Beschreibung

Bauelement mit integriertem Heizelement und Verfahren zum Beheizen eines Halbleiterkörpers

Während und nach der Produktion von Halbleiterbauelementen werden üblicherweise diverse Testverfahren durchgeführt, um die Qualität der hergestellten Bauelemente zu testen. Um diese bereits auf Waferlevel durchzuführen, können die Bauele- mente über die Waferauflage auf eine gewünschte Temperatur gebracht werden, bei der die entsprechenden Zuverlässigkeitstests dann durchgeführt werden. Nachteil dieser Methode ist jedoch, dass der Test mit einer solchen Aufheizung nur aufwendig durchzuführen ist und dass die Bauelemente dabei nur langsam aufgeheizt und auch langsam wieder abgekühlt werden können. Damit wird dieser Test zeitaufwendig.

Um solche Tests schneller und einfacher durchzuführen, wird in einem Artikel von Titel W. Muth, „Bias temperature insta- bility assessment of n-and p-channel MOS transistors in poly- silicon resistive heated scribe lane test structure", Microe- lectronics Reliability vol. 44, pp. 1251-1262, 2004 eine Teststruktur vorgeschlagen, die ein direktes Beheizen einer Halbleiterstruktur durch eine direkt auf dem Wafer aufge- brachte Widerstandsheizung umfasst. Dazu werden benachbart zu einer CMOS-Struktur zwei in Siliziumoxid eingebettete Polysi- lizium-Streifen vorgesehen, die als Widerstandsheizer fungieren. Eine Kontrolle der mit der Widerstandsheizung erzielten Aufheizung gelingt über die Bestimmung des Temperaturkoeffi- zienten einer Widerstandsleitung sowie über den temperaturabhängigen Vorwärtsstrom der CMOS Anordnung. Mit dieser Heizstruktur kann beispielsweise ein NBTI-Test (negative bias temperature instability) durchgeführt werden, wobei eine ge-

wünschte Temperatur von beispielsweise 250° Celsius innerhalb von ca. 5 Sekunden erreicht werden kann.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine integrierte Heizstruktur für ein Halbleiterbauelement anzugeben, mit der ein schnelleres Aufheizen eines Bauelementbereiches möglich ist und mit dem im genannten Messbereich eine hohe Temperaturgleichförmigkeit erzielt werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Halbleiterkörper den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sowie ein Verfahren zum Beheizen des Halbleiterkörpers sind weiteren Ansprüchen zu entnehmen.

Der erfindungsgemäße Halbleiterkörper weist eine integrierte Heizstruktur auf, die eine diffundierte Zone in der Oberfläche des Halbleiterkörpers umfasst, die ein aufzuheizendes Gebiet im Abstand ringförmig umschließt. An zwei einander diametral gegenüberliegenden Stellen des diffundierten Gebietes sind elektrische Kontakte vorgesehen, die zum Verbinden der diffundierten Zone mit einer Stromquelle vorgesehen sind.

Durch Durchleiten eines Stromes durch die beiden Zweige der ringförmigen diffundierten Zone fungieren diese als Wider- standsheizelement, welches ein schnelles Aufheizen im Bereich der Heizstruktur ermöglicht. Im aufzuheizenden Gebiet kann dabei eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit erzielt werden. Bei einem gegebenen Durchmesser des aufzuheizenden Gebiets von ca. 20 μm kann so eine Temperaturgleichmäßigkeit mit maxima- len Temperaturunterschieden im aufzuheizenden Gebiet von typischerweise 4° Celsius erzielt werden.

Der Halbleiterkörper weist funktionelle Bauelementstrukturen auf, die im oder auf dem aufzuheizenden Gebiet angeordnet sind, und die beim oder zum bestimmungsgemäßen Betrieb eine über der Raumtemperatur liegende Betriebstemperatur erfor- dern. Das genaue Erreichen einer gewünschten Betriebstemperatur im Bereich der funktionellen Bauelementstrukturen wird mit einer Regelschleife und einen Temperatursensor gewährleistet .

Vorteilhaft ist, wenn der Halbleiterkörper eine Grunddotierung von einem ersten Leitfähigkeitstyp aufweist und die diffundierte Zone mit einem Dotierstoff vom zweiten Leitfähigkeitstyp hochdotiert ist, sodass sich ein Halbleiterübergang zum Halbleiterkörper ausbilden kann. Auf diese Weise ist eine elektrische Isolation der als Widerstandsheizelement genutzten diffundierten Zone zum Halbleiterkörper hin gegeben. Dies hat den Vorteil, dass der Halbleiterkörper selbst auf ein nahezu beliebiges gegen die die diffundierte Zone negatives, von der integrierten Heizstruktur unabhängiges elektrisches Potential unterhalb der Durchbruchspannung gebracht werden kann, ohne dass sich dabei die unterschiedlichen Potentiale gegenseitig stören oder ein zu hoher Leckstrom zu beobachten ist.

Mit der vorgeschlagenen Heizstruktur ist es möglich, das aufzuheizende Gebiet im Rahmen der Spannungsfestigkeit auf mehr als 200° Celsius aufzuheizen. Dazu können in dem Ausführungsbeispiel Spannungen bis ca. 90 Volt an die beiden elektrischen Kontakte angelegt werden, ohne dass ein Durchbruch (break through) zum Substrat erfolgt.

Durch den Halbleiterübergang, mit dem die diffundierte Zone gegen den Halbleiterkörper isoliert ist, gelingt auch die e- lektrische Isolation des aufzuheizenden Gebiets gegen die

diffundierte Zone. Daher ist es möglich, im aufzuheizenden Gebiet auch elektrische BauelementStrukturen vorzusehen, die unabhängig von der Heizstruktur betrieben werden können. Als Bauelementstrukturen können z.B. Teststrukturen vorgesehen sein, anhand derer bei einer gewünschten Aufheiztemperatur bestimmte Parameter getestet werden. Möglich ist es jedoch auch, im aufzuheizenden Gebiet eine Sensoranordnung vorzusehen, mit der ein bestimmter äußerer oder innerer, bauelementeigener, physikalischer Parameter bei einer gewünschten Tem- peratur bestimmt wird, wobei die Sensoranordnung mit Hilfe der Heizstruktur auf die gewünschte Temperatur gebracht wird. Die Sensoranordnung kann einen biologischen, chemischen oder physikalischen Sensor umfassen.

Möglich ist es auch, den gewünschten Parameter innerhalb des aufzuheizenden Gebiets bei unterschiedlichen Temperaturen zu bestimmen, wobei die unterschiedlichen Temperaturen durch die genannten Mittel zum Regeln eingestellt werden, mit deren Hilfe der durch die diffundierte Zone fließende Strom gesteu- ert oder geregelt wird.

Im aufzuheizenden Gebiet kann außerdem ein Mikroreaktor vorgesehen sein, in dem bei einer gewünschten Aufheiztemperatur eine chemische oder mikrobiologische Reaktion durchgeführt wird. Dabei kann die Temperaturregelung so ausgebildet sein, dass ein Temperaturprogramm eingestellt wird, welches bestimmte Aufheizgeschwindigkeiten, Haltephasen und beliebige Endtemperaturen umfassen kann.

Zur Aufnahme von elektrischen Bauelementstrukturen kann im Halbleiterkörper im Bereich des aufzuheizenden Gebiets eine mit einem Dotierstoff vom ersten oder zweiten Leitfähigkeitstyp dotierte zentrale Wanne ausgebildet sein, die von der

diffundierten Zone beabstandet ist. Eine solche Wanne ist durch den Halbleiterübergang, der sich an ihrem Rand relativ zum Halbleiterkörper ausbildet, gegenüber letzterem elektrisch isoliert. Dementsprechend sind auch darin angeordnete Bauelementstrukturen elektrisch gegen den Halbleiterkörper isoliert. Die zentrale Wanne kann mit einem eigenem elektrischen Potential beaufschlagt werden. Dazu ist vorzugsweise in deren Randbereich ein konzentrisch zur diffundierten Zone angeordneter Wannenring vorgesehen, der eine gegenüber der zentralen Wanne erhöhte Dotierung vom zweiten Leitfähigkeitstyp aufweist und der mit einem Wannenkontakt verbunden ist. über den Wannenkontakt kann ein gewünschtes elektrisches Potential an die Wanne angelegt werden.

Eine weiter verbesserte elektrische Isolation von innerhalb der zentralen Wanne angeordneten BauelementStrukturen wird erreicht, wenn zwischen diffundierter Zone und zentraler Wanne und konzentrisch zur diffundierten Zone ein ringförmig geschlossener innerer Substratring vorgesehen wird, welcher ei- ne gegenüber der Grunddotierung des Halbleiterkörpers erhöhte

Dotierung vom ersten Leitfähigkeitstyp aufweist und mit einem Substratkontakt verbunden ist. über den Substratkontakt kann ein gewünschtes elektrisches Potential an den Halbleiterkörper angelegt werden.

Möglich ist es auch, außerhalb der diffundierten Zone und e- benfalls konzentrisch dazu einen ringförmig geschlossenen äußeren Substratring mit einer gegenüber der Grunddotierung erhöhten Dotierung vom ersten Leitfähigkeitstyp anzuordnen und mit einem weiteren Substratkontakt zu verbinden. Damit gelingt eine verbesserte Isolation der diffundierten Zone gegenüber außerhalb des äußeren Substratrings in dem Halbleiterkörper angeordneten weiteren Bauelementstrukturen.

Eine hohe Durchschlagsfestigkeit wird erreicht, wenn sich unterhalb der diffundierten Zone eine ausreichend große Raumladungszone ausbildet, die von freien Ladungsträgern entleert ist. Dies kann erreicht werden, indem der Halbleiterkörper eine nur schwache Grunddotierung aufweist. Vorteilhaft weist der Halbleiterkörper einen spezifischen Widerstand von typischerweise 20 Ohm cm auf.

Eine weiter verbesserte Durchbruchsfestigkeit wird mit einem speziell gestalteten Dotierprofil innerhalb der diffundierten Zone erreicht, das den RESURF-Effekt nutzt.

Dazu umfasst eine in der Oberfläche des Halbleiterkörpers ausgebildete im Querschnitt flache Wanne vom zweiten Leit- fähigkeitstyp die hochdotierte oberflächennahe Zone vom gleichen Leitfähigkeitstyp, die als Heizquelle fungiert. In diese schwach dotierte Wanne ist zentral ein relativ hoch dotiertes Gebiet vom zweiten Leitfähigkeitstyp angeordnet. Auf diese Weise wird erreicht, dass das durch die Dotierung erzeugte elektrische Feld sowohl vertikal als auch horizontal verringert wird. Dadurch wird die Grenzspannung, bei der ein elektrischer Durchbruch vertikal oder horizontal einsetzt, erhöht.

Die räumliche Ausdehnung der diffundierten Zone ist sowohl von der gewünschten elektrischen Leistung als auch von der gewünschten Spannungsfestigkeit abhängig. Die Feldverteilung wiederum bestimmt zum Teil die DurchbruchsSpannung und damit ebenfalls die an die Heizstruktur anlegbare maximale elektrische Spannung. Die geometrischen Abmessungen der Heizstruktur sowie deren Dotierstoffkonzentration bestimmen den bei der maximal möglichen elektrischen Spannung fließenden Strom. Daraus ergibt sich die maximal einprägbare Verlustleistung.

In einem Ausführungsbeispiel kann die diffundierte Zone beispielsweise mit einem Heizstrom einer Leistung von 3,5 Watt, die bei 90 Volt erreicht werden, betrieben werden. Damit ist es möglich, im aufzuheizenden Gebiet eine Spitzentemperatur von mehr als 200° Celsius zu erzielen, die auf einem Temperaturplateau mit einem Durchmesser von ca. 20 μm um maximal 4° Celsius schwankt. Dies wird mit einer ringförmig geschlossenen diffundierten Zone erreicht, die einen Durchmesser (Abstand der beiden Zweige) von ca. 60 μm aufweist.

Bei Erhöhung der Stromtragfähigkeit gelingt eine weitere Steigerung der maximalen Aufheiztemperatur im aufzuheizenden Gebiet und bei Erweiterung des Durchmessers der diffundierten Zone ist es auch möglich, den Durchmesser des temperatursta- bilen aufzuheizenden Gebiets weiter zu erhöhen. In allen Fällen führt die ausgesprochen gute thermische Diffusivität von kristallinen Silizium mit D = 0,9 cm ² /s zu einem schnellen Einstellen des Temperaturgleichgewichts und damit zu einem schnellen Erreichen der gewünschten Aufheiztemperatur inner- halb von weniger als ca. 1 ms . Da auch die Abkühlung in ähnlichen Zeitspannen erfolgt, können im erfindungsgemäßen Halbleiterkörper mit der Heizstruktur innerhalb kürzester Zeit zahlreiche Aufheiz- und Abkühlzyklen gefahren werden, die ein ausführliches und umfangreiches Testen bzw. Messen von Para- metern innerhalb des aufzuheizenden Gebiets ermöglichen.

Die diffundierte Zone kann geometrisch den Kanten eines Rechtecks folgen, wobei dann die beiden elektrischen Kontakte an den Mitten zweier gegenüberliegender Rechtecksseiten ange- ordnet sind. Dies ermöglicht einen gleichmäßigen Wärmefluss in Richtung Zentrum des Rechtecks, in dem das aufzuheizende Gebiet angeordnet ist. Durch entsprechende Längenbemessung des Rechtecks kann das aufzuheizende Gebiet auf eine Länge

von mehreren Hundert μm verlängert werden, ohne dass die Temperaturgleichmäßigkeit des aufzuheizenden Gebiets dadurch beeinträchtigt ist. Die Schmalseite des Rechtecks bzw. deren Abmessungen bestimmt die Breite des aufzuheizenden Gebiets, die jedoch zusätzlich noch von der gewünschten Temperaturgleichmäßigkeit abhängig ist. Begnügt man sich mit einer geringeren Temperaturgleichmäßigkeit, so erweitert sich das aufzuheizende Gebiet, das diese Temperaturgleichmäßigkeit aufweist, entsprechend.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und der dazugehörigen Figuren näher erläutert. Die Figuren sind rein schematisch und nicht maßstabsgetreu, so- dass ihnen weder absolute noch relative Maßangaben zu entneh- men sind.

Figur 1 zeigt einen Halbleiterkörper mit Heizstruktur in der Draufsicht und im schematischen Querschnitt,

Figur 2 zeigt erreichbare Endtemperaturen für ein Ausführungsbeispiel in Abhängigkeit von der zugeführten Leistung und der angelegten Spannungspegel,

Figur 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Halblei- terkörpers mit Heizstruktur im schematischen Querschnitt,

Figur 4 zeigt die Feldverteilung im Bereich der diffundierten Zone anhand eines schematischen Querschnitts,

Figur 5 zeigt den Leckstrom zwischen diffundierter Zone und

Substrat in Abhängigkeit von der angelegten Spannung,

Figur 6 zeigt eine zweidimensionale Temperaturverteilung anhand eines Schematischen Querschnitts bzw. eine eindimensionale Temperaturverteilung entlang der Oberfläche des Halbleiterkörpers und

Figur 7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Halbleiterkörpers mit Heizstruktur in der Draufsicht.

Figur Ia zeigt ein einfaches Ausführungsbeispiel der Erfin- düng anhand einer schematischen Draufsicht. In einem Halbleiterkörper HLK ist eine einfache Heizstruktur in Form einer diffundierten Zone DZ in die Oberfläche des Halbleiterkörpers eingebracht. Die diffundierte Zone ist ringförmig geschlossen und weist beispielsweise eine Rechecksform auf. Die elektri- sehen Kontakte sind an zwei einander gegenüberliegenden Seitenkanten des Rechtecks angeordnet und dienen zur Stromzu- bzw. -abführung der als Widerstandheizelement fungierenden diffundierten Zone DZ. Von der diffundierten Zone DZ umschlossen ist das aufzuheizende Gebiet HG angeordnet. Die ringförmig diffundierte Zone DZ hat eine Länge L und eine

Breite B.

Figur Ib zeigt den Halbleiterkörper mit Heizstruktur im schematischen Querschnitt. Der Halbleiterkörper umfasst vorzugs- weise kristallines und niedrig dotiertes Silizium.

In den diffundierten Zonen DZ wird eine hohe Dotierstoffkon- zentration von beispielsweise 10 ²⁰ cm ^"3 eingebracht. Für eine günstige Feldverteilung wird diese hohe Dotierungsstärke re- lativ flach eingebracht, beispielsweise in einer Tiefe bis

200 nm bei einer Breite von ca. 2 μm. Für eine größere gewünschte Stromtragfähigkeit innerhalb der diffundierten Zone wird der dotierte Querschnitt erhöht, indem die diffundierte

Zone verbreitert wird. Während der Halbleiterkörper HLK mit einem Dotierstoff vom ersten Leitfähigkeitstyp dotiert ist, wird die diffundierte Zone vorzugsweise mit einem Dotierstoff vom zweiten Leitfähigkeitstyp dotiert, sodass sich ein pn- übergang zum Halbleiterkörper hin ausbildet. Die im Bereich des Halbleiterübergangs entstehende von freien Ladungsträgern entleerte Raumladungszone isoliert die diffundierte Zone gegen das Substrat bzw. den Halbleiterkörper.

An der Oberfläche kann der Halbleiterkörper mit einer isolierenden Schicht IS, beispielsweise einer Oxidschicht abgedeckt sein. Mittels zweier durch die isolierende Schicht IS reichender öffnungen und darin eingebrachten elektrisch leitenden Materials werden Kontakte KO für die durch die diffun- dierte Zone gebildete Heizstruktur gebildet. Die Kontakte KO sind beispielsweise metallisch.

Im Bereich des aufzuheizenden Gebiets kann ein Temperatursensor vorgesehen sein (in der Figur nicht dargestellt) . Eben- falls nicht dargestellt sind die funktionellen Bauelementstrukturen, die im oder auf dem aufzuheizenden Gebiet angeordnet sind. Die weiteren Mittel und insbesondere eine die Regelschleife realisierende Schaltung können an anderer Stelle in dem Halbleiterkörper integriert ausgebildet sein oder in Form eines diskreten Bauelements auf dem Halbleiterkörper angeordnet oder extern angeordnet und mit dem Temperatursensor elektrisch verbunden sein.

Durch Beaufschlagung der Kontakte KO mit einem Strom fungiert die diffundierte Zone DZ als Widerstandsheizung, die in der Folge zu einer Aufheizung des im Inneren der ringförmigen diffundierten Zone angeordneten Gebiets führt. Dort ist das bezüglich seiner Grenzen virtuell angenommene aufzuheizende

Gebiet HG vorgesehen, dessen Außengrenzen sich in einem bestimmten, von der gewünschten Temperaturgleichmäßigkeit abhängigen Abstand zur diffundierten Zone befinden. Die Temperaturverteilung weist dann im Bereich des aufzuheizenden Ge- biets HG ein weitgehend ebenes Plateaus mit nur geringen relativen Temperaturunterschieden auf, während die Temperatur zur diffundierten Zone hin wieder steil ansteigt.

Der Vorteil dieses Aufbaus liegt darin, dass zwischen der Heizquelle, also zwischen der diffundierten Zone und dem aufzuheizenden Gebiet HG keine Phasengrenze verläuft, so dass eine weitgehend homogene bzw. ungehinderte Aufheizung möglich ist. Unterstützt wird die homogene Aufheizung durch die ausgezeichnete thermische Diffusivität von Silizium, die bei D 0,9 cm ² /Sekunde liegt (bei Raumtemperatur) . Dies führt dazu, dass eine thermische Diffusionslänge von 100 μm innerhalb eines Zeitintervalls in der Größenordnung von ca. 10 ms erreicht wird. Dies führt dazu, dass im aufzuheizenden Gebiet (bei einer Breite B (= Innendurchmesser des Rings) der dif- fundierten Zone DZ von ca. 100 μm) die gewünschte Endtemperatur sehr schnell und im Ausführungsbeispiel innerhalb einer Zeitspanne von weniger als einer Millisekunde erreicht werden kann. Mit den genannten Bemessungen kann hier die Endtemperatur mehr als 200° Celsius betragen. Dabei wird eine maximale Leistung von 3,5 Watt in die diffundierte Zone eingespeist, die sich aus der maximalen Spannung und der maximalen Stromtragfähigkeit der Kontakte KO und der diffundierten Zone DZ ergibt. Die maximal anlegbare Spannung entspricht der Spannung, bei der ein elektrischer Durchbruch zum Substrat sicher verhindert wird.

Figur 2a zeigt den Temperaturanstieg im Zentrum des aufzuheizenden Gebiets HG in Abhängigkeit von der zugeführten

Leistung. Es zeigt sich, dass die erreichbare Endtemperatur nahezu linear mit der eingespeisten Leistung ansteigt. Die zugeführte Leistung kann über die anliegende Spannung geregelt werden. Figur 2b zeigt den Temperaturanstieg in Abhän- gigkeit von der anliegenden Spannung. Im vorliegenden Fall wird eine DurchbruchsSpannung von ca. 90 Volt bestimmt, so- dass das Bauelement bis ca. 70 Volt ohne Gefahr eines elektrischen Durchbruchs betreibbar ist.

Figur 3 zeigt eine weitere Ausführung der Erfindung, bei der zum einen die Spannungsfestigkeit der Anordnung weiter erhöht ist und bei der das aufzuheizende Gebiet elektrisch besser gegen die diffundierte Zone isoliert ist. Letzteres wird erreicht durch eine im Bereich des aufzuheizenden Gebiets HG angeordnete zentrale Wanne ZW, die mit einem Dotierstoff vom zweiten Leitfähigkeitstyp dotiert ist. Die Tiefe dieser zentralen Wanne wird in Abhängigkeit von dem im aufzuheizenden Gebiet anzuordnenden Bauelement bzw. den Bauelementstrukturen gewählt .

Die verbesserte elektrische Isolation ergibt sich durch den zusätzlichen pn-übergang zwischen Halbleiterkörper und zentraler Wanne ZW. Zwischen diffundierter Zone DZ und zentraler Wanne wird ein mit einem Dotierstoff vom ersten Leitfähig- keitstyp höher dotierter innerer Substratring SRI vorgesehen, in den die Dotierstoffkonzentration in einem engen Bereich bis ca. 10 ²⁰ cm ³ erhöht ist. Außerhalb des von der diffundierten Zone DZ umschlossenen Gebiets ist im Abstand zu dieser ein äußerer Substratring SRA angeordnet, der ähnlich wie der innere Substratring SRI aufgebaut ist und die diffundierte

Zone ringförmig umschließt. Beide Substratringe SRI/SRA sind jeweils mit einem Substratkontakt verbunden, über den ein e- lektrisches Potential an das Substrat angelegt werden kann.

Das elektrische Potential für die zentrale Wanne ZW wird über eine weitere ringförmig geschlossene höher dotierte Zone im Randbereich der zentralen Wanne vorgesehen. Dieser Wannenring WR ist mit einem Dotierstoff vom zweiten Leitfähigkeitstyp höher dotiert als die zentrale Wanne und über einen (in der Figur nicht dargestellten) Wannenkontakt mit einem Potential verbunden, welches an die zentrale Wanne ZW angelegt werden soll.

Figur 4 zeigt anhand eines schematischen Querschnitts durch den Halbleiterkörper im Bereich der diffundierten Zone den simulierten Verlauf des elektrischen Felds. Es zeigt sich, dass das Feld sowohl vertikal als auch lateral mit einem nur geringen Feldgradienten abfällt. Dies führt zu einer relativ hohen DurchbruchsSpannung. Der günstige Feldverlauf wird durch das Dotierprofil im Bereich der diffundierten Zone DZ erreicht, die aus einem zentralen hoch dotierten Bereich besteht, welcher in einer etwas größeren schwächer dotierten und räumlich umfangreicheren Wanne angeordnet ist. Das ge- wünschte Dotierprofil kann durch geeignete Größenbemessung der schwächer dotierten Wanne und des hoch dotierten Zentrums darin bestimmt und durch geeignete Ionenimplantationsprozesse und ein geeignetes thermisches Budget für die flache Wanne erzeugt werden. Der gewünschte Feldlinienverlauf wird durch den RESURF-Effekt erreicht. In dem in Figur 4 dargestellten Ausführungsbeispiel erstreckt sich die Raumladungszone in lateraler Richtung (parallel zur Oberfläche des Halbleiterkörpers) innerhalb der schwächer dotierten Bereiche über einen größeren Bereich (a) als in vertikaler Richtung (b) . Erst diese Ausführung hilft die Abbruchspannung des hoch diffundierten Bereichs deutlich anzuheben und somit die notwendige Leistung einzuprägen, da der laterale Oberflächenabbruch vermieden wird (RESURF) .

Aufgrund der niedrigen Dotierstoffkonzentration des Halbleiterkörpers kann sich die Raumladungszone bis eine Tiefe von mehreren 10 μm erstrecken. Der innere Substratring SRI bewirkt eine hohe Punch-Through-Spannung zwischen der diffun- dierten Zone und der zentralen Wanne ZW. Durch die Anordnung des inneren Substratrings SRI kann der Abstand zwischen der diffundierten Zone und der zentralen Wanne reduziert werden, ohne dass die elektrische Isolation darunter leidet.

Die Zentrale Wanne ist nun elektrisch vollständig gegen die diffundierte Zone DZ isoliert. Darin angeordnete elektrische Bauelementstrukturen, welche beispielsweise als MOS- Transistoren, Bipolar-Transistoren, Kondensatoren, Widerstände oder Halbleiterschaltungen ausgebildet sind, können in ge- wohnter Weise und völlig ungestört betrieben werden, ohne dass eine Design- oder Layoutanpassung innerhalb der zentralen Wanne erforderlich ist.

Figur 5 zeigt das Leckstromverhalten, gemessen zwischen den an die diffundierte Zone DZ angelegten elektrischen Kontakten KO und der zentralen Wanne für eine Ausführung mit innerem Substratring SRI (Kurve 2) bzw. ohne inneren Substratring (Kurve 1) . Es zeigt sich, dass ohne inneren Substratring SRI bereits oberhalb von 60 Volt ein starker Anstieg des Leck- Stroms auftritt, der mit Hilfe des inneren Substratrings bis ca. 90 Volt vollständig vermieden werden kann.

Figur 6 zeigt die mit der erfindungsgemäßen Anordnung erreichbare Temperaturverteilung anhand eines schematischen Querschnitts durch den Halbleiterkörper mit den eingezeichneten Isothermen (Figur 6a) bzw. in Fig. 6b eine eindimensionale Temperaturverteilung, die an der Oberfläche des Halbleiterkörpers bzw. an der Grenzfläche zwischen dem Silizium des

Halbleiterkörpers und der isolierenden Schicht, bzw. dem dafür verwendeten Siliziumoxid gemessen ist. Dargestellt ist nur die Hälfte der Anordnung, zu der die nicht dargestellte zweite Hälfte spiegelsymmetrisch ist. Der Nullpunkt (rechte Kante in der Darstellung) entspricht der Mitte des aufzuheizenden Gebiets, während die diffundierte Zone auf der dargestellten Längenskala bei ca. 29 μm angeordnet ist. Dies bedeutet, dass der von der diffundierten Zone gebildete Ring einen Durchmesser von ca. 60 μm aufweist. Aus der Darstellung ergibt sich, dass die Temperaturverteilung gleichförmig ist und insbesondere in der Mitte äußerst homogen. Dieser Bereich ist daher gut geeignet zur Aufnahme einer Vielzahl unterschiedlichster funktioneller Bauelementstrukturen, die zur bestimmungsgemäßen Funktion eine bestimmte gut einstellbare bzw. über die Fläche gleichmäßige Temperatur erfordern. Auch die Größe der zur Verfügung stehenden Fläche mit gleichförmiger Temperaturverteilung ist zur Aufnahme unterschiedlichster funktioneller Bauelementstrukturen voll ausreichend.

Die Temperaturverteilung gemäß Figur 6b zeigt, dass die höchste Temperatur naturgemäß im Bereich der diffundierten Zone erreicht wird, die im Ausführungsbeispiel bei ca. 700° Kelvin liegt. Zur Mitte des Rings hin nimmt die Temperatur steil ab und läuft dann in einem flachen Plateau bei etwa 420° Kelvin aus, in dem beim Aufheizen eine hohe Temperaturgleichförmigkeit besteht. Es zeigt sich, dass im Bereich zwischen 0 und 10 μm auf der Skala, also bei der gesamten Anordnung in einem Bereich von ca. 20 μm Durchmesser, eine Temperaturgleichmäßigkeit erreicht wird, bei der die Temperatur maximal um 4° Kelvin schwankt. Dieser Wert ist ausreichend, innerhalb des aufzuheizenden Gebiets die bei bestimmten Temperaturen durchzuführenden Messungen oder Testverfahren mit ausreichender Genauigkeit durchzuführen. Figur 6a zeigt au-

ßerdem, dass sich die Temperaturgleichmäßigkeit im Zentrum des aufzuheizenden Gebiets HG auch bis in eine große Tiefe von bis ca. 10 μm erstreckt, sodass zu testende oder zu messende Bauelementstrukturen auch in größere Tiefen des HaIb- leiterkörpers eingebracht werden können, ohne dass die Temperaturgleichmäßigkeit dort abnimmt.

Aus der Temperaturverteilung gemäß Figur 6b ergibt sich außerdem, dass die Temperaturunterschiede zwischen der maxima- len Temperatur im Bereich der diffundierten Zone und der minimalen Temperatur in der Mitte des aufzuheizenden Gebiets relativ gering sind und im Ausführungsbeispiel nur ca. 370° Celsius betragen. Dies ist ein deutlich geringerer Wert, als es mit einer bekannten integrierten Heizanordnung mit Polysi- lizium-Heizstreifen zwischen zwei Isolationsschichten erzielt werden kann. Dies zeigt die überlegenheit der vorgestellten neuen Lösung, bei der der Wärmefluss wieder durch thermisch schlecht leitendes Oxid noch durch irgendwelche Grenzflächen zwischen unterschiedlichen Phasen oder Materialien behindert wird. Die relativ geringe maximale Temperatur von ca. 700°

Kelvin im Zentrum der diffundierten Zone ist außerdem ausreichend niedrig, dass keine gravierenden Veränderungen am Dotierprofil während des Aufheizprozesses zu befürchten sind. Die Anordnung bleibt daher auch über eine Vielzahl von Auf- heizzyklen in ihrer Struktur insbesondere im Dotierprofil stabil und kann über eine Vielzahl von Aufheiz- und Abkühl- zyklen zuverlässig betrieben werden.

Figur 7 zeigt in einer schematischen Draufsicht eine mögliche zweidimensionale Anordnung des bereits in Figur 3 anhand eines schematischen Querschnitts dargestellten Ausführungsbeispiels. Sämtliche schraffiert dargestellten ringförmigen Zonen sind durch Implantation eines geeigneten Dotierstoffs

hergestellt. Die Abstände an den Längsseiten sind entsprechend den Designregeln festgelegt. So ist beispielsweise die diffundierte Zone DZ von einem äußeren Substratring SRA umgeben und schließt einen inneren Substratring SRI ein. Inner- halb des inneren Substratrings ist die zentrale Wanne ZW angeordnet,, in die durch den Wannenring WR, der ebenfalls eine höher dotierte ringförmig geschlossene Zone darstellt, elektrisch mit dem Wannenpotential kontaktiert.

Im Inneren des Wannenrings ist das aufzuheizende Gebiet HG vorgesehen, welches elektrisch vollständig gegenüber der diffundierten Zone DZ isoliert ist und welches beim Aufheizen die genannte hohe thermische Homogenität aufweist. Die beiden elektrischen Kontakte KO für die diffundierte Zone sind bis auf den direkten Kontakt mit der diffundierten Zone gegen den Halbleiterkörper isoliert, beispielsweise durch eine dazwischen liegende Isolierschicht und insbesondere eine dazwischen liegende Siliziumoxidschicht. Nicht dargestellt sind die entsprechenden Kontakte für inneren und äußeren Substrat- ring sowie für den Wannenring. Auch die Bauelementstrukturen, die innerhalb des aufzuheizenden Gebiets HG angeordnet werden können, bedürfen üblicherweise mindestens elektrischer Anschlüsse, die ebenfalls in gewohnter Weise durch die Isolierschicht IS gegen den Halbleiterkörper HLK getrennt zugeführt werden können.

Die im Innern des aufzuheizenden Gebietes HG angeordneten funktionellen Bauelementstrukturen können reine Teststrukturen darstellen, die im Rahmen eines Halbleiterproduktionspro- zesses zusammen mit anderen für das Bauelement funktionellen Bauelementstrukturen erzeugt werden und anhand derer die erfolgreiche Durchführung der Prozesse bzw. die Zuverlässigkeit

der erzeugten Strukturen getestet werden kann. Dies kann auch bereits während des Herstellungsverfahrens erfolgen.

Die beispielsweise in Figur 7 dargestellte Anordnung kann da- her auf einem beliebigen Bauelementwafer miterzeugt werden und gegebenenfalls sogar auf jedem einzelnen Bauelement selbst vorgesehen sein. Die Anzahl pro Wafer oder pro Bauelement vorzusehenden Teststrukturen kann in Abhängigkeit vom gewünschten Grad der Prozesskontrolle gewählt werden. Der Be- reich des Halbleiterkörpers mit der Heizstruktur und den

TestStrukturen im aufzuheizenden Gebiet kann auch als separates Bauteil miterzeugt werden oder kann als Strukturelement auf einem erzeugten Bauelement verbleiben, wo es den weiteren Betrieb des Bauelements nicht stört.

Gut geeignet sind Anwendungen des Halbleiterkörpers mit der integrierten Heizstruktur für alle Bauelemente oder Bauelementteile, die in bestimmungsgemäßen Betrieb auf eine bestimmte erhöhte Temperatur gebracht werden müssen. Beispiele solcher Anwendungen sind beispielsweise chemische oder physikalische Sensoren, die entweder bei erhöhten Temperaturen betrieben werden müssen, oder die Messungen bei unterschiedlichen Temperaturen erfordern, die mit Hilfe der erfindungsgemäßen Anordnung in sicherer und schneller Weise eingestellt werden können. Beispiele für solche Anwendungen sind Bandlü- ckenspannungsreferenzen (band gap voltage reference) , sowie Sensoren, insbesondere chemische Sensoren.

Die Heizstruktur kann auch dazu verwendet werden, bestimmte thermische Reaktionsbedingungen für biologische oder chemische Mikroreaktoren zu erzeugen. Solche Mikroreaktoren sind unter dem Begriff „Lab on Chip" bekannt und umfassen beispielsweise eine Mehrzahl von in die Oberfläche des Halblei-

terkörpers geätzten Vertiefungen, die mit Zuführungskanälen und Verbindungskanälen versehen sind. In den Vertiefungen können einzelne Stoffe bevorratet werden und/oder unterschiedliche Stoffe miteinander umgesetzt werden. In den Mik- roreaktor integriert können Bauelementstrukturen sein, mit deren Hilfe bestimmte Messungen während der Umsetzung oder zur Analyse des mit der Umsetzung erzielten Ergebnisses durchgeführt werden können.

Da der größte Vorteil der vorgeschlagenen Anordnung jedoch darin besteht, dass die Aufheiz- und Abkühlzyklen im Millisekundenbereich durchgeführt werden können, ist ein bevorzugter Einsatzbereich der erfindungsgemäßen Anordnung bei solchen Bauelementen und Teststrukturen gegeben, bei denen eine schnelle Durchführung der Messungen von Vorteil ist, oder bei denen eine Vielzahl von Messungen durchgeführt werden müssen.

Die Erfindung wurde zwar nur anhand weniger Ausführungsbeispiele dargestellt, ist aber nicht auf diese beschränkt. Eine erfindungsgemäße Anordnung kann in einer einfachen Ausführung wie in Figur 1 dargestellt realisiert werden. Während Figur 3 eine mehrere Stufen weiterentwickelte Ausführung zeigt, sind dazwischen mehrere Abstufungen möglich, in denen auf einzelne der Strukturelemente verzichtet wird. Die zweidimensionale Anordnung der Heizstruktur bzw. der diffundierten Zone DZ und aller konzentrisch dazu angeordneten weiteren implantierten Ringe ist nicht auf die als bevorzugtes Ausführungsbeispiel dargestellte Rechtecksform beschränkt. Möglich ist es auch, die diffundierte Zone an den Ecken abzurunden oder mit run- der, elliptischer oder ovaler Ausformung zu realisieren.

Entscheidend für das Temperaturprofil einer Heizanordnung gemäß Figur Ia ist die Größe B, welche üblicherweise dem klei-

neren Durchmesser der diffundierten Zone entspricht. So ist das in Figur 6 dargestellte Temperaturprofil beispielsweise parallel zur Breite B gemessen. Aufgrund der geometrischen Regelmäßigkeit der Anordnung findet sich dieses Profil in na- hezu unveränderter Form entlang eines jeden Querschnitts parallel zu B innerhalb des aufzuheizenden Gebiets HG.

Dementsprechend ist es auch möglich, die Länge L der Anordnung beliebig zu erhöhen, ohne dass sich dabei das Tempera- turprofil quer dazu verändert. Diffundierte Zonen mit größerer Länge L weisen ein größeres aufzuheizendes Gebiet auf, in dem dann eine größere Anzahl von Bauelementen, oder Teststrukturen oder Mikroreaktoren angeordnet werden kann. Vorteilhaft liegen die Breiten B im Bereich von 70 bis 120 μm, können jedoch mit Abstrichen an der Temperaturhomogenität innerhalb aufzuheizenden Gebiet HG oder mit Abstrichen an der maximal erreichbaren Temperatur im Zentrum des aufzuheizenden Gebiets wesentlich größer oder auch geringfügig kleiner gewählt werden. Eine Erhöhung der maximal erreichbaren Tempera- tur innerhalb des aufzuheizenden Gebiets erhält man durch eine Verringerung der Breite B sowie durch eine Erhöhung der Stromtragfähigkeit oder eine Weiterverbesserung der Spannungsfestigkeit, die das Anlegen einer höheren Heizleistung an die als Heizwiderstand fungierende dotierte Zone DZ ermög- licht. Auch die maximale Tiefe des aufzuheizenden Gebiets, also mithin die Tiefe des Gebiets mit gewünschter hoher Temperaturhomogenität, kann ebenfalls erhöht werden, wenn gleichzeitig die lateralen Dimensionen des aufzuheizenden Gebiets verringert werden, wenn also ein höherer Abstand zur diffundierten Zone eingestellt wird. Dadurch wird ein entsprechend steilerer Verlauf der Isothermen (siehe Temperaturverteilung in Figur 6A) erzielt.

Mit der RegelSchaltung lässt sich die mittlere Temperatur des aufzuheizenden Gebiets einstellen und kontrollieren.

Prinzipiell lässt sich der Bauelementkörper mit Heizstruktur und den im aufzuheizenden Gebiet angeordneten funktionellen BauelementStrukturen auch mit anderen Halbleitermaterialien realisieren, in denen mit einer Dotierung der Leitfähigkeitstyp verändert werden kann.

Bezugszeichenliste

HLK Halbleiterkörper (HLK)

HG aufzuheizendes Gebiet DZ ringförmig geschlossene diffundierte Zone

KO elektrischen Kontakte für DZ

WDZ ringförmige Wanne für DZ

ZW zentrale Wanne für HG

WR Wannenring SRI innerer Substratring

SRA äußerer Substratring

IS Isolierschicht