängig fokussiert werden. Das Objektiv fokussiert polychromatisches eingestrahltes Licht mit auf Fokuspunkte die Wellenlängenabhängig sind, so dass nur ein begrenzter Spektralbereich scharf auf der Oberfläche des Messobjekts fokussiert wird, die übrigen Spektral ^¬ bereiche bilden die Oberfläche nur unscharf ab.

Vorteilhafterweise kann der Beleuchtungsstrahl aus einer Reihe von Teilstrahlen besteht, die in einer Ebene angeord ^¬ net sind. Dadurch kann eine 3D-Vermessung parallel mit der Reihe aus Teilstrahlen durchgeführt werden, so dass die Vermessungsdauer verkürzt wird.

Vorteilhafterweise kann das Messobjekt der optischen 3D- Vermessung eine Zahnoberfläche in der Mundhöhle eines Patienten sein. Dadurch kann das erfinderische Verfahren zu zahnärztlichen Zwecken verwendet werden. Vorteilhafterweise kann der erste Strahlumlenker zwischen zwei Modi verstellt werden, wobei der erste Strahlumlenker im ersten Modus den Beleuchtungsstrahl in eine erste Richtung umlenkt und im zweiten Modus den Beleuchtungsstrahl in eine zweite Richtung umlenkt, die zu der ersten Richtung entgegengesetzt ist. Dadurch kann die Richtung der Vermessung geändert werden, ohne die Vorrichtung zu schwenken.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt. Es zeigt die

Fig. 1 eine Gesamtansicht der Vorrichtung zur 3D-

Vermessung, umfassend ein dentales Handstück und eine Basiseinheit, die

Fig. 2 eine Detailansicht des dentalen Handstücks mit einer Scaneinheit und einer Kraftausgleichseinheit, die

Fig. 3 eine Detailansicht des dentalen Handstücks aus Fig. 2 mit Kopplungsmitteln zwischen der Kraftausgleichseinheit und der Scaneinheit, die

Fig. 4 eine Detailansicht der Vorrichtung aus Fig. 1 mit einem ersten Strahlumlenker, der zwischen zwei Positionen verstellbar ist, die

Fig. 5 eine Detailansicht der Vorrichtung aus Fig. 1 mit einem Strahlumlenker, der abhängig von der Polarität den Beleuchtungsstrahl umlenkt, die

Fig. 6 eine Detailansicht der Vorrichtung aus Fig. 1 mit einem ersten Strahlumlenker, der in seinem Winkel bezüglich der Ausrichtung des Beleuchtungsstrahls verstellbar ist.

Ausführungsbeispiele der Erfindung

Die Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung 1 zur optischen 3D- Vermessung, das einen ersten Strahlumlenker 2 ein Objektiv 3 und einen Anschluss 4 für einen Lichtleiter 5 umfasst. Der erste Strahlumlenker 2 ist dabei entlang einer Wegstrecke S oszillierend bewegbar. Der erste Strahlumlenker 2' nach der linearen Bewegung entlang der Wegstrecke S ist gestrichelt dargestellt. Das Objektiv 3 wird zusammen mit dem ersten Strahlumlenker 2 ebenfalls um die Wegstrecke S line- ar bewegt. Das gestrichelt dargestellte Objektiv 3' zeigt die Position des Objektivs 3 nach der Bewegung. Die darge ^¬ stellte Vorrichtung zur optischen 3D-Vermessung 1 hat die Gestalt eines dentalen Handstücks, das über einen Lichtlei ^¬ ter 5 mit einer Basiseinheit 6 verbunden ist. Die Basisein- heit 6 weist eine Lichtquelle 7 einen Strahlteiler 8 und einen Bildsensor 9 auf. Ein eingestrahlter Lichtstrahl 10 wird in der Lichtquelle 7 erzeugt, gelangt abgeschwächt durch den Strahlteiler 8, wird durch den Lichtleiter 5 zum dentalen Handstück 1' geleitet, wird im Handstück 1' durch das Objektiv fokussiert und durch den ersten Strahlumlenker 2 auf die Oberfläche 11 eines Messobjekts 12 umgeleitet. Im vorliegenden Fall ist das Messobjekt ein einzelner Zahn in

der Mundhöhle eines Patienten. Der eingestrahlte Licht ^¬ strahl 10 wird von der Zahnoberfläche 11 des Zahns 12 re ^¬ flektiert. Der diffuse Reflexionsanteil ist dabei höher als der gerichtete Reflexionsanteil. Bei diffuser Reflexion wird das reflektierte Licht in alle Richtungen oberhalb der angestrahlten Fläche abgestrahlt, wobei das Intensitätsma ^¬ ximum des reflektierten Lichts in senkrechter Richtung zur Fläche abgestrahlt wird. Bei gerichteter Reflexion ist der Einfallswinkel zur Oberfläche gleich dem Ausfallswinkel. Ein Teil des vorwiegend diffus reflektierten Lichts gelangt somit zurück zum ersten Strahlumlenker und wird von diesem in Form eines Beobachtungsstrahls 13 zum Objektiv 3 umge ^¬ lenkt. Im Objektiv 3 wird der reflektierte Lichtstrahl 13 wieder in parallel zueinander verlaufende Strahlen umgewan- delt und gelangt durch den Lichtleiter 5 zurück zu der Basiseinheit 6. In der Basiseinheit 6 wird ein Teil des Beo ^¬ bachtungsstrahls 13 vom Strahlteiler 8 zum Bildsensor umgeleitet. Das Objektiv 3 fokussiert den einstrahlenden Licht ^¬ strahl 10 auf die Oberfläche 11 des Messobjekts 12, so dass sich der Fokuspunkt 14 des Objektivs 3 auf der Oberfläche

11 befindet. Durch die oszillierende lineare Abtastbewegung des ersten Strahlumlenkers 2 entlang der Wegstrecke S kann ein Messfeld 15 optisch abgetastet werden. Das Messfeld 15 hat demnach aus der Perspektive des Beleuchtungsstrahls 10 eine Länge, die der Wegstrecke S entspricht. Im dargestell ^¬ ten Fall ist die Wegstrecke S 10 mm lang und die Vorrich ^¬ tung damit geeignet einen einzelnen Zahn zu vermessen. Es können auch Vorrichtungen konstruiert werden deren Mechanik eine Abtastbewegung entlang einer größeren Wegstrecke S er- lauben um größere Messflächen zu vermessen. Die Frequenz der Abtastbewegung kann zwischen 1 Hz und 100 Hz gewählt werden. Eine höhere Frequenz würde die Vermessungsdauer

verkürzen, darf aber nur so hoch gewählt werden, dass der Bildsensor 9 die einkommenden Bildsignale verarbeiten kann. Die Vorrichtung 1 ist mit einem Gehäuse 16 verkleidet.

Alternativ kann die erfinderische Vorrichtung als festste- hendes oder mobiles Gerät mit allen Bauteilen, umfassend die Lichtquelle und den Bildsensor, in einem Gehäuse ausge ^¬ führt sein, wobei ein Datenkabel zur übertragung der Bild ^¬ daten dieses Gerät mit einer Bildanalyseeinheit verbindet.

Der Beleuchtungsstrahl 10 kann die Form eines Lichtpunktes, eines Lichtstreifens, einer Projektion aus mehreren Strei ^¬ fen oder auch andere Formen aufweisen. Der Beleuchtungsstrahl 10 kann abhängig vom verwendeten 3D- Vermessungsverfahren ein monochromatischer oder auch ein polychromatischer Lichtstrahl sein. Die Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung 1 zur optischen 3D-

Vermessung aus Fig. 1 mit einer Kraftausgleichseinheit 20. Die Kraftausgleichseinheit 20 umfasst dabei eine Gegenmasse 21 und Führungsmittel 22. Die Gegenmasse 21 wird mittels der Führungsmittel 22 entgegengesetzt zur oszillierenden linearen Abtastbewegung des ersten Strahlumlenkers 2 geführt. Der erste Strahlumlenker 2 ist im Unterschied zu Fig. 1 in einer Scaneinheit 23 befestigt, die auch das Ob ^¬ jektiv 3 und zwei weitere Strahlumlenker 24 und 25 umfasst. Der erste Strahlumlenker 2' und das Objektiv 3' sind ge- strichelt nach der Abtastbewegung um die Wegstrecke S dargestellt. Die Scaneinheit 23 wird mittels Führungsmittel 26 im dentalen Handstück 1' geführt. Die Gegenmasse 21 hat die gleiche Masse wie die Scaneinheit 23 und wird synchron ent ^¬ gegengesetzt zur Scaneinheit bewegt, so dass Beschleuni- gungskräfte Fi der Scaneinheit und F ₂ der Gegenmasse 21 sich gegenseitig aufheben. Die Beschleunigungskräfte Fi und F ₂ greifen an Punkten an, deren Abstände ri und r ₂ zum Dreh-

punkt D gleich sind, so dass das Drehmoment M ₁ als Vektor ^¬ produkt aus F ₁ und ri durch das Drehmoment M ₂ als Vektorpro ^¬ dukt aus F ₂ und r ₂ ausgeglichen wird. Die Kraftausgleichs ^¬ einheit 20 wird also zu einem Ausgleich der Beschleuni- gungskraft F ₁ und des Drehmoments M ₁ verwendet und verhin ^¬ dert dadurch ein Vibrieren der Vorrichtung 1 bei der 3D- Vermessung, das ansonsten durch einen Benutzer kompensiert werden müsste und verwacklungsfreie 3D-Vermessung unmöglich machen würde . Die Scaneinheit 23 kann beispielsweise mit dem Objektiv 3 und den Strahlumlenkern 2, 24 und 25 als eine Einheit aus transparentem Plexiglas gegossen werden. Die oszillierende lineare Abtastbewegung erfolgt durch Antrieb eines Zahnra ^¬ des 27, der in eine Zahnstange 28 an der Scaneinrichtung 23 greift. Die entgegengesetzte Bewegung der Gegenmasse 21 wird durch einen weiteren Antrieb eines Zahnrades 29 be ^¬ werkstelligt, der in eine Zahnstange 30 an der Gegenmasse 21 greift. Die Antriebe der Zahnräder 27 und 29 werden mit ^¬ einander synchronisiert, um Bewegungen mit entgegengesetz- ten Beschleunigungen und Beschleunigungskräften F ₁ und F ₂ zu gewährleisten. Der einstrahlende Lichtstrahl 10 gelangt wie in Fig. 1 durch den Lichtleiter 5 über den Anschluss 4 in die Vorrichtung 1, wird durch die Strahlumlenker 25 und 24 in der Scaneinheit 23 umgelenkt, wird im Objektiv 3 fo- kussiert und durch den ersten Strahlumlenker 2 auf das

Messobjekt 12 mit der Oberfläche 11 umgelenkt. Der reflek ^¬ tierte Lichtstrahl 13 wird dann wie in Fig. 1 auf dem gleichen Weg zurück zum Bildsensor 9 gelenkt.

Im Vergleich mit bekannten Vorrichtungen ist ein besonderer Vorteil der erfinderischen Vorrichtung 1, dass die

Vermessung des Messfeldes 15 mit der Länge S durch die oszillierende lineare Abtastbewegung des ersten

Strahlumlenkers 2 erfolgt. Dadurch kann der erste Strahlumlenker 2 mit geringen Ausmaßen konstruiert werden, da er den einstrahlenden Lichtstrahl 10 umlenken muss, der in seiner Ausrichtung während der 3D-Vermessung unverändert bleibt. Folglich kann die Bauhöhe d der Vorrichtung 1 gering gehaltne werden, so dass der Zugang zu Messobjekten, wie Zähne, in der Mundhöhle eines Patienten erleichtert wird. Bei bekannten Vorrichtungen bleibt die Lage des ersten Strahlumlenkers relativ zur Vorrichtung unverändert und die Abtastbewegung erfolgt durch ein Schwenken des

Beleuchtungsstrahls 10 durch einen im Strahlengang vor dem ersten Strahlumlenker angebrachten Drehspiegel, so dass die Länge des Messfeldes die Bauhöhe der Vorrichtung maßgeblich bestimmt. Das dargestellte Messobjekt 12 ist in Fig. 1 ein Teil einer Zahnreihe bestehend aus zwei benachbarten

Zähnen. Die Vorrichtung 1 aus Fig. 1 und Fig. 2 kann sowohl zur 3D-Vermessung mittels der chromatisch konfokalen Messmethode, als auch mittels der Triangulation- Streifenprojektion- Messmethode oder auch anderer optischer Methoden verwendet werden.

Die Fig. 3 zeigt die Vorrichtung 1 aus Fig. 2, wobei die Bewegungen der Scaneinheit 23 mit dem ersten Strahlumlenker 2 und der Gegenmasse 21 mittels Kupplungsmittel, nämlich eines Antriebszahnrades 31, einer Zahnstange 32 und einer Zahnstange 33, gekoppelt. Die Zahnstange 32 ist über ein Verbindungssteg 34 mit der Scaneinheit 23 verbunden, die den ersten Strahlumlenker 2 umfasst. Die Zahnstange 33 ist an der Gegenmasse 21 angebracht. Bei Antrieb des Zahnrades 31 erfolgt die oszillierende lineare Abtastbewegung der Scaneinheit 23 und die dazu entgegengesetzte Gegenbewegung der Gegenmasse 21, so dass die Kräfte Fi, F ₂ und die Dreh ^¬ momente Mi, M ₂ aus Fig. 2 sich gegenseitig aufheben. Der

Vorteil der Kopplung im Vergleich zu der Vorrichtung aus Fig. 2 ist, dass die Gegenmasse 21 und die Scaneinheit 23 nicht unabhängig von einander angetrieben werden müssen und die Antriebe der Zahnräder 27 und 29 aufwendig synchroni- siert werden müssen.

Die Vorrichtung 1 aus Fig. 3 kann wie die Vorrichtung aus Fig.2 für verschiedene optische 3D-Vermessungsmethoden verwendet werden, die zur Erfassung der Oberflächeninformatio ^¬ nen einen oszillierenden Lichtstrahl bzw. Lichtstreifen be- nötigen. Der einstrahlende Lichtstrahl 10 gelangt wie in

Fig. 2 über den Lichtleiter 5 in die Vorrichtung 1 und der reflektierte Lichtstrahl wird mittels des Lichtleiters 5 zurück zu Basiseinheit 6 aus Fig.l geleitet.

Die Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung 1 mit einem ersten Strah- lumlenker 2, der zwischen zwei Positionen 2' und 2'' um die Achse 35 durch eine Schwenkbewegung 36 verstellbar ist. In der ersten Position 2' lenkt der erste Strahlumlenker 2 in Form eines Umlenkspiegels den Beleuchtungsstrahl 10 in eine erste Richtung 10' zu Zähnen des unteren Kiefers 12' und in der zweiten Position 2'' zu Zähnen des oberen Kiefers 12'' ab. Somit muss die Vorrichtung 1 nicht gewendet werden, um von der 3D- Vermessung des unteren Kiefers 12' zur 3D- Vermessung des oberen Kiefers 12'' zu wechseln. Die erste Richtung 10' weist einen ersten Winkel 37 von 90° und die zweite Richtung 10'' einen zweiten Winkel 38 von 90° zum

Beleuchtungsstrahl auf. Dieser Winkel 37 kann auch zwischen 5° und 175° betragen.

Die Fig. 5 zeigt eine Vorrichtung 1 mit einem Strahlumlenker 2, der abhängig von der Polarität den Beleuchtungs- strahl 10 entweder in die erste Richtung 10' zu den Zähnen des unteren Kiefers 12' oder in die zweite Richtung 10' zu den Zähnen des oberen Kiefers 12'' ablenkt. Bei einer ers-

ten Ausrichtung 40 der Polarisation wird der Beleuchtungsstrahl 10 in die erste Richtung 10' und einer zweiten Ausrichtung 40' der Polarisation in die zweite Richtung 10'' umgelenkt. Ein solcher polarisationsabhängiger Strahlumlen- ker kann beispielsweise aus einem Polarisationsfilter und einem im Strahlengang des Beleuchtungsstrahls 10 dahinter angeordneten Umlenkspiegel bestehen. Falls die Polarisation 40 des Beleuchtungsstrahls 10 senkrecht zur Durchlassrich ^¬ tung des Polarisationsfilters ist, wird der Beleuchtungs- strahl 10 nahezu vollständig vom Polarisationsfilter reflektiert und in die erste Richtung 10' umgelenkt. Falls die Polarisation 40' des Beleuchtungsstrahls 10 parallel zur Durchlassrichtung des Polarisationsfilters ist, durch ^¬ strahlt nahezu vollständig und wird vom dahinter angeordne- ten Umlenkspiegel reflektiert und in die zweite Richtung 10' ' umgelenkt .

Die Fig. 6 zeigt eine Vorrichtung 1 mit einem ersten Strah- lumlenker 2, der in seinem Winkel 50 bezüglich der Ausrichtung des Beleuchtungsstrahls 10 verstellbar ist. Der erste Strahlumlenker ist in zwei Winkellagen mit einem ersten

Winkel 50 von 20° und einem zweiten Winkel 50' von 65° dar ^¬ gestellt. Folglich entsteht in der ersten Winkellage mit dem Winkel 50 von 20° zwischen dem Beleuchtungsstrahl 10 und dem umgelenktem Beleuchtungsstrahl 10' ein Winkel 37' von 140° und in der zweiten Winkellage mit dem Winkel 50' von 65° ein Winkel 37'' von 50°. Die lineare Bewegung des ersten Strahlumlenkers 2 von einer ersten Position 2 längst zur Vorrichtung 1 entlang einer Wegstrecke S zu einer zweiten Position 2' wird in der ersten Winkellage mit dem Win- kel 50 wird ein Messfeld 51 mit der Länge S und in der zweiten Winkellage mit dem Winkel 50' wird ein Messfeld 51' abgetastet. Dadurch kann ein Messfeld vor der Vorrichtung 1

abgetastet werden, das nur schwer zugänglich ist, wie beispielsweise im Bereich der molaren Backenzähne.

_] N _{C C} N Be zugs zeichenl i ste

1 Vorrichtung erster Strahlumlenker erster Strahlumlenker um S bewegt

3 Objektiv

3' Objektiv um S bewegt

4 Anschluss

5 Lichtleiter

6 Basiseinheit

7 Lichtquelle

8 Strahlteiler

9 Bildsensor

10 Beieuchtungsstrahl

10' erste Richtung

10' ' zweite Richtung

11 Oberfläche, Zahnoberfläche

12 Messobjekts, Zahn

12' unterer Kiefers

12' ' oberer Kiefers

13 Beobachtungsstrahl

14 Fokuspunkt

15 Messfeld

16 Gehäuse

20 Kraftausgleichseinheit

21 Gegenmasse

22 Führungsmittel

23 Scaneinheit

24 Strahlumlenker

25 Strahlumlenker

26 Führungsmittel

27 Zahnrad

28 Zahnstange

29 Zahnrad

30 Zahnstange

31 Antriebszahnrad

32 Zahnstange 33 Zahnstange

34 Verbindungssteg

35 Achse

36 Schwenkbewegung

37 erster Winkel 38 zweiter Winkel

40 erste Ausrichtung

40' zweite Ausrichtung

50 Winkel

50' zweiter Winkel 51 Messfeld

51' Messfeld

S Wegstrecke

F ₁ Beschleunigungskraft der Scaneinheit

F ₂ Beschleunigungskraft der Gegenmasse M ₁ Drehmoment der Scaneinheit

M ₂ Drehmoment der Gegenmasse

D Drehpunkt ri Abstand r ₂ Abstand