本発明の記述を続ける前に、添付図面にお� ��て同じ部品については同じ参照符号を付し� ��いる。
 以下に、本発明にかかる実施の形態を図面� ��基づいて詳細に説明する。

 (第1実施形態)
 本発明の第1の実施形態にかかる部品圧着装 置及び部品圧着方法を説明するにあたって、 まず、これらの部品圧着装置及び方法におい て取り扱われるパネル基板1の形態と、この� �ネル基板1に対して施される圧着処理(あるい は実装処理)の概要について、パネル基板1の� ��観を示す図1を用いて説明する。

 まず、図1に示すように、本第1実施形態� �おいて取り扱われる基板は、液晶ディスプ� �イ(LCD)パネル基板やプラズマディスプレイパ ネル(PDP)基板等に代表される基板(以降、「パ ネル基板」という。)1であり、方形状におけ� ��互いに隣接する2辺の縁部に、部品が実装さ れる部品実装領域R1が配置された端子部2を有 している。なお、このようなパネル基板1は� �一般的に長方形状を有しており、それぞれ� �端子部2は、長辺側端子部(図1における図示� �側の端子部であり、第1縁部の一例である)と 短辺側端子部(図1における図示手前側の端子� ��であり、第2縁部の一例である)として形成� �れている。また、それぞれの端子部2には複� ��の端子電極2aが形成されており、これらの� �子電極2aにそれぞれの部品が圧着されて実装 されることで電気的に接続されることになる 。また、パネル基板1における縁部の内側の� �域は、画像や文字情報などの映像が表示さ� �る表示領域となっている。なお、パネル基� �1は、主にガラス材料により形成されており� ��その厚さが例えば0.5mm以下となるような薄� �化が図られて来ている。

 このような構造のパネル基板1に対して、 本第1実施形態の部品圧着方法を含む部品実� �工程の手順を示す説明図を図2に示す。図2に 示すように、部品実装工程を行う装置に搬入 されたパネル基板1に対して、まず、接合部� �配置工程の一例であるACF貼り付け工程S100に� ��、それぞれの端子部2の端子電極2aに接合部� ��としてACFシート3の貼り付けを行い、その後 、部品圧着工程の一例である部品仮圧着工程 S200にて、ACFシート3を介して部品として例え� ��TCP4をそれぞれの端子電極2aに仮圧着する。� ��らにその後、本圧着工程S300にて、仮圧着さ れた状態のそれぞれのTCP4をさらに圧着して� �装する。なお、この本圧着工程S300は、パネ� ��基板1の長辺側端子部に対する本圧着工程S31 0と、パネル基板1の短辺側端子部に対する本� ��着工程S320とに分けて行われる。このような パネル基板1に対するTCP4の実装工程は、アウ� ��ーリードボンディング工程と呼ばれている� ��

 次に、このようなアウターリードボンデ� ��ング工程の本圧着工程を行う部品圧着装置� ��一例である本圧着装置100の構成を示す模式� ��を図3に示す。

 本圧着装置100は、パネル基板1の長辺側及 び短辺側の端子部2にACFシート3を介して仮圧� ��された状態のTCP4を押圧しながら加熱するこ とで、ACFシート3を介してそれぞれの端子電� �2aにTCP4を本圧着、すなわち熱圧着(実装)する 複数の圧着ユニット10(例えば4台の圧着ユニ� �ト10)と、移載(搬入)されるパネル基板1を保� �するステージ11と、ステージ11に保持された� ��ネル基板1の端子部2に仮圧着されたそれぞ� �のTCP4とそれぞれの圧着ユニット10との位置� �わせを行うパネル基板保持装置12を備えてい る。なお、パネル基板保持装置12は、パネル� ��板1を図示X軸方向又はY軸方向に移動させる� ��能(XY移動機能)と、X軸方向及びY軸方向を含� ��平面(水平平面)内においてパネル基板1を回� ��させる機能(θ回転機能)と、Z軸方向にパネ� �基板1を昇降させる機能(昇降機能)とを有し� �いる。このような機能によりパネル基板1の� ��辺側及び短辺側の端子部2をそれぞれの圧着 ユニット10と位置合わせすることが可能とな� ��ている。また、本圧着装置100には、このよ� ��な位置合わせを行うために、パネル基板1の 端子部2の位置を認識する認識カメラ(図示し� ��い)が備えられている。なお、図3において� �X軸方向とY軸方向はパネル基板1の大略表面� �いの方向となっており、パネル基板1の搬送� ��向がX軸方向であり、X軸方向に直交する方� �がY軸方向であり、図示鉛直方向がZ軸方向と なっている。

 また、本圧着装置100(あるいは部品実装ラ イン)には、それぞれの工程を行う装置間に� �パネル基板1の搬入および搬出を行う基板搬� ��装置20が備えられている。基板搬送装置20は 、パネル基板1の下面を真空吸着手段(図示し� ��い)により解除可能に吸着保持するパネル保 持部21と、パネル保持部21の昇降動作を行う� �降部22と、パネル保持部21及び昇降部22を図� �X軸方向に沿って移動させることで、パネル� ��板1の各装置間の搬送を行う移動装置23とを� ��えている。なお、本第1実施形態においては 、パネル保持部21が真空吸着手段によりパネ� ��基板1の保持を行うような場合を例として説 明するが、このような場合に代えて、機械的 なチャック手段を有するパネル保持部により パネル基板1が保持されるような場合であっ� �もよい。

 また、本圧着装置100には、それぞれの圧� ��ユニット10等の構成部の動作制御を互いの� �作と関連付けながら統括的に行う制御装置19 が備えられている。この制御装置19により、� ��々の圧着ユニット10等の個別的あるいは統� �的な動作制御が行われながら、本圧着装置10 0に搬入されるパネル基板1に対する本圧着工� ��が行われる。

 ここで、本圧着装置100が備える圧着ユニ� ��ト10の模式側面図を図4に示し、図3及び図4� �参照しながら、本圧着装置100および圧着ユ� �ット10の構成について、さらに詳細に説明す る。

 図3に示すように、本圧着装置100は、複数 の圧着ユニット10として、例えば合計4台の圧 着ユニット10をX軸方向に一列に配列して備え ている。各圧着ユニット10は、パネル基板1の 端子部2にACFシート3を介して仮圧着された状� ��のTCP4を押圧して圧着する押圧体の一例であ る圧着ヘッド31と、この圧着ヘッド31による� �着動作の際に、パネル基板1の端子部2をその 下面側から支持する縁部支持部材の一例であ るバックアップステージ32を備えている。

 図3及び図4に示すように、各圧着ユニッ� �10において、バックアップステージ32は、剛� ��にて形成された大略L字状の断面を有する柱 状体であるユニットフレーム33の下部に固定� ��れており、圧着ヘッド31がZ軸方向に配置さ� ��たLMガイド34(押圧体案内部材の一例)を介し� ��その昇降動作を案内可能にユニットフレー� ��33(ユニット支持部材の一例)の上部に取り付 けられている。なお、本第1実施形態では、� �ックアップステージ32はユニットフレーム33� ��下部に固定されるような構成について説明� ��るが、このような場合に代えて、例えば、� ��ックアップステージ32が上下方向に可動式� �して昇降可能にユニットフレーム33に支持さ れ、バックアップステージ昇降部によりバッ クアップステージ32の昇降動作が行われるよ� ��な場合であっても良い。

 図3及び図4に示すように、本圧着装置100� �基台フレーム13上には、2本のLMガイド35がX軸 方向に沿って延在して配置されており、それ ぞれのLMガイド(案内支持部材の一例)35を介し て、4台の圧着ユニット10におけるユニットフ レーム33がX軸方向の進退移動可能に基台フレ ーム13に支持されている。また、図4に示すよ うに、各圧着ユニット10のユニットフレーム3 3の下部には、圧着ユニット10のX軸方向沿い� �進退移動を駆動するユニット移動用モータ(� ��ニット移動装置の一例である)36が備えられ� ��いる。すなわち、4台の圧着ユニット10は、� ��別に圧着ヘッド31とバックアップステージ32 とを備えるとともに、個別に備えられたユニ ット移動用モータ36が駆動されることにより� ��2本のLMガイド35に沿ってX軸方向沿いに案内� ��れながら、それぞれ独立して進退移動する� ��とが可能に構成されている。ここで、「そ� ��ぞれ独立した移動」とは、1台の圧着ユニッ ト10の移動が、自身が備えるユニット移動用� ��ータ36の駆動により行われ、他の1台の圧着� ��ニット10の移動が、それ自身が備えるユニ� �ト移動用モータ36の駆動により行われ、両者 の移動速度や移動のタイミングを個別に設定 することが可能な移動のことである。なお、 それぞれの圧着ユニット10が互いに接触する� ��とを防止する等、安全制御の実施のために� ��両者の移動制御が関連付けられるような場� ��であってもよい。

 また、図4に示すように、各圧着ユニット 10は、ほぼ水平に配置されるパネル基板1に対 して垂直な方向(Z軸方向)である押圧方向Dに� �って、圧着ヘッド31を進退移動、すなわち昇 降動作させるための力を圧着ヘッド31に付与� ��るとともに、TCP4に当接された状態の圧着ヘ ッド31に対して本圧着のための力を付与する� ��圧駆動部である流体圧シリンダの一例の加� ��ユニット(例えば、エアシリンダ)37が備えら れている。この加圧ユニット37は、Y軸方向に てユニットフレーム33を間に挟んで圧着ヘッ� ��31と対向して配置され、ユニットフレーム33 に固定されている。すなわち、図4において� �ユニットフレーム33の図示左側に圧着ヘッド 31が配置され、ユニットフレーム33の図示右� �に加圧ユニット37が配置されている。

 また、図4に示すように、それぞれの圧着 ユニット10において、加圧ユニット37にて発� �された力を、圧着ヘッド31に機械的に伝達す るための手段として、リンク機構が採用され ている。具体的には、リンク機構は、ユニッ トフレーム33の上部先端に回動可能にそのほ� ��中央付近にて支持されたレバー38(レバー部� ��の一例)が、その図示左端にて、圧着ヘッド 31の上部と回動可能に接続され、その図示右� ��にて、加圧ユニット37の内部のピストンに� �結されたロッド37aの端部と回動可能に接続� �れることにより構成されている。なお、レ� �ー38は、大略Y軸方向に沿って配置されてお� �、その支持位置や接続位置における回動は� �YZ平面内にて行うことが可能とされている。 リンク機構がこのように構成されていること により、加圧ユニット37のロッド37aとレバー3 8との接続位置C1を「力点」とし、圧着ヘッド 31とレバー38との接続位置C2を「作用点」とし 、ユニットフレーム33によるレバー38の支持� �置C3を「支点」として、加圧ユニット37にて� ��生された力を、レバー38を介して、圧着ヘ� �ド31に伝達することが可能となっている。す なわち、加圧ユニット37にて発生されたZ軸方 向沿いに作用する力の方向を、レバー38にて� ��転させながら、レバー38を通して圧着ヘッ� �31にこの力を伝達し、圧着ヘッド31を押圧方� ��Dに沿って動作させることが可能に構成され ている。このようにユニットフレーム33の上� ��に支持されたレバー38を用いて、ユニット� �レーム33の一方の側に配置されかつ支持位置 C3より低い位置に配置された加圧ユニット37� �て発生された力を、ユニットフレーム33の他 方の側に配置されかつ支持位置C3より低い位� ��に配置された圧着ヘッド31に伝達可能な構� �が採用されていることにより、圧着ユニッ� �10全体を低くコンパクトな構造とすることが できるとともに、圧着ユニット10における荷� ��バランスを良好なものにすることができる� ��したがって、圧着ユニット10の小型化かつ� �重心化を図ることができ、X軸方向における� ��着ユニット10の移動の迅速化あるいは効率� �を図ることができる。

 また、図4に示すように、それぞれの圧着 ユニット10が備える加圧ユニット37は、圧力� �生源39に導圧管等を介して接続されており、 圧力制御部40により制御されながら所望の力( 圧力)を生成することができるように、圧縮� �気の供給量が制御される。

 また、図3及び図4に示すように、基台フ� �ーム13上には、剛体部材により形成された大 略門型形状を有する門型フレーム41がX軸方向 に沿って固定されており、この門型フレーム 41の内側に4台の圧着ユニット10が配列されて� ��る。さらに、この門型フレーム41には、支� �位置C3回りのレバー38の回動動作を、レバー3 8と当接して規制することで、圧着ヘッド31の 押圧方向D沿いの動作を規制可能なヘッド動� �規制装置42(動作速度規制装置および押圧体� �動装置の一例)が設けられている。ヘッド動� ��規制装置42は、門型フレーム41の内側にてX� �方向に延在して配置され、4台の圧着ユニッ� ��10のレバー38の接続位置C1における端部38aの� ��部と当接可能な棒状部材である1本の規制部 材43と、この規制部材43を昇降動作(押圧方向D 沿いに進退移動)させる規制部材昇降装置44と を備えている。なお、規制部材43は1本とした が、圧着ユニット10との当接による動作規制� ��悪影響がなければ、規制部材43を複数本の� �割構造としても良い。

 このような構成のヘッド動作規制装置42� �用いて、規制部材昇降装置44により下降され た規制部材43にて、レバー38の端部38aの上部� �規制部材43の下部とを当接させ、この当接状 態にて、加圧ユニット37により加圧力をレバ� ��38に伝達するとともに、規制部材昇降装置42 により規制部材43を所望の速度にて上昇させ� ��ことで、レバー38の端部38aの上昇速度を、� �記所望の速度に規制することができる。特� �、加圧ユニット37のように流体の圧力にてレ バー38を動作させるような構成では、レバー3 8の動作速度を迅速に制御することが困難で� �る。そのため、本第1実施形態では、レバー3 8の動作速度を確実に制御するために、ヘッ� �動作規制装置42を採用している。このように レバー38の動作速度を規制することで、レバ� ��38の支持位置C3回りの回動速度を規制するこ とが可能となり、その結果、圧着ヘッド31が� ��ックアップツール32へと向かう方向の動作� �度(下降速度)を高速から低速への切り替え等 を含む所定の速度に規制することができる。 なお、規制部材43はその下部においてレバー3 8の端部38aと当接される構成となっているた� �、圧着ヘッド31がバックアップツール32へと� ��かう動作が行われる場合に動作速度の規制� ��行われることになる。また、規制部材昇降� ��置42により規制部材43を上昇させて、レバー 38の端部38aから離間させることにより、レバ� ��38の動作規制を解除することができる。す� �わち、規制部材昇降装置42により規制部材43� ��、レバー38との当接位置と、レバー38から離 間された退避位置との間で進退移動させるこ とが可能となっている。これにより、レバー 38を通して圧着ヘッド31に加圧ユニット37の加 圧力が直接伝達可能となり、パネル基板1にAC F3を介して実装される部品であるTCP4への圧着 ヘッド31の当接の直後に、TCP4の圧着の為の所 望の加圧力の伝達を確実に行うことができる 。また、図3に示すように、このようなヘッ� �動作規制装置42は、それぞれの圧着ユニット 10に個別に備えられているのではなく、4台の 圧着ユニット10に共通して1台のヘッド動作規 制装置42が備えられている。このように共通� ��た1台のヘッド動作規制装置42を備えさせる� ��とにより、個々の圧着ユニット10の構成の� �素化および小型化を図ることができるとと� �に、圧着ヘッド31の動作速度を規制する規制 部材昇降装置42の規制部材43と圧着ユニット10 とを離間可能な構成とすることで、圧着ユニ ット10のX軸方向沿いの移動の迅速化等を図る ことができる。

 また、それぞれのユニット移動用モータ3 6による圧着ユニット10のX軸方向の移動位置� �情報は制御装置19に取得され、制御装置19に� ��互いに圧着ユニット10同士が干渉すること� �ないように、移動制御が行われる。また、� �ッド動作規制装置42によりそれぞれの圧着ヘ ッド31の一体的あるいは個々に独立した動作� ��度の規制、および圧力制御部40による加圧� �の制御は、制御装置19により統括的に行われ る。

 次に、このような構成の圧着ユニット10� �おける圧着動作について、図5A~図5Dに示す模 式説明図と、図6(A)~(C)に示すグラフを用いて� ��明する。なお、図6(A)は圧着ヘッドの押圧力 の変化を示すグラフであり、図6(B)は規制部� �43とレバー38との接触関係の変化を示すグラ� ��であり、図6(C)は圧着ヘッド31の高さ位置の� ��化を示すグラフである。

 まず、図5Aに示す状態(時間T1-T2)では、レ� ��ー38と規制部材43とが互いに離間された状態 (すなわち、規制部材43が退避位置に位置され た状態)にあり、さらに圧着ヘッド31は高さ位 置H1に位置されて、バックアップツール32上� �配置されたパネル基板1およびTCP4から離間さ れた状態にある(図6(A)参照)。このような状態 においては、それぞれの圧着ユニット10のX軸 方向の移動、すなわちそれぞれの圧着ユニッ ト10の配置ピッチ等の変更を行うことが可能� ��なっている。

 次に、図5Bおよび図6(C)に示すように時間T 2において、規制部材昇降装置44により下降さ れた規制部材43と、レバー38の端部38aとを当� �させる(すなわち、規制部材43を当接位置に� �置させる。図6(B)参照)。この当接とともに、 加圧ユニット37にて加圧力を発生させる。こ� ��ように加圧力が発生されてレバー38に加圧� �が伝達されても、規制部材43がレバー38と当� ��することによりレバー38の動作が規制され� �いるため、圧着ヘッド31が急激に下降される ことが確実に防止されている。

 その後、時間T2から時間T3に向けて、規制 部材昇降装置44により規制部材43が所定の速� �にて上昇されることにより、圧着ヘッド31が パネル基板1へTCP4を圧着する方向に下降され� ��。なお、このような所定の速度は、一定の� ��度である場合のみに限られるものではなく� ��例えば図6(C)から明らかなように高速から低 速への速度切り替えがなされるような場合で あってもよい。このように規制部材43が徐々� ��上昇されることにより、規制部材43に倣っ� �レバー38が回動され、その結果、圧着ヘッド 31が高さ位置H1からパネル基板1のTCP4に向かう 方向である押圧方向Dに沿って規制された速� �にて下降される(図6(C)参照)。

 やがて時間T3に達すると、図5Cに示すよう に、圧着ヘッド31が高さ位置H2にまで下降さ� �、バックアップツール32上に配置されている パネル基板1の端子部2に仮圧着されているTCP4 に圧着ヘッド31の下部先端(当接面または押圧 面)が当接する。この当接により圧着ヘッド31 の下降動作が実質的に制限される(ただし、� �圧により僅かな下降は生じる)ため、加圧ユ� ��ット37により付加されている力がTCP4に対す� ��押圧力となって生じる(図6(A)参照)。また、� ��れとともに、図5Dに示すように、所定の速� �(例えば、TCP4に圧着ヘッド31の下部先端が当� ��する前に高速から低速への速度切り替えさ� ��た後の速度)にて上昇が継続されている規制 部材43が、圧着ヘッド31の下降位置の制限に� �りその回動動作が制限されているレバー38の 端部38aから離間される(図6(B)参照)。

 時間T4に向けて、圧着ヘッド31のTCP4をパ� �ル基板1に押圧する押圧力が上昇し、やがて� ��定の押圧力Fに達し、押圧力FにてTCP4がパネ� ��基板1に押圧されて本圧着動作が行われる。 なお、この本圧着動作の際には、図示しない ヒータ(圧着ヘッド31に内蔵)により加熱が行� �れる。

 時間T4に達すると、本圧着動作が完了し� �加圧ユニット37により逆向きに圧着ヘッド31� ��動作(すなわち上昇)されて、圧着ヘッド31が TCP4より離間され、時間T5にて図5Aに示す状態� ��戻される。このような一連の動作が行われ� ��ことにより、パネル基板1へのTCP4の本圧着� �作が行われる。

 次に、本圧着装置100において、パネル基� ��1に対するTCP4の本圧着動作が行われる手順� �詳細について説明する。この説明にあたっ� �、本圧着動作の手順を示すフローチャート� �図7に示し、パネル基板1の長辺側端子部2Aに� ��して本圧着動作が行われている状態を示す� ��式説明図を図8(A)、(B)に示し、短辺側端子部 2Bに対して本圧着動作が行われている状態を� ��す模式説明図を図9(A)、(B)に示す。

 図7のフローチャートのステップS1におい� ��、本圧着装置100のパネル基板保持装置12に1� ��のパネル基板1が搬入されて、ステージ11に� ��り保持される。このパネル基板1は、図8(A)� �示すように、X軸方向沿いの端子部を長辺側� ��子部2Aとして、Y軸方向沿いの端子部を短辺� ��端子部2Bとした姿勢にてステージ11に保持さ れる。また、長辺側端子部2Aには間隔ピッチP 1にて3個のTCP4が仮圧着されており、短辺側端 子部2Bには間隔ピッチP2にて2個のTCP4が仮圧着 されている。なお、間隔ピッチP1とP2は互い� �異なっている。

 次に、この搬入されたパネル基板1の識別 情報と関連付けられて、パネル基板1の長辺� �端子部2Aにおける部品圧着位置情報(第1圧着� ��置情報)が制御装置19にて取得される(ステッ プS2)。部品圧着位置情報には、長辺側端子部 2AにおけるそれぞれのTCP4の圧着位置、その間 隔ピッチP1、さらに圧着されるTCP4の個数の情 報などが含まれている。さらにこのような情 報の中には、TCP4の種類及び熱圧着の加熱温� �や加圧力の情報が含まれるような場合であ� �てもよい。また、部品圧着位置情報の取得� �、制御装置19の外部より入力されるような場 合であってもよく、あるいは制御装置19の記� ��部等に予め記憶されており、パネル基板1の 識別情報あるいは予め選択されているパネル 基板1の生産情報に基づいて記憶部等から読� �出されるような場合であってもよい。

 制御装置19において、長辺側端子部2Aの部 品圧着位置情報が取得されると、この取得さ れた部品圧着位置情報に基づいて、それぞれ の圧着ユニット10の配置が調整される(ステッ プS3)。具体的には、部品圧着位置情報に含ま れるTCP4の個数(3個)の情報に基づいて、4台の� ��着ユニット10の中から本圧着動作のために� �用される3台の圧着ユニット10が選択される� �このとき、4台の圧着ユニット10の中央側に� �置される圧着ユニット10から順次選択される 。選択された3台の圧着ユニット10は、その配 列における略中央付近の領域である圧着動作 実施領域Q1に位置され、一方選択されなかっ� ��1台の圧着ユニット41は、圧着動作実施領域Q 1の両側において隣接する領域であるいずれ� �の退避領域Q2に位置されるように、それぞれ の圧着ユニット10が備えるユニット移動用モ� ��タ36の駆動により、それぞれの圧着ユニッ� �10がLMガイド35により案内されながら、それ� �れ独立してX軸方向沿いに移動される。この� ��うに本圧着動作を実施する3台の圧着ユニッ ト10を圧着動作実施領域Q1に位置させ、本圧� �動作を実施しない1台の圧着ユニット10を退� �領域Q2に位置させることにより、本圧着動作 を実施しない1台の圧着ユニット10とパネル基 板1との干渉を防止して、確実に本圧着動作� �実施することができる。さらに、部品圧着� �置情報に含まれるTCP4の圧着位置の間隔ピッ� ��P1及びその位置の情報に基づいて、選択さ� �た3台の圧着ユニット10の位置及び配置間隔� �、それぞれのユニット移動用モータ36の駆動 により個別に調整される。なお、このような それぞれの圧着ユニット10の移動は、規制部� ��43がレバー38より離間された状態(すなわち� �制部材43が退避位置に位置された状態)にて� �われる(図5A参照)。

 このようにそれぞれの圧着ユニット10の� �置調整、すなわち位置および配置間隔の調� �が完了すると、パネル基板保持装置12により パネル基板1の移動が行われて、選択された3� ��の圧着ユニット10におけるそれぞれのバッ� �アップステージ32上に、パネル基板1の3箇所� ��部品圧着位置が位置決めされるようにパネ� ��基板1の長辺側端子部2Aが配置される(図5A、� ��8(A)及び(B)参照)。図8(A)および(B)に示すよう� ��、退避領域Q2に位置された1台の圧着ユニッ� ��10とパネル基板1との干渉は防止されている� ��その後、図5Bに示すように、加圧ユニット37 およびヘッド動作規制装置42によりレバー38� �規制しながらのレバー38の回動動作が行われ てそれぞれの圧着ヘッド31が下降され、図5C� �示すように、圧着ヘッド31の下面である圧着 面がTCP4に当接される。さらに図5D及び図6に� �すように、加圧ユニット37により所定の加圧 力がTCP4に対して付加されることで、パネル� �板1の長辺側端子部2Aにおける3箇所の部品圧� ��位置において、ACFシート3を介して3個のTCP4� ��本圧着されて実装される(ステップS4)。その 後、それぞれの加圧ユニット37によりそれぞ� ��の圧着ヘッド31が上昇され、図5Aに示すよう な状態となる。

 なお、上述の説明では、バックアップス� ��ージ32が固定式である場合についての本圧� �動作について説明したが、図22Aおよび図22B� �示すように、バックアップステージ32が可動 式であって昇降可能な構成が採用される場合 であってもよい。このような構成が採用され る場合には、バックアップステージ32の上方� ��パネル基板1の長辺側端子部2Aを配置した後� ��このパネル1基板の長辺側端子部2Aに近づく� ��向に圧着ヘッド31を動作させるとともに、� �ックアップステージ昇降部73によりバックア ップステージ32をパネル1基板の長辺側端子部 2Aに近づく方向に動作させて、TCP4をパネル基 板1に圧着することができる。この時、圧着� �作を行わない圧着ユニット10については、パ ネル基板1の支持高さ位置である圧着高さ位� �よりも下方の位置である昇降の下降位置(支� ��解除高さ位置)にバックアップステージ32を� ��置させることで、圧着動作を行わない圧着� ��ニット10とTCP4およびパネル基板1との干渉を 防止することができる。そのため、例えば、 圧着動作を行わない圧着ユニット10を退避領� ��Q2ではなく圧着動作実施領域Q1に位置させる ような場合であっても、この圧着ユニット10� ��パネル基板1との干渉を防止することが可能 となる。

 次に、長辺側端子部2Aに対する本圧着動� �が完了すると、パネル基板保持装置12により パネル基板1がそれぞれのバックアップステ� �ジ32から離間されるように移動され、保持さ れているパネル基板1がXY平面内においてθ回� ��移動されて、パネル基板1の短辺側端子部2B� ��X軸方向沿いとなるような姿勢とされる(ス� �ップS5)。

 次に、制御装置19において、パネル基板1� ��短辺側端子部2Bにおける部品圧着位置情報(� ��2圧着位置情報)が取得される(ステップS6)。� ��の部品圧着位置情報には、短辺側端子部2B� �おけるそれぞれのTCP4の圧着位置、その間隔� ��ッチP2、さらに圧着されるTCP4の個数(2個)の� ��報などが含まれている。なお、本第1実施形 態の手順の例としては、長辺側端子部2Aの部� ��圧着位置情報と、短辺側端子部2Bの部品圧� �位置情報とが別々に取得されるような場合� �ついて説明するが、このような場合に代え� �、両情報が同時に取得されるような場合で� �ってもよい。

 次に、この取得された部品圧着位置情報� ��基づいて、図9(A)および(B)に示すように、短 辺側端子部2Bの部品圧着位置情報に対応して� ��それぞれの圧着ユニット10の配置が調整さ� �る(ステップS7)。具体的には、部品圧着位置� ��報に含まれるTCP4の個数(2個)の情報に基づい て、4台の圧着ユニット10の中から本圧着動作 のために使用される2台の圧着ユニット10とし て、4台の圧着ユニット41の中央に位置される 2台の圧着ユニット10が選択される。選択され た2台の圧着ユニット10は、圧着動作実施領域 Q1に位置され、一方選択されなかった両側の2 台の圧着ユニット10は、それぞれの退避領域Q 2に1台ずつ位置されるように、それぞれのユ� ��ット移動用モータ36の駆動により、それぞ� �の圧着ユニット10がLMガイド35により案内さ� �ながら、X軸方向沿いに移動される。さらに� ��部品圧着位置情報に含まれるTCP4の圧着位置 の間隔ピッチP2及びその位置の情報に基づい� ��、選択された2台の圧着ユニット10の位置及� ��配置間隔が、それぞれのユニット移動用モ� ��タ36の駆動により調整される。なお、この� �うなそれぞれの圧着ユニット10の移動は、規 制部材43がレバー38より離間された状態にて� �われる(図5A参照)。

 それぞれの圧着ユニット10の配置調整が� �了すると、パネル基板保持装置12によりパネ ル基板1の移動が行われて、選択された2台の� ��着ユニット10におけるそれぞれのバックア� �プステージ32上に、2箇所の部品圧着位置が� �置決めされるようにパネル基板1の短辺側端� ��部2Bが配置される。ここで、図9(A)及び(B)は� ��バックアップステージ32上にパネル基板1の� ��辺側端子部2Bが配置されている状態を示す� �図9(A)及び(B)に示すように、退避領域Q2に位� �された42の圧着ユニット10とパネル基板1との 干渉は防止されている。その後、加圧ユニッ ト37およびヘッド動作規制装置42によりレバ� �38を介してそれぞれの圧着ヘッド31が、規制� ��れた動作速度にて下降され、圧着ヘッド31� �下面である圧着面がTCP4に当接される。さら� ��加圧ユニット37により所定の加圧力がTCP4に� ��して付加されることで、パネル基板1の短辺 側端子部2Bにおける2箇所の部品圧着位置にお いて、ACFシート3を介して2個のTCP4が本圧着さ れて実装される(ステップS8)。その後、加圧� �ニット37によりそれぞれの圧着ヘッド31が上� ��される。

 なお、長辺側端子部2Aに対する本圧着動� �と同様に、短辺側端子部2Bに対する本圧着動 作についても、図22Aおよび図22Bに示すように 、バックアップステージ32が可動式として昇� ��可能な構成が採用される場合であってもよ� ��。この場合には、バックアップステージ32� �上方にパネル基板1の短辺側端子部2Bを配置� �た後、このパネル1基板の短辺側端子部2Bに� �づく方向に、圧着ヘッド31及びバックアップ ステージ32を動作させて、TCP4をパネル基板1� �圧着することができる。この時、圧着動作� �行わない圧着ユニット10については、圧着位 置(支持高さ位置)よりも下方の位置である昇� ��の下降位置(支持解除高さ位置あるいは退避 高さ位置)にバックアップステージ32を位置さ せることで、圧着動作を行わない圧着ユニッ ト10とTCP4及びパネル基板1との干渉を防止す� �ことができる。

 短辺側端子部2Bに対する本圧着動作が完� �すると、パネル基板保持装置12によりパネル 基板1がそれぞれのバックアップステージ32か ら離間されるように移動されて、本圧着装置 100からパネル基板1が搬出される(ステップS9)� ��

 本第1実施形態によれば、本圧着装置100に おいて、パネル基板1の端子部2にTCP4を本圧着 する圧着ヘッド31と、その本圧着の際にパネ� ��基板1の端子部2を支持するバックアップス� �ージ32とを備える一列に配置された複数の圧 着ユニット10と、複数の圧着ユニット10に個� �に備えられ、X軸方向沿いに圧着ユニット10� �平行移動させて圧着ユニット10の配置を変更 させる複数のユニット移動用モータ36とが備� ��られていることにより、パネル基板1の部品 圧着位置情報、すなわち端子部2における複� �の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、� �れぞれのユニット移動用モータ36によりそれ ぞれの圧着ユニット10を個別に平行移動させ� ��、圧着ユニット10の配置を部品圧着位置の� �置と合致させることができる。したがって� �パネル基板1の仕様に応じて異なる部品圧着� ��置に対応した本圧着動作を効率的に実施す� ��ことができる。

 また、パネル基板1において、長辺側端子 部2Aと短辺側端子部2Bとで、TCP4の圧着位置、� ��隔ピッチ、及び圧着されるTCP4の個数が異な るような場合であっても、長辺側端子部2Aの� ��品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着� ��ニット10の配置調整を行った後、長辺側端� �部2Aに対する本圧着動作を実施し、その後、 短辺側端子部2Bの部品圧着位置情報に基づい� ��それぞれの圧着ユニット10の配置調整を行� �た後、短辺側端子部2Bに対する本圧着動作を 実施することで、それぞれの端子部2A、2Bの� �様に応じた部品圧着を確実かつ効率的に実� �することができる。そのため、長辺側用の� �着ユニット及び短辺側用の圧着ユニットと� �てそれぞれ専用の圧着ユニットを備えなく� �も、1台の本圧着装置100により長辺側端子部2 A及び短辺側端子部2Bのそれぞれの圧着位置に 応じた圧着ピッチに合わせるようにそれぞれ の圧着ユニットの位置に迅速に切り替えを行 い、パネル基板への部品圧着を効率的に行う ことができる。

 また、それぞれの圧着ユニット10におい� �、ユニット移動用モータ36が個別に備えられ ていることにより、このようなそれぞれの圧 着ユニット10の配置調整を迅速かつ効率的に� ��うことができる。

 また、それぞれの圧着ユニット10におい� �、押圧方向D沿いの圧着ヘッド31の進退移動� �よび押圧動作は、加圧ユニット37にて発生さ れた力を、リンク機構を介して圧着ヘッド31� ��伝達することにより行われる。このような� ��ンク機構としては、ユニットフレーム33に� �動可能に支持されたレバー38を用いて、加圧 ユニット37からレバー38の一端に付加された� �を、テコの原理を用いてレバー38の他端に接 続された圧着ヘッド31に伝達することにより� ��われる。さらに、加圧ユニット37にて発生� �れた力により、圧着ヘッド31の急激な移動を 防止するために、レバー38の端部38aと規制部� ��43とを当接させて、規制部材昇降装置44によ る規制部材43の移動速度に圧着ヘッド31の動� �速度を倣わすような構成が採用されている� �そのため、圧着ヘッド31の動作(下降動作)を� ��実に制御しながらTCP4に当接させることがで き、適切な押圧力にて本圧着動作を行うこと ができる。

 さらに、このようなヘッド動作規制装置4 2を複数の圧着ユニット10にて共通の装置とし て備えさせていることにより、それぞれの圧 着ユニット10の小型化および構造の簡素化を� ��ることができ、圧着ユニット10の配置変更� �容易かつ迅速に行うことができる。特に、� �着ヘッド31を動作させる力を発生する手段と して、電動モータ等ではなく、流体圧シリン ダ(加圧ユニット37)を採用することにより、� �々の圧着ユニット10をコンパクトな構造とす ることができる。さらに、このような流体圧 シリンダの動作を制御(規制)する装置をそれ� ��れの圧着ユニットに個別に備えさせるので� ��なく、共通の1台の装置と備えさせることに より、それぞれの圧着ユニット10をさらにコ� ��パクトな構造として、その軽量化を図るこ� ��ができる。したがって、ユニット移動用モ� ��タ36による移動性を良好なものとすること� �できる。

 また、4台の圧着ヘッド31のうちの複数の� ��着ヘッド31が選択される場合には、中央側� �位置される圧着ヘッド31から順次選択される ようにすることで、このような共通のヘッド 動作規制装置42による動作速度の規制が行わ� ��ながら、TCP4の圧着動作が行われる際に、ヘ ッド動作規制装置42の構造に対する荷重バラ� ��スを良好なものとすることができ、パネル� ��板1に対するTCP4の圧着品質をより安定させ� �ことができる。

 また、各圧着ユニット10において、圧着� �ッド31とバックアップステージ32とが一対と� ��れ、互いの配置関係が保たれた状態にてそ� ��ぞれの圧着ユニット10の配置調整のための� �動が行われるような構成が採用されている� �とにより、どのような位置に移動されても� �着ヘッド31の圧着面(あるいは押圧面)とバッ� ��アップステージ32のパネル基板1の支持面と� ��平行度(平行関係)を一定に保つことができ� �。したがって、本圧着工程における圧着精� �(実装精度)を向上させることができる。

 また、パネル基板1に対する本圧着動作が 行われる選択された圧着ユニット10を圧着動� ��実施領域Q1に位置させて、本圧着動作を行� �ない選択されなかった圧着ユニット10を退避 領域Q2に位置させるようにして、本圧着動作� ��実施する際に、圧着動作実施領域Q1に位置� �れているバックアップステージ32のみにより 端子部2の支持を行わせることができる。例� �ば、図10に示すように、パネル基板1の両端� �においてたわみWが生じているような場合に� ��っては、このようなたわみが生じている両� ��部近傍をバックアップステージ32により支� �してしまうと、中央付近の端子部において� �ックアップステージ32よりの浮き上がりが生 じる恐れがある。このような浮き上がりを確 実に防止するために、図10に示すように部品� ��着位置が位置されている中央部付近のみを� ��持させることで、本圧着動作をより確実に� ��施することができる。なお、バックアップ� ��テージ32が可動式として昇降可能な構成で� �るような場合には、バックアップステージ32 をパネル基板1から離間する方向、すなわち� �方に位置(下降位置あるいは支持解除高さ位� ��)に移動させるようにして、本圧着動作を実 施する際に、圧着動作を行う圧着ユニット10� ��バックアップステージ32のみにより端子部2� ��支持を行わせて、同様の効果を得ることが� ��きる。

 (第2実施形態)
 なお、本発明は上記実施形態に限定される� ��のではなく、その他種々の態様で実施でき� ��。例えば、本発明の第2の実施形態にかかる 本圧着装置及び方法について以下に説明する 。

 上記第1実施形態の本圧着装置100では、パ ネル基板1がほぼ水平方向沿いの姿勢にてそ� �搬送や本圧着動作が行われている。ここで� �このような上記第1実施形態のパネル基板1の 搬送方法を「水平搬送」と呼ぶものとする。 この水平搬送が行われる場合、図11の模式図� ��示すように、仮圧着工程にてパネル基板1の 端子部2に仮圧着された状態のTCP4の端部が、� ��のフレキシブル性により下方に向けて垂れ� ��がることになる。このようなTCP4の垂れ下が りを防止して確実な本圧着動作を行うために は、例えば、ステージ11やバックアップステ� ��ジ32等に、TCP4の外方端部を支持するための� ��持部材を補助的に装備させるなどの対応が� ��要となる。また、近年、益々パネル基板の� ��型化の傾向が顕著となりつつあり、このよ� ��なアウターリードボンディング工程が行わ� ��る各装置において、パネル基板1のθ回転領� ��を確保するために、平面的な装置サイズの� ��型化を避けることは難しいという実情が存� ��する。

 このような水平搬送の課題を改良すべく� ��本第2実施形態では、パネル基板1を垂直方� �、すなわちXZ平面沿いに配置して、その搬送 や本圧着動作などを行う構成(以降、「縦型� �送」とする。)が採用されている。図12に示� �ように、縦型搬送を採用することにより、� �ネル基板1に仮圧着されたTCP4に垂れ下がり等 の現象が生じないようにすることができる。

 このような本第2実施形態の縦型搬送が採 用されたアウターリードボンディング工程の 手順を示す説明図を図13に示す。図13に示す� �うに、部品実装工程を行う装置に搬入され� �パネル基板1に対して、まず、ACF貼り付け工� ��S500にて、それぞれの端子部2の端子電極2aに 接合部材としてACFシート3の貼り付けを行い� �その後、部品仮圧着工程S600にて、ACFシート3 を介してTCP4をそれぞれの端子電極2aに仮圧着 し、さらにその後、本圧着工程S700にて、仮� �着された状態のそれぞれのTCP4をさらに圧着� ��て実装する。なお、この本圧着工程S700は、 パネル基板1の長辺側端子部に対する本圧着� �程S710と、パネル基板1の短辺側端子部に対す る本圧着工程S720とに分けて行われる。各工� �において、パネル基板1が縦型の姿勢にてそ� ��搬送および所定の動作が施される点を除い� ��は、基本的に上記第1実施形態の水平搬送の アウターリードボンディング工程と同様であ る。

 次に、本第2実施形態の縦型搬送のアウタ ーリードボンディング工程の本圧着工程を行 う本圧着装置200の構成について、圧着ユニッ ト210および関連する構成を中心として説明す る。図14A~図14Dは、本圧着動作を説明するた� �の圧着ユニット210の模式図であり、ぞれぞ� �の図は、上記第1実施形態の図5A~図5Dに対応� �る状態の図である。また、以降の説明にお� �ては、その機能および構成が上記第1実施形� ��の圧着ユニット10と実質的に同じ構成部材� �は、同じ参照符号を付すことでその説明を� �略するものとする。

 本圧着装置200においては、複数の圧着ユ� ��ット210として、例えば4台の圧着ユニット210 がX軸方向に沿って一列に配列して備えられ� �いる。図14Aに示すように、圧着ユニット210� �、その押圧方向DがY軸方向となるように圧着 ユニット210の配置が、上記第1実施形態と比� �てパネル基板1の搬送方向に対して直交する� ��向に90度回転されて実質的に水平面上に配� �されている点を除いては、実質的に上記第1� ��施形態の圧着ユニット10と同じ構成を有し� �いる。

 具体的には、図14Aに示すように、各圧着� ��ニット210は、圧着ヘッド31と、バックアッ� �ステージ32を備えており、バックアップステ ージ32は、剛体にて形成された大略L字状の断 面を有する柱状体であるユニットフレーム33� ��上部側面に固定されており、圧着ヘッド31� �Y軸方向に配置されたLMガイド34を介してその 移動動作を案内可能にユニットフレーム33の� ��面に取り付けられている。また、本圧着装� ��200の基台フレーム13上には、大略L字状の断� ��を有する支持フレーム221が固定されている� ��この支持フレーム221の内側上面および側面� ��それぞれの2本ずつのLMガイド35がX軸方向に� ��って延在して配置されており、それぞれのL Mガイド35を介して、4台の圧着ユニット210の� �ニットフレーム33がX軸方向の進退移動可能� �基台フレーム13に支持されている。また、図 14Aに示すように、各圧着ユニット210のユニッ トフレーム33の図示右側下部には、圧着ユニ� ��ト210のX軸方向沿いの進退移動を駆動するユ ニット移動用モータ36が備えられている。す� ��わち、4台の圧着ユニット210は、個別に圧着 ヘッド31とバックアップステージ32とを備え� �とともに、個別に備えられたユニット移動� �モータ36が駆動されることにより、4本のLMガ イド35に沿ってX軸方向沿いに案内されながら 、それぞれ独立して進退移動することが可能 に構成されている。

 また、図14Aに示すように、各圧着ヘッド3 1は、ほぼ垂直に配置されるパネル基板1に対� ��て垂直な方向(Y軸方向)である押圧方向Dに沿 って、圧着ヘッド31を進退移動、すなわち水� ��移動動作させるための力を圧着ヘッド31に� �与するとともに、TCP4に当接された状態の圧� ��ヘッド31に対して本圧着のための力を付与� �る加圧ユニット37が備えられている。図14Aに おいて、ユニットフレーム33の図示上方側に� ��着ヘッド31が配置され、ユニットフレーム33 の図示下方側に加圧ユニット37が配置されて� ��る。

 また、図14Aに示すように、それぞれの圧� ��ユニット210において、加圧ユニット37にて� �生された力を、圧着ヘッド31に機械的に伝達 するための手段として、リンク機構が採用さ れている。リンク機構は、上記第1実施形態� �同様にユニットフレーム33の図示左側端部に 回動可能にそのほぼ中央付近にて支持された レバー38が、その図示上端にて、圧着ヘッド3 1の左側端部と回動可能に接続され、その図� �下端にて、加圧ユニット37の内部のピストン に連結されたロッド37aの端部と回動可能に接 続されることにより構成されている。なお、 レバー38は、大略Z軸方向に沿って配置されて おり、その支持位置や接続位置における回動 は、YZ平面内にて行うことが可能とされてい� ��。

 また、図14Aに示すように、支持フレーム2 21には、剛体部材により形成された大略門型� ��状を有する門型フレーム41がXY平面に沿って 配置された状態で固定されており、この門型 フレーム41の内側に4台の圧着ユニット210が配 列されている。さらに、この門型フレーム41� ��は、門型フレーム41の内側にてX軸方向に延� ��して配置され、4台の圧着ユニット210のレバ ー38の端部38aの図示左側端部と当接可能な規� ��部材43と、この規制部材43をY軸方向に沿っ� �移動させる規制部材昇降装置44とを備えるヘ ッド動作規制装置42が設けられている。

 このような構成の本第2実施形態の本圧着 装置200において、図14Aに示すように、バック アップステージ32に接するようにパネル基板� ��配置し、その後、図14Bに示すように、規制� ��材43によりレバー38の回動を規制しながら、 加圧ユニット37にて加圧力を生じさせて、レ� ��ー38を介して圧着ヘッド31を押圧方向D、す� �わちパネル基板1に部品であるTCP4を圧着する 方向であるY軸方向沿いにバックアップステ� �ジ32に向かうように動作させる。やがて、図 14Cに示すように、圧着ヘッド31がパネル基板1 に仮圧着されたTCP4に当接し、圧着ヘッド31が TCP4を押圧してパネル基板1への本圧着動作が� ��われる。それとともに、図14Dに示すように� ��規制部材43はレバー38から離間されて、動作 速度の規制が解除され、加圧ユニット37の加� ��力がレバー38を介して圧着ヘッド31を所定の 押圧力にてパネル基板1へTCP4を押圧する。そ� ��後、本圧着動作が完了すると、加圧ユニッ� ��37により圧着ヘッド31がTCP4から離間する方� �に動作される。また、それぞれの圧着ユニ� �ト210のX軸方向沿いの移動、すなわち配置ピ� ��チの変更は、図14Aに示すように、規制部材4 3が、それぞれのレバー38から離間された状態 にて行われる。

 上記第2実施形態のように、パネル基板1� �縦型搬送が行われるような構成が採用され� �場合であっても、それぞれの圧着ユニット21 0をY軸方向に寝かした状態、すなわち、それ� ��れの圧着ヘッド31の押圧方向DがY軸方向に配 置されるように、それぞれの圧着ユニット210 を配置させることにより、縦型搬送の利点を 得ながら上記第1実施形態と同様な効果を得� �ことができる本圧着装置200を実現すること� �できる。特に、このような縦型搬送が採用� �れる場合には、Y軸方向における装置幅は装� ��構成部材の大きさ(幅)により決定されるこ� �になるが、パネル基板1の縦型搬送に伴い、� ��に大型のパネル基板の搬送方向に直交する� ��平方向の装置幅が小さくなり、またそれぞ� ��の圧着ユニット210の小型化および構成の簡� ��化を図ることにより、さらにパネル基板の� ��送方向に直交する水平方向の装置幅の小型� ��を実現することができる。

 (変形例)
 次に、上記第1及び第2実施形態の本圧着装� �の様々な変形例について図面を用いて説明� �る。なお、以降の説明において、上記第1及� ��第2実施形態の本圧着装置が有する構成要素 と実質的に同一の構成要素には、同じ参照符 号を付してその説明を省略する。

 上記第1実施形態では、ヘッド動作規制装 置42を支持するための構造として、門型フレ� ��ム41を採用したが、このような門型フレー� �41に代えて、図15および図16の本圧着装置300� �模式図に示すように、それぞれの圧着ユニ� �ト10のY軸方向後方側に配置された支持フレ� �ム351を用いることもできる。

 このような支持フレーム351を用いた構成� ��採用することにより、それぞれの圧着ユニ� ��ト10の配列方向に支持フレーム351が配置さ� �ない構成とすることができる。したがって� �それぞれの圧着ユニット10の移動範囲に制約 を無くすことができ、配置ピッチ変更のため の移動の自由度を高めることができる。また 、支持フレーム351を支持する基台フレーム13� ��、支持フレーム351をX軸方向に進退移動させ る移載軸(すなわち移動装置)とするような場� ��(図示せず)には、支持フレーム351とともに� �れぞれの圧着ユニット10を一体的にX軸方向� �移動させることで、X軸方向におけるそれぞ� ��の圧着ユニット10の実質的な移動範囲の拡� �を行い、パネル基板1の搬送方向であるX軸方 向に、特に支持フレーム351のX軸方向の幅を� �えて大型化されたパネル基板1に対する部品� ��圧着作業に、支持フレーム351の大型化対応� ��することなく、対応することが可能となる� ��また、このような支持フレームと基台フレ� ��ムとの相対的な進退移動の構成は、水平搬� ��の本圧着装置だけでなく、縦型搬送の本圧� ��装置にも適用することができる。

 これに対して、門型フレーム41を用いた� �成では、規制部材43を通じて門型フレーム41� ��外力(レバー38の動作速度規制により生じる� ��)が付与されても、比較的フレームに反り等 が発生し難く、より精確にレバー38の動作速� ��を規制することができる。

 また、このように、門型フレームではな� ��、支持フレームにヘッド動作規制装置を固� ��するような構成は、上記第2実施形態のよう に縦型搬送を採用する本圧着装置にも適用す ることができる。

 具体的には、図17の本圧着装置400の模式� �に示すように、支持フレーム441をY軸方向に� ��在させて、ヘッド動作規制装置42を支持さ� �るような構成を採用することができる。

 また、図18の本圧着装置500の模式図に示� �ように、支持フレーム541上に配置された2本� ��LMガイド35のみにより、それぞれの圧着ユニ ット210のX軸方向の移動が案内されるような� �成を採用することもできる。特に、圧着ユ� �ット210が小型であり軽量化が図られている� �うな場合には、このような構成に対応する� �とが可能である。

 また、上記第1および第2実施形態の本圧� �装置では、加圧ユニットにて生じた加圧力� �、レバー38を用いたリンク機構を用いて、ユ ニットフレームを挟んで反対側に配置されて いる圧着ヘッドに伝達するような構成につい て説明したが、本発明はこのような構成のみ に限定されるものではない。このような構成 に代えて、例えば、図19の本圧着装置600の模� ��図に示すような構成を採用することができ� ��。

 具体的には、図19に示すように、本圧着� �置600において、圧着ヘッド631の押圧方向D沿� ��の動作軸(昇降軸)と同軸上に加圧ユニット62 7を配置し、加圧ユニット627のピストン627bに� ��結された下方側ロッド627aを直接的に圧着ヘ ッド631に接続する。さらに、ピストン627bに� �結された上方側ロッド627cの上端部に形成さ� ��た係合部627dの下部を、規制部材643の上部に 係合可能とすることで、ヘッド動作規制装置 642の規制部材昇降装置644により圧着ヘッド631 の動作速度を規制可能としている。

 このような同軸上における圧着ヘッド631� ��動作速度の規制を行う構成では、同軸上に� ��規制のための力が作用することとなり、力� ��上のバランスを良好なものとすることがで� ��る。一方、上記第1実施形態のように、レバ ー38を用いたような構成を採用すれば、圧着� ��ニットの高さを低く抑えることができ、装� ��の小型化や低重心化を図ることができ、そ� ��ぞれの圧着ユニットの移動を迅速かつ容易� ��行うことができるという利点がある。なお� ��図19の本圧着装置600では、門型フレーム641� �採用されており、図20に示す本圧着装置700で は、支持フレーム741が採用されている。

 また、図19に示す規制部材643と上方側ロ� �ド627cの係合部627dとの係合関係は、その他様 々な構成を適用することができ、例えば、図 21の本圧着装置800の模式図に示すように、上� ��側ロッド827cの端部が貫通さるように形成さ れ、その内部にて係合部827dと同軸上にて係� �されるような規制部材843を有するヘッド動� �規制装置842を採用することもできる。この� �うな構成では、規制部材843の規制位置も含� �て門型フレーム641の上部梁の面内で圧着ヘ� �ド631の動作速度および位置による反力を受� �ることができ、ほぼ完全に同軸上のみにお� �て力を作用させることができるため、力学� �バランスをさらに良好にすることができる� �

 (第3実施形態)
 次に、本発明の第3の実施形態にかかる部品 圧着装置および部品圧着方法について説明す る。まず、このような本第3実施形態の部品� �着装置および方法が用いられるアウターリ� �ドボンディング工程について、アウターリ� �ドボンディング工程を行う部品実装装置の� �例である部品実装ライン100の構成を示す模� �平面図を図23に示す。

 図23に示すように部品実装ライン300は、� �ネル基板1に対してACF貼り付け工程を行うACF� ��り付け装置320と、ACFシート3が貼り付けられ た状態のパネル基板1に対してTCP4等の部品の� ��品仮圧着工程を行う部品仮圧着装置330と、� ��ネル基板1の長辺側及び短辺側の端子部2に� �圧着されたTCP4を本圧着して実装する本圧着� ��程(本第3実施形態の部品圧着工程の一例で� �る)を行う本圧着装置(本第3実施形態の部品� �着装置の一例である)340と、それぞれの装置� ��のパネル基板1の搬送を行う基板搬送装置350 とを備えている。なお、それぞれの装置には 、パネル基板1を保持する2つのステージを有� ��るパネル基板保持装置が備えられており、� ��め設定されたサイズ以下のパネル基板1を2� �同時に保持した状態にて、それぞれの工程� �実施することが可能となっている。また、� �め設定されたサイズを超えるパネル基板1に� ��しては、例えば2つのステージのうちの一方 のステージにより1つのパネル基板1を保持し� ��状態にて、それぞれの工程を実施すること� ��可能となっている。

 ACF貼り付け装置320は、テープ供給部321よ� ��テープ回収部322へ送り出されるテープ状のA CFシート3を所定の長さに切断してパネル基板 1の端子部2に貼り付ける2台の圧着ユニット323 と、基板搬送装置350より搬送されるパネル基 板1が移載されるとともにその保持を行い、� �持されたパネル基板1の端子部2と圧着ユニッ ト323との位置決めを行う基板保持装置の一例 であるパネル基板保持装置324を備えている。 パネル基板保持装置324は、パネル基板1を保� �する2つのステージ324a及び324bを備えており� �それぞれのステージ324a及び324bに保持された パネル基板1を図示X軸方向又はY軸方向に移動 させる機能(XY移動機能)と、X軸方向及びY軸方 向を含む平面(水平平面)内においてパネル基� ��1を回転させる機能(θ回転機能)と、Z軸方向� ��パネル基板1を昇降させる機能(昇降機能)と� ��有しており、このような機能によりパネル� ��板1の長辺側及び短辺側の端子部2をそれぞ� �の圧着ユニット323と位置合わせすることが� �能となっている。また、ACF貼り付け装置320� �は、このような位置合わせを行うために、� �ネル基板1の端子部2の位置を認識する2台の� �識カメラ326が備えられている。また、それ� �れの圧着ユニット323によるACF貼付動作は、� �ネル基板1の端子部2がその下方側からバック アップツール325により支持されて行われる。 なお、図23において、X軸方向とY軸方向はパ� �ル基板1の大略表面沿いの方向となっており� ��パネル基板1の搬送方向がX軸方向であり、X� ��方向に直交する方向がY軸方向であり、図示 鉛直方向がZ軸方向となっている。

 部品仮圧着装置330は、カセット内に収容� ��れた状態の複数のTCP4を供給するTCP供給カセ ット部(図示しない)と、TCP供給カセット部か� ��供給されるTCP4を、ACFシート3を介してそれ� �れの端子電極2aに仮圧着する複数の仮圧着ヘ ッド(実装ヘッドあるいは押圧体の一例)332と� ��パネル基板1が移載されるとともにその保持 を行う2つのステージ333a及び333bと、それぞれ のステージ333a及び333bに保持されたパネル基� ��1の端子部2と仮圧着ヘッド332との位置決め� �行うパネル基板保持装置333とを備えている� �部品仮圧着装置330には、仮圧着ヘッド332が4� ��備えられており、それぞれの仮圧着ヘッド3 32が回転可能に同心円上に均等に配置され、� ��周上における図23の上方の位置であるTCP供� �位置と、下方の位置である仮圧着位置とに� �次それぞれの仮圧着ヘッド332が配置される� �うないわゆるロータリー方式が採用されて� �る。また、部品仮圧着装置330には、パネル� �板1の端子部2及び仮圧着ヘッド332に吸着保持 されたTCP4の位置を認識するための2台の認識� ��メラ334と、TCP供給位置において仮圧着ヘッ� ��332に吸着保持されるTCP4の保持姿勢を認識す るためのプリセンタカメラ336とがさらに備え られている。なお、パネル基板保持装置333は 、XY移動機能、θ回転機能、及び昇降機能を� �している。また、それぞれの仮圧着ヘッド33 2による部品仮圧着動作は、パネル基板1の端� ��部2がその下方側からバックアップツール335 により支持された状態で行われる。

 本圧着装置340は、パネル基板1の長辺側及 び短辺側の端子部2にACFシート3を介して仮圧� ��された状態のTCP4を押圧しながら加熱するこ とで、ACFシート3を介してそれぞれの端子電� �2aにTCP4を本圧着、すなわち熱圧着(実装)する 複数の圧着ユニット341と、移載されるパネル 基板1を保持する2つのステージ343a及び343bと� �それぞれのステージ343a及び343bに保持された パネル基板1の端子部2に仮圧着されたそれぞ� ��のTCP4とそれぞれの圧着ユニット341との位置 合わせを行うパネル基板保持装置343を備えて いる。なお、パネル基板保持装置343は、XY移� ��機能、θ回転機能、及び昇降機能を有して� �る。また、このような位置合わせを行うた� �に、2枚のパネル基板1のそれぞれの位置の認 識を行う2台の認識カメラ344が備えられてい� �。なお、圧着ユニット341を含む本圧着装置34 0の詳細な構成については後述するものとす� �。

 基板搬送装置350は、パネル基板1の下面を 真空吸着手段(図示しない)により解除可能に� ��着保持するパネル保持部351と、パネル保持� ��351の昇降動作を行う昇降部(図示しない)と� �パネル保持部351及び昇降部を図示X軸方向に� ��って移動させることで、パネル基板1の各装 置間の搬送を行う移動装置353とを備えている 。また、基板搬送装置350において、パネル保 持部351は、それぞれの工程間、すなわちそれ ぞれの装置間に個別に配置されており、装置 間におけるパネル基板1の受け渡しのための� �送を、互いに独立して行うことが可能とな� �ている。なお、本第3実施形態においては、� ��ネル保持部351が真空吸着手段によりパネル� ��板1の保持を行うような場合を例として説明 するが、このような場合に代えて、機械的な チャック手段を有するパネル保持部によりパ ネル基板1が保持されるような場合であって� �よい。

 また、部品実装ライン300には、それぞれ� ��装置320、330、340、及び350の動作制御を互い� ��動作と関連付けながら統括的に行う制御装� ��319が備えられている。この制御装置319によ� ��、各々の装置における個別的な動作制御が� ��われながら、上流側の装置から下流側の装� ��へと順次パネル基板1の搬送制御が行われて 、複数のパネル基板1に対する部品実装動作� �行われる。なお、制御装置319の制御方式と� �ては、集中制御方式が採用される場合であ� �てよく、あるいは、各々の装置に個別に備� �られ、互いの装置間でパネル基板1の搬送制� ��信号のやり取りを行うような制御方式が採� ��されるような場合であってもよい。

 次に、このような構成を有する部品実装� ��イン300における部品実装動作について説明� ��る。なお、以降に説明するそれぞれの動作� ��、制御装置319により制御されて行われる。

 まず、パネル基板1が図23に示す部品実装� ��イン300に搬入される。搬入されたパネル基� ��1は、基板搬送装置350のパネル保持部351によ り保持され、その保持状態にて移動装置353に より図示X軸方向に搬送されて、ACF貼り付け� �置320のパネル基板保持装置324上に載置され� �。パネル基板保持装置324において載置され� �パネル基板1の下面が吸着保持されると、基� ��搬送装置350のパネル保持部351による吸着保� ��が解除される。

 次に、パネル基板保持装置324により保持� ��れたパネル基板1のXY移動が行われて、長辺� ��の端子部2と圧着ユニット323との位置合わせ が行われ、その後、圧着ユニット323によりACF シート3が長辺側の端子部2に貼り付けられる( ACF貼り付け工程)。なお、この位置決めされ� �状態においては、長辺側端子部2はその下面� ��よりバックアップツール325により直接支持� ��れた状態とされているため、ACFシート3の確 実な貼り付け動作を行うことができる。その 後、パネル基板保持装置324によるそれぞれの ステージ324a、324bのθ回転が行われて、短辺� �の端子部2と圧着ユニット323との位置合わせ� ��行われて、圧着ユニット323によりACFシート3 が短辺側の端子部2に貼り付けられる。ACF貼� �付け工程が完了すると、基板搬送装置350の� �ネル保持部351がパネル基板1の下面を吸着保� ��するとともに、パネル基板保持装置324によ� ��吸着保持が解除されて、パネル基板1が基板 搬送装置350に受け渡される。その後、基板搬 送装置350により、ACFシート3が貼り付けられ� �状態のパネル基板1が部品仮圧着装置330へ搬� ��される。

 基板仮圧着装置330においては、基板搬送� ��置350により搬送されたパネル基板1が、パネ ル基板保持装置333のそれぞれのステージ333a� �333b上に載置されて受け渡される。一方、TCP� ��給位置に位置されている仮圧着ヘッド332にT CP4が供給されて、TCP4が仮圧着ヘッド332に吸� �保持された状態とされる。その後、それぞ� �の仮圧着ヘッド332の回転移動が行われ、TCP4� ��吸着保持した仮圧着ヘッド332が仮圧着位置� ��位置される。それとともに、パネル基板保� ��装置333によりパネル基板1の各種移動が行わ れることにより、長辺側の端子部2の一の端� �電極2aと仮圧着ヘッド332との位置合わせが行 われ、その後、仮圧着ヘッド332が下降される ことにより、TCP4がACFシート3を介して端子電� ��2aに仮圧着される。同様な動作が順次繰り� �されて、それぞれの端子電極2aにTCP4が仮圧� �される(部品仮圧着工程)。長辺側の端子部2� �対するTCP4の仮圧着が完了すると、パネル基� ��保持装置333によりパネル基板1のθ回転が行� ��れ、短辺側の端子部2と仮圧着ヘッド332との 位置合わせが行われ、短辺側の端子部2のそ� �ぞれの端子電極2aへのTCP4の仮圧着が順次行� �れる。部品仮圧着工程が完了すると、基板� �送装置350のパネル保持部351がパネル基板1の� ��面を吸着保持するとともに、パネル基板保� ��装置333による吸着保持が解除されて、パネ� ��基板1が基板搬送装置350に受け渡される。そ の後、基板搬送装置350により、TCP4が仮圧着� �れた状態のパネル基板1が本圧着装置340へ搬� ��される。

 本圧着装置340において、基板搬送装置350� ��より搬送されたパネル基板1が、パネル基板 保持装置343のそれぞれのステージ343a、343b上� ��載置されて受け渡される。その後、パネル� ��板保持装置343により、パネル基板1の長辺側 端子部2とそれぞれの圧着ユニット341との位� �合わせが行われ、その後、それぞれの圧着� �ニット341により、仮付け状態にあるそれぞ� �のTCP4がACFシート3を介してそれぞれの端子電 極2aに押圧されながら加熱されて、熱圧着に� ��るTCP4の実装が行われる(本圧着工程)。なお� ��この圧着ユニット341によるそれぞれのTCP4の 押圧は、圧着ユニット341の押圧面に汚れなど が付着しないように、保護テープ(図示せず)� ��介して行われる。また、圧着ユニット341よ� ��ACFシート3に熱が付与されることによりACFシ ート3が熱硬化される。本圧着工程が完了す� �と、基板搬送装置350のパネル保持部351がパ� �ル基板1の下面を吸着保持するとともに、パ� ��ル基板保持装置343による吸着保持が解除さ� ��て、パネル基板1が基板搬送装置350に受け渡 される。その後、基板搬送装置350により、そ れぞれのTCP4が実装された状態のパネル基板1� ��搬送されて、部品実装ライン300より搬出さ� ��る。部品実装ライン300においては、基板搬� ��装置350により複数のパネル基板1が順次搬送 され、それぞれの装置において所定の工程が 施されることにより、アウターリードボンデ ィング工程が行われる。なお、パネル基板1� �辺の縁部に部品であるTCP4を実装する場合を� ��として示したが、本発明はこのような場合� ��ついてのみ限定されるものではなく、例え� ��、COF(Chip On Film)基板にICチップなどの部品� ��実装するような場合であっても良い。この� ��合、COF基板は、パネル基板1のように方形状 における互いに隣接する2辺の縁部に部品実� �領域が配置されるような場合のみに限られ� �、種々の位置関係にある複数の部品実装領� �が配置されるような場合であっても良い。

 次に、部品実装ライン300において、部品� ��着工程の一例である本圧着工程が行われる� ��圧着装置340の構成について、さらに詳細に� ��明する。この説明にあたって、Y軸方向から 見た本圧着装置340の模式正面図を図24に示し� ��X軸方向から見た模式側面図を図25Aに示す。

 図23、図24及び図25Aに示すように、本圧着 装置340は、複数の圧着ユニット341として、合 計6台の圧着ユニット341をX軸方向に一列に配� ��して備えている。各圧着ユニット341は、パ� ��ル基板1の端子部2にACFシート3を介して仮圧� ��された状態のTCP4を押圧して圧着する圧着ヘ ッド(押圧体の一例)361と、この圧着ヘッド361� ��よる圧着動作の際に、パネル基板1の端子部 2をその下面側から支持する縁部支持部材の� �例であるバックアップステージ362を備えて� �る。

 図25Aに示すように、各圧着ユニット341に� ��いて、バックアップステージ362は、剛体に� ��形成された大略L字状の断面を有するユニッ トフレーム363の下部に固定されており、圧着 ヘッド361がZ軸方向に配置されたLMガイド364を 介してその昇降動作を案内可能にユニットフ レーム363の上部に取り付けられている。なお 、バックアップステージ362はユニットフレー ム363の下部に固定されるような構成のみに限 られず、このような場合に代えて、例えば、 図25D及び図25Eに示すように、バックアップス テージ362が上下方向に可動式として昇降可能 にユニットフレーム363に支持され、バックア ップステージ昇降部373によりバックアップス テージ362の昇降動作が行われるような場合で あっても良い。

 図24及び図25Aに示すように、本圧着装置34 0の基台フレーム372上には、2本のLMガイド365� �X軸方向に沿って延在して配置されており、� ��れぞれのLMガイド(案内支持部材の一例であ� ��)365を介して、6台の圧着ユニット341におけ� �ユニットフレーム363がX軸方向の進退移動可� ��に基台フレーム372に支持されている。また� ��図25Aに示すように、各圧着ユニット341のユ� ��ットフレーム363の下部には、圧着ユニット3 41のX軸方向沿いの進退移動を駆動するユニッ ト移動用モータ(ユニット移動装置の一例で� �る)366が備えられている。すなわち、6台の圧 着ユニット341は、個別に圧着ヘッド361とバッ クアップステージ62とを備えるとともに、個� ��に備えられたユニット移動用モータ366が駆� ��されることにより、LMガイド365に沿ってX軸� ��向沿いに案内されながら、それぞれ独立し� ��進退移動することが可能に構成されている� ��ここで、「それぞれ独立した移動」とは、1 台の圧着ユニット341の移動が、自身が備える ユニット移動用モータ366の駆動により行われ 、他の1台の圧着ユニット341の移動が、それ� �身が備えるユニット移動用モータ366の駆動� �より行われ、両者の移動速度や移動のタイ� �ングを個別に設定することが可能な移動の� �とである。なお、それぞれの圧着ユニット34 1が互いに接触することを防止する等、安全� �御の実施のために、両者の移動制御が関連� �けられるような場合であってもよい。

 図25Aに示すように、本圧着装置340の基台� ��レーム372には、6台の圧着ヘッド361を一体的 に昇降させる1台の共通のヘッド昇降装置367(� ��通の押圧体移動装置の一例)が備えられてい る。共通のヘッド昇降装置367は、その昇降駆 動力をカムフォロア374介してそれぞれの昇降 フレーム368に伝達し、さらにこのそれぞれの 昇降フレーム368を介して圧着ヘッド361に伝達 することで、それぞれの圧着ヘッド361の圧着 動作における昇降の速度及び位置を駆動動作 する。また、それぞれの昇降フレーム368は、 それぞれのユニットフレーム363にZ軸方向に� �置されたLMガイド375を介してその昇降動作を 案内可能にユニットフレーム363に支持されて いる。なお、複数の圧着ヘッド361を一体的に 昇降させる1台の共通のヘッド昇降装置367が� �えられるような構成について説明したが、� �のような場合に代えて、複数の圧着ヘッド36 1のそれぞれにヘッド昇降装置を設けて個々� �独立して昇降させるような構成を採用して� �よい。

 また、図25Aに示すように、各圧着ヘッド3 61は、圧着ヘッド361における圧着動作のため� ��加圧力を生成する加圧ユニット(例えば、エ アシリンダ)369を内蔵している。各加圧ユニ� �ト369は、圧力発生源370に導圧管等を介して� �続されており、圧力制御部371により制御さ� �ながら所望の加圧力を生成することができ� �ように、圧縮空気の供給量が制御される。

 また、それぞれのユニット移動用モータ3 66による圧着ユニット341のX軸方向の移動位置 の情報は制御装置319に取得され、制御装置319 にて互いに圧着ユニット341同士が干渉するこ とがないように、移動制御が行われる。また 、ヘッド昇降装置367によりそれぞれの圧着ヘ ッド361の一体的あるいは個々に独立した昇降 動作、及び圧力制御部371により加圧力の制御 は、制御装置319により統括的に制御される。 なお、一部の圧着ユニット341が圧着動作を行 わない場合は、圧着動作を行わない圧着ユニ ット341の圧着ヘッド361の動作アクチュエータ である加圧ユニット369をパネル基板1へTCP4の� ��着を行う方向とは反対方向へ動作させるあ� ��いは位置させても良い。

 次に、このような構成を有する部品実装� ��インの本圧着装置340において、パネル基板1 に対するTCP4の本圧着動作が行われる手順の� �細について説明する。なお、本圧着装置340� �おける本圧着動作の手順は、上記第1実施形� ��における図7のフローチャートに示す手順と 同様である。また、パネル基板1の長辺側端� �部2Aに対して本圧着動作が行われている状態 を示す模式説明図を図26(A)、(B)に示し、短辺� ��端子部2Bに対して本圧着動作が行われてい� �状態を示す模式説明図を図27(A)、(B)に示す。 なお、以下の本圧着動作の手順の説明におい ては、パネル基板保持装置343が備える2つの� �テージ343a、343bのうちの1つのステージ343aの� ��にパネル基板1が保持されて、このパネル基 板1に対して本圧着動作が行われる場合を例� �して説明する。

 図7のフローチャートのステップS1におい� ��、本圧着装置340のパネル基板保持装置343に1 枚のパネル基板1が搬入されて、ステージ343a� ��より保持される。このパネル基板1は、図26( A)に示すように、X軸方向沿いの端子部を長辺 側端子部2Aとして、Y軸方向沿いの端子部を短 辺側端子部2Bとした姿勢にてステージ343aに保 持される。また、長辺側端子部2Aには間隔ピ� ��チP1にて3個のTCP4が仮圧着されており、短辺 側端子部2bには間隔ピッチP2にて2個のTCP4が仮 圧着されている。なお、間隔ピッチP1とP2は� �いに異なっている。

 次に、この搬入されたパネル基板1の識別 情報と関連付けられて、パネル基板1の長辺� �端子部2Aにおける部品圧着位置情報(第1圧着� ��置情報)が制御装置319にて取得される(ステ� �プS2)。部品圧着位置情報には、長辺側端子� �2AにおけるそれぞれのTCP4の圧着位置、その� �隔ピッチP1、さらに圧着されるTCP4の個数の� �報などが含まれている。さらにこのような� �報の中には、TCP4の種類及び熱圧着の加熱温� ��や加圧力の情報が含まれるような場合であ� ��てもよい。また、部品圧着位置情報の取得� ��、制御装置319の外部より入力されるような� ��合であってもよく、あるいは制御装置319の� ��憶部等に予め記憶されており、パネル基板1 の識別情報に基づいて記憶部等から読み出さ れるような場合であってもよい。

 制御装置319において、長辺側端子部2Aの� �品圧着位置情報が取得されると、この取得� �れた部品圧着位置情報に基づいて、それぞ� �の圧着ユニット341の配置が調整される(ステ� ��プS3)。具体的には、部品圧着位置情報に含� ��れるTCP4の個数(3個)の情報に基づいて、6台� �圧着ユニット341の中から本圧着動作のため� �使用される3台の圧着ユニット341が選択され� ��。このとき、6台の圧着ユニット341の中央側 に位置される圧着ユニット341から順次選択さ れる。選択された3台の圧着ユニット341は、� �の配列における略中央付近の領域である圧� �動作実施領域Q1に位置され、一方選択されな かった両側の3台の圧着ユニット341は、圧着� �作実施領域Q1の両側において隣接する領域で ある退避領域Q2に位置されるように、それぞ� ��の圧着ユニット341が備えるユニット移動用� ��ータ366の駆動により、それぞれの圧着ユニ� ��ト341がLMガイド365により案内されながら、� �れぞれ独立してX軸方向沿いに移動される。� ��のように本圧着動作を実施する3台の圧着ユ ニット341を圧着動作実施領域Q1に位置させ、� ��圧着動作を実施しない3台の圧着ユニット341 をその両側に配置された退避領域Q2に位置さ� ��ることにより、本圧着動作を実施しない3台 の圧着ユニット341とパネル基板1との干渉を� �止して、確実に本圧着動作を実施すること� �できる。さらに、部品圧着位置情報に含ま� �るTCP4の圧着位置の間隔ピッチP1及びその位� �の情報に基づいて、選択された3台の圧着ユ� ��ット341の位置及び配置間隔が、それぞれの� ��ニット移動用モータ366の駆動により調整さ� ��る。

 このようにそれぞれの圧着ユニット341の� ��置調整が完了すると、パネル基板保持装置3 43によりパネル基板1の移動が行われて、選択 された3台の圧着ユニット341におけるそれぞ� �のバックアップステージ362上あるいはその� �方に、3箇所の部品圧着位置が位置決めされ� ��ようにパネル基板1の長辺側端子部2Aが配置� ��れる。ここで、図25B、並びに図26(A)及び(B)� �、バックアップステージ362上にパネル基板1� ��長辺側端子部2Aが配置されている状態の例� �示す図である。図26(A)及び(B)に示すように、 退避領域Q2に位置された3台の圧着ユニット341 とパネル基板1との干渉は防止されている。� �の後、図25Cに示すように、ヘッド昇降装置36 7により昇降フレーム368を介してそれぞれの� �着ヘッド361が下降され、圧着ヘッド361の下� �である圧着面がTCP4に当接される。さらに加� ��ユニット369により所定の加圧力がTCP4に対し て付加されることで、パネル基板1の長辺側� �子部2Aにおける3箇所の部品圧着位置におい� �、ACFシート3を介して3個のTCP4が本圧着され� �実装される(ステップS4)。その後、ヘッド昇� ��装置367によりそれぞれの圧着ヘッド362が上� ��される。なお、バックアップステージ362が� ��定式である場合についての本圧着動作につ� ��て説明したが、バックアップステージ362が� ��動式として昇降可能な構成が採用される場� ��には、バックアップステージ362の上方にパ� ��ル基板1の長辺側端子部2Aを配置した後、こ� ��パネル1基板の長辺側端子部2Aに近づく方向� ��、圧着ヘッド361及びバックアップステージ3 62を動作させて、TCP4をパネル基板1に圧着す� �ことができる。この時、圧着動作を行わな� �圧着ユニット341については、パネル基板1の� ��持高さ位置である圧着高さ位置よりも下方� ��位置である昇降の下降位置(支持解除高さ位 置)にバックアップステージ362を位置させる� �とで、圧着動作を行わない圧着ユニット341� �TCP4及びパネル基板1との干渉を防止すること ができる。そのため、例えば、圧着動作を行 わない圧着ユニット341を退避領域Q2ではなく� ��着動作実施領域Q1に位置させるような場合� �あっても、この圧着ユニット341とパネル基� �1との干渉を防止することが可能となる。

 長辺側端子部2Aに対する本圧着動作が完� �すると、パネル基板保持装置343によりパネ� �基板1がそれぞれのバックアップステージ362� ��ら離間されるように移動され、保持されて� ��るパネル基板1がXY平面内においてθ回転移� �されて、パネル基板1の短辺側端子部2BがX軸� ��向沿いとなるような姿勢とされる(ステップ S5)。

 次に、制御装置319において、パネル基板1 の短辺側端子部2Bにおける部品圧着位置情報( 第2圧着位置情報)が取得される(ステップS6)。 この部品圧着位置情報には、短辺側端子部2B� ��おけるそれぞれのTCP4の圧着位置、その間隔 ピッチP2、さらに圧着されるTCP4の個数(2個)の 情報などが含まれている。なお、本第3実施� �態の手順の例としては、長辺側端子部2Aの部 品圧着位置情報と、短辺側端子部2Bの部品圧� ��位置情報とが別々に取得されるような場合� ��ついて説明するが、このような場合に代え� ��、両情報が同時に取得されるような場合で� ��ってもよい。

 次に、この取得された部品圧着位置情報� ��基づいて、それぞれの圧着ユニット341の配� ��が調整される(ステップS7)。具体的には、部 品圧着位置情報に含まれるTCP4の個数(2個)の� �報に基づいて、6台の圧着ユニット341の中か� ��本圧着動作のために使用される2台の圧着ユ ニット341として、6台の圧着ユニット341の中� �に位置される2台の圧着ユニット341が選択さ� ��る。選択された2台の圧着ユニット341は、圧 着動作実施領域Q1に位置され、一方選択され� ��かった両側の4台の圧着ユニット341は、それ ぞれの退避領域Q2に2台ずつ位置されるように 、それぞれのユニット移動用モータ366の駆動 により、それぞれの圧着ユニット341がLMガイ� ��365により案内されながら、X軸方向沿いに移 動される。さらに、部品圧着位置情報に含ま れるTCP4の圧着位置の間隔ピッチP2及びその位 置の情報に基づいて、選択された2台の圧着� �ニット341の位置及び配置間隔が、それぞれ� �ユニット移動用モータ366の駆動により調整� �れる。

 それぞれの圧着ユニット341の配置調整が� ��了すると、パネル基板保持装置343によりパ� ��ル基板1の移動が行われて、選択された2台� �圧着ユニット341におけるそれぞれのバック� �ップステージ362上あるいはその上方に、2箇� ��の部品圧着位置が位置決めされるようにパ� ��ル基板1の短辺側端子部2Bが配置される。こ� ��で、図27(A)及び(B)は、バックアップステー� �362上にパネル基板1の短辺側端子部2Bが配置� �れている状態を示す。図27(A)及び(B)に示すよ うに、退避領域Q2に位置された4台の圧着ユニ ット341とパネル基板1との干渉は防止されて� �る。その後、ヘッド昇降装置367により昇降� �レーム368を介してそれぞれの圧着ヘッド361� �下降され、圧着ヘッド361の下面である圧着� �がTCP4に当接される。さらに加圧ユニット369� ��より所定の加圧力がTCP4に対して付加される ことで、パネル基板1の短辺側端子部2Bにおけ る2箇所の部品圧着位置において、ACFシート3� ��介して2個のTCP4が本圧着されて実装される(� ��テップS8)。その後、ヘッド昇降装置367によ� ��それぞれの圧着ヘッド362が上昇される。な� ��、長辺側端子部2Aに対する本圧着動作と同� �に、短辺側端子部2Bに対する本圧着動作につ いても、バックアップステージ362が可動式と して昇降可能な構成が採用される場合には、 バックアップステージ362の上方にパネル基板 1の短辺側端子部2Bを配置した後、このパネル 1基板の短辺側端子部2Bに近づく方向に、圧着 ヘッド361及びバックアップステージ362を動作 させて、TCP4をパネル基板1に圧着することが� ��きる。この時、圧着動作を行わない圧着ユ� ��ット341については、圧着位置(支持高さ位置 )よりも下方の位置である昇降の下降位置(支� ��解除高さ位置あるいは退避高さ位置)にバッ クアップステージ362を位置させることで、圧 着動作を行わない圧着ユニット341とTCP4及び� �ネル基板1との干渉を防止することができる� ��

 短辺側端子部2Bに対する本圧着動作が完� �すると、パネル基板保持装置343によりパネ� �基板1がそれぞれのバックアップステージ362� ��ら離間されるように移動されて、本圧着装� ��340からパネル基板1が搬出される(ステップS9 )。

 本第3実施形態によれば、本圧着装置340に おいて、パネル基板1の端子部2にTCP4を本圧着 する圧着ヘッド361と、その本圧着の際にパネ ル基板1の端子部2を支持するバックアップス� ��ージ362とを備える一列に配置された複数の� ��着ユニット341と、複数の圧着ユニット341に� ��別に備えられ、X軸方向沿いに圧着ユニット 341を平行移動させて圧着ユニット341の配置を 変更させる複数のユニット移動用モータ366と が備えられていることにより、パネル基板1� �部品圧着位置情報、すなわち端子部2におけ� ��複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じ� ��、それぞれのユニット移動用モータ366によ� ��それぞれの圧着ユニット341を個別に平行移� ��させて、圧着ユニット341の配置を部品圧着� ��置の配置と合致させることができる。した� ��って、パネル基板1の仕様に応じて異なる部 品圧着位置に対応した本圧着動作を効率的に 実施することができる。

 また、パネル基板1において、長辺側端子 部2Aと短辺側端子部2Bとで、TCP4の圧着位置、� ��隔ピッチ、及び圧着されるTCP4の個数が異な るような場合であっても、長辺側端子部2Aの� ��品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着� ��ニット341の配置調整を行った後、長辺側端� ��部2Aに対する本圧着動作を実施し、その後� �短辺側端子部2Bの部品圧着位置情報に基づい てそれぞれの圧着ユニット341の配置調整を行 った後、短辺側端子部2Bに対する本圧着動作� ��実施することで、それぞれの端子部2A、2Bの 仕様に応じた部品圧着を確実かつ効率的に実 施することができる。そのため、長辺側用の 圧着ユニット及び短辺側用の圧着ユニットと してそれぞれ専用の圧着ユニットを備えなく ても、1台の本圧着装置340により長辺側端子� �2A及び短辺側端子部2Bのそれぞれの圧着位置� ��応じた圧着ピッチに合わせるようにそれぞ� ��の圧着ユニットの位置に迅速に切り替えを� ��い、パネル基板への部品圧着を効率的に行� ��ことができる。

 また、それぞれの圧着ユニット341におい� ��、ユニット移動用モータ366が個別に備えら� ��ていることにより、このようなそれぞれの� ��着ユニット341の配置調整を迅速かつ効率的� ��行うことができる。

 一方、それぞれの圧着ユニット341には、� ��着ヘッド361の昇降動作を行う昇降装置を個� ��に備えさせることなく、6台の圧着ヘッド361 を一体的に昇降させる共通の1台のヘッド昇� �装置367を備えさせるような構成が採用され� �いることがより好ましい。このような構成� �採用することにより、個々の圧着ユニット34 1を簡単な構造として、その軽量化を図るこ� �ができ、ユニット移動用モータ366による移� �性を良好なものとすることができる。

 また、6台の圧着ヘッド341のうちの複数の 圧着ヘッド341が選択される場合には、中央側 に位置される圧着ヘッド341から順次選択され るようにすることで、このような共通のヘッ ド昇降装置367による昇降動作が行われ、TCP4� �圧着動作が行われる際に、ヘッド昇降装置36 7の構造に対する荷重バランスを良好なもの� �することができ、パネル基板1に対するTCP4の 圧着品質をより安定させることができる。

 また、各圧着ユニット341において、圧着� ��ッド361とバックアップステージ362とが一対� ��され、互いの配置関係が保たれた状態にて� ��れぞれの圧着ユニット341の配置調整のため� ��移動が行われるような構成が採用されてい� ��ことにより、どのような位置に移動されて� ��圧着ヘッド361の圧着面(あるいは押圧面)と� �ックアップステージ362のパネル基板1の支持� ��との平行度(平行関係)を一定に保つことが� �きる。したがって、本圧着工程における圧� �精度(実装精度)を向上させることができる。

 なお、本発明は上記実施形態に限定され� ��ものではなく、その他種々の態様で実施で� ��る。例えば、本第3実施形態の変形例にかか る本圧着方法について、図28(A)、(B)及び図29(A )、(B)に示す模式説明図を用いて以下に説明� �る。

 上記実施形態の説明では、本圧着装置340� ��搬入されるパネル基板1が1枚である場合に� �いて説明したが、本変形例では2枚のパネル� ��板1が本圧着装置340に搬入される場合につい て説明する。

 図28(A)及び(B)に示すように、搬入された2� ��のパネル基板1は、パネル基板保持装置343の それぞれのステージ343a、343bに個別に保持さ� ��る。それぞれのパネル基板1の長辺側端子部 2Aの部品圧着位置情報に基づいて、6台の圧着 ユニット341の配置調整が行われる。具体的に は、1枚のパネル基板1に対して3台の圧着ユニ ット341が選択されてその配置調整が行われる 。その後、パネル基板保持装置343によりそれ ぞれのパネル基板1が移動されて、圧着ユニ� �ト341との位置決めが行われ、それぞれのバ� �クアップステージ362上に長辺側端子部2Aが配 置される。この状態が図28(A)及び(B)に示す状� ��である。その後、それぞれの圧着ヘッド361� ��より長辺側端子部2Aに対する本圧着動作が� �われる。

 長辺側端子部2Aに対する本圧着動作が完� �すると、それぞれのパネル基板1がバックア� ��プステージ362上から退避され、その後、そ� ��ぞれのパネル基板1のθ回転移動が行われ、� ��辺側端子部2BがX軸方向沿いに配置される。� ��れぞれのパネル基板1の短辺側端子部2Bの部� ��圧着位置情報に基づいて、6台の圧着ユニッ ト341の配置調整が行われる。具体的には、1� �のパネル基板1に対して2台の圧着ユニット341 が選択されて、選択されなかった両端の2台� �圧着ユニット341は、退避領域Q2に移動される ように、それぞれの配置調整が行われる。そ の後、パネル基板保持装置343によりそれぞれ のパネル基板1が移動されて、圧着ユニット34 1との位置決めが行われ、それぞれのバック� �ップステージ362上に短辺側端子部2Bが配置さ れる。この状態が図29(A)及び(B)に示す状態で� ��る。その後、それぞれの圧着ヘッド361によ� ��短辺側端子部2Aに対する本圧着動作が行わ� �る。その後、それぞれのパネル基板1は、本� ��着装置340から搬出される。なお、バックア� ��プステージ362が可動式として昇降可能な構� ��を有する場合には、上述の選択されなかっ� ��両端の2台の圧着ユニット341について、バッ クアップステージ362をパネル基板1から離れ� �方向に退避(例えば下降)させて、これら2台� �圧着ユニット341について圧着動作が行われ� �いようにすることもできる。

 本変形例にように、パネル基板保持装置3 43に2枚のパネル基板1が保持されてその本圧� �動作が行われるような場合であっても、長� �側端子部2Aと短辺側端子部2Bとの部品圧着位� ��の相違に対応して本圧着動作を確実かつ効� ��的に実施することができる。

 なお、上記様々な実施形態のうちの任意� ��実施形態を適宜組み合わせることにより、� ��れぞれの有する効果を奏するようにするこ� ��ができる。

 本発明は、添付図面を参照しながら好ま� ��い実施形態に関連して充分に記載されてい� ��が、この技術の熟練した人々にとっては種� ��の変形や修正は明白である。そのような変� ��や修正は、添付した請求の範囲による本発� ��の範囲から外れない限りにおいて、その中� ��含まれると理解されるべきである。

 2007年12月4日に出願された日本国特許出願 No.2007-313718号、No.2007-313722号、およびNo.2007-313 727号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の 開示内容は、全体として参照されて本明細書 の中に取り入れられるものである。