Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bearbeitung, beispielsweise zum Bohren, Schneiden oder Abtragen von Material eines Werkstückes mittels Laserstrahlung. Laserbearbeitungsmaschinen, beispielsweise Laserschneidmaschinen sind grundsätzlich bekannt. Sie weisen ein Laserbearbeitungswerkzeug auf, an dem eine hochenergetische Laserstrahlung bereitgestellt wird. Wird diese hochenergetische Laserstrahlung auf ein zu bearbeitendes Werkstück aufgebracht, erfolgt ein Materialabtrag.

Es sind Laserbearbeitungsmaschinen bekannt, die zudem eine

Messstation aufweisen, um basierend auf den an der Messstation aufgenommenen Messwerten die Bearbeitung des Werkstücks zu vollziehen. Insbesondere kann durch einen an der Messstation

vorgesehenen Sensor die Lage des Werkstücks im Raum vermessen werden, die die Grundlage für die nachfolgende Bearbeitung des

Werkstücks bietet.

Nachteilig an den bisher bekannt gewordenen Laserbearbeitungs- maschinen ist, dass die Laserbearbeitung mittels des

Laserbearbeitungswerkzeugs nur über einen relativ kurzen Zeitraum erfolgt und die Zeitspanne, in der die Zuführung eines Werkstücks und die Vermessung desselben erfolgt, nicht zur Werkstückbearbeitung verwendet werden kann. Ausgehend hiervon ist es Aufgabe der Erfindung, eine

Laserbearbeitungsmaschine anzugeben, bei der das die Werkstückbearbeitung bewirkende Laserbearbeitungswerkzeug in Bezug auf dessen Einsatzzeit effektiver genutzt wird.

Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche 1 und 17 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche, Gemäß einem ersten Aspekt bezieht sich die Erfindung auf eine

Laserbearbeitungsmaschine zum Abtragen von Material von einem Werkstück. Die Laserbearbeitungsmaschine umfasst zumindest eine erste Station, an der ein Laserbearbeitungswerkzeug vorgesehen ist und an der eine Bearbeitung des Werkstücks mittels des

Laserbearbeitungswerkzeugs erfolgt. Ferner ist zumindest eine zweite Station vorgesehen, an der eine Vermessung und/oder Bearbeitung des Werkstücks erfolgt. Insbesondere kann die zweite Station einen Sensor umfassen, mittels dem Informationen, beispielsweise Geometrie, Kontur, Höhenprofil, zumindest eine Markierung o.ä. erfassbar ist. Der Sensor kann beispielsweise ein bildaufnehmender Sensor, beispielsweise eine Kamera sein. Alternativ oder zusätzlich kann die zweite Station auch ein zur Werkstückbearbeitung ausgebildetes Werkzeug aufweisen. Dies kann wiederum ein Laserbearbeitungswerkzeug, ein Werkzeug zur spanenden Werkstückbearbeitung oder ein Werkzeug zur erosiven

Werkstückbearbeitung sein (z.B. Funkenerodieren). Des Weiteren ist eine Transporteinrichtung zum Bewegen des Werkstücks zwischen der ersten Station und der zweiten Station vorgesehen. Die Transporteinrichtung weist zumindest zwei Transporteinheiten auf, die unabhängig voneinander in zwei unterschiedlichen Raumrichtungen verfahrbar sind, und zwar derart, dass die Transporteinheiten in einer ersten Raumrichtung, entlang der die erste und zweite Station angeordnet sind, aneinander vorbeibewegbar sind. Vorzugsweise ist die Transporteinrichtung derart ausgebildet, dass die Transporteinheiten vor dem aneinander

Vorbeibewegen in einer zweiten Raumrichtung zueinander beabstandet werden, so dass die Transporteinheiten dann durch Verfahren in der ersten Raumrichtung kollisionsfrei aneinander vorbeibewegt werden können. Dies schließt auch den Fall ein, dass die Transporteinheiten gleichzeitig in der ersten und zweiten Raumrichtung bewegt werden.

Dadurch wird erreicht, dass die Transporteinheiten wechselweise ein Werkstück der ersten, das Laserbearbeitungswerkzeug aufweisenden Station zuführen können und dabei die weitere Transporteinheit, die sich gerade nicht an der ersten Station befindet, beispielsweise die Abführung des bereits bearbeiteten Werkstücks und/oder die Zuführung eines neuen Werkstücks und dessen Vermessung/Bearbeitung an der zweiten Station bewirken kann. Dadurch wird der Durchsatz der

Laserbearbeitungsmaschine und damit deren Effizienz wesentlich gesteigert.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel weist die Transporteinrichtung eine Führungsschienenanordnung auf, die in einer zweiten Raumrichtung quer zur ersten Raumrichtung verläuft. Auf dieser

Führungsschienenanordnung sind zumindest zwei voneinander unabhängig bewegbare Verfahrschienen vorgesehen. Durch diese Verfahrschienen werden Verfahrwege für die jeweils darauf beweglichen Transporteinheiten gebildet. Die Verfahrschienen können unabhängig voneinander entlang der zweiten Raumrichtung verfahren werden, um ein kollisionsfreies Vorbeibewegen der Transporteinheiten zu ermöglichen.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist auf jeder Verfahrschiene eine, insbesondere genau eine Transporteinheit geführt, die in der ersten, quer, insbesondere senkrecht zur zweiten Raumrichtung verlaufenden Raumrichtung verfahrbar ist. Die Verfahrschiene bildet damit eine Führung für die Transporteinheit, so dass diese entlang dieser Verfahrschiene bewegbar ist. Die Verfahrschiene bildet dabei insbesondere eine

Gleitführung für die Transporteinheit.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel erfolgen die Bewegung der Verfahrschienen auf der Führungsschienenanordnung und/oder die Bewegung der Transporteinheit auf der jeweiligen Verfahrschiene mittels eines Linear-Direktantriebs. Linear-Direktantriebe zeichnen sich durch eine hohe Positioniergenauigkeit aus. Vorzugsweise weisen die Linear- Direktantriebe eine Positioniergenauigkeit derart auf, dass das Werkstück durch das Verfahren der Verfahrschienen entlang der

Führungsschienenanordnung und das Verfahren der Transporteinheiten auf diesen Verfahrschienen mit einer Genauigkeit von kleiner 5pm, insbesondere kleiner 1 pm gegenüber dem Laserbearbeitungswerkzeug positionierbar sind.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die erste Station und die zweite Station in einer gemeinsamen, vertikal ausgerichteten

Maschinenebene angeordnet. Die Laserbearbeitungsmaschine ist dabei derart ausgebildet, dass zumindest eine Verfahrschiene zum aneinander Vorbeibewegen der Transporteinheiten entlang der zweiten Raumrichtung bewegt wird. Dadurch werden die Transporteinheiten, die vor dem

Auseinanderbewegen zumindest abschnittsweise entlang der ersten Raumrichtung überlappende Abschnitte aufweisen( d.h. Abschnitte der Transporteinheiten liegen in einer gemeinsamen vertikalen

Maschinenebene), derart auseinanderbewegt, dass diese kollisionsfrei aneinander vorbeibewegt werden können (d.h. die Überlappung wird durch das Auseinanderbewegen aufgelöst). In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel werden eine Verfahrschiene oder zumindest zwei Verfahrschienen entlang der zweiten Raumrichtung bewegt, und zwar derart, dass bei einem Auseinanderfahren der

Verfahrschienen der Abstand vergrößert wird, um die Transporteinheiten aneinander vorbeibewegen zu können.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird die zumindest eine Verfahrschiene nach dem aneinander Vorbeibewegen der

Transporteinheiten entlang der zweiten Raumrichtung zurückbewegt. Dadurch werden der Abstand zwischen den Verfahrschienen wieder reduziert und dabei die Transporteinheiten, insbesondere deren

Werkstückaufnahmen wieder in der gemeinsamen, vertikal ausgerichteten Maschinenebene positioniert. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die

Führungsschienenanordnung und/oder die Verfahrschienen

temperaturstabilisiert ausgebildet. Die Temperaturstabilisierung kann insbesondere durch ein umlaufend transportiertes Fluid bewirkt werden. Auch andere Varianten der Temperaturstabilisierung (z.B. elektrisch) sind denkbar. Dadurch werden durch thermische Ausdehnung entstehende Positionierungsungenauigkeiten verhindert oder zumindest wesentlich reduziert, was eine höhere Bearbeitungsgenauigkeit zur Folge hat.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die Antriebe für die Verstellung der Verfahrschienen und/oder die Antriebe für die Verstellung der Transporteinheiten und/oder die Lagerstellen dieser Antriebe temperaturstabilisiert ausgebildet. Die Temperaturstabilisierung kann wiederum beispielsweise durch ein umlaufend transportiertes Fluid bewirkt werden. Damit kann die Bearbeitungsgenauigkeit weiter verbessert werden. ln einem bevorzugten Ausführungsbeispiel weist die Transporteinheit jeweils eine Werkstückaufnahme auf, die um zumindest zwei zueinander orthogonale Raumachsen rotierbar und/oder schwenkbar ist. Die

We rkstücka uf na h me kann insbesondere zum Halten des Werkstücks durch Einspannen ausgebildet sein. Durch das Rotieren bzw. Schwenken wird eine verbesserte Variabilität bei der Bearbeitung erreicht.

Beispielsweise können dadurch schräg verlaufende Bohrungen etc. in das Werkstück eingebracht werden. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel weisen die Transporteinheiten jeweils eine Werkstückaufnahme auf und die auf unterschiedlichen Verfahrschienen vorgesehenen Transporteinheiten sind derart

angeordnet, dass die Werkstückaufnahmen zu unterschiedlichen Seiten, d.h. einander zugewandt, von der jeweiligen Verfahrschiene abstehen. Damit wird erreicht, dass die Werkstückaufnahmen durch entsprechendes Positionieren der Verfahrschienen in der Maschinenebene angeordnet werden, in der die an den Stationen durchgeführten Prozesse erfolgen sollen. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist eine dritte Station vorgesehen, die als Werkstückzuführungsstation ausgebildet ist. An dieser Position kann eine maschinelle oder manuelle Zuführung der zu bearbeitenden Werkstücke erfolgen. Dies kann auch beispielsweise mittels eines Roboters erfolgen. Ebenso kann an der dritten Station ein Wenden der Werkstücke erfolgen, um nach einer vorderseitigen

Bearbeitung eine rückseitige Bearbeitung des Werkstücks vollziehen zu können.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die zweite Station (z.B. Messstation) zwischen der ersten Station und der dritten Station vorgesehen. Ferner kann die dritte Station als eine äußere Station vorgesehen sein. Dadurch kann ein an der dritten Station zugeführtes Werkstück an die zweite Station verfahren werden, während ein weiteres, an der Bearbeitungsstation befindliches Werkstück durch das

Laserbearbeitungswerkzeug bearbeitet wird, d.h. ohne die Bearbeitung unterbrechen zu müssen.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die erste Station und die zweite Station derart angeordnet, dass eine Bearbeitung des Werkstücks an der ersten Station nach einem Verfahren desselben in der ersten Raumrichtung von der zweiten Station an die erste Station ohne Verfahren in einer quer zur ersten Raumrichtung verlaufenden zweiten Raumrichtung erfolgt. Dadurch wird die Bearbeitungsgenauigkeit weiterhin verbessert, da keine Positionierungenauigkeiten bei der Positionierung in der zweiten Raumrichtung entstehen.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird beim aneinander

Vorbeibewegen eine erste Transporteinheit von der ersten Station zur dritten Station und eine zweite Transporteinheit in entgegengesetzter Richtung von der zweiten Station zur ersten Station verfahren. In anderen Worten erfolgt das aneinander Vorbeibewegen der Transporteinheiten im Bereich zwischen der ersten und zweiten Station. Damit kann das

Laserbearbeitungswerkzeug möglichst lange im Eingriff sein und parallel eine Zuführung eines Werkstücks zu der weiteren Transporteinheit bzw. dessen VermessungA/orbearbeitung etc. erfolgen.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die zweite Station eine Messstation mit einem Sensor zur Aufnahme von Werkstückinformationen und an der ersten Station erfolgt die Bearbeitung des Werkstücks basierend auf den an der Messstation aufgenommenen

Werkstückinformationen, Damit kann nach der Vermessung des Werkstücks beispielsweise ein lagegenauer Materialabtrag, beispielsweise ein eine Bohrung herstellender Materialabtrag erfolgen.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist eine Optikeinheit vorgesehen, mittels der eine von einer Laserquelle bereitgestellte

Laserstrahlung in eine Taumelbewegung versetzt wird. Dadurch können positiv oder negativ konische Öffnungen bzw. Ausnehmungen (z.B. auch mit Hinterschneidungen) in dem Werkstück erzeugt werden. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist im Bereich der

Bearbeitungsstation eine Vorrichtung zum Ausbringen eines

Prozessgases vorgesehen ist, mittels der von der Laserstrahlung verdampftes Material ausgetrieben wird. Durch die Bereitstellung des Prozessgases kann die Bearbeitungsqualität weiter erhöht werden.

Gemäß einem weiteren Aspekt betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben einer Laserbearbeitungsmaschine umfassend zumindest eine erste Station mit einem Laserbearbeitungswerkzeug, eine zweite Station und eine Transporteinrichtung mit zumindest zwei Transporteinheiten zum Bewegen von Werkstücken zwischen der ersten und zweiten Station, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:

- Durchführen eines Bearbeitungsschritts an einem an einer ersten Transporteinheit gehaltenen Werkstück an der ersten Station;

- Durchführen eines Mess- und/oder Bearbeitungsschritts an einem an einer zweiten Transporteinheit gehaltenen Werkstück an der zweiten Station;

- Vorbeibewegen der zweiten Transporteinheit an der ersten

Transporteinheit derart, dass die Transporteinheiten in einer zweiten Raumrichtung quer zu einer Maschinenebene, in der die erste und zweite Station angeordnet sind, auseinanderbewegt und parallel zu dieser Maschinenebene verfahren werden, um die erste Transporteinheit an der zweiten Station und/oder die zweite

Transporteinheit an der ersten Station zu positionieren.

Unter den Begriff„Laserbearbeitungswerkzeug" im Sinne der Erfindung wird insbesondere ein Werkzeug verstanden, das hochenergetische Laserstrahlung bereitstellt, mittels der ein Materialabtrag an einem zu bearbeitenden Werkstück bewirkt wird. Das„Laserbearbeitungswerkzeug" kann dabei eine Optik aufweisen, mittels der die Laserstrahlung gebündelt bzw. fokussiert wird.

Unter den Begriff„Laserbearbeitungsmaschine" im Sinne der Erfindung wird insbesondere eine Maschine verstanden, mittels der durch eine Laserstrahlung ein Materialabtrag erfolgt, beispielsweise Laserbohren, Laserschneiden, Laserdrehen oder ein flächiger Materialabtrag, der lediglich Material abträgt ohne eine Öffnung durch das Werkstück hindurch zu erzeugen.

Die Ausdrücke„näherungsweise",„im Wesentlichen" oder„etwa" bedeuten im Sinne der Erfindung Abweichungen vom jeweils exakten Wert um +/- 10%, bevorzugt um +/- 5% und/oder Abweichungen in Form von für die Funktion unbedeutenden Änderungen.

Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von

Ausführungsbeispielen und aus den Figuren. Dabei sind alle

beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination grundsätzlich Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung. Auch wird der Inhalt der Ansprüche zu einem Bestandteil der Beschreibung gemacht. Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren an

Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 beispielhaft eine Ausführungsform einer

Laserbearbeitungsmaschine in einer perspektivischen Ansicht;

Fig. 2 beispielhaft die Laserbearbeitungsmaschine gemäß Fig. 1 in einer seitlichen Ansicht; Fig. 3 beispielhaft die Laserbearbeitungsmaschine gemäß Fig. 1 und 2 in einer oberseitigen Ansicht; und

Fig. 4a - 4e beispielhaft die schematische Darstellung von

Bewegungsabläufen einer Transporteinrichtung der

Laserbearbeitungsmaschine gemäß Fig. 1 bis 3.

In den Figuren 1 bis 3 ist jeweils eine Laserbearbeitungsmaschine 1 in unterschiedlichen Ansichten gezeigt. Die nachfolgende Beschreibung der Laserbearbeitungsmaschine 1 erfolgt unter Bezugnahme auf ein kartesisches Koordinatensystem mit senkrecht zueinander stehenden Achsen, nämlich einer x-Achse, eine y-Achse und einer z-Achse. Die Laserbearbeitungsmaschine 1 umfasst im gezeigten Ausführungsbeispiel eine erste Station als Bearbeitungsstation III, eine zweite Station als Messstation II und eine dritte Station als Werkstückzuführungsstation I. Es versteht sich, dass diese Maschinenkonfiguration rein exemplarisch ist und auch andere Konfigurationen von der vorliegenden Erfindung umfass sind, beispielsweise eine Maschine mit lediglich zwei Stationen oder eine Maschine, bei der die zweite Station als weitere Bearbeitungsstation vorgesehen ist. Es versteht sich zudem, dass an einer

Bearbeitungsstation neben dem Bearbeitungswerkzeug ein Sensor vorgesehen sein kann, um eine gewünschte Positionierung bzw.

Nachpositionierung des Werkstücks vornehmen zu können.

Die Werkstückzuführungsstation I ist dazu ausgebildet, zu bearbeitende Werkstücke in geeigneter Weise zuzuführen. Hierzu ist an dieser

Werkstückzuführungsstation I eine Werkstückzuführungseinheit 2 vorgesehen. Darüber hinaus kann die Werkstückzuführungsstation I auch zur Werkstückabführung verwendet werden, d.h. zum Abtransport der bereits bearbeiteten Werkstücke. Zudem kann die

Werkstückzuführungsstation I zum Wenden des Werkstücks verwendet werden, so dass beispielsweise nach einem oberseitigen

Bearbeitungsschritt anschließend eine unterseitige Bearbeitung des Werkstücks erfolgen kann. Die Messstation II weist einen Sensor 3 auf, mittels dem das zu bearbeitende Werkstück vor dessen Bearbeitung vermessen wird. Der Sensor 3 kann beispielsweise eine Kamera oder aber ein

Topografiesensor sein. Mittels des Sensors 3 kann insbesondere die örtliche Lage des Werkstücks im Raum, dessen Kontur, dessen

Höhenprofil und/oder eine bestimmte Erkennungsmarke erfasst werden. Basierend auf diesen Daten kann anschließend die Bearbeitung des Werkstücks an der Bearbeitungsstation III erfolgen. Insbesondere bei der hochgenauen Bearbeitung von Werkstücken im Mikrometerbereich bzw. Submikrometerbereich ist eine derartige Vermessung des Werkstücks vor dessen Bearbeitung nötig.

Die Bearbeitungsstation III weist ein Laserbearbeitungswerkzeug 4 auf, mittels der ein gebündelter Laserstrahl bereitgestellt wird. Das

Laserbearbeitungswerkzeug 4 ist insbesondere zur Bereitstellung eines gepulsten Laserstrahls mit einer Pulsdauer kleiner als 100ns

(Kurzpulslaser), insbesondere kleiner als 1 ps (Ultrakurzpulslaser) ausgebildet. Das Laserbearbeitungswerkzeug 4 kann insbesondere derart ausgebildet sein, dass Material des Werkstücks durch Sublimation direkt vom festen in den gasförmigen Aggregatszustand übergeht und dabei verdampft. Dadurch kann eine hochgenaue Materialbearbeitung bewirkt werden. An der Bearbeitungsstation III kann ferner ein Sensor vorgesehen sein, mittels dem Merkmale am Werkstück bzw. an einer

Werkstückaufnahme 6.1 , 7.1 einer Transporteinheit 6, 7 erfassbar sind. Dieser Sensor kann beispielsweise zur Bestimmung der Lage des

Werkstücks zur Steuerung einer Dreh- oder Schwenkbewegung der Werkstückaufnahme 6.1 , 7.1 verwendet werden.

Wie in den Figuren 1 bis 3 ersichtlich, sind die Werkstoffzuführungsstation I, die Messstation II und die Bearbeitungsstation III in einer gemeinsamen, vertikal verlaufenden Maschinenebene ME vorgesehen, die durch die x- Achse und die z-Achse aufgespannt wird. Die Werkstückzuführungsstation I, die Messstation II und die Bearbeitungsstation III sind dabei in x- Richtung beabstandet zueinander angeordnet.

Zum Transport der zu bearbeitenden Werkstücke von der

Werkstückzuführungsstation I zu den weiteren Stationen und zurück zur Werkstückzuführungsstation I (zur Abführung bzw. zum Wenden des Werkstücks) ist eine Transporteinrichtung 5 vorgesehen. Die

Transporteinrichtung 5 weist zumindest zwei, im gezeigten

Ausführungsbeispiel genau zwei Transporteinheiten 6, 7 auf, die jeweils eine Werkstückaufnahme 6.1 , 7.1 umfassen. Die Werkstückaufnahme 6.1 , 7.1 ist zur Halterung, insbesondere zur eingespannten Halterung eines von der Werkstückzuführungsstation I zugeführten Werkstücks

ausgebildet. Dabei wird das Werkstück nach der Übergabe von der Werkstückzuführungsstation I durch die Werkstückaufnahme 6.1 , 7.1 klemmend gehalten und diese klemmende Halterung wird zumindest während der Vermessung des Werkstücks an der Messstation II und der Bearbeitung desselben an der Bearbeitungsstation III beibehalten, um eine ungewollte Veränderung der Lage des Werkstücks im Raum, insbesondere im Zeitraum zwischen der Vermessung des Werkstücks und dessen Bearbeitung zu vermeiden. Vorzugsweise wird die klemmende 5 Halterung erst an der Werkstückzuführungsstation I wieder gelöst, um das bearbeitete Werkstück zu entnehmen oder zu wenden.

Die Transporteinrichtung 5 weist eine Führungsschienenanordnung 8 auf, mittels der eine Bewegbarkeit der Transporteinheiten 6, 7 in y-Richtung, i o d.h. eine Bewegung quer, insbesondere senkrecht zur Maschinenebene ME ermöglicht wird. Die Führungsschienenanordnung 8 kann

beispielsweise mehrere Führungsschienen 8.1 aufweisen, die parallel und beabstandet zueinander auf einem Maschinenbett 10 vorgesehen sind.

15 Auf dieser Führungsschienenanordnung 8 sind Verfahrschienen 9a, 9b vorgesehen. Die Führungsschienenanordnung 8 wirkt mit den

Verfahrschienen 9a, 9b derart zusammen, dass diese in y-Richtung verschiebbar sind. Auf den Verfahrschienen 9a, 9b selbst ist jeweils eine Transporteinheit 6, 7 vorgesehen, und zwar an einer ersten

0 Verfahrschiene 9a die erste Transporteinheit 6 und an einer zweiten

Verfahrschiene 9b die zweite Transporteinheit 7. Die Verfahrschienen 9a, 9b sind unabhängig voneinander auf der Führungsschienenanordnung 8 verfahrbar. Zum Antrieb der Verfahrschienen 9a, 9b kann insbesondere ein Linearantrieb verwendet werden.

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Die Transporteinheiten 6, 7 wiederum sind unabhängig voneinander auf der jeweiligen Verfahrschiene 9a, 9b verschiebbar geführt, und zwar entlang der Längsachse der Verfahrschienen 9a, 9b, d.h. im gezeigten Ausführungsbeispiel in x-Richtung. Damit können durch das Verschieben 0 der Verfahrschienen 9a, 9b an der Führungsschienenanordnung 8 und das Verfahren der Transporteinheiten 6, 7 auf bzw. an den Verfahrschienen 9a, 9b die Transporteinheiten 6, 7 in einer horizontal ausgerichteten Ebene (x-y-Ebene) verfahren werden.

Wie zuvor beschrieben liegen zumindest die Messebene, in der die Vermessung des Werkstücks an der Messstation II erfolgt, und die Bearbeitungsebene, in der die Bearbeitung des Werkstücks an der Bearbeitungsstation III erfolgt, in einer gemeinsamen Maschinenebene ME. Damit wäre es grundsätzlich möglich, dass ein an einer

Transporteinheit 6, 7 gehaltenes Werkstück nach der Vermessung desselben an der Messstation II durch bloße Verschiebung in x-Richtung an die Bearbeitungsstation III transportiert und dort ohne Verschiebung in y-Richtung bearbeitet wird. Im gezeigten Ausführungsbeispiel wird zumindest eine, vorzugsweise beide Transporteinheiten 6, 7 zudem auch in y-Richtung verfahren, um ein Vorbeibewegen der Transporteinheiten 6, 7 aneinander zu ermöglichen.

Wie insbesondere in Fig. 2 zu erkennen ist, sind die Transporteinheiten 6, 7 mit ihren Werkstückaufnahmen 6.1 , 7.1 einander gegenüberliegend angeordnet, d.h. die Werkstückaufnahme 6.1 der ersten Transporteinheit 6 steht in Richtung der Maschinenrückseite (positive y-Richtung) und die Werkstückaufnahme 7.1 der zweiten Transporteinheit 7 steht in Richtung der Maschinenvorderseite (negative y-Richtung) ab. In einem

Maschinenzustand, bei dem sich die erste Transporteinheit 6

beispielsweise an der Messstation II befindet, um das daran gehaltene Werkstück zu vermessen und sich die zweite Transporteinheit 7 beispielsweise an der Bearbeitungsstation III befindet, um das daran gehaltene Werkstück zu bearbeiten, kommen zumindest Abschnitte der Transporteinheiten 6, 7, insbesondere deren Werkstückaufnahmen 6.1 , 7.1 in der gemeinsamen Maschinenebene ME zu liegen. In anderen Worten überlappen sich damit zumindest Teilabschnitte der

Transporteinheiten 6, 7, so dass ein Verfahren der ersten Transporteinheit 6 von der Messstation II an die Bearbeitungsstation III und ein

gleichzeitiges Verfahren der zweiten Transporteinheit 7 von der

Bearbeitungsstation III in Richtung der Werkstückzuführungsstation I kollisionsfrei nicht möglich ist, ohne die Transporteinheiten 6, 7 relativ zueinander in y- Richtung zu verfahren.

Nachfolgend wird beispielhaft ein Bewegungszyklus der

Transporteinrichtung 5 basierend auf den schematischen Figuren 4a bis 4e näher beschrieben. Diese zeigen lediglich die wesentlichen

Bestandteile der Transporteinrichtung 5 entlang der einzelnen Stationen I bis III, nämlich die Führungsschienenanordnung 8, die Verfahrschienen 9a, 9b und die Transporteinheiten 6, 7.

In Fig. 4a befindet sich die erste Transporteinheit 6 an der

Werkstückzuführungsstation I, um dieser ein zu bearbeitendes Werkstück zuzuführen. Die zweite Transporteinheit 7 befindet sich an der

Messstation II, um ein an ihr gehaltenes Werkstück zu vermessen. Die Verfahrschienen 9a, 9b sind derart in y- Richtung positioniert, dass die Werkstückaufnahmen 6.1 , 7.1 in y- Richtung gesehen auf gleicher Höhe angeordnet sind.

Nach der Zuführung des Werkstücks an die erste Transporteinheit 6 stellt sich diese beispielsweise zur Vermessung an der Messstation II an und wartet, bis die zweite Transporteinheit 7 von der Messstation II zur Bearbeitungsstation III verfahren wird. Nachdem die zweite

Transporteinheit 7 aus der Messstation II herausgefahren wurde, wird die erste Transporteinheit 6 an die Messstation II verfahren, um das zuvor zugeführte Werkstück zu vermessen (Fig. 4b). Wie in Fig. 4c gezeigt, werden anschließend die Verfahrschienen 9a, 9b relativ zueinander in y-Richtung auseinanderverfahren (angedeutet durch Doppelpfeil), so dass der Abstand der Verfahrschienen 9a, 9b vergrößert wird. Dies kann dadurch erfolgen, dass lediglich eine der beiden

Verfahrschienen 9a, 9b oder aber beide verfahren werden. Nach dem Auseinanderfahren werden die Transporteinheiten 6, 7 in

entgegengesetzte Richtungen (angedeutet durch in x- Richtung verlaufenden Pfeile) erfahren und dabei aneinander vorbeibewegt.

Nach dem aneinander Vorbeibewegen der Transporteinheiten 6, 7 wird der Abstand zwischen den Verfahrschienen 9a, 9b wieder verringert, d.h. die Verfahrschienen 9a, 9b werden aufeinander zu bewegt, wie dies durch die entgegengesetzt verlaufenden Pfeile in Fig. 4d angedeutet ist. Dabei können lediglich eine der beiden Verfahrschienen 9a, 9b oder aber beide verfahren werden. Fig. 4e zeigt die Position der Verfahrschienen 9a, 9b in ihrer

Ausgangsposition, so dass die Bearbeitung des an der Transporteinheit 6 gehaltenen Werkstücks an der Bearbeitungsstation III und die Entnahme bzw. das Wenden des an der Transporteinheit 7 gehaltenen Werkstücks an der Werkstückzuführungsstation I erfolgen kann.

Um eine hohe Verfahrgenauigkeit der Transporteinrichtung 5 und eine hochgenaue Reproduzierbarkeit der Bewegungsabläufe zu erreichen, ist die Transporteinrichiung 5 zumindest teilweise temperaturstabilisiert ausgebildet. Insbesondere kann die Temperaturstabilisierung durch eine Fluidkühlung, insbesondere eine Wasserkühlung erreicht werden. Wie insbesondere in Fig. 3 ersichtlich, können die Verfahrschienen 9a, 9b schlangenförmig verlegte Leitungen 9.1 aufweisen, in denen das die Temperaturstabilisierung bewirkende Fluid geführt ist. Weiterhin können auch die Führungschienenanordnung 8, die Antriebe der Verfahrschienen 9a, 9b bzw. der Transporteinheiten 6, 7 und/oder die Lagerelemente dieser Einheiten temperaturstabilisiert sein. Dadurch können durch thermische Ausdehnung resultierende Fehler bzw. Abweichungen wesentlich reduziert bzw. vermieden werden. Zudem kann das

Maschinenbett 10 zumindest teilweise aus einem Material hoher Masse, beispielsweise aus Stein, insbesondere Granit gefertigt sein, um die Bearbeitungsgenauigkeit der Laserbearbeitungsmaschine 1 zu erhöhen.

Die Werkstückaufnahmen 6.1 , 7.1 können neben ihrer translatorischen Bewegbarkeit in x-y-Richtung zudem rotativ verstellbar sein. Insbesondere können die Werkstückaufnahmen 6.1 , 7.1 jeweils um zwei voneinander unabhängige Raumachsen rotiert werden, und zwar insbesondere eine erste, in y-Richtung verlaufende Raumachse und eine quer, insbesondere senkrecht zur ersten Raumachse verlaufende zweite Raumachse

(verlaufend in einer x-z-Ebene). Dadurch kann das Werkstück an der jeweiligen Station in geeigneter Weise gedreht bzw. geschwenkt werden, um beispielsweise eine schräge Bohrung in das Werkstück einbringen zu können.

Die an den einzelnen Stationen I bis III vorgesehenen Einheiten, beispielsweise die an der Werkstückzuführungsstation I vorgesehene Werkstück-Wechseleinheit 11 , oder Teile davon, der Sensor 3 an der Messstation II und das Laserbearbeitungswerkzeug 4 an der

Bearbeitungsstation III können in z-Richtung verfahrbar sein, um die jeweiligen Einheiten in der erforderlichen Höhe für den durch sie durchgeführten Bearbeitungsschritt positionieren zu können.

Die am Laserbearbeitungswerkzeug 4 bereitgestellte Laserstrahlung wird durch eine Lasereinheit 12 bereitgestellt. Diese Lasereinheit 12 ist beispielsweise im Masch ienbett 10 der Laserbearbeitungsmaschine 1 vorgesehen bzw. dort integriert. Die Lasereinheit 12 kann ein

Kurzpulslaser (Pulsdauer kleiner 100ns) oder ein Ultrakurzpulslaser

(Pulsdauer kleiner 1 ps) sein. Mittels einer derartigen Lasereinheit 12 kann eine hochgenaue Bearbeitung des Werkstücks erfolgen, insbesondere durch Sublimation des zu entfernenden Materials. Diese Sublimation kann beispielsweise unter Einwirkung eines Prozessgases beispielsweise Argon oder Stickstoff erfolgen, mittels dem das verdampfte Material ausgetrieben wird.

Die von der Lasereinheit 12 bereitgestellte Laserstrahlung wird durch eine geeignete Strahlführung 13 dem Laserbearbeitungswerkzeug 4 zugeführt. In der Strahlführung 13 kann eine Optik 14 zum Versetzen der

Laserstrahlung in eine Taumelbewegung vorgesehen sein. Diese Optik kann beispielsweise durch ein Zylinderlinsenteleskop, eine

Keilplattenoptik, oder eine mehrere Spiegel aufweisende Scanneroptik gebildet werden. Durch die Taumelbewegung des Laserstrahls ist es möglich, Bohrungen bzw. Ausnehmungen im Werkstück zu erzeugen, die eine positiv oder negativ konische Form (Konus öffnet sich entgegen der Laserstrahlrichtung oder in Laserstrahlrichtung) aufweisen.

Vorzugsweise wird durch die Lasereinheit 12 eine zirkulär polarisierte Laserstrahlung bereitgestellt. Durch die zirkuläre Polarisation wird erreicht, dass die Materialbearbeitung mittels des Laserstrahls keine

Vorzugsrichtung aufweist, in der ein schnellerer Materialabtrag erfolgt als in einer anderen Raumrichtung. Damit wird ein gleicher oder im

Wesentlichen gleicher Materialabtrag pro Zeiteinheit in x- und y-Richtung erreicht.

Die Erfindung wurde voranstehend an Ausführungsbeispielen

beschrieben. Es versteht sich, dass zahlreiche Änderungen sowie

Abwandlungen möglich sind, ohne dass dadurch der der Erfindung zugrunde liegend Erfindungsgedanke verlassen wird. So kann die

Laserbearbeitungsmaschine 1 abweichend von der vorherigen

Beschreibung von Ausführungsbeispielen lediglich aus zwei Stationen bestehen, wobei die erste Station eine Bearbeitungsstation mit einem Laserbearbeitungswerkzeug ist und die zweite Station als Messstation und/oder als weitere Bearbeitungsstation ausgebildet ist. Die Zuführung der Bauteile kann dann beispielsweise an der zweiten Station erfolgen. Die Transporteinrichtung ist zum Verfahren von Transporteinheiten zwischen diesen Stationen ausgebildet.

Bezugszeichenliste

1 Laserbearbeitungsmaschine

2 Werkstückzuführungseinheit

3 Sensor

4 Laserbearbeitungswerkzeug

5 Transporteinrichtung

6 erste Transporteinheit

6.1 Werkstückaufnahme

7 zweite Transporteinheit

7.1 We rkstückaufnahme

8 Führungsschienenanordnung

8.1 Führungsschiene

9a erste Verfahrschiene

9b zweite Verfahrschiene

9.1 Leitung

10 Maschinenbett

1 1 Werkstückwechseleinheit

12 Lasereinheit

13 Strahlführung

14 Optik

ME Maschinenebene

X x-Richtung

y y-Richtung

z z-Richtung

I dritte Station

II zweite Station

III erste Station