CVD- oder PVD-Reaktor zum Beschichten großflächiger Substrate Gebiet der Technik

[0001] Die Erfindung betrifft eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung mit einem Gehäuse und einem am Gehäuse befestigten Gaseinlassorgan mit einer Gasaustrittsöffnungen aufweisenden Gasaustrittsfläche, mit einer an ei- nem oberen Abschnitt des Gehäuses befestigten Halteeinrichtung, an welcher das Gaseinlassorgan an einer Vielzahl von Aufhängestellen befestigt ist.

Stand der Technik

[0002] Eine gattungs gemäße Beschichtungsreinrichtung beschreibt die EP 1 815 493 Bl, die ein Gehäuse einer Beschichtungseinrichtung zeigt, in der eine Halteeinrichtung angeordnet ist, die ein Gaseinlassorgan hält. Eine ähnliche Vorrichtung wird in der US 2008 / 0317973 AI beschrieben.

[0003] Eine gattungsgemäße Beschichtungseinrichtung besitzt einen Suszeptor zur Aufnahme des zu beschichtenden Substrates und ein die Funktion eines Gasverteilers ausübendes Gaseinlassorgan, mit dem Prozessgase in eine Prozesskammer einleitbar sind, die sich zwischen einer Unterseite des Gasvertei- lers und dem Suszeptor erstreckt. Der Gasverteiler besitzt an seiner Unterseite eine Vielzahl von Gasaustrittsöffnungen, durch die das Prozessgas in die Prozesskammer eintreten kann. Innerhalb des Gasverteilers befinden sich Kammern zur Verteilung des Prozessgases an die Gasaustrittsöffnungen. Ein Gasverteiler dieser Art wird beispielsweise in der DE 10 2013 101 534 AI beschrie- ben.

[0004] Zur Abscheidung von OLEDs werden in einem beheizten Gasverteiler gasförmige organische Ausgangsstoffe mit Hilfe eines Trägergases eingespeist. Diese gasförmigen Ausgangsstoffe treten durch die Gasaustrittsöffnungen in die Prozesskammer ein, um auf einem Substrat zu kondensieren, was hierzu auf dem gekühlten Suszeptor aufliegt. Die Substrate können eine Oberfläche von mehr als 1 m ² besitzen. Es besteht eine Anforderung dahingehend, CVD- oder PVD-Reaktoren mit einer Suszeptordiagonalen von 2 m bis 3 m herzustellen. Da sich das Gaseinlassorgan über die gesamte Fläche des Suszeptors erstrecken muss, besteht das Bedürfnis, ein Gaseinlassorgan mit einer Diagonalen von 2 m bis 3 m zu schaffen. Die Prozesskammer besitzt eine Prozesskammerhöhe von wenigen Zentimetern. Um über die gesamte Substratoberfläche eine Schicht gleichbleibender Schichtdicke und gleichbleibender Schichtqualität abscheiden zu können, ist es erforderlich, dass die Prozesskammerhöhe innerhalb enger Toleranzen über die gesamte Prozesskammer einen konstanten Wert einnimmt. Der Abscheideprozess findet im Niedrigdruckbereich statt, also in einem Bereich, in dem der Atmosphärendruck die Gehäusewände mit erhebli- chen Verformungskräften beaufschlagt. Es ist nicht zu vermeiden, dass sich das Gehäuse beim Absenken des Drucks verformt. Darüber hinaus wird das Gaseinlassorgan beheizt, so dass zusätzlich zu den mechanischen Kräften thermische Ausdehnungsphänomene zu berücksichtigen sind.

Zusammenfassung der Erfindung

[0005] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Be- schichtungseinrichtung derart weiterzubilden, dass die Prozesskammerhöhe über die gesamte Fläche des Suszeptors bzw. der Gasaustrittsfläche des Gaseinlassorgans nur in engen Toleranzen variiert.

[0006] Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung, wobei jeder Anspruch grundsätzlich eine eigenständige Lösung der Aufgabe darstellt. [0007] An einem oberen Abschnitt des Gehäuses ist eine Baugruppe befestigt. Diese Baugruppe beinhaltet ein Gaseinlassorgan mit einer Gasaustrittsöffnungen aufweisenden Gasaustrittsfläche. Die Gasaustrittsfläche erstreckt sich in einer insbesondere horizontalen Gasaustrittsebene. Die Baugruppe ist an einer Vielzahl von Aufhängestellen am Gehäuse befestigt. Es sind Temperiermittel vorgesehen, mit denen das Gaseinlassorgan von einer ersten Temperatur, die im Wesentlichen der Temperatur des Gehäuses entspricht, auf eine zweite Temperatur temperierbar ist, die von der Gehäusetemperatur verschieden ist. Dies kann durch Aufheizen des Gaseinlassorgans erfolgen, wozu das Gasein- lassorgan mit einer Heizvorrichtung versehen ist. Im nicht aufgeheizten Zustand hat das Gaseinlassorgan die Temperatur des Gehäuses. Im aufgeheizten Zustand hat das Gaseinlassorgan eine höhere Temperatur als das Gehäuse. Es ist aber auch möglich, dass das Gaseinlassorgan mit einer Kühleinrichtung auf eine Temperatur abkühlbar ist, die unterhalb der Gehäusetemperatur liegt. Die Temperiermittel können Kanäle im Gasauslassorgan sein, die von einer temperierten, also heißen oder kalten Flüssigkeit durchströmt werden. Als Folge dieser Temperierung und der damit einhergehenden Temperaturänderung von Bestandteilen der Baugruppe ändert sich die Größe der Baugruppe. Zumindest ändert sich die Größe des Gaseinlassorgans aufgrund der thermischen Aus- dehnung. Die Befestigungsmittel sind so ausgebildet, dass sie sich bei einer derartigen Größenveränderung der Baugruppe verformen oder Elemente aufweisen, die sich bei einer Größenänderung gegeneinander verlagern. Die Befestigungsmittel weisen hierzu Kraftübertragungsmittel auf, die die Gewichtskraft der Baugruppe an das Gehäuse übertragen. Die Kraftübertragungsmittel sind insbesondere elastisch verformbar oder besitzen Elemente, die sich bevorzugt abriebfrei gegeneinander verlagern können. Die Befestigungsmittel sind vorzugsweise ausschließlich am äußeren horizontalen Rand der Baugruppe und insbesondere ausschließlich an einer Halteeinrichtung befestigt. Die Kraftübertragungsmittel können sich bevorzugt nur in der Horizontalrichtung bewe- gen/ verformen und nicht in der Vertikalrichtung. Die Befestigung erfolgt be- vorzugt an den Ecken eines Mehrecks. Bei dem Mehreck handelt es sich um ein virtuelles Mehreck, welches Eckpunkte definiert, die in einer horizontalen Ebene am Rand der Halteeinrichtung angeordnet sind. An diesen Eckpunkten des virtuellen Mehrecks erfolgt die Befestigung. Bei dem Mehreck kann es sich um ein Dreieck oder um ein Viereck handeln. Beispielsweise können zwei Befestigungspunkte den Eckpunkten der Halteeinrichtung zugeordnet sein, bspw. den beiden Eckpunkten einer Schmalseite. Ein dritter Befestigungspunkt kann in der Mitte der dieser Schmalseite gegenüberliegenden Schmalseite angeordnet sein. Die Befestigungspunkte können aber auch den Breitseitenecken bzw. einer Breitseite örtlich zugeordnet sein. Bei den Kraftübertragungsmitteln kann es sich um jeweils ein Biegeelement handeln. Das Biegeelement ist einem gehäuse- seitigen Befestigungselement und einem baugruppenseitigen Befestigungselement verbunden. Es kann sich um eine rechteckige, dünne Platte handeln. Die im Eckbereich angeordneten Biegeplatten sind gegenüber der Baugruppe bzw. der Halteeinrichtung derart ausgerichtet, dass sich die Baugruppe bzw. die Halteeinrichtung sowohl in Breitseitenerstreckungsrichtung, als auch in Schmalsei- tenerstreckungsrichtung ausbreiten kann. Bevorzugt liegt die biegeelastische Platte in einer Vertikalebene und besitzt eine Flächennormale, die in der Winkelhalbierenden des eingeschlossenen Winkels der Seitenwände von Schmalsei- te und Breitseite der Haltevorrichtung bzw. Baugruppe verläuft. Die Flächennormale ist bevorzugt auf den geometrischen Schwerpunkt, insbesondere den in der Horizontalebene liegenden Flächenschwerpunkt der Baugruppe gerichtet, so dass die Temperaturausdehnungsrichtung der Baugruppe an der Befestigungsstelle mit der Hauptbiegerichtung des Kraftübertragungselementes übereinstimmt. Bei einer einen quadratischen Grundriss aufweisenden Halteeinrichtung bzw. Baugruppe verlaufen die Biegeplatten somit bevorzugt in einem Winkel von 45° zur Breitseite bzw. Schmalseite. Die beiden jeweils an benachbarten Ecken angeordneten Biegeplatten verlaufen somit jeweils in einer Ebene, wobei sich diese beiden Vertikalebenen in einem Winkel von 90° schneiden. Eine dritte Befestigungsplatte ist an einer den beiden Befestigungs- stellen gegenüberliegenden Seitenwand etwa in deren Mitte angeordnet. Die ebenfalls in einer Vertikalebene sich erstreckende dortige Biegeplatte erstreckt sich parallel zu der Seitenwandung der Halteeinrichtung bzw. der Baugruppe. Bei einem nicht quadratischen Grundriss weist die Hauptbiegerichtung des Kraftübertragungsmittels, also insbesondere die Flächennormale eines flächigen Biegeelementes auf den Schwerpunkt der Baugruppe, insbesondere des Gaseinlassorgans oder dessen Halteeinrichtung, auf. Es kann zusätzlich eine schwimmende Lagerung quer zur Biegeverlagerungsrichtung vorgesehen sein. Hierzu ist bevorzugt ein Bolzen vorgesehen, der mit horizontalem Bewegungs- spiel in eine Öffnung ragt. Es ist insbesondere ein Befestigungszapfen vorgesehen, mit dem das Kraftübertragungsmittel, insbesondere die Biegeplatte, an einem Befestigungsmittel befestigt ist, wobei der Befestigungszapfen eine Lagerflanke aufweist, die sich an einem Gleitelement abstützt, welches auf einer Lagerfläche liegt, so dass der Befestigungszapfen sich relativ quer zur Haupt- Verformungsrichtung des Biegeelementes gegenüber der Lagerfläche verlagern kann. Es kann zusätzlich eine Sicherungsvorrichtung vorgesehen sein, die bei einem eventuellen Bruch des Kraftübertragungsmittels, insbesondere eines Bruchs eines Biegeelementes, ein Herabfallen der Baugruppe, insbesondere des Gaseinlassorganes verhindert. Hierzu kann ein Sicherungszapfen mit vertika- lern und/ oder horizontalem Bewegungsabstand eine Sicherungsöffnung durchgreifen. Bei der Temper atur aus dehnung kann sich der Sicherungszapfen frei durch die Sicherungsöffnung bewegen. Ein im Eckbereich der Halteeinrichtung bzw. der Baugruppe angeordnetes Befestigungsmittel, das aber auch zwischen den beiden Eckpunkten an einer seitlichen Wandung der Halteeinrich- tung oder der Baugruppe befestigt werden kann, kann von einem sich in Vertikalrichtung erstreckenden Stab oder Seil ausgebildet sein. Der massive oder hohle Stab besitzt ein oberes Ende, welches bevorzugt am Gehäuse befestigt ist, und ein unteres Ende, welches bevorzugt an der Halteeinrichtung bzw. der Baugruppe befestigt ist. Ein Biegeelement in Form eines massiven oder hohlen Stabes kann aber auch an einer Seitenwand der Baugruppe angeordnet sein. Die Biegeelemente können aber auch eine andere Gestalt aufweisen. Es ist von Vorteil, wenn die Biegeelemente eine horizontale Bewegung der Baugruppe oder der Halteeinrichtung mit minimaler Reibung zulassen. Die Befestigung kann jeweils über Winkelelemente erfolgen. Im Eckbereich angeordnete Befesti- gungsmittel können auch mittels einer Traverse am Gehäuse befestigt sein. In einer Variante der Erfindung besitzen die Befestigungselemente sich gegeneinander abrollende Elemente. Ein erstes Element kann fest am Gehäuse befestigt sein. Ein zweites Element kann fest an der Baugruppe bzw. an der Halteeinrichtung befestigt sein, und ein drittes Element kann das erste und das zweite Ele- ment miteinander verbinden. Es können auch zwei oder mehr Elemente vorgesehen sein, die das fest am Gehäuse befestigte und das fest an der Baugruppe befestigte Befestigungselement miteinander verbinden. Bevorzugt handelt es sich dabei um Kettenglieder. Hinsichtlich der Anordnung der sich abrollenden Befestigungselemente wird auf die Ausführungen zu den Biegeelementen ver- wiesen. Dies gilt insbesondere in Bezug auf die Bewegungsrichtungen, die von den sich abrollenden Befestigungselementen zugelassen werden.

[0008] Die Baugruppe besitzt bevorzugt eine Halteeinrichtung, die an einem oberen Abschnitt des Gehäuses befestigt ist. Es handelt sich um eine tempera- turstabilisierbare bzw. mechanisch stabilisierte Halteeinrichtung. An dieser formstabilisierten Halteeinrichtung ist das Gaseinlassorgan an einer Vielzahl von Aufhängestellen befestigt. Die Aufhängestellen sind im Wesentlichen gleichmäßig über die gesamte Erstreckungsfläche des Gaseinlassorgans verteilt. Der Abstand der Aufhängestellen voneinander ist mindestens um einen Faktor 3, bevorzugt aber um einen Faktor 4 oder um einen Faktor 5, geringer als die diagonale Erstreckung des Gaseinlassorgans. Möglich ist auch ein maximaler Abstand zweier benachbarter Aufhängestellen, der maximal ein Zehntel der diagonalen Erstreckung des Gaseinlassorganes betragen darf. Zur mechanischen Stabilisierung kann die Halteeinrichtung mechanische Stabilisierungselemente aufweisen. Diese mechanischen Stabilisierungselemente können von Vertikalwänden ausgebildet sein. Die Halteeinrichtung bildet bevorzugt ein Fachwerk aus, das von sich kreuzenden Vertikalwänden gebildet ist. Der Abstand zweier vertikal und gegebenenfalls auch parallel zueinander verlaufender Vertikalwände ist um mindestens einen Faktor 3, einen Faktor 4, bevorzugt aber einen Faktor 5, geringer als die Diagonalstrecke des Gaseinlassorgans. Es bilden sich in Vertikalrichtung erstreckende zylinderförmige Zellen aus mit einer Grundfläche, die bevorzugt maximal einem Hundertstel der Grundfläche des Gaseinlassorganes entspricht und einen schachbrettartigen oder bienenwabenartigen Grundriss besitzen können. Die Halteeinrichtung ist bevorzugt aus- schließlich mit einem horizontalen Rand am Gehäuse befestigt. Es ist der horizontale Rand der Halteeinrichtung, der mit dem Gehäuse befestigt ist. Der gesamte zentrale Flächenabschnitt der Halteeinrichtung überspannt frei das Gaseinlassorgan, besitzt aber an einer Vielzahl von im Wesentlichen gleichmäßig über die Fläche verteilten Stellen eine haltende Verbindung zum Gaseinlassor- gan. Die Halteeinrichtung ist temperaturstabilisiert. Hierzu kann eine aktive oder eine passive Temperaturstabilisierungsvorrichtung vorgesehen sein. Die Halteeinrichtung ist derart temperaturstabilisiert, dass sich ihre Temperatur weder in Horizontalrichtung noch in Vertikalrichtung signifikant ändert, wenn sich die Temperaturdifferenz zum Gaseinlassorgan ändert. Bevorzugt variiert die Temperatur innerhalb des gesamten von der Halteeinrichtung gebildeten Körpers, also bevorzugt dem Fachwerk um +/- 5 Grad. Bevorzugt beträgt die Temperaturdifferenz zwischen dem kältesten Punkt und dem heißesten Punkt maximal 5 Grad. Zur passiven Temperaturstabilisierung können Wärmeschutzschilde, beispielsweise mit reflektierenden Oberflächen oder Isolierkörper vor- gesehen sein. Zur aktiven Temperaturstabilisierung können Temperiermedien verwendet werden, beispielsweise Temperierflüssigkeiten, die durch Temperierkanäle hindurchströmen. Die Temperierkanäle können innerhalb der Halteeinrichtung angeordnet sein. Bevorzugt sind die Temperierkanäle aber oberhalb bzw. unterhalb der Halteeinrichtung vorgesehen. Muss die Halteeinrich- tung zur Temperierung gekühlt werden, weil die Temperatur des Gaseinlass- organs während des Beschichtungsprozesses auf einer hohen Temperatur gehalten wird, so wird bevorzugt ein aktives Temperierelement verwendet, welches im Bereich zwischen Gaseinlassorgan und Halteeinrichtung angeordnet ist. Die wabenartige oder kastenartige Struktur der Halteeinrichtung, die ihr die Form eines Fachwerks verleiht, führt darüber hinaus zu ihrer mechanischen Stabilisierung. Bei den Befestigungsmitteln handelt es sich um die besagten elastischen Befestigungsmittel, mit denen der Randbereich der Halteeinrichtung am Gehäuse befestigt ist. In einer bevorzugten Ausgestaltung erstreckt sich zwischen dem Gaseinlassorgan und der Halteeinrichtung ein vertikaler Ab- standsraum. Zur Befestigung des Gaseinlassorgans an der Halteeinrichtung dient eine Vielzahl von Hängern. Bei den Hängern kann es sich um langgestreckte metallische oder keramische Zugelemente handeln, die mit ihrem oberen Ende an der Halteeinrichtung und mit ihrem unteren Ende an einer Befestigungsstelle des Gaseinlassorgans befestigt sind. Die Hänger können höhenein- stellbar sein. Hierdurch lässt sich an jeder Aufhängestelle der Abstand zwischen Gasaustrittsfläche und Suszeptoroberseite, also die Prozesskammerhöhe einstellen. Bevorzugt sind die Hänger aus einem Material gefertigt, welches einen geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten besitzt. Die Wände des Gaseinlassorgans sind mit Temperierungskanälen versehen. Insbesondere ist die, die Gasaustrittsfläche ausbildende Wand des Gaseinlassorgans aber auch die davon wegweisende Wand mit Kanälen versehen, durch die ein Temperierungsmittel, beispielsweise eine heiße Flüssigkeit strömen kann. Zur Temperaturstabilisierung der Halteeinrichtung trägt nicht nur ihre Form bei. Die Halteeinrichtung ist als Leichtbauteil ausgebildet. Die Maßnahmen, die ergriffen werden, um den Wärmetransport vom Gaseinlassorgan zur Halteeinrichtung aktiv zu vermindern, können die Anordnung ein oder mehrere Wärmeschilde im Abstandsraum zwischen Gaseinlassorgan und Halteeinrichtung umfassen. Bei den Wärmeschilden handelt es sich um Flächenobjekte, die sich parallel zur Flächenerstreckung des Gaseinlassorgans im Abstandsraum befinden. Ihre Oberflächen können hochreflektierend sein. Alternativ dazu können auch Iso- lierkörper im Abstandsraum angeordnet sein. Zumindest ein Wärmeschild kann aktiv gekühlt werden. Das aktiv gekühlte Wärmeschild ist bevorzugt der Halteeinrichtung unmittelbar benachbart. Bei dem aktiv gekühlten Wärmeschild kann es sich um eine Platte handeln, deren Flächenerstreckung etwa der Flächenerstreckung der Halteeinrichtung bzw. der Flächenerstreckung des Gaseinlassorgans entspricht. Innerhalb der Platte verlaufen Kühlmittelkanäle, durch die ein Kühlmittel hindurchströmen kann. Hierdurch kann die Halteeinrichtung auf einer konstanten Temperatur gehalten werden. Wird das Gaseinlassorgan aufgeheizt, so behält die Halteeinrichtung im Wesentlichen ihre Temperatur bei. Die Strecke, um die sich die Prozesskammerhöhe während des Betriebs der Vorrichtung ändern kann, liegt bei unter 1 mm. Die Oberflächentemperatur des Gehäuses liegt bei etwa 30° C. Die Temperatur der Halteeinrichtung kann auf einen Wert von 50° C stabilisiert werden. Hierzu wird der aktive Wärmeschild auf eine Temperatur von etwa 50° gekühlt. Das als Showerhead ausgebildete Gaseinlassorgan wird bei einer Temperatur von beispielsweise 450° betrieben und das Substrat auf eine Temperatur von 20° abgekühlt. Durch ein oder mehrere passive Wärmeschilde, die sich zwischen dem aktiven Wärmeschild und dem Gaseinlassorgan befinden, wird der Wärmefluss vom Gaseinlassorgan zum aktiv gekühlten Wärmeschild reduziert. Ein unmittelbar dem Gaseinlassorgan benachbartes Wärmeschild kann beispielsweise eine

Oberflächentemperatur von 350° aufweisen. Das Wärmeschild kann aus Metall oder einem keramischen Werkstoff bestehen. Zwischen diesem passiven Wärmeschild und dem aktiven Wärmeschild kann ein weiteres passives Wärmeschild angeordnet sein, welches ebenfalls von einer Metallplatte oder einer Ke- ramikplatte gebildet ist. Dessen Temperatur liegt beim Betrieb bei etwa 270° C. Es können auch mehr als zwei passive Wärmeschilde zwischen dem Gaseinlassorgan und dem aktiv gekühlten Wärmeschild vorgesehen sein. Die Oberflächen der Wärmeschilde können eine geringe optische Emissivität besitzen. Sie können polierte, spiegelnde Oberflächen sein. Die Hänger können verwendet werden, um die Wärmeschilde zu halten. Es ist aber auch vorgesehen, dass die Hänger lediglich durch Öffnungen der Wärmeschilde hindurchragen, so dass sich eine Verformung der Wärmeschilde nicht auf die Lage des Gaseinlassorgans im Raum auswirkt. Erfindungsgemäß ist die Halteeinrichtung gegen Verformungen stabilisiert. Es handelt sich dabei um Verformungen, die von einer sich ändernden Temperatur und/ oder von einem sich ändernden Druck hervorgerufen werden. Die Wärmeschilde können an separaten Aufhängevorrichtungen aufgehangen sein, die entweder an der Gehäusedecke oder an der Halteeinrichtung befestigt sind. Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Verfahren zum Betrieb einer derartigen Vorrichtung.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen [0009] Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. l einen Schnitt entlang der Linie I - I in Fig. 2 durch eine schematisch dargestellte PVD-Beschichtungseinrichtung,

Fig. 2 die Draufsicht auf die Beschichtungseinrichtung,

Fig. 3 den Schnitt gemäß der Linie III - III in Fig. 1,

Fig. 4 das Gehäuseoberteil eines PVD-Reaktors eines zweiten Ausführungsbeispiels in einer Schnittdarstellung etwa gemäß Fig. 1,

Fig. 5 das geschnittene Gehäuseoberteil gemäß Fig. 4 in einer perspektivischen Darstellung,

Fig. 6 ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung in einer Darstellung gemäß Fig. 3, Fig. 7 den Schnitt gemäß der Linie VII - VII in Fig. 6,

Fig. 8 den Schnitt gemäß der Linie VIII - VIII in Fig. 6,

Fig. 9 als viertes Ausführungsbeispiel eine perspektivische Darstellung eines weiteren Befestigungsmittels,

Fig. 10 als fünftes Ausführungsbeispiel eine perspektivische Darstellung eines weiteren Befestigungsmittels,

Fig. 11 als sechstes Ausführungsbeispiel eine perspektivische Darstellung eines weiteren Befestigungsmittels,

Fig. 12 das Detail XII in Fig. 11, die Figuren

Fig. 13 a - d Varianten zur Anordnung von Befestigungsmittel 13 an einer

Baugruppe 23,

Fig. 14 ein weiteres Ausführungsbeispiel in einer Darstellung ähnlich der Figur 6,

Fig. 15 die Draufsicht auf ein Befestigungsmittel 13.2 aus Figur 14, Fig. 16 den Schnitt gemäß der Linie XVI-XVI in Figur 15, Fig. 17 den Schnitt gemäß der Linie XVII-XVII in Figur 16, Fig. 18 den Schnitt gemäß der Linie XVIII-XVIII in Figur 16, Fig. 19 den Schnitt gemäß der Linie IXX-IXX in Figur 16,

Fig. 19a vergrößert den Ausschnitt IXXa in Figur 19,

Fig. 20 das Befestigungsmittel 13.1 aus Figur 14,

Fig. 21 den Schnitt gemäß der Linie XXI-XXI in Figur 20,

Fig. 22 den Schnitt gemäß der Linie XXII-XXII in Figur 21,

Fig. 23 den Schnitt gemäß der Linie XXIII-XXIII in Figur 21, Fig. 24 den Schnitt gemäß der Linie XXIV-XXIV in Figur 21, und Fig. 24a vergrößert den Ausschnitt XXIVa in Figur 24. Beschreibung der Ausführungsformen

[0010] Die in den Figuren 1 bis 3 dargestellte Vorrichtung ist eine PVD- Vorrichtung zum Beschichten großflächiger Substrate mit organischen Schichten. Die Substrate können eine Rechteckform aufweisen mit einer Diagonalen von mehr als 1 m, vorzugsweise von mehr als 2 m oder 3 m. Das Gehäuseunterteil 2 trägt einen Suszeptor 15 zur Auflage des Substrates. Der Suszeptor 15 besitzt eine Vielzahl von Kühlmittelkanälen 16, durch die ein Kühlmittel in die Prozesskammer eingebracht werden kann. Der Suszeptor wird mittels des Kühlmittels auf einer Temperatur von etwa 20° C gehalten.

[0011] Der obere Teil 1 des Gehäuses besitzt eine Gehäusedecke, die von einer Rippenstruktur 17, 18 mechanisch stabilisiert wird. Das Gehäuseunterteil 2 besitzt eine ähnliche Rippenstruktur zur mechanischen Stabilisierung des Gehäu- sebodens. In der Gehäusedecke können Temperiermittelkanäle angeordnet sein, durch die ein flüssiges Temperiermedium fließt, um die Gehäusedecke auf einer vorgegebenen Temperatur zu halten.

[0012] Am Rand der Gehäusedecke und am Rand der Seitenwandung des Ge- häuseoberteils 1 sind Befestigungsmittel 13, 14 vorgesehen. Es handelt sich um elastische Befestigungsmittel 13, 14, mit denen eine Halteeinrichtung 3 an ihrem horizontalen Rand am Gehäuseoberteil 1 befestigt ist.

[0013] Die Halteeinrichtung 3 ist ein Leichtbauteil in Form eines Fachwerks oder einer Wabenstruktur. Es besitzt eine Vielzahl entlang vertikaler Verbin- dungslinien miteinander verbundener Flächenelemente 4, 5. Die Flächenelemente 4, 5 bilden Vertikalwände aus. Beim Ausführungsbeispiel wird die Halteeinrichtung 3 von einem sich kreuzende Vertikalwände 4, 5 ausbildenden Halterahmen ausgebildet, der mit seinem Rand 3' über die Befestigungsmittel 13, 14 am Gehäuse 1 befestigt ist. Da die Halteeinrichtung 3 nur an ihrem Rand 3' mit dem Gehäuse 1 befestigt ist, führt eine bei einer Druckänderung im Inneren des Gehäuses 1, 2 nicht zu vermeidenden Verbiegung der Gehäusedecke zu keiner relevanten Lageveränderung der Halteeinrichtung 3 innerhalb des Gehäuses 1, 2. Der gesamte vom Rand 3' umgebene mittlere Flächenbereich der Halteeinrichtung 3 unterspannt frei die dazu parallel verlaufende Decken- wandung des Gehäuseoberteils 1. Die Befestigungsmittel 13, 14 sind am Rand der Deckenwand des Gehäuseoberteils 1 befestigt. Die Halteeinrichtung 3 bildet eine offene oder geschlossene Zellstruktur aus, wobei die horizontalen Flächen der Zellen um mindestens den Faktor 100 kleiner sind als die Horizontalfläche der Halteeinrichtung 3. Die vertikale Höhe einer Fläche kann in der Größen- Ordnung einer kreisäquivalenten Diagonalen der Horizontalfläche der Zelle liegen. [0014] Ein Gaseinlassorgan 7, bei dem es sich um einen Hohlkörper handelt, dessen Wände Temperierkanäle 9 aufweisen, ist vertikal oberhalb des Suszep- tors 15 angeordnet. Der Abstand der Unterseite des Gaseinlassorgans 7, die eine Gasaustrittsfläche T ausbildet, zur Oberseite des Suszeptors 15 beträgt wenige Zentimeter. Die Gasaustrittsfläche T besitzt eine Vielzahl von duschkopfartig angeordneten Gasaustrittsöffnungen 8, durch die aus dem Hohlraum des Gaseinlassorgans 7 Prozessgase in die Prozesskammer strömen können, die von der Oberseite des Suszeptors 15 und der Unterseite des Gaseinlassorgans 7 gebildet ist. Das Gaseinlassorgan 7 wird auf Temperaturen von etwa 450° C tem- periert.

[0015] Das Gaseinlassorgan 7 ist mit mechanischen Befestigungselementen 6 an der Halteeinrichtung 3 befestigt. Die mechanischen Befestigungselemente 6 sind im Wesentlichen gleichmäßig über die gesamte Erstreckungsfläche des Gaseinlassorgans 7 verteilt angeordnet. Die Abstände benachbarter Befestigungselemente 6 voneinander sind wesentlich geringer als eine Kantenlänge oder die Diagonale des Gaseinlassorgans 7. Bevorzugt beträgt der maximale Abstand, den zwei benachbarte Befestigungselement 6 besitzen weniger als der zehnte Teil der kreisäquivalenten Diagonalen des Gaseinlassorgans.

[0016] Bei den mechanischen Befestigungselementen handelt es sich um Hä- nger 6, die mit einem Kopf 6' an der Halteeinrichtung 3 befestigt sind und sich über einen vertikalen Abstandsraum zum Gaseinlassorgan 7 erstrecken. Dort sind die Hänger 6 an Aufhängestellen 6' mit ihren Füßen am Gaseinlassorgan 7 befestigt. Das Gaseinlassorgan 7 besitzt zwei parallel zueinander sich erstreckende Wände, die jeweils Temperiermittelkanäle 9 aufweisen. Bevorzugt sind alle sechs Seiten des Gaseinlassorganes 7, welches vorzugsweise als Shower- head ausgebildet ist, beheizt. Hierzu besitzen die Wände aller sechs Seiten Temperierelemente, bspw. elektrische Heizeinrichtungen oder Kanäle, durch die eine Temperierflüssigkeit fließen kann, so dass das Gaseinlassorgan homogen auf eine Temperatur von bspw. 450° aufheizbar ist. Die Befestigungsstellen 6' können an der oberen Wandung des Gaseinlassorgans 7 vorgesehen sein. Beim Ausführungsbeispiel sind die Befestigungsstellen 6' aber an der die Gasaustrittsöffnungen 8 aufweisenden Wandung des Gaseinlassorgans 7 vorgesehen. Die Füße der Hänger 6 sind dort also an der untersten Wand des Ga- seinlassorganes 7 befestigt.

[0017] Die Köpfe 6" der Hänger 6 sind in Öffnungen bzw. Aussparungen 19 der Oberseite der Halteeinrichtung 3 gelagert. Die Köpfe 6" können von

Schrauben gebildet sein, die in Gewinde eingedreht sind, so dass sich über eine Drehung der Köpfe 6" die Länge der Hänger 6 bzw. die vertikale Position der Aufhängestellen 6' ändern lässt. Die Köpfe 6" können aber auch von Muttern oder anderen Einstellgliedern ausgebildet sein, mit denen sich die Höhenlage des Gaseinlassorgans lokal einstellen lässt. Hierdurch kann die Höhe der Pro- zesskammer örtlich voreingestellt werden. Die Hänger 6 bestehen bevorzugt aus einem Werkstoff, der nur einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, so dass sich die Erwärmung der Hänger 6 nicht auf die lokale Höhe der Prozesskammer auswirkt.

[0018] In einer bevorzugten Ausgestaltung, die auch in dem in den Figuren 1 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel verwirklicht ist, handelt es sich bei der Halteeinrichtung 3 nicht nur um einen mechanisch stabilisierten Halterahmen, sondern auch um einen temperaturstabilisierten Halterahmen. Hierzu befindet sich unmittelbar unterhalb der Halteeinrichtung 3 ein aktiv temperierter Wärmeschild 11. Bei dem Wärmeschild 11 handelt es sich um eine Platte aus Metall oder aus Keramik mit Kühlmittelkanälen 12. Durch diese Kühlmittelkanäle 12 wird ein Kühlmittel hindurchgeleitet, was den aktiv gekühlten Wärmeschild 11 auf eine Temperatur von etwa 50° bringt. Die Halteeinrichtung kann aber auch direkt gekühlt werden.

[0019] Zwischen dem aktiv gekühlten Wärmeschild 11 und dem Gaseinlassorgan 7 können ein oder mehrere passive Wärmeschilde angeordnet sein. Beim Ausführungsbeispiel ist ein passiver Wärmeschild 10 vorgesehen, bei dem es sich ebenfalls um eine Metallplatte oder um eine keramische Platte handeln kann. Der passive Wärmeschild besitzt eine Temperatur, die im Bereich zwischen der Temperatur des Gaseinlassorgans und der Temperatur des aktiven Wärmeschildes liegt. Die Temperatur des passiven Wärmeschildes kann im Be- reich zwischen 400° und 200° liegen. Bei der Verwendung von mehreren parallel zueinander angeordneten passiven Wärmeschilden können die einzelnen Wärmeschilde Temperaturen von 270° bzw. 350° aufweisen. Die Temperatur der Halteeinrichtung wird dadurch auf etwa 50° gehalten. Die Gehäusetemperatur liegt dann bei etwa 30° C. Die passiven Wärmeschilde 10 sind vorzugs- weise Metallplatten mit hochreflektierenden Oberflächen. Ihr Emissionskoeffizient liegt bei weniger als 0,2.

[0020] Das in den Figuren 4 und 5 dargestellte zweite Ausführungsbeispiel eines Gehäuseoberteiles 1 weist ebenfalls einen als Leichtbauteil ausgebildeten Halterahmen 3 aus, der von einer fachwerkartigen Kammerstruktur ausgebildet ist, wobei vertikale Kammerwände 4, 5 an vertikalen Verbindungslinien miteinander verbunden sind. Die Kammerwände 4, 5 können auch hier von dünnen Metallplatten ausgebildet sein. Zusätzlich weist dort der Halterahmen 3 noch eine horizontal verlaufende obere Horizontalwand 20 und eine untere Horizontalwand 21 auf. [0021] Auch bei diesem Ausführungsbeispiel ist lediglich der vertikale umlaufende Rand 3' der Halteeinrichtung 3 mit dem Gehäuse 1 verbunden. Die dies- bezüglichen Befestigungsmittel 13 können elastische Befestigungsmittel sein. Sämtliche Wände der Halteeinrichtung 3 bestehen aus dünnsten Flächenmaterialien, wie Blechen. Es bildet sich eine offen- oder geschlossenzellige Raumstruktur aus. Die Halteeinrichtung 3 ist am Rand einer Deckenplatte des Ge- häuseoberteils 1 befestigt. Es ist aber auch möglich, die Halteeinrichtung 3 monolithisch fertigen, bspw. ein Fachwerk aus einem massiven Block herauszufrä- sen.

[0022] Ein Gaseinlassorgan 7 mit einer Vielzahl von Gasaustrittsöffnungen ist über eine Vielzahl von im Wesentlichen gleichmäßig über die Erstreckungsflä- che des Gaseinlassorgans 7 angeordneten Befestigungsstellen 6' an der Halteeinrichtung 3 befestigt. Es sind mechanische Befestigungselemente 6 verbunden, die auch hier von Hängern gebildet sind. Der Kopf der Hänger 6" ist mit der Halteeinrichtung 3 verbunden. Der Fuß der Hänger 6 ist an den Befestigungsstellen 6' mit dem Gaseinlassorgan 7 verbunden. Auch hier befinden sich im vertikalen Abstandsraum zwischen der Halteeinrichtung 3 und dem Gaseinlassorgan 7 mehrere Wärmeschutzschilde 10, 11. Auch hier ist zumindest ein aktiv gekühltes Wärmeschutzschild 11 vorgesehen, welches unmittelbar unterhalb der Halteeinrichtung angeordnet ist und sich parallel zur Unterseite der Halteeinrichtung 3 erstreckt. Zwischen dem aktiv gekühlten Wärmeschild 11 und der Oberseite des Gaseinlassorgans 7 erstreckt sich eine Vielzahl parallel zueinander verlaufender passiver Wärmeschutzschilde 10.

[0023] Bei dem Ausführungsbeispiel sind die Wärmeschutzschilde mit den Hängern 6 verbunden. Die Hänger 6 halten somit nicht nur das Gaseinlassorgan 7 an der Halteeinrichtung 3, sondern auch die Wärmeschutzschilde 10, 11 in ihrer Vertikalposition. Die Wärmeschutzschilde 10, 11 können aber auch mit gesonderten Hängern an der Halteeinrichtung 3 befestigt sein. Sie besitzen hochreflektierende Oberflächen. Eine unterhalb der Halteeinrichtung 3 ange- ordnete Platte 11, die sich über die gesamte Flächenerstreckung der Halteeinrichtung 3 erstreckt, besitzt Kühlmittelkanäle 12, durch die Kühlwasser hindurchfließt.

[0024] In einem nicht dargestellten Ausführungsbeispiel kann vorgesehen sein, dass die Wärmeschutzschilde 10, 11, deren vertikale Lage im Wesentlichen unkritisch ist, über gesonderte Aufhängevorrichtungen direkt am Gehäuse 1 befestigt sind. Diesbezügliche Aufhängevorrichtungen können am Rand der Wärmeschutzschilde 10, 11 vorgesehen sein. Sie können aber auch im mittleren Flächenbereich der Wärmeschutzschilde 10, 11 vorgesehen sein und beispiels- weise durch Durchtrittsöffnungen der Halteeinrichtung 3 hindurchgreifen, um an der Decke des Gehäuseoberteils 1 befestigt zu sein.

[0025] Im Deckelabschnitt des Gehäuseoberteiles 1 sind verschließbare Öffnungen 22 im Bereich zwischen den Versteifungsrippen 17, 18 angeordnet. Durch Öffnen dieser Öffnungen 22 ist ein Zugang zur Oberseite der Halteein- richtung 3 bzw. zur oberen Horizontalwand 20 möglich. Dort befinden sich die Öffnungen 19, in denen die Köpfe 6" der Hänger 6 stecken. Die Köpfe 6" können von Gewindeteilen ausgebildet sein, so dass sich durch Drehen der Köpfe 6" die effektive Länge der Hänger 6 beeinflussen lässt. Die Kopfe 6" der Hänger bilden somit Einstellorgane, um lokal die Höhe der Prozesskammer, also den Abstand des Gaseinlassorgans 7 vom Suszeptor 15 zu beeinflussen.

[0026] Die zuvor beschriebene Vorrichtung wird verwendet, um OLEDs auf großflächigen Substraten abzuscheiden. Bei diesem Verfahren werden feste, in Pulverform vorliegende Ausgangsstoffe über einen Verdampfer in eine Gasform gebracht. Mittels eines Trägergases wird der so gebildete organische Dampf in das Gaseinlassorgan 7 gefördert, wo der Dampf aus den Gasaustritts- Öffnungen T heraustritt, um auf der Oberfläche eines auf dem Suszeptor 15 aufliegenden Substrates zu kondensieren.

[0027] Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen bildet die Halteeinrichtung 3 zusammen mit dem Gaseinlassorgan 7 eine Baugruppe 23, die mittels Befestigungsmittel 13, 14 an einem oberen Abschnitt eines Gehäuses 1 befestigt ist.

[0028] Bei dem in den Figuren 6 bi 8 dargestellten Ausführungsbeispiel ist lediglich die Halteeinrichtung 3 der Baugruppe 23 dargestellt. Die Halteeinrichtung 3 ist auch hier ein Leichtbaukörper, bspw. ein von einem Fachwerk gebil- deter Rahmen. Er besitzt einen rechteckigen Grundriss mit vier Ecken und die Ecken verbindenden Seitenwände. An zwei, durch eine Seitenwand miteinander verbundenen Ecken befinden sich Befestigungsmittel 13.1. Auf der Mitte der gegenüberliegenden Seitenwand befindet sich ein weiteres Befestigungsmittel 13.2, so dass die Befestigungsmittel 13.1, 13.2 auf den Eckpunkten eines gleichschenkeligen Dreiecks angeordnet sind.

[0029] Die Befestigungsmittel 13.1, 13.2 bestehen im Wesentlichen aus drei Befestigungselementen. Sie besitzen jeweils ein Befestigungselement 24.1, 24.2, mit dem das Befestigungsmittel 13.1, 13.2 am Gehäuseoberteil 1 befestigt ist. Ein weiteres Befestigungselement 25.1, 25.2 ist an der Halteeinrichtung 3 befestigt. Das Befestigungselement 25.1 ist ein winkelförmiges Element, welches den Eckbereich der Halteeinrichtung 3 umfasst und Winkelschenkel aufweist, die flächig mit der Seitenwand der Halteeinrichtung 3 verbunden sind. Das Befestigungselement 25.2 besitzt eine sich in einer Ebene erstreckende Befestigungsseite, die etwa in der Mitte der Seiten wand an der Halteeinrichtung 3 befestigt ist. [0030] Die beiden Befestigungselemente 24.1 bzw. 24.2 und 25.1 bzw. 25.2 sind jeweils mittels eines Zwischenelementes 26.1, 26.2 miteinander verbunden. Die Zwischenelemente 26.1, 26.2 dienen der Kraftübertragung, mit denen die Gewichtskraft vom Befestigungsmittel 25.1, 25.2 auf das Befestigungsmittel 24.1, 24.2 übertragen wird. Bei den Zwischenelementen 26.1, 26.2 handelt es sich somit um Kraftübertragungsmittel, die im Ausführungsbeispiel der Figuren 6 bis 8 jeweils die Form einer rechteckigen Platte aufweisen. Ein oberer Abschnitt des Biegeelementes 26.1, 26.2 ist jeweils mit einem gehäuseseitigen Befestigungselement 24.1, 24.2 verbunden. Ein unterer Abschnitt des Zwischenelementes 26.1, 26.2 ist mit dem braugruppenseitigen Befestigungselement 25.1, 25.2 verbunden. Die Biegeelemente 26.1, 26.2 besitzen eine sich in Vertikalrichtung erstreckende Biegefläche, so dass die Flächennormale in Horizontalrichtung weist. Die Flächennormalen der Biegeelemente 26.1 weisen in etwa in Richtung der Winkelhalbierenden der beiden sich im Eckpunkt treffenden Seitenwände der Halteeinrichtung 3. In einer bevorzugten Variante weisen die Flächennormalen der Biegeelemente 26.1 aber in Richtung auf den geometrischen Schwerpunkt M der Halteeinrichtung 3, so dass die thermische Ausdehnungsrichtung h am Befestigungspunkt mit der Flächennormalen der Biegeelemente 26.1 übereinstimmt. Die Flächennormale des Biegeelementes 26.2 erstreckt sich in einer Richtung quer zur Seitenwand der Halteeinrichtung. Bei einer Temperaturausdehnung der Halteeinrichtung 3 kann sich letztere in der Horizontalebene ausdehnen. Dabei kann sich der Abstand der einzelnen Ecken der Halteeinrichtung 3 vergrößern oder verkleinern. Eine derartige Größenveränderung der Halteeinrichtung 3 ist mit einer geringfügigen Verbiegung des flächigen Biege- elementes 26.1, 26.2 verbunden.

[0031] Bei den Biegeelementen kann es sich um Biegeplatten handeln, die zueinander parallele Randkanten aufweisen, die jeweils mit Befestigungsbacken an einem Befestigungselement 24.1, 24.2, 25.1, 25.2 des Gehäuses bzw. der Halteeinrichtung befestigt sind. Die erfindungsgemäßen Kraftübertragungsmittel sind so ausgelegt, bzw. derart an Befestigungselementen befestigt, dass sie eine Ausweichbewegung der Baugruppe 23, insbesondere des Gaseinlassorganes, ausschließlich in der Horizontalebene erlauben. Die Verlagerungswege der Biegeelemente sind deshalb um mindestens eine Größenordnung (Faktor 10) klei- ner als die Länge des Biegeabschnitts des Biegeelementes.

[0032] Die Fig. 9 zeigt eine Variante eines Befestigungselementes 13.4. Ein biegeelastisches Zwischenelement 26.4 in Form eines Stabes, der massiv oder hol sein kann, ist mittels eines oberen Befestigungselementes 24.4 mit dem Gehäuse 1 und einem unteren Befestigungselement 25.4 mit der Halteinrichtung 3 verbunden. Anstelle eines Stabes kann aber auch ein Seil verwendet werden. Der Stab und das Seil sind die Kraftübertragungsmittel, mit denen die Gewichtskraft von der Halteeinrichtung 3 bzw. des Gaseinlassorganes auf das Gehäuse übertragen wird. Bei den Befestigungselementen 24.1 bzw. 25.4 kann es sich um Winkelelemente handeln. Das Zwischenelement 26.1 besteht bevorzugt ebenso wie die Zwischenelemente 26.1 und 26.2 aus Metall. Der Stab 26.4 erstreckt sich in Vertikalrichtung. Er kann aber auch geneigt dazu verlaufen. Er besitzt einen kreisrunden Querschnitt, kann aber auch einen anderen, bspw. einen Mehrkantquerschnitt aufweisen.

[0033] Das in der Fig. 10 dargestellte Ausführungsbeispiel entspricht im We- sentlichen der in den Figuren 6 und 8 dargestellten Eckhalterung. Gezeigt ist jedoch ein als Traverse gestaltetes gehäuseseitiges Befestigungselement 24.1, welches mit Schrauben an den inneren Seitenwänden des Gehäuseoberteils 1 befestigt ist. Das baugruppenseitige Befestigungselement 25.1 besitzt zwei in einem 90°- Winkel zueinander stehende Winkelschenkel, die ebenfalls mittels Schrauben mit der Baugruppe 23 befestigt sind. Eine jeweils um 45° versetzt zu den Winkelschenkeln des Befestigungselementes 25.1 verlaufende Seite ist mit dem biegeelastischen Zwischenelement 26.1 verbunden. Bei dem Zwischenele- ment 26.1 handelt es sich ebenso wie bei dem Zwischenelement 26.1 um ein Kraftübertragungsmittel .

[0034] Das in den Figuren 11 und 12 dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt eine Verbindung einer Traverse 30, die von zwei gehäuseseitigen Befestigungs- elementen 24.3, 24.4 getragen ist, und über vier Kettenglieder 27, 28, 29 mit einem baugruppenseitigen Befestigungselement 25.3 verbunden ist, welches ein Winkelelement ist. Ein oberstes Kettenelement 27 wird von einem Befestigungsbolzen der Traverse 30 gehalten und steckt hierzu in einem Schlitz der Traverse 30. Ein unteres Kettenelement 29 wird zwischen zwei Befestigungs- schenkein des Befestigungselementes 25.3 gehalten und wird ebenfalls von einem Befestigungsbolzen durchgriffen. Es sind zwei Zwischenkettenglieder 28 vorgesehen, die das obere Kettenglied 27 mit dem unteren Kettenglied 29 verbinden. Die Kettenglieder 27, 28, 29 bilden ein Kraftübertragungsmittel, um die Gewichtskraft zu übertragen. [0035] Ebenso wie bei dem in der Fig. 6 dargestellten Ausführungsbeispiel ist hier im Eckbereich eine Ausweichbewegung diagonal zu den Seitenwänden der Baugruppe 23 möglich, wobei sich die Kettenglieder 27, 28, 29 gegeneinander abrollen. Die Öffnungen der Kettenglieder 27 und 29 sind um 90° versetzt zueinander. Die Kettenglieder 27, 28, 29 sind jeweils sich in einer Ebene erstrecken- de kreisförmige Objekte, die jeweils um 90° winkelversetzt ineinander greifen.

[0036] In analoger Weise ist zu dem in der Fig. 6 dargestellten Ausführungsbeispiel kann etwa in der Mitte der den beiden Eckbereichen gegenüberliegenden Seitenwand ein drittes, nicht dargestelltes Befestigungsmittel vorgesehen sein, welches ebenfalls mehrere ineinandergreifende Kettenglieder 27, 29, 29 aufweist, so dass sich die dortige Schmalwand in einer Richtung quer zu ihrer Erstreckungsrichtung ausweichen kann. [0037] Die Fig. 13 a zeigt schematisch die Anordnung von Befestigungsmitteln 13 an zwei Eckbereichen und in der Mitte einer gegenüberliegenden Seitenwand einer Baugruppe 23, so dass die Befestigungsmittel 13 an den Eckpunkten eines gleichschenkeligen Dreiecks angeordnet sind. [0038] Die Fig. 13 b zeigt die Anordnung von Befestigungsmitteln 13 an den vier Eckpunkten einer einen rechteckigen Grundriss aufweisenden Baugruppe, wobei hier die Befestigungsmittel 13 auf den Eckpunkten eines Vierecks angeordnet sind.

[0039] Die Fig. 13 c zeigt eine weitere Variante, bei der die Befestigungsmit- tel 13 etwa in der Mitte der senkrecht aufeinander stehenden Seitenwände der Baugruppe 23 angeordnet sind. Es handelt sich hierbei um Biegeelemente, die eine Biegerichtung besitzen, die senkrecht zur Erstreckungsrichtung der Seitenwände verlaufen. Die Biegeelemente sind derart ausgestaltet, dass sich die Baugruppe 23 auch in einer Richtung, die in der Fläche der Biegeelemente liegt, ausdehnen kann. Die Biegeelemente können hierzu nicht als flächige Körper ausgebildet sein, sondern bspw. kammartig gestaltet sein oder Speichen aufweisen.

[0040] Das in der Fig. 13 d dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt die Befestigung einer Baugruppe 23 unter Verwendung von vier Befestigungsmitteln 13, wobei jeweils zwei Befestigungsmittel 13 an zwei sich gegenüberliegenden Seitenwänden der Baugruppe 23 befestigt sind. Die Befestigungsmittel 13 sind dabei von den Eckpunkten beabstandet. Sie sind bspw. um ein Drittel der Seitenlänge von dem jeweiligen Eckpunkt beabstandet und den längeren Seitenwänden zugeordnet. Die Biegeelemente können hier von Stäben ausgebildet sein, die mit einem oberen Ende ortsfest am Gehäuse befestigt sind, so dass sich das untere Ende, das an der Baugruppe 23 befestigt ist, in einer Horizontalebene biegeelastisch verlagern kann.

[0041] Die Figuren 14 bis 24a zeigen ein besonders bevorzugtes Ausführungsbeispiel, bei dem die Baugruppe 23, bei der es sich um eine Halteeinrichtung 3 mit daran befestigtem Gaseinlassorgan 7 oder nur um ein Gaseinlassorgan 7 handeln kann, an drei Befestigungsstellen am Gehäuse befestigt ist. Hierzu sind drei Befestigungsmittel 13.1, 13.2 vorgesehen, die am horizontalen Rand der Baugruppe 23 angreifen und hierzu baugruppenseitige Befestigungselemente 25.1 und 25.2 ausbilden. Die Baugruppe 23 besitzt einen nicht quadratischen, rechteckigen Grundriss. An zwei Ecken einer kürzeren Seite des Rechtecks sind zwei baugruppenseitige Befestigungselemente 25.1 befestigt. Jedes der beiden baugruppenseitigen Befestigungselemente 25.1 ist mit einem gehäuseseitigen Befestigungselement 24.1 verbunden, welches am Gehäuse befestigt ist, auf der dieser kürzeren Rechteckseite gegenüberliegenden kürzeren Rechteckseite be- findet sich in deren Mitte das dritte Befestigungsmittel 13.1, welches ebenfalls ein baugruppenseitiges Befestigungselement 25.2 und ein gehäuseseitiges Befestigungsmittel 24.2 aufweist.

[0042] Aus den Figuren 16 und 21 und den darin eingezeichneten Schnitten ist zu entnehmen, dass jedes baugruppenseitige Befestigungselement 25.1, 25.2 mit einem Zwischenelement 26.1, 26.2 mit einem gehäuseseitigen Befestigungselement 24.1, 24.2 verbunden ist. Bei dem Zwischenelement 26.1, 26.2 handelt es sich um ein Kraftübertragungsmittel in Form einer Biegeplatte. Die Biegeplatte hat einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt und an ihrer oberen und unteren Seite eine Materialverdickung. Die obere Materialverdickung des Zwi- schenelementes 26.1, 26.2 besitzt Anschraubbohrungen, durch die befestigungs- schrauben hindurchgeschraubt sind, mit denen das Zwischenelement 26.1, 26.2 am gehäuseseitigen Befestigungselement 24.1, 24.2 angeschraubt ist. Hierzu weist das gehäuseseitige Befestigungselement 24.1, 24.2 einen vertikalverlager- baren Justierkörper 14 auf, an dem das Kraftübertragungsmittel befestigt ist. Mittels Justierschrauben 42, auf denen sich der Justierkörper 41 abstützt, kann der Justierkörper 41 höheneingestellt werden, um so den Abstand des Gasein- lassorgans 7 gegenüber dem Suszeptor 15 einzustellen.

[0043] Die untere Materialverdickung des Zwischenelementes 26.1, 26.2 besitzt eine Lageröffnung 36. Diese Lageröffnung 36 wird von einem Befestigungszapfen 32 durchgriffen, der fest mit dem baugruppenseitigen Befestigungselement 25.1, 25.2 verbunden ist. Das baugruppenseitige Befestigungselement 25.1, 25.2 besitzt hierzu einen vertikal verlaufenden Schlitz, in den die untere Materialverdickung des Zwischenelementes 26.1, 26.2 eingesteckt ist. Der Schlitz wird von einer Befestigungsöffnung 35 gekreuzt, in die der Befestigungszapfen 32 eingesteckt ist, der Teil eines Bolzens 31.

[0044] Die Halteöffnung 36 besitzt eine sich in Horizontalrichtung erstrecken- de Lagerfläche 40, auf der ein Gleitelement 39 liegt. Auf dem Gleitelement 39 stützt sich eine Lagerflanke 38 des Befestigungszapfens 32 derart ab, dass sich die Lagerflanke 38 gegenüber der Lagerfläche 40 in Horizontalrichtung geringfügig verschieben kann. Hierdurch können Bewegungskomponenten der Temperaturausdehnungsbewegung ausgeglichen werden, die sich nicht in Richtung der Hauptbiegerichtung des als Biegeelementes ausgebildeten Zwischenelementes 26.1, 26.2 erstrecken.

[0045] Für den Fall, dass das Zwischenelement 26.1, 26.2 brechen sollte, ist eine Sicherungseinrichtung 34, 33 vorgesehen. Bei der Sicherungsvorrichtung handelt es sich um einen Sicherungszapfen 33, der fest mit einer der beiden Baugruppen 24, 25 befestigt ist und der in ein Auge 34 des jeweils anderen Befestigungselementes eingreift. Beim Ausführungsbeispiel ist der Sicherungszap- fen 33 dem baugruppenseitigen Befestigungselement 25.1, 25.2 ortsfest zugeordnet. Im Detail wird der Sicherungszapfen 33 von dem besagten Bolzen 31 ausgebildet. Das Sicherungsauge wird von einer Sicherungsöffnung 34 ausgebildet, die an einem Fortsatz des gehäuseseitigen Befestigungselementes 24.1, 24.2 sitzt.

[0046] Der Durchmesser der Sicherungs Öffnung 34 ist größer als der Durchmesser des Sicherungszapfens 33, so dass der Sicherungszapfen 33 frei in die Öffnung 34 hineinragt. Die Umfangsfläche des Sicherungszapfens 33 besitzt über ihren gesamten Umfang einen Abstand zur Innenwandung der Siche- rungsöffnung 34, so dass der Sicherungszapfen 33 frei und berührungslos in die Sicherungsöffnung 34 hineinragt.

[0047] Sollte es zu einem Bruch des biegeelastischen Kraftübertragungsmittels kommen, so fällt die Baugruppe 23 nur so weit nach unten, bis der Sicherungszapfen 33 an die Wandung der Öffnung 34 anstößt. [0048] Die erfindungsgemäße Sicherungsvorrichtung besitzt eine mit allseitigem Abstand in eine Sicherungsöffnung 34 eingreifenden Sicherungszapfen 33, wobei der Sicherungszapfen 33 entweder einem gehäuseseitigen oder einem baugruppenseitigen Befestigungselement zugeordnet ist und die Sicherungsöffnung 34 dem jeweils anderen Befestigungselement, wobei das baugruppen- seifige Befestigungselement und das gehäuseseitige Befestigungselement ansonsten ausschließlich durch ein eine Horizontale Ausweichbewegung ermöglichendes Zwischenelement miteinander verbunden sind.

[0049] Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zu- mindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils auch eigenständig weiterbilden, nämlich:

[0050] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Befestigungsmittel 13, 14 Kraftübertragungsmittel 26.1, 26.2, 26.3, 26.4; 27, 28, 29 aufweisen, die sich bei einer durch die Temperierung verursachten Größenänderung der Baugruppe 23 verformen oder gegeneinander verlagern.

[0051] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Baugruppe 23 ausschließlich an ihrem horizontalen Rand 3' am Gehäuse 1, 2 befestigt ist.

[0052] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Baugruppe 23 mit elastisch verformbaren Kraftübertra- gungsmitten26.1, 26.2, 26.4 am Gehäuse 1, 2 befestigt ist, die eine Hauptverformungsrichtung besitzen, die auf den horizontalen Flächenschwerpunkt M der Baugruppe 23 gerichtet ist.

[0053] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Gaseinlassorgan 7 mit einer Vielzahl von über die gesamte horizontale Erstreckungsfläche verteilt angeordneten Hängern 6 an einer mit den Befestigungsmitteln 13, 14 am Gehäuse 1, 2 befestigten Halteeinrichtung 3 der Baugruppe 23 befestigt ist, wobei sich die Hänger 6 in Vertikalrichtung von den Aufhängestellen 6' zur Halteeinrichtung 3 erstrecken und in einem vertikalen Abstandsraum zwischen Gaseinlassorgan 7 und Halteeinrichtung 3 eine Temperiereinrichtung 11, 12 und/ oder ein oder mehrere Wärmeschilde 10, 11 angeordnet sind. [0054] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Befestigungsmittel 13, 14, 13.1, 13.2, 13.3, 13.4 am Rand der einen rechteckigen Grundriss aufweisenden Baugruppe 23 an den Eckpunkten eines Mehrecks, insbesondere eines Dreiecks oder Vierecks angeordnet sind. [0055] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass zumindest ein Kraftübertragungsmittel ein elastisch verformbares Biegeelement 26.1, 26.2, 26.4 ist.

[0056] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Kraftübertragungselement 26.1, 26.2 eine rechteckige Plat- te ist oder, dass das Biegeelement 26.4 ein massiver oder hohler Stab ist, oder dass das Biegeelement ein Seil ist.

[0057] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass zumindest ein Kraftübertragungsmittel 13.3 sich gegeneinander abrollende Elemente 27, 28, 29 aufweist. [0058] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass von den gegeneinander abrollenden Elementen ein erstes Element 27 fest am Gehäuse 1, 2 befestigt ist, ein zweites Element 29 fest an der Baugruppe befestigt ist, und zumindest ein drittes Element 28 das erste und zweite Element 27, 29 miteinander verbindet. [0059] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die sich gegeneinander abrollenden Elemente 27, 28, 29 Kettenglieder sind. [0060] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Kraftübertragungsmittel ein Zwischenelement 26.1, 26.3, 26.4 ist, mit dem zumindest eines der insbesondere in einem Eckbereich angeordneten Befestigungselemente 24.1, 24.2, 24.3, 24.4 über ein Zwischenelement 26.1, 26.3, 26.4 an einem an der Baugruppe 23 befestigten Befestigungselement

25.1, 25.3, 25.4 befestigt ist.

[0061] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sich ein Biegeelement 26.4 mit seinem an einem baugruppen- seitigen Befestigungselement 25.4 befestigten Ende in einer Horizontalebene biegeelastisch gegenüber seinem am gehäuseseitigen Befestigungselement 24.4 verlagern kann.

[0062] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sich das gehäuseseitige Befestigungselement 24.1 - 24.3 etwa auf derselben vertikalen Höhe befindet, wie das zugehörige baugruppenseitige Befestigungselement 25.1 - 25.3.

[0063] Eine CVD- oder PVD-Beschichtungseinrichtung, die durch eine Sicherungsvorrichtung gekennzeichnet ist, welche bei einem Bruch des Kraftübertragungsmittels 26.1, 26.2, 26.3, 26.4; 27, 28, 29 in Wirkung tritt, um die Baugruppe 23 am Gehäuse 1 zu halten, insbesondere um ein baugruppenseitiges Befestigungselement 25.1 - 25.4 am gehäuseseitigen Befestigungselement 24.1,

24.2, 24.3, 24.4 zu halten, wobei insbesondere ein Sicherungszapfen 33 berührungsfrei in eine Sicherungsöffnung 34 eingreift.

[0064] Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritäts- unterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.

Liste der Bezugszeichen

1 Gehäuseoberteil 23 Baugruppe

2 Gehäuseoberteil 24.1 gehäuseseitiges Befestigungs¬

3 Halteeinrichtung element

3' Rand der Baugruppe 24.2 gehäuseseitiges Befestigungs¬

4 Vertikalwand element

5 Vertikalwand 24.3 gehäuseseitiges Befestigungs¬

6 Hänger element

6' Befestigungselement 24.4 gehäuseseitiges Befestigungs¬

7 Gaseinlassorgan element

8 Gasaustrittsöffnung 25.1 baugruppenseitiges Befesti¬

9 Temperierkanal gungselement

10 passives Wärmeschild 25.2 baugruppenseitiges Befesti¬

11 aktives Wärmeschild gungselement

12 Kühlmittelkanal 25.3 baugruppenseitiges Befesti¬

13 Befestigungsmittel gungselement

13.1 Befestigungsmittel 25.4 baugruppenseitiges Befesti¬

13.2 Befestigungsmittel gungselement

13.3 Befestigungsmittel 26.1 Zwischenelement

13.4 Befestigungsmittel 26.2 Zwischenelement

14 Befestigungsmittel 26.3 Zwischenelement

15 Suszeptor 26.4 Zwischenelement

16 Kühlmittelkanal 27 Kettenglied, gehäuseseitig

17 Rippe 28 Kettenglied, mittel

18 Rippe 29 Kettenglied, baugruppenseitig

19 Öffnung 30 Traverse

20 obere Horizontalwand 31 Bolzen

21 untere Horizontalwand 32 Befestigungszapfen

22 Öffnung 33 Sicherungszapfen Sicherungsöffnung Bef es tigungs Öffnung Halteöffnung Lagerflanke

Gleitelement Lagerfläche

Justierkörper Justierschrauben