以下、この発明の実施の形態を図面を参� ��しながら説明する。

 図1乃至図4はこの発明の第1の実施の形態� ��示し、図1は実装装置の概略的構成図である 。この実装装置は装置本体1を備えている。� �の装置本体1には、水平方向である、X方向と Y方向とに駆動されるXYテーブル2が設けられ� �いる。このXYテーブル2にはたとえば液晶セ� �などの基板3が一側縁部をXYテーブル2の上面� ��ら側方へ突出させた状態で供給載置され、� ��空吸着などの手段によって保持されるよう� ��なっている。この基板3の一側部には異方性 導電部材4を介して電子部品としてのTCP5が仮� ��着されている。

 上記装置本体1には、上記XYテーブル2に保 持された基板3の一側縁部の下面を上端面に� �って受けるバックアップ部材6が設けられて� ��る。このバックアップ部材6の上端面に下面 が支持された基板3の一側部には上記TCP5が仮� ��着されていて、このTCP5は圧着ツール7によ� �て加圧加熱されて本圧着される。

 上記圧着ツール7は加圧ヘッド8の下面に� �けられている。この加圧ヘッド8は、リニア� ��イド9によってZ方向、つまり上下方向にス� �イド可能に設けられていて、Z駆動源10によ� �Z方向に駆動されるようになっている。

 なお、上記圧着ツール7にはヒータ7aが設� ��られ、上記TCP5を本圧着するときにTCP5とと� �に上記異方性導電部材4を加圧加熱する。そ� ��によって、異方性導電部材4は溶融硬化して 上記TCP5を上記基板3に固着、つまり本圧着す� ��。

 上記装置本体1の幅方向両端部で、上記バ ックアップ部材6よりもわずかに上方の位置� �は、一対のレール部材11(1つだけ図示)が装置 本体1の前後方向に沿って水平に設けられて� �る。装置本体1には、上記レール部材11に沿� �てカセット12を着脱することができるように なっている。

 上記カセット12を装置本体1に装着すると� ��所定の位置で上記カセット12に設けられた� �トッパ(図示せず)が上記装置本体1に設けら� �た当接部(図示せず)に当接する。それによっ て、上記カセット12が位置決めされるように� ��っている。

 上記カセット12は、図1と図2に示すように 複数の連結軸13によって所定の間隔で連結さ� ��た矩形状の一対の側板14を有する。連結軸13 は少なくとも上記側板14の四隅部を連結して� ��る。

 図2に示すように、一対の側板14の長手方� ��一端部と他端部にはそれぞれ2つで対をなす 2組の支持軸17が回転可能に設けられている。 各支持軸17の対向する一対の側板14の内面側� �突出した一端には円筒状の受け具19が設けら れている。各受け具19には図3に示すように径 方向に貫通する係合溝18が形成されている。� ��組の一方の支持軸17の側板14の外面側に突出 した端部には従動歯車21が嵌着されている。

 上記側板14の一端部に位置する一対の支� �軸17に設けられた受け具19には、シリコン樹� ��やフッ素樹脂などの耐熱性を有する合成樹� ��からなるシート22が巻装された繰り出し体� �しての繰り出し軸23が着脱可能に支持されて いる。

 上記側板14の他端部に位置する一対の支� �軸17に設けられた受け具19には、上記繰り出� ��軸23に巻装されたシート22を、複数の中継ロ ーラ24を介して巻き取るドラム状の巻き取り� ��25の両端面から突設された巻き取り軸26が着 脱可能に支持されている。

 上記繰り出し軸23と上記巻き取り軸26は、 上記受け具19に支持されたとき、この受け具1 9が設けられた上記支持軸17と一体的に回転す るようになっている。すなわち、図3に示す� �うに上記繰り出し軸23と上記巻き取り軸26の� ��端部には、収容孔27が各軸の端面に開放し� �形成されている。各収容孔27には中継軸28が� ��ね29によって突出方向に付勢されて収容さ� �ている。

 上記中継軸28にはピン31が突設され、この ピン31は上記繰り出し軸23及び上記巻き取り� �26の収容孔27に連通して形成された長孔32に� �合している。それによって、上記中継軸28は 上記繰り出し軸23及び上記巻き取り軸26の軸� �向に対して弾性的に移動可能かつ抜出不能� �なっている。

 そして、上記繰り出し軸23と上記巻き取� �軸26は、一端を一方の上記支持軸17に設けら� ��た受け具19に係合させた後、他端に設けら� �た中継軸28をばね29の付勢力に抗して収容孔2 7に没入する方向に変位させながら他方の支� �軸17に設けられた受け具19に係合させること� ��、一対の支持軸17によって支持されるよう� �なっている。つまり、繰り出し軸23と巻き取 り軸26はカセット12に対して着脱可能となっ� �いる。

 図2に示すように、上記繰り出し軸23と上� ��巻き取り軸26の他端部には上記受け具19の係 合溝18に係合するピン33が突設されている。� �記ピン31と33がそれぞれ受け具19の係合溝18に 係合することで、上記繰り出し軸23と上記巻� ��取り軸26は上記支持軸17と一体的に回転する ようになっている。

 上記構成のカセット12を装置本体1に装着� ��ると、各組の一方の支持軸17に設けられた� �動歯車21は、この従動歯車21の径方向下方に� ��置する駆動歯車35(図2に示す)に噛合するよ� �になっている。

 上記繰り出し軸23を支持した支持軸17に設 けられた駆動歯車35は繰り出しモータ36の回� �軸36aに嵌着されている。上記巻き取り軸26を 支持した支持軸17に設けられた駆動歯車35は� �き取りモータ37の回転軸37aに嵌着されている 。上記繰り出しモータ36と巻き取りモータ37� �は回転トルクの切換え制御が可能なモータ� �たとえばステッピングモータ、サーボモー� �或いはトルクモータが使用されている。

 上記繰り出しモータ36と上記巻き取りモ� �タ37は図4に示す制御装置39によって駆動が制 御されるようになっている。すなわち、上記 制御装置39は、上記繰り出しモータ36に順次� �続された第1の駆動部41と第1のトルク設定部4 2及び上記巻き取りモータ37に順次接続された 第2の駆動部43と第2のトルク設定部44を有する 。

 上記繰り出し軸23に巻装されたシート22の 外周面には、図2に示すように繰り出し軸23の 径方向中心に向かって弾性的に付勢された回 転体46が接触している。この回転体46は上記� �り出し軸23が上記繰り出しモータ36によって� ��転駆動されると、その回転に連動して回転� ��る。

 なお、回転体46は弾性的に付勢されて上� �シート22の外周面に接触しているため、繰り 出し軸23に巻装されたシート22の外径寸法が� �さくなっても、そのシート22の外周面に対し て確実に接触するようになっている。

 上記回転体46の回転速度、つまり上記繰� �出し軸23に巻装されたシート22の外周面の周� ��度はエンコーダ47によって検出される。エ� �コーダ47の検出信号は上記制御装置39に設け� ��れた駆動制御部48に出力される。

 上記駆動制御部48は、上記エンコーダ47の 検出信号に基いて各モータ36,37の駆動を上記� ��1、第2の駆動部41,43を介して制御する。つま り、上記駆動制御部48は、上記第1の駆動部41� ��繰り出し信号を出力し、上記第2の駆動部43� ��は巻き取り信号を遅延回路部49を介して所� �時間遅延させて出力する。

 上記第1の駆動部41に繰り出し信号が出力さ� ��ると、それに応じて繰り出しモータ36が作� �して繰り出し軸23に巻装されたシート22が繰� ��出される。繰り出し軸23から繰り出される� �ート22の長さは、上記駆動制御部48によって� ��め設定されているとともに、上記エンコー� ��47の検出信号が上記駆動制御部48にフィード バックされることで、上記駆動制御部48に設� ��された設定値となるよう制御される。 
 なお、繰り出し軸23から繰り出されるシー� �22の長さは通常5~10mm程度である。

 上記駆動制御部48から上記第2の駆動部43� �出力される巻き取り信号は遅延回路部49によ って繰り出し信号よりも所定時間遅延して出 力されるから、巻き取り軸26は繰り出し軸23� �らシート22が繰り出されてから巻取りを開始 する。それによって、シート22を巻き取り軸2 6によって巻き取るとき、そのシート22に必要 以上の張力を加えることがないようになって いる。

 上記巻き取り軸26によるシート22の巻取り が繰り出し軸23からのシート22の繰り出しよ� �も遅延して行なわれるため、シート22が上記 繰り出し軸23から所定長さ繰り出された後も� ��記巻き取り軸26によるシート22の巻取りが行 なわれる。

 上記繰り出しモータ36から上記繰り出し� �23に伝達される回転トルクは上記第1のトル� �設定部42で設定され、上記巻き取り軸26に上� ��巻き取りモータ37から伝達される回転トル� �は上記第2のトルク設定部44で設定される。

 そして、上記巻き取り軸26がシート22を巻 き取るときの回転トルクは、駆動が停止した 繰り出しモータ36による繰り出し軸23を保持� �る上記繰り出しモータ36によるトルクよりも 小さく設定されている。

 それによって、巻き取り軸26がシート22を 巻き取ることで、このシート22に張力が加わ� ��ても、その張力が所定値になると、巻き取� ��軸26が巻き取りモータ37の回転に対してスリ ップするから、シート22に必要以上の張力を� ��えることなく、巻き取りが終了する。

 一方、巻き取り軸26がシート22を上記繰り 出し軸23から繰り出された長さに対応する分� ��け巻き取ると、その巻取りによってシート2 2にはわずかであるが繰り出し方向に張力が� �わる。シート22に繰り出し方向の張力が加わ ると、その張力によって繰り出し軸23と、こ� ��繰り出し軸23の両端を支持した受け具19との 間の機械的ながた付きなどによって上記繰り 出し軸23が繰り出し方向に回転し、この繰り� ��し軸23からシート22が繰り出され、シート22� ��たるみが発生する原因になることがある。

 上記巻き取り軸26による巻取り終了後に� �ート22が繰り出されると、その繰り出し長さ は回転体46を介してエンコーダ47によって検� �される。エンコーダ47による検出信号は駆動 制御部48を介して第1の駆動部41に出力される� ��

 検出信号を受けた第1の駆動部41は繰り出� ��モータ36を作動させ、巻き取り軸26による巻 取り終了後に繰り出されたシート22の長さに� ��じて繰り出し軸23を回転させて上記シート22 を巻き戻す。それによって、シート22にたる� ��が生じるのが防止される。

 しかも、巻取り終了後に繰り出されたシ� ��ト22を繰り出し軸23に巻き戻すため、未使用 のシート22が巻き取り軸26に余分に繰り出さ� �るということがないから、そのことによっ� �シート22が必要以上に繰り出されて無駄が発 生するのを防止することができる。

 上記構成の実装装置によれば、シート22� �繰り出すための繰り出し軸23を繰り出しモー タ36によって回転駆動し、シート22を巻き取� �巻き取り軸26を巻き取りモータ37によって回� ��駆動するようにした。

 上記繰り出し軸23に巻装されたシート22の 外周面には回転体46を接触させ、この回転体4 6の回転をエンコーダ47によって検出し、その 検出信号を制御装置39の駆動制御部48に出力� �るようにした。

 上記駆動制御部48は、エンコーダ47からの 検出信号に基いて繰り出しモータ36を駆動し� ��繰り出し軸23から予め設定された長さでシ� �ト22が繰り出されるよう繰り出しモータ36の� ��転駆動を制御するとともに、繰り出し軸23� �らシート22が繰り出されてから、巻き取りモ ータ37を作動させてシート22を巻き取り軸26に 巻き取るようにした。

 そのため、上記繰り出し軸23から予め設� �された長さでシート22を繰り出すことができ るばかりか、シート22が繰り出されてから巻� ��取り軸26によって巻き取るため、シート22に 大きな張力を加えることなく、そのシート22� ��巻き取り軸26に巻き取ることができる。

 上記繰り出し軸23からシート22が繰り出さ れてから上記巻き取り軸26によってシート22� �巻き取るとき、回転が停止した繰り出し軸23 を繰り出しモータ36によって保持するトルク� ��、巻き取りモータ37によって巻き取り軸26に シート22を巻き取るときの回転トルクよりも� ��きく設定されている。

 そのため、巻き取り軸26によって繰り出� �軸23から繰り出されたシート22が巻き取られ� ��後、上記巻き取り軸26がさらに回転駆動さ� �てシート22を巻き取り、シート22に加わる張� ��が上昇して所定値に達すると、上記巻き取� ��軸26は上記巻き取りモータ37の回転に対して スリップする。

 そのため、シート22にそれ以上の張力が� �わることがないから、シート22が伸ばされて 弛みが生じるということもない。つまり、繰 り出し軸23から繰り出されたシート22は、伸� �による弛みが生じることなく、繰り出し軸23 から繰り出された分だけを巻き取り軸26によ� ��て確実に巻き取られることになる。

 上記巻き取り軸26がシート22を巻き取ると 、その巻き取り時にシート22にわずかではあ� ��が張力が加わり、その張力によってシート2 2が繰り出し軸23から繰り出されて弛みの発生 原因になることがある。シート22が繰り出し� ��23から繰り出される原因としては繰り出し� �23と受け具19との間の機械的ながた付きなど� ��原因として挙げられる。

 しかしながら、シート22を巻き取り軸26に よって巻き取ることで、シート22が繰り出し� ��23から繰り出されると、そのことが回転体46 を介してエンコーダ47によって検出され、そ� ��検出信号に基いてシート22の繰り出し軸23か ら繰り出された分がこの繰り出し軸23に巻き� ��される。

 そのため、シート22が巻き取り軸26によっ て巻き戻されることで、シート22を巻き取り� ��26によって巻き取ったときに、シート22にた るみが生じても、その弛みを確実に除去する ことができる。しかも、弛んだシート22を巻� ��取り軸26に巻き戻すため、シート22を余分に 繰り出すという無駄が発生することもない。

 図5はこの発明の第2の実施の形態を示す� �この実施の形態は繰り出し軸23に巻装された シート22の外周面に回転体46を圧接させ、こ� �回転体46を繰り出しモータ36によって回転駆� ��するようになっている。繰り出しモータ36� �してはステッピングモータやサーボモータ� �ど、単体で送り量が制御できるモータが使� �されている。

 上記回転体46と繰り出しモータ36は、上記 回転体46が巻装されたシート22の外周面に弾� �的に圧接するよう一体的に保持されている� �それによって、繰り出しモータ36を作動させ て回転体46を回転させれば、この回転体46に� �ってシート22を介して繰り出し軸23が回転さ� ��られるから、繰り出し軸23から上記シート22 を繰り出すことができる。

 そして、上記回転体46の回転角度は繰り� �しモータ36によって検出できるから、その検 出信号を第1の駆動部41を介して駆動制御部48� ��出力すれば、第1の実施の形態と同様、繰り 出しモータ36と巻き取りモータ37の駆動を制� �することができる。つまり、繰り出し軸23か らシート22を繰り出したならば、巻き取り軸2 6によって繰り出された分だけを巻き取るこ� �が可能となる。