本发明涉及线路检测技术领域， 特别是涉及一种适用于阵列基板的线路 检测装置及检测方法。 背景技术

薄膜晶体管液晶显示器（筒称： TFT-LCD ) 的阵列基板经过复杂的工艺 流程制造， 基板上线路容易形成断路和短路现象， 检测出基板上线路的断路 和短路并进行维修可提高产品的良率， 加快检测装置的检测速度和减少检测 装置的硬件结构都可以达到提高检测效率和节 约成本的目的。

TFT-LCD的阵列基板中有大量的平行配线，平行� �线一般包括栅线和数 据线， 当这类平行配线由于颗粒或金属残留等原因造 成断路和短路时， 现有 检测方式需要先通过线路检测传感器（英文名 为 Line Detect Sensor, 筒称 LDS )进行线扫描， 找出整根不良线的发生位置， 如图 1 , 以栅线 1为例， 在 栅线 1的信号输入端设置电压输入端 2和与该电压输入端 2连接的输入端传 感器 3 , 在栅线 1的信号输出端设置输出端传感器 4, 该输出端传感器 4与等 效电阻器 5连接； 图 2为该 LDS检测装置的等效线路图， 图中的箭头方向为 信号传递方向， V _in 为输入电压， V。 _ut 为输出电压， C ₁₍₎ 为输入端传感器的电容， C ₂ 。为输出端传感器的电容， 。为待测配线的等效电阻， R ₂ 。为等效电阻器 5 的电阻。 LDS检测之后，需要再通过位置检测传感器（英 文名为 Position Detect Sensor ,筒称 PDS )或通过自动光学检测器（英文名为 Auto Optical Inspection, 筒称 AOI )对不良线进行扫描找出不良线上发生不良的� �体位置坐标。 上述 现有的检测方式工序较多， 检测速度较慢， 且成本较高。 发明内容

(一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是如何减少阵列基板 线路检测的工序， 以节约 成本。

(二）技术方案

为了解决上述技术问题， 本发明提供的一种阵列基板线路检测装置， 其 包括：

电压输入端；

输入端传感器， 所述输入端传感器与所述电压输入端连接；

等效电阻器；

电压检测仪， 所述电压检测仪与所述等效电阻器并联；

至少两个输出端传感器， 分别与所述等效电阻器连接。

进一步地， 待测配线为栅线， 所述至少两个输出端传感器包括第一输出 端传感器、 第二输出端传感器和第三输出端传感器， 其中第一输出端传感器 设于所述栅线的信号输出端， 第二和第三输出端传感器分别设于与所述栅线 相邻的两个公共电极的信号输出端。

进一步地， 待测配线为数据线， 所述至少两个输出端传感器包括第一输 出端传感器和第二输出端传感器， 其中第一输出端传感器设于所述数据线的 信号输出端， 第二输出端传感器设于与所述数据线相邻的数 据线的信号输出 端。

本发明还提供一种基于上述的阵列基板线路检 测装置的检测方法， 其包 括以下步骤：

将所述输入端传感器设于待测配线的信号输入 端， 将所述至少两个输出 端传感器中的第一输出端传感器设于待测配线 的信号输出端， 其余的输出端 传感器设于与待测配线相邻的配线的信号输出 端；

通过电压检测仪测量所述待测配线的输出电压 ；

将所测得输出电压与正常的输出电压值进行对 比， 来判断所述待测配线 的线路导通情况。

进一步地， 所述待测配线为栅线， 所述至少两个输出端传感器包括第一 输出端传感器、 第二输出端传感器和第三输出端传感器， 其中第一输出端传 感器设于所述栅线的信号输出端， 第二和第三输出端传感器分别设于与所述 栅线相邻的两个公共电极的信号输出端。

进一步地， 所述待测配线为数据线， 所述至少两个输出端传感器包括第 一输出端传感器和第二输出端传感器， 其中第一输出端传感器设于所述数据 线的信号输出端， 第二输出端传感器设于与所述数据线相邻的数 据线的信号 输出端。

进一步地， 当所述待测配线有信号输出但与正常值不一致 时， 则判断待 测配线发生短路， 根据所述电压检测仪所测量出待测配线的输出 电压值计算 出发生短路的位置距离坐标零点的长度。

进一步地， 当所述待测配线没有信号输出时， 则判断待测配线发生断路, 将所述输入端传感器向所述待测配线的输出端 方向移动直到输出端传感器检 测到信号。

进一步地， 当所述输入端传感器移动到输出端传感器检测 到信号时， 根 据所述电压检测仪所测量出待测配线的输出电 压值计算出发生断路的位置距 离坐标零点的长度。

进一步地， 在完成根据所测得的所述待测配线的输出电压 来判断所述待 测配线的线路导通情况的步骤之后还包括以下 步骤： 将全部的输出端传感器 垂直于待测配线的长度方向移动一个检测单元 的位置， 以测量下一个检测单 元的线路导通情况。

(三）有益效果

上述技术方案所提供的一种阵列基板线路检测 装置及检测方法， 在传感 器进行线路扫描时， 对于短路或断路不良就可以直接找到具体位置 坐标， 不 需要通过 PDS或 AOI进行扫描， 从而减少了工序， 节省检测时间， 从而节约 设备的生产成本。 附图说明

图 1是现有 LDS检测装置示意图；

图 2是现有 LDS检测方式的等效线路图；

图 3是根据本发明实施例的线路检测装置在正常� �路下的示意图； 图 4是根据本发明实施例的线路检测装置在正常� �路下的等效电路图； 图 5是根据本发明实施例的线路检测装置在短路� �的示意图；

图 6是根据本发明实施例的线路检测装置在短路� �的示意图；

图 7是根据本发明实施例的线路检测装置在断路� �的示意图；

图 8是根据本发明实施例的线路检测装置在断路� �的示意图。

其中， 1、 栅线； 2、 电压输入端； 3、 输入端传感器； 4、 输出端传感器； 5、 等效电阻器； 6、 公共电极； 7、 像素区域； 10、 栅线； 20、 电压输入端； 30、 输入端传感器； 41、 第一输出端传感器； 42、 第二输出端传感器； 43、 第三输出端传感器； 50、 等效电阻器； 60、 公共电极； 70、 像素区域； 80、 电压检测仪。 具体实施方式

下面结合附图和实施例， 对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。 以下实施例用于说明本发明， 但不用来限制本发明的范围。 实施例一

如图 3所示， 示出了根据本发明实施例的一种阵列基板线路 检测装置， 其包括： 电压输入端 20; 输入端传感器 30, 该输入端传感器 30与电压输入 端 20连接； 等效电阻器 50, 该等效电阻器 50可以为该线路检测装置上连接 输出端传感器的导线的等效电阻、 或者可以为单独串接的电阻； 电压检测仪 80, 该电压检测仪 80与等效电阻器 50并联， 用于测量待测配线的输出电压； 至少两个输出端传感器， 分别与等效电阻器 50连接。 其中， 输入端传感器 30和输出端传感器均为线路检测传感器。

本实施例的待测配线为栅线 10, 所述至少两个输出端传感器包括第一输 出端传感器 41、 第二输出端传感器 42和第三输出端传感器 43 , 其中第一输 出端传感器 41设于栅线 10的信号输出端，第二输出端传感器 42和第三输出 端传感器 43分别设于与栅线 10相邻的两个公共电极 60的信号输出端，与栅 线 10相邻的两个公共电极分别为： 一个公共电极位于栅线 10的一侧 （如图 3所示，栅线 10上侧 ), 另一个公共电极位于栅线 10的另一侧（如图 3所示， 栅线 10下侧）， 具体地位于栅线 10另一侧的像素区域一侧（如图 3所示， 栅 线 10下侧的像素区域下侧）。

本实施例中将栅线 10以及位于该栅线两侧相邻的公共电极作为一� ��检 测单元， 每一次进行一个检测单元的线路检测作业， 当这一个检测单元检测 完成后移动检测单元的整数倍的位置进行下一 个检测单元的线路检测， 由此 可以沿着逐条栅线地移动检测位置， 从而实现每条栅线的线路检测。

检测过程中， 将输入端传感器 30置于栅线的信号输入端， 电压输入端 20输入电压， 输入端传感器 30检测到输入电压信号， 并经栅线传送该电压 信号， 当第一输出端传感器 41检测到正常的输出电压信号时， 则说明所检测 的栅线导通情况正常， 无短路或断路现象， 如图 3和 4所示， 此时， 第二输 出端传感器 42和第三输出端传感器 43均无信号。 当第一输出端传感器 41检测到的输出电压信号与正常的输出电压不� �� 致时， 则说明所检测的栅线发生了短路现象， 此时， 若第二输出端传感器 42 有信号传递， 则说明该第二输出端传感器 42所对应的公共电极 60与栅线之 间发生了短路， 如图 5和图 6所示； 若第三输出端传感器 43有信号传递， 则 说明该第三输出端传感器 43与栅线之间发生了短路； 若第二输出端传感器 42和第三输出端传感器 43均有信号， 则说明该两个公共电极与栅线之间均 发生了短路现象。

当第一输出端传感器 41没有接收到信号时，则说明栅线 10发生了断路。 实施例二

本实施例的阵列基板线路检测装置与实施例一 的区别仅在于： 待测配线 为数据线， 所述至少两个输出端传感器包括第一输出端传 感器和第二输出端 传感器， 其中第一输出端传感器设于所述数据线的信号 输出端， 第二输出端 传感器设于与所述数据线相邻的数据线的信号 输出端。

本实施例中， 每一组相邻的两根数据线作为一个检测单元， 每一次进行 一个检测单元的线路检测作业， 当这一个检测单元检测完成后移动检测单元 的整数倍的位置进行下一个检测单元的线路检 测， 由此可以沿着每两根数据 线地移动检测位置， 从而实现每根数据线的线路检测。 每一检测单元中的两 个输出端传感器设为第一输出端传感器和第二 输出端传感器。

检测过程中， 将输入端传感器置于其中一根数据线的信号输 入端， 电压 输入端输入电压， 输入端传感器检测到输入电压信号， 并经该数据线传送该 电压信号， 其中， 第一输出端传感器与输入传感器连接同一根数 据线， 当第 一输出端传感器检测到正常的输出电压信号时 ， 则说明所检测的数据线导通 情况正常， 无短路或断路现象， 此时， 第二输出端传感器均无信号； 当第一 输出端传感器检测到的输出电压信号与正常的 输出电压不一致时， 则说明所 检测的数据线发生了短路现象， 此时， 若第二输出端传感器有信号传递， 则 说明所检测的数据线与所述第二输出端传感器 所对应的数据线发生了短路现 象； 当第一输出端传感器没有接收到信号， 则说明与第一输出端传感器相对 应的数据线发生了断路。 实施例三 本实施例是基于上述的实施例一的阵列基板线 路检测装置的检测方法， 其包括以下步骤：

51、 将输入端传感器设于待测配线的信号输入端， 将所述至少两个输出 端传感器中的第一输出端传感器设于待测配线 的信号输出端， 其余的输出端 传感器设于与待测配线相邻的配线的信号输出 端；

52、 通过电压检测仪测量所述待测配线的输出电压 ；

53、 根据所测得输出电压来判断待测配线的线路导 通情况；

54、 将全部的输出端传感器垂直于待测配线的长度 方向移动一个检测单 元的位置， 以测量下一个检测单元的线路导通情况。

如图 3所示， 本实施例的待测配线为栅线 10, 所述至少两个输出端传感 器包括第一输出端传感器 41、第二输出端传感器 42和第三输出端传感器 43 , 其中第一输出端传感器 41设于栅线 10的信号输出端， 第二输出端传感器 42 和第三输出端传感器 43分别设于与栅线相邻的两个公共电极 60的信号输出 端， 与栅线相邻的两个公共电极分别为： 一个公共电极位于栅线 10的一侧， 另一个公共电极位于栅线 10的另一侧的像素区域一侧。

本实施例将栅线 10以及位于该栅线两侧相邻的公共电极 60作为一个检 测单元， 每一次进行一个检测单元的线路检测作业， 当这一个检测单元检测 完成后移动检测单元的整数倍的位置进行下一 个检测单元的线路检测。

检测过程中， 将输入端传感器置于栅线的信号输入端， 电压输入端输入 电压， 输入端传感器检测到输入电压信号， 并经栅线传送该电压信号。

如图 3和图 4所示，当第一输出端传感器检测到正常的输� �电压信号时， 则说明所检测的栅线导通情况正常， 无短路或断路现象， 此时， 第二输出端 传感器和第三输出端传感器均无信号。 所述栅线的信号输出端的正常的输出 电压信号为栅线导通情况正常时， 通过下述公式 1计算出来的正常输出电压 V,

其中， 为栅线 10的等效电阻值， 可通过万用表等仪器检测得到， R ₂ 为等效电阻器 50的阻值， ν 为电压输入端 20的输入电压， ω。为输入端传感 器 30的角频率， C。为输入端传感器 30的电容， _ωι 为第一输出端传感器 41 的角频率， 为第一输出端传感器 41的电容。

当通过电压检测仪 80测量的第一输出端传感器 41检测到的输出电压信 号 V。 _ut 与正常的输出电压 V。 _ut '不一致时， 则说明所检测的栅线发生了短路现 象， 此时， 若第二输出端传感器 42有信号传递， 则说明该第二输出端传感器 42所对应的公共电极 60与栅线 10之间发生了短路， 如图 5和图 6所示； 若 第三输出端传感器 43有信号传递， 则说明该第三输出端传感器 43所对应的 公共电极 60与栅线 10之间发生了短路；若第二输出端传感器 42和第三输出 端传感器 43均有信号， 则说明该两个公共电极与栅线之间均发生了短 路现 当栅线 10与其相邻的两个公共电极 60中的其中一个公共电极发生短路 时， 其发生短路的位置距离坐标零点的长度 可通过以下公式 2求出：

( 2 )

R^V

V out

( 6 )

其中， 以栅线 10的信号输入端为坐标零点， L为栅线 10的总长度， X！ 为发生短路的位置距离坐标零点的长度； V _in 为电压输入端 20的输入电压， V。 _ut 为通过电压检测仪 80测量出的栅线 10的输出电压； Zj为从发生短路的 位置到输出端传感器（包括输出端传感器） 的阻抗， Z ₂ 为从信号输入端到发 生短路的位置以及等效电阻器 50的阻抗。

R为栅线 10单位长度的等效电阻值， 其中，

R ,

L

为栅线 10的等效电阻值。

r为与栅线 10发生短路的公共电极 60单位长度的等效电阻值， r =―

L ,

^为与栅线 10发生短路的公共电极 60的等效电阻值。

R ₂ 为等效电阻器 50的阻值；

ω。为输入端传感器 30的角频率， C。为输入端传感器 30的电容， _ωι 为第 一输出端传感器 41的角频率， 为第一输出端传感器 41的电容， coi为与待 测配线发生短路的配线的信号输出端的输出端 传感器的角频率， Q为与待测 配线发生短路的配线的信号输出端的输出端传 感器的电容， 其中， i为大于 2 的自然数， 本实施例中 i为 2或 3 , ω ₂ 为第二输出端传感器 42的角频率， C ₂ 为第二输出端传感器 42的电容， ω ₃ 为第三输出端传感器 43的角频率， C ₃ 为 第三输出端传感器 43的电容。

如图 7和图 8所示， 当电压检测仪 80没有检测到栅线的输出信号时，可 以认定栅线发生断路， 第一输出端传感器 41没有接收到信号， 此时， 将输入 端传感器 30向栅线 10的输出端方向移动直到第一输出端传感器 41检测到信 号， 电压检测仪 80可以检测到信号， 该栅线 10发生断路的的位置距离坐标 零点的长度 x ₂ 可通过以下公式 7求出：

f口公式 9推导出:

其中， 以栅线 10的信号输入端为坐标零点， x ₂ 为发生断路的位置距离坐 标零点的长度， L为栅线总长度。

R为栅线 10单位长度的等效电阻值， 其中， R 。

L

V _in 为电压输入端 20的电压， V。 _ut 为通过电压检测仪 80测量出栅线的输 出电压， R ₂ 为等效电阻器 50的阻值。

ω。为输入端传感器 30的角频率， C。为输入端传感器 30的电容， _ωι 为第 一输出端传感器 41的角频率， 为第一输出端传感器 41的电容。 实施例四

本实施例为基于上述实施例二的阵列基板线路 检测装置的检测方法， 该 实施例四与实施例三的区别仅在于待测配线为 数据线， 相应地， 所述至少两 个输出端传感器包括第一输出端传感器和第二 输出端传感器， 其中第一输出 端传感器设于所述数据线的信号输出端， 第二输出端传感器设于与所述数据 线相邻的数据线的信号输出端， 其检测过程和计算过程与实施例三一致， 只 需要把栅线变为其中一根数据线， 与栅线发生短路或断路的两个公共电极变 为另一 ^数据线即可。

本实施例中， 每一组相邻的两根数据线作为一个检测单元， 每一次进行 一个检测单元的线路检测作业， 当这一个检测单元检测完成后移动检测单元 的整数倍的位置进行下一个检测单元的线路检 测。 每一检测单元中的两个输 出端传感器设为第一输出端传感器和第二输出 端传感器。

上述技术方法所提供的阵列基板线路检测装置 及检测方法， 在传感器进 行线路扫描时， 对于短路或断路不良就可以直接找到具体位置 坐标， 不需要 通过 PDS或 ΑΟΙ进行扫描， 从而减少了工序， 节省检测时间， 从而节约设备 的生产成本。

以上所述仅是本发明的优选实施方式， 应当指出， 对于本技术领域的普 通技术人员来说， 在不脱离本发明技术原理的前提下， 还可以做出若干改进 和替换， 这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。