以下、添付図面に従って本発明に係るダ� ��シング装置の好ましい実施の形態について� ��説する。

 図1に示した実施の形態に係るダイシング 装置1は、複数のワークが収納されたカセッ� �を外部装置との間で受け渡すロードポート2� ��吸着部3を有しワークを装置各部に搬送する 搬送装置4、ワークの上面を観察する一対の� �微鏡5、5、加工部6、加工後のワークを洗浄� �乾燥させるスピンナ7、及び装置各部の動作� ��制御するコントローラ8等を備える。加工部 6は、2本対向して配置され、回転ブレード9が 取り付けられた高周波モータ内蔵型のエアー ベアリング式スピンドル(若しくはメカスピ� �ドル)10、10を備える。これらのスピンドル10� ��10は30,000rpm~60,000rpmで高速回転されるととも� ��、互いに独立して図のY方向のインデックス 送りとZ方向の切込み送りとがなされる。回� �ブレード9は手前側と下方が開口した図示し� ��いフランジカバーで囲われ、フランジカバ� ��に設けられた研削ノズルから研削水が加工� ��イントに向けて供給される。また、フラン� ��カバーは、不図示の洗浄ノズルを備え、こ� ��洗浄ノズルから加工ポイントに向けて洗浄� ��が供給される。回転ブレード9は薄い円盤状 の砥石であり、ダイヤモンド砥粒やCBN砥粒を ニッケルで電着した電着ブレード、又は樹脂 で結合したレジンブレードが用いられる。更 に、加工部6は、ワークを吸着載置する2台の� ��形状のワークテーブル12、14を備え、これら は後述する図2のXテーブル16、18の移動によっ て図1のX方向に研削送りされる。

 図2は、ダイシング装置1の加工部6の主要� ��を示した斜視図である。

 同図に示すように加工部6のワークテーブ ル12、14の下方には、2台のワークテーブル12� �14を十分に囲むように箱状のオイルパン20が� ��平に配置されている。このオイルパン20の� �側面には、2本で一対のガイドレール(ガイド 機構)22、22が図の矢印X方向に沿って配設され ており、これらのガイドレール22、22の間に� �、駆動機構を構成するボールねじ24がガイド レール22、22と平行に、かつオイルパン20の左 側面に沿って配設されている。

 また、このボールねじ24を回転駆動する� �ーボモータ26がボールねじ24の端部側に配置� ��れている。更に、ガイドレール22、22で案内 され、サーボモータ26によるボールねじ24の� �転でX方向に駆動されるXテーブル16が縦方向� ��配置されている。Xテーブル16には、図3に示 すようにボールねじ24と螺合するボールナッ� ��28と、ガイドレール22、22に摺動自在に係合� ��るスライダ30、30とが設けられるとともにZ� �向(図1参照)を軸にθ回転するθテーブル(θ回� ��軸)32が搭載され、このθテーブル32にワーク テーブル12が取り付けられている。θテーブ� �32の回転軸は、ワークテーブル12が水平面上� ��θ方向に回転するようにXテーブル16に固定� �れている。

 更にまた、Xテーブル16のX方向の移動に伴 い伸縮動作されてガイドレール22、22、及び� �ールねじ24を覆う一対の蛇腹(蛇腹部材)34、34 がオイルパン20の左側面に配置されている。� ��方の蛇腹34は、一端がオイルパン20の奥行き 方向手前側に固定され、他端がXテーブル16の 奥行き方向手前側縁部に固定されている。ま た、他方の蛇腹34は、一端がオイルパン20の� �行き方向手奥側に固定され、他端がXテーブ� ��16の奥行き方向奥側縁部に固定されている� �なお、図2では、他方の蛇腹34を省略してい� �。また、Xテーブル16に対する一対の蛇腹34、 34の配置関係、取付構造は図5に示した従来の ものと基本的に同一である。

 一方で、図2の如くオイルパン20の右側面� ��も同様に、2本で一対のガイドレール(ガイ� �機構)36、36が図1の矢印X方向に沿って配設さ� ��、これらのガイドレール36、36の間にも、駆 動機構を構成するボールねじ38がガイドレー� ��36、36と平行に、かつオイルパン20の右側面� ��沿って配設されている。

 また、このボールねじ38を回転駆動する� �ーボモータ40がボールねじ38の端部側に配置� ��れている。更に、ガイドレール36、36で案内 され、サーボモータ40によるボールねじ38の� �転でX方向に駆動されるXテーブル18が配置さ� ��ている。Xテーブル18には、ボールねじ38と� �合するボールナット(不図示)と、ガイドレー ル36、36に摺動自在に係合するスライダ(不図� ��)とが設けられるとともにZ方向(図1参照)を� �にθ回転するθテーブル(θ回転軸)44が搭載さ� ��、このθテーブル44にワークテーブル14が取� ��付けられている。θテーブル44の回転軸は、 ワークテーブル14が水平面上でθ方向に回転� �るようにXテーブル18に固定されている。

 更にまた、Xテーブル18のX方向の移動に伴 い伸縮動作されてガイドレール36、36、及び� �ールねじ38を覆う一対の蛇腹(蛇腹部材)46、46 がオイルパン20の右側面に配置されている。� ��方の蛇腹46は、一端がオイルパン20の奥行き 方向手前側に固定され、他端がXテーブル18の 奥行き方向手前側縁部に固定されている。ま た、他方の蛇腹46は、一端がオイルパン20の� �行き方向手奥側に固定され、他端がXテーブ� ��18の奥行き方向奥側縁部に固定されている� �なお、図2では、他方の蛇腹46を省略してい� �。また、Xテーブル18に対する一対の蛇腹46、 46の配置関係、取付構造は図5に示した従来の ものと基本的に同一である。

 また、図4に示すように、加工部6には門� �形状のガイドベース48が立設されている。ガ イドベース48の図4中左側面には、図の矢印Y� �向に向けて水平にスピンドルYガイド50が取� �付けられ、さらに、そのスピンドルYガイド5 0にガイドされ、図示しない駆動機構によっ� �Y方向にインデックス送りされるスピンドルY テーブル52、52が2台設けられている。各々の� ��ピンドルYテーブル52には、図示しないガイ� ��レールと駆動機構によって図1の矢印Z方向� �切込み送りされるスピンドルZテーブル54が� �けられる。各々のスピンドルZテーブル54に� �、ホルダ56を介してスピンドル10が取り付け� ��れている。2本のスピンドル10、10は互いに� �向するように配置され、各々のスピンドル10 には先端に回転ブレード9が取り付けられて� �る。このような機構により、2枚の回転ブレ� ��ド9、9は各々独立してZ方向の切込み送りとY 方向のインデックス送りとがされる。また、 スピンドルYテーブル16、18、及びスピンドルZ テーブル54の駆動機構としては、リニアモー� ��が用いられてもよいし、サーボモータとリ� ��ドスクリューが用いられてもよい。

 ガイドベース48の図4中右側面には、2台の 顕微鏡駆動装置58、60が設けられている。こ� �らの顕微鏡駆動装置58、60は、ガイドベース4 8の右側面に取り付けられ、図の矢印Y方向に� ��けて水平に配置された顕微鏡Yガイド62、顕� ��鏡Yガイド62にガイドされ、図示しない駆動� ��構によってY方向に移動される顕微鏡Yテー� �ル64、及び顕微鏡Yテーブル64に設けられた図 示しないガイドレールと駆動機構によって図 の矢印Z方向に送られる顕微鏡Zテーブル66を� �える。顕微鏡Zテーブル66には、ワークWの上� ��を観察する顕微鏡5が取り付けられている。

 このように構成された顕微鏡駆動装置58� �60により、顕微鏡5、5は図のY方向とZ方向と� �送られる。なお、顕微鏡Yガイド62、及び顕� �鏡Zテーブル66の駆動機構も、リニアモータ� �るいは、サーボモータとリードスクリュー� �の既知の駆動装置が用いられる。顕微鏡5に� ��図示しないCCDカメラが組み込まれており、� ��のCCDカメラで撮像したワークWの画像を図1� �コントローラ8内に設けられた画像処理装置� ��パターンパッチング処理をして、ワークWの アライメントが行われる。これら各部の駆動 装置の制御、アライメント動作の制御、加工 部6の制御、搬送装置4の制御等は全てコント� ��ーラ8によって行われる。

 次に、このように構成されたダイシング� ��置1の作用について説明する。

 まず、ワークが収納されたカセットが、� ��部搬送装置によってダイシング装置1のロー ドポート2に受け渡される。このカセットに� �、ダイシングテープを介してフレームに貼� �されたワークWが複数枚収納されている。次� ��、ワークWはダイシング装置1の搬送装置4に� ��って1枚ずつカセットから引き出され、ワー クテーブル12に吸着される。その後、ワーク� ��ーブル12が顕微鏡Yガイド62の下方に移動す� �とともに、顕微鏡5、5が顕微鏡Yテーブル64に よってワークの真上に搬送される。ここで顕 微鏡Zテーブル66によって顕微鏡5、5の焦点が� ��わされる。次いで、ワークWの上面に形成さ れているパターン部分が顕微鏡5、5に組み込� ��れたCCDカメラで撮像され、既知のパターン� ��ッチング手法を用いてアライメントされる� ��なお、このワークアライメントされている� ��に、次のワークWがワークテーブル14に載置� ��れる。

 アライメントされたワークWは、ワークテ ーブル12によって加工部6に搬送される。ここ では、2枚の回転ブレード9、9が夫々必要な切 り込み送りがされ、ワークテーブル12のX方向 研削送りによって2本の加工領域(ストリート) が同時に加工される。次に、回転ブレード9� �9がY方向に必要ピッチ分インデックス送りさ れて次のストリートに位置付けられ、ワーク テーブル12のX方向研削送りによってこの2本� �ラインも加工される。この動作が繰り返さ� �てワークWの1方向の全てのストリートが加工 される。1方向の全ラインが加工されると、θ テーブル32の回転によりワークは90度回転さ� �、先程のストリートと直行するストリート� �加工される。最初のワークWが加工部6で加工 されている間に、次のワークWが顕微鏡Yガイ� ��62の下に移動され、顕微鏡5、5が顕微鏡Yテ� �ブル64によってこのワークWの真上に搬送さ� �る。ここでも同様にして、顕微鏡Zテーブル6 6によって顕微鏡5、5の焦点が合わされ、次の ワークWの上面に形成されているパターン部� �が顕微鏡5、5に組み込まれているCCDカメラで 撮像されてアライメントが行われる。最初の ワークWの加工が終了すると、アライメント� �終了した次のワークWが加工部6に搬入され、 同様に加工される。

 全加工終了した最初のワークWは、必要に より顕微鏡5、5の下で加工溝の形状やチッピ� ��グ状況が計測されて評価される。加工溝の� ��価が終了すると、ワークWは搬送装置4によ� �てスピンナ7に搬送され、ここでスピン洗浄� ��スピン乾燥とが行われる。洗浄及び乾燥が� ��了したワークWは、再び搬送装置4によって� �のカセットに収納される。次のワークWも同� ��にして、加工、洗浄、及び乾燥されて、元� ��カセットに収納される。以上のような動作� ��次々と繰り返されて、カセット内の全部の� ��ークWが加工される。以上が本発明に係るダ イシング装置によってワークWを加工すると� �の流れである。

 ところで、実施の形態に係るダイシング� ��置1は、Xテーブル16、18の下方に、研削水や� ��浄水の廃水を受ける十分な容積を有するオ� ��ルパン20が配置されている。そして、この� �イルパン20の側面には、Xテーブル16、18をX方 向に移動自在に案内するそれぞれ一対のガイ ドレール22、36とXテーブル16、18をX方向に移� �させるボールねじ24、38とが配置される。さ� ��に、一対の蛇腹34、46がオイルパン20の両側� ��に配置される。一対の蛇腹34、46は、それぞ れ、その一端部がオイルパン20側に固定され� ��その他端部がXテーブル16、18側に固定され� �Xテーブル16、18の移動に伴い伸縮動作されて ガイドレール22、36とボールねじ24、38とを覆� ��。

 すなわち、実施の形態に係るダイシング� ��置1によれば、Xテーブル16、18の真下にオイ� ��パン20を配置することにより、オイルパン20 の容積を十分に確保し、排水性を向上させて いる。

 また、Xテーブル16、18をX方向に移動自在� ��案内するガイドレール22、36と、ボールねじ 24、38とをオイルパン20の側面に沿って配置す ることにより、ガイドレール22、36とボール� �じ24、38とによってXテーブル16、18を片持ち� �持し、かつ、ガイドレール22、36とボールね� ��24、38とを覆うそれぞれ一対の蛇腹34、46も� �様にオイルパン20の側面に沿って鉛直方向に 配置した。蛇腹34、46に付着した端材は自重� �より蛇腹34、46に沿って流下し、十分な容積� ��有するオイルパン20に落下して排出される� �これにより、蛇腹34、46には、端材が堆積し� ��いので、端材の堆積に起因する蛇腹34、46の 破損を防止することができる。

 また、蛇腹34、46を鉛直方向(縦型)に配置� ��、蛇腹34、46の上下縁部を、オイルパン20に� ��して上下方向に接触させて摺動させる構造� ��することにより、その摺動部にミストの堆� ��による水溜まりはできるものの、ミストが� ��腹34、46の内側に浸入することを防止できる ので、ミスト浸入に起因するガイドレール22� ��36とボールねじ24、38の不具合を防止するこ� ��ができる。

 なお、本実施の形態ではワークテーブル1 2、14を2台設けたが、これに限らず、1台であ� ��てもよい。この場合には、オイルパン20の� �方側の側面にガイド機構、駆動機構、蛇腹� �材を設ければよい。

 本発明の実施形態について説明したが、� ��発明の精神と範囲を逸脱することなく様々� ��変更が可能であることはいうまでもない。