以下、この発明をより詳細に説明するため� ��、この発明を実施するための最良の形態に� ��いて、添付の図面に従って説明する。
 実施の形態1.
 図1は、この発明の実施の形態1による流量� �の構成を示す図であり、図1(a)は側面図を示� ��ており、図1(b)は図1(a)中のb方向からの矢視� ��、図1(c)は図1(a)中のa方向からの矢視図であ� ��。図1(a)に示すように、実施の形態1による� �量計1は、ボディ部2及び流体計測部3を備え� �。ボディ部2は、被測定流体が流れる不図示� ��配管に取り付けられる構成部品であり、図1 (b)に示すように被測定流体が流れるメイン流 路(主流路)7が設けられ、その流路途中にオリ フィス(絞り部)8が形成される。また、メイン 流路7の両端には、ねじ溝を形成した取り付� �部7aが設けられており、例えば気密シールを 介して配管の端部が螺合されることにより気 密を保って配管に取り付けられる。

 流体計測部3は、被測定流体の流量等を計 測演算を実行するマイクロコンピュータ等の 計測処理部が収容され、この計測処理部と外 部装置の間で信号のやり取りをするためのコ ネクタ5を設けた筐体が取り付け板部3aと一体 に形成されており、図2において後述する分� �路構造部11が収容された基板3bを介してボデ� ��部2に取り付けられる。流体計測部3のボデ� �部2への取り付けは、ボディ部2に設けた不図 示のねじ穴に取り付けねじ6を螺合すること� �行われ、ボディ部2に着脱自在である。この� ��うに、流体計測部3及び分流路構造部11は、� ��ディ部2に対して着脱自在であることから、 従来の技術で説明した遮断弁やバイパス流路 等を要さずとも取り外しが可能であり、空気 供給設備を稼働させたまま異常時の調査やメ ンテナンスを行うことができる。なお、流体 計測部3及び分流路構造部11を、ボディ部2か� �外した状態においては、メイン流路7は後述� ��る分流部(第1の分流路)9及び分流部(第2の分� ��路)10を介して、大気に開放されている。

 また、流体計測部3には、図1(c)に示すよ� �に表示部4a及び設定入力部4bを備えた表示設� ��部4が設けられる。表示部4aは、計測処理部� ��ら入力した被測定流体の流量等の計測結果� ��表示する。設定入力部4bは、計測処理部や� �示部4aに設定情報を入力する構成要素であり 、例えば設定ボタンを押下することで表示部 4aの表示内容を切り替える設定情報等が入力� ��れる。なお、図1の例では、流体計測部3に� �示部4aを装備した場合を示したが、表示部を 有さない構成であっても構わない。

 図2は、実施の形態1による流量計1を図1(b) 中のA-A線で切った断面を示す斜視図である。 図2に示すように、基板3bには、その中央部に 孔部が形成されており、この孔部に分流路構 造部11及びこれを囲むように破断面が楕円の� ��ムパッキン12が配置される。分流路構造部11 は、ボディ部2側と流体計測部3側の双方の面� ��流路が形成された板状部材である。この分� ��路構造部11を収納した状態で取り付けねじ6� ��ボディ部2に設けたねじ穴に螺合することに より、ゴムパッキン12が、取り付け板部3aの� �ンサ15側の面とボディ部2の取り付け面とに� �接して分流路構造部11が密閉される。

 また、ボディ部2には、オリフィス8の前� �に形成したメイン流路7に連通する分流部(第 1の分流路)9及び分流部(第2の分流路)10が形成� ��れている。オリフィス8で生じた差圧によっ て分流部9を介して被測定流体が分流路構造� �11へ分流され、分流路構造部11を通った被測� ��流体が分流部10を介してメイン流路7へ流出� ��る。なお、分流部9,10を介してボディ部2と� �体計測部3の間を流入出する被測定流体は、� ��流路構造部11に配置したフィルタ13a,13bによ� ��て除塵される。また、必要に応じて、フィ� ��タ13a,13bがない構成であっても構わない。

 分流部9,10は、メイン流路7を貫通する小� �径(径D)の絞り部9a,10aと、これに連通する絞� �部9a,10aよりも大口径(径E)の孔部9b,10bから構� �される。メイン流路7から分流された被測定� ��体は、小口径の絞り部9aで流速が上昇する� �、絞り部9aよりも口径の大きい孔部9bで流速� ��落とされて分流路構造部11に導入される。� �えば、絞り部9a,10aは、φ1mm程度か、これより も本発明の趣旨を逸脱しない範囲で口径の小 さい細孔で構成され、孔部9b,10bは、絞り部9a, 10aを介して上昇した被測定流体の流速が緩和 できる口径であればよい。

 このように、実施の形態1による流量計1� �は、細孔の絞り部9a,10aを有する分流部9,10を� ��して、メイン流路7から分流路構造部11へ被� ��定流体を分流する。つまり、分流部9,10が、 メイン流路7を貫通する孔からなる絞り部9a,10 aと、絞り部9a,10aに連通して流体計測部3側に� ��り部9a,10aよりも大きい口径で開口する孔部9 b,10bとからなり、絞り部9a,10a及び孔部9b,10bを� ��して流体計測部3側に分流された被測定流体 の流速が下がることから、被測定流体が噴出 する力が小さくなり、ボディ部2から流体計� �部3を着脱し易くすることができる。

 例えば、工場内の空気供給設備等では、� ��常時の調査やメンテナンスのために流体計� ��部3をボディ部2から一時的に取り外しても� �微小口径の絞り部9a,10aを介して空気漏れが� �量生じるだけであるから、配管内の空気の� �れを止める必要がない。また、このように� �気漏れが少量生じるだけであれば、流体計� �部3をボディ部2から一時的に取り外しても、 手早く取り付けることが可能であるため、メ イン流路7から分流部9,10へ流れる被測定流体� ��遮断する遮断弁も不要であるので、簡易な� ��成で実現できる上、小型化も図ることが可� ��である。

 また、上記説明では、分流部9,10が絞り部 9a,10aと孔部9b,10bとからなる二段孔の構造を有 する場合を示したが、メイン流路7側と流体� �測部3側とで開口径が同じ連通孔(絞り部9a,10a の口径でメイン流路7側から流体計測部3側へ� ��通した孔)で分流部9,10を構成してもよい。� �のように構成することによっても、配管内� �被測定流体の流れを遮断する遮断弁等を要� �ずとも取り外しが可能であり、空気供給設� �を稼働させたまま異常時の調査やメンテナ� �スを行うことができる。

 図3は、図1中の流体計測部及びその周辺� �成を示す分解斜視図である。図3に示すよう� ��、流体計測部3のボディ部2側の面には、被� �定流体を検出するセンサ15が設けられており 、センサ15の流体検出部が、分流路構造部11� �流体計測部3側の面に形成された流路に面し� ��いる。センサ15の検出信号は、リード線(図� ��せず)などから流体計測部3に出力される。

 分流路構造部11は、ボディ部2側と流体計� ��部3側の両面に流路が形成されており、分流 部9を介してメイン流路7から分流された被測� ��流体は、ボディ部2側の面に形成された流路 から流体計測部3側の面に形成された流路に� �入し、センサ15が被測定流体に晒された後、 再度ボディ部2側の面に形成された流路に戻� �、分流部10を介してメイン流路7へ流出する� �分流路構造部11はボディ部2側から導入され� �被測定流体の流速を下げると共に、被測定� �体の偏流や乱れを整流してセンサ15に導入す る調節体である。

 また、さらにこの分流路構造部11は、流� �計測部3をボディ部2から取り外した場合にセ ンサ15を覆う蓋体として機能するため、セン� ��15が露出して破損するのを防止することが� �きる。なお、分流路構造部11は、例えば両面 テープや接着剤などを用いて取り付け板部3a� ��ら容易に脱落しないように取り付けられる� ��これにより、分流路構造部11および流体計� �部3はボディ部2に対して着脱可能であるが、 分流路構造部11は流体計測部3から容易に外れ ることがない。

 また、分流路構造部11には、ボディ部2側� ��面に除塵用のフィルタ13a,13bを着脱可能に設 ける他、図3に示すように流体計測部3側の面� ��金網14を設けてもよい。この金網14は、分流 路構造部11の流体計測部3側の面に形成された 流路におけるセンサ15の上流側に配置するこ� ��で、センサ15に導入される前の被測定流体� �偏流や乱れを整流することができる。また� �金網14は複数枚が一定間隔に配置されるが、 被測定流体の流速等を考慮して、配置する枚 数、目の粗さ、あるいは配置間隔を適宜変更 可能である。

 次に、熱式流量センサを用いた流量計で実� ��の形態1による流量計1を実現した場合につ� �て述べる。この流量計では、熱式流量セン� �を用いて流体の流速を検出し、この検出し� �流速に流路の断面積を乗じて流体の流量を� �める。センサ15としては、例えば参考文献1� �開示された半導体ダイヤフラム構成の熱式� �量センサを使用できる。
(参考文献1);特許第3096820号

 図4は、実施の形態1によるセンサの構成� �示す図であり、参考文献1に開示されるセン� ��構成とその原理を示している。なお、図4(a) は、センサの斜視図を示しており、図4(b)は� �4(a)中の矢印方向に沿って切った断面図であ� ��。図4に示すセンサ15は、一辺が1.7mm、厚さ0. 5mmのシリコンチップなどの基材からなる基台 16を備え、基台16の上面周縁部に周囲温度セ� �サ20や電極パッドP1~P6が形成される。また、� ��台16中央のダイヤフラム部17上には、ヒータ 18、上流側温度センサ20U、下流側温度センサ2 0Dが白金などのパターンを用いて薄膜形成さ� ��ており、絶縁膜層17aで覆われる。なお、白� ��薄膜は温度に応じて抵抗値が変化し、測温� ��抗体として機能する。

 ヒータ18は基台16の中央に配置され、図4(a )中に矢印で示す流体の流れ方向に対してヒ� �タ18の上流側に上流側温度センサ20Uが配置さ れ、反対側の下流側に下流側温度センサ20Dが 配置される。また、基台16の中央部は、異方� ��エッチングなどの工程によって、図4(b)に示 すように基材の一部が除去されてキャビティ 21が形成されている。キャビティ21まで貫通� �るスリット19を設けたダイヤフラム部17をキ� ��ビティ21上に形成することで、ヒータ18、上 流側温度センサ20U、下流側温度センサ20Dが基 台16から熱的に遮断される。

 センサ15の動作原理は、周囲温度センサ20 で計測された流体温度より一定温度、例えば 数十℃だけ高くなるようにヒータ18で被測定� ��体を熱して所定の温度分布を発生させ、そ� ��温度分布を上流側温度センサ20U及び下流側� ��度センサ20Dで計測することにより、被測定� ��体の流速を計測する。

 例えば、被測定流体が静止している場合� ��上流側温度センサ20U及び下流側温度センサ2 0Dで得られる温度分布は対称となるが、被測� ��流体に流れが生じると、その対称性が崩れ� ��上流側温度センサ20Uに比べて下流側温度セ� ��サ20Dで得られる温度が高くなる。この温度� ��をブリッジ回路で検出することにより、被� ��定流体の熱伝導率などの物性値に基づいて� ��速を算出できる。

 なお、上述した熱式流量センサはサイズ� ��小さいだけでなく、熱絶縁された極めて薄� ��ダイヤフラム構造を採用しているため、高� ��度分析、高速応答及び低消費電力という特� ��を備えている。例えば、被測定流体が1cm/秒 程度の超低流速であっても計測が可能である 。従って、この熱式流量センサは、分流部9� �おける微小口径の絞り部9aを介して被測定流 体を分流して流体計測部3内で低流速とする� �量計1に好適である。

 また、ヒータ18を挟んだ上流側温度セン� �20Uと下流側温度センサ20Dの配置が左右対称� �なっているため、順流だけではなく逆流の� �定も可能となる。例えば、図4(a)中に示した� ��印と反対方向に被測定流体が逆流した場合� ��あっても、上述のセンサを用いることによ� ��、逆流した被測定流体の計測ができる。

 次に、分流部構造部11の詳細について説� �する。図5は、実施の形態1による流量計の分 流路構造部の構成を示す斜視図であり、図5(a )はボディ部側面の構成、図5(b)は流体計測部� ��面の構成、図5(c)は分流路構造部を基板に取 り付けた際の構成を示している。なお、以下 では分流部9から分流路構造部11に向かう被測 定流体の流れを順流、分流部10から分流路構� ��部11に向かう被測定流体の流れを逆流と称� �る。

 分流路構造部11は、樹脂等を用いた型抜� �成形や金属の切削成形などにより構成され� �。図5(a)に示すボディ部側面(第1の流路、第3� ��流路)11aは、中央部分に略S字形の仕切り壁(� ��切り部材)30が設けられ、この仕切り壁30に� �り仕切られた上流側流路(第1の流路)31、下流 側流路(第3の流路)32及びバッファ用凹部(バッ ファ部)33,34で構成されている。また、ボディ 部側面11aの外周部分には仕切り壁30と連設さ� ��るように外周壁35が形成され、流体計測部3� ��ボディ部2に取り付けた際にボディ部2に当� �してボディ部側面11aが密閉され、被測定流� �が漏出するのを防ぐ。

 また、図5(a)では下流側流路32の面積は上� ��側流路31よりも小さくなるように構成して� �る。これは逆流の被測定流体を測定する場� �に、導入された被測定流体は下流側流路32に おいて整流された後センサ15に導入されるが� ��下流側流路32に導入される被測定流体が順� �方向の測定と比較して少量となるためであ� �。なお、上流側流路31の面積と下流側流路32� ��面積が均等になるように構成してもよく、� ��流側流路31と下流側流路32の面積は適宜変更 可能である。

 上流側流路31には、長さの異なる3本の整� ��片(整流子)31a、31b及び31cと被測定流体をボ� �ィ部側面11aから流体計測部側面(第2の流路)11 bに導入する流路折り曲げ孔(第1の連通孔部)31 dが形成されている。整流片31aは外周壁35に連 設され、バッファ用凹部33によるバッファ効� ��を高めるために整流片31b及び31cよりも片の� ��さが高くなるように構成されている。また� ��各整流片31a,31b,31c間で被測定流体が連通可� �なように、各整流片の長さは31a<31b<31cと なっている。整流片31aの長さを最も短くする ことで、バッファ用凹部33から流路折り曲げ� ��31dへ向かう流路の入口が広がり、上流側流� ��31に形成された整流片31a、31b及び31cで仕切� �れた3本の流路それぞれに極力均一に被測定� ��体を流すことが可能となり、整流効果を得� ��ことができる。

 下流側流路32も同様に、長さの異なる3本� ��整流片(整流子)32a,32b及び32cと被測定流体を� ��体計測部側面11bからボディ部側面11aに導入� ��る流路折り曲げ孔(第2の連通孔部)32dが形成� ��れている。整流片32aは外周壁35に連設され� �バッファ用凹部34によるバッファ効果を高め るために整流片32b及び32cよりも片の高さが高 くなるように構成されている。また、各整流 片32a,32b,32c間で被測定流体が連通可能なよう� ��、各整流片の長さは、32a<32b<32cとなっ� �いる。整流片32aの長さを最も短くすること� �、バッファ用凹部34から流路折り曲げ孔32dへ 向かう流路の入口が広がり、下流側流路32に� ��成された整流片32a、32b及び32cで仕切られた3 本の流路それぞれに極力均一に被測定流体を 流すことが可能となり、整流効果を得ること ができる。

 流路折り曲げ孔31d,32dは、各整流片により 分割されない方がより被測定流体の整流効果 を向上させることができるが、図5(a)に示す� �うに順流方向の被測定流体の流量測定に影� �の少ない下流側流路32では、流路折り曲げ孔 32dを跨ぐように整流片32b及び32cを形成し、流 路折り曲げ孔32dを3つに分割する形状をとっ� �もよい。

 分流部9,10からバッファ用凹部33,34に流入� ��た被測定流体は、バッファ用凹部33,34に一� �溜め込まれる(バッファされる)。これにより 、被測定流体の流速が下がるため、フィルタ 13a,13bに取り込まれるダスト量が増加する。� �まり、バッファ用凹部33,34で被測定流体の流 速を落とすことで、被測定流体の流速を維持 した場合と比較してフィルタ13a,13bの防塵効� �を向上させている。

 次に、図5(b)を用いて流体計測部側面11bの 構成について説明する。流体計測部側面11bの 両端には、図5(a)で示した流路折り曲げ孔31d,3 2dが形成されている。また、中央部には、金� ��14を係止する4つの金網係止片36、2つの壁部( ベクトル調整部材)37a,37b及び2つの敷居片(ベ� �トル調整部材)38a,38bが設けられている。なお 、この実施の形態1では、順流の流体計測の� �測範囲が逆流の流体計測の計測範囲に比べ� �広いので、更なる整流効果を得るために金� �14を設ける構成を示している。

 敷居片38a,38bの流路折り曲げ孔31d側の端部 と4つの金網係止片36との間に金網14を差し込� ��ことで、図5(c)に示すようにセンサ15の上流� ��に複数枚の金網14が一定間隔で配置される� �壁部37a,37b及び敷居片38a,38bはセンサ15部分に� ��入された被測定流体の流速ベクトルを均一� ��調整し、整流効果を高める。敷居片38a,38bは 流路折り曲げ孔32dを跨ぐように形成されてい る。

 なお、参考文献2に開示された内容に基づき 流量計を構成した場合、この実施の形態1に� �る流量計1のセンサ15とセンサ15に対向する流 体計測部側面11bとの距離は1mm程度となる。被 測定流体が流れる流路幅を狭めることにより 整流効果を得ることができるので、更に精度 良く流体計測することができる。
(参考文献2);特開2007-121036号公報

 図6は、実施の形態1による流量計の被測� �流体の順流の流れを示す図である。図6(a)は� ��ディ部側面の被測定流体の流れを示し、図6 (b)は流体計測部側面の被測定流体の流れを示 す図である。図6において、実線矢印は流量� �定前の被測定流体の流れを示し、破線矢印� �流量測定後の被測定流体の流れを示す。

 図6(a)の実線矢印で示す、分流部9からバ� �ファ用凹部33に導入された被測定流体は、一 定角度の広がりを持って上流側流路31に導入� ��れる。これは、仕切り壁30と整流片31aとの� �隔を広く構成していることから、被測定流� �の流速が抑えられ、一定角度の広がりを持� �て導入される。上流側流路31に導入された被 測定流体は、仕切り壁30によって流れの向き� ��変えられ、各整流片31a,31b及び31cの間を通過 して整流されると共に流速ベクトルが徐々に 変化する。さらに、流路折り曲げ孔31dにおい て流れの向きが変わり、流体計測部側面11bに 導入される。

 流体計測部側面11bに導入された被測定流� ��は、図6(b)の実線矢印で示すように、金網14� ��よって整流された後、壁部37a,37bによって流 入する面積が決定され、敷居片38a,38bにより� �ンサ15部分に晒される被測定流体の流速ベク トルが均一化され、センサ15によって流速が� ��出される。センサ15に流入する被測定流体� �流速ベクトルは、メイン流路7を流れる被測� ��流体の流速ベクトルに対して略直交する方� ��に変化している。

 その後、被測定流体は再び流路折り曲げ� ��32dで流れの向きが変えられ、下流側流路32� �導入される。下流側流路32に導入された被測 定流体は、図6(a)の点線矢印で示すように、� �整流片32a,32b及び32cの間を通過して整流され� ��バッファ用凹部34及びフィルタ13bを経由し� �分流部10からメイン流路7の気体流に合流す� �。

 次に、逆流方向の被測定流体の流量を測� ��する流量計の動作を説明する。図7は、実施 の形態1による流量計の被測定流体の逆流の� �れを示す図である。図7(a)はボディ部側面の� ��測定流体の流れを示し、図7(b)は流体計測部 側面の被測定流体の流れを示す図である。図 7において、実線矢印は流量測定前の被測定� �体の流れを示し、破線矢印は流量測定後の� �測定流体の流れを示す。

 図7(a)の実線矢印で示す、分流部10からバ� ��ファ用凹部34に導入された被測定流体は、� �定角度の広がりを持って下流側流路32に導入 される。これは、仕切り壁30と整流片32aとの� ��隔を広く構成していることから、被測定流� ��の流速が抑えられ、一定角度の広がりを持� ��て導入される。下流側流路32に導入された� �測定流体は仕切り壁30によって流れの向きが 変えられ、各整流片32a,32b及び32cの間を通過� �て整流されると共に、流速ベクトルが徐々� �変化する。さらに、流路折り曲げ孔32dにお� �て流れの向きが変えられ、流体計測部側面11 bに導入される。

 流体計測部側面11bに導入された被測定流� ��は、図7(b)の実線矢印で示すように、壁部37a ,37b及び敷居片38a,38bによりセンサ15部分に晒� �れる被測定流体の流速ベクトルが均一化さ� �、センサ15によって流速が検出される。セン サ15に流入する被測定流体の流速ベクトルは� ��メイン流路7を流れる被測定流体の流速ベク トルに対して略直交する方向に変化している 。

 その後、被測定流体は金網14によって整� �された後、再び流路折り曲げ孔31dで流れの� �きが変えられ、上流側流路31に導入される。 上流側流路31に導入された被測定流体は、図7 (a)の点線矢印で示すように、各整流片31a,31b� �び31cの間を通過して整流され、バッファ用� �部33及びフィルタ13aを経由して分流部9から� �イン流路7の気体流に合流する。

 以上のように、この実施の形態1によれば 、被測定流体が流れるメイン流路7と、メイ� �流路7から被測定流体を分流させる分流部9と 、分流部9から分流された被測定流体がメイ� �流路7へ流通する分流部10と、分流部9,10間の� ��イン流路7に設けた被測定流体の流れを絞る オリフィス8とを有するボディ部2と、分流部9 ,10に連通して被測定流体を流通させる流路を 設けた分流路構造部11と、分流路構造部11に� �けられた流路に面して配置されたセンサ15を 有し、当該センサ15が検出した分流部9,10から 導入された被測定流体の検出結果に基づいて 被測定流体を計測する流体計測部3とを備え� �分流路構造部11及び流体計測部3が、ボディ� �2に対して着脱自在であるので、被測定流体� ��流れが絞られることから、配管から一時的� ��被測定流体が少量漏れたとしても、配管内� ��被測定流体の流れを止めることなく、流体� ��測部3をボディ部2から取り外すことができ� �。これにより、配管内の被測定流体の流れ� �止めることなく、異常時の調査やメンテナ� �スを容易に行うことができる上、配管から� �被測定流体を遮断する遮断弁等が不要なこ� �から、簡易な構成で小型化を図ることがで� �る。

 また、この実施の形態1によれば、センサ 15を覆う位置に分流路構造部11を設け、ボデ� �部側から導入された被測定流体を折り返し� �センサ15に供給するように構成し、さらに分 流路構造部11及び流体計測部3はボディ部2に� �して着脱可能であるが、分流路構造部11は流 体計測部3から容易には外れないように構成� �たので、流体計測部3をボディ部2から取り外 した場合でも、分流路構造部11がセンサ15に� �して蓋体として機能し、センサ15が露出して 傷付いたり破損することを防止できる。

 さらに、この実施の形態1によれば、分流 路構造部11のボディ部側面11aに複数の整流片� ��設け、ボディ部2の分流部9から導入された� �測定流体の流速を下げた後、さらに各整流� �により被測定流体の流れを整流するように� �成したので、安定した被測定流体の流量測� �を行うことが可能となる。また、整流片の� �さをバッファ用凹部33,34に近づくにつれて短 く形成しているので、バッファ用凹部第1の� �流部または第2の整流部に向かう流路に入口� ��広がり、複数の整流片で仕切られた流路に� ��れぞれ被測定流体を極力均一に流すことが� ��き、整流効果を得られる。

 さらに、この実施の形態1によれば、分流 路構造部11に流路折り曲げ孔31d,32dを設けて流 路を折り返すように構成したので、被測定流 体の十分な整流を行う流路を確保できると共 に、流量測定部分を小型化することができる 。

 さらに、この実施の形態1によれば、分流 路構造部11にボディ部側面11a、流体計測部側� ��11b及び流路折り曲げ孔31d,32dを設け、被測定 流体の流路を折り返し、さらにバッファ用凹 部33,34で被測定流体の流速を下げた後、整流� ��により被測定流体の流れを整えるように構� ��したので、被測定流体が流通する流路長を� ��分に確保して整流を行うことができ、正確� ��流量測定が可能となる。また、流量計を小� ��化することができる。

 垂直配管に流量計を取り付けるなど、メ� ��ン流路7を通流する被測定流体が重力方向に 流れるようにボディ部2を配置した場合、メ� �ン流路7を流れる被測定流体の流速ベクトル� ��、センサ15に晒す被測定流体の流速ベクト� �が同一であると、センサ15に晒す被測定流体 の流速ベクトルと平行するようにセンサに備 えられた上流と下流の抵抗の周囲における被 測定流体の温度分布が垂直上方側の抵抗の方 へ偏ることが知られている。この場合、低流 量や流量ゼロの際は特に、測定誤差やゼロ点 のドリフトが目立つように生じるが、この実 施の形態1によれば、メイン流路7を流れる被� ��定流体の流速ベクトルと、流体計測部側面1 1bにおいてセンサ15に流入する被測定流体の� �速ベクトルが略直交するように構成したの� �、センサ15に晒す被測定流体の流速ベクトル を重力方向と直交するように構成することが 可能となり、センサ15に晒す被測定流体の流� ��ベクトルと平行するようにセンサ15に備え� �れた上流と下流の抵抗の周囲における被測� �流体の温度分布がいずれかの抵抗の方へ偏� �なくてすむ。低流量の際の測定誤差や流量� �ロの際のゼロ点のドリフトを抑制すること� �できる。さらに、被測定流体が流通する流� �長を十分に確保することができる。

 また、この実施の形態1によれば、分流路 構造部11のボディ部側面11aの下流側流路32に� �数の整流片及び流路折り曲げ孔32dを設け、� �らに左右対称構造であるセンサ15を設けるよ うに構成したので、下流側流路32からセンサ1 5に向かう被測定流体の流れである逆流の流� �も精度良く測定することができる。

 なお、上記実施の形態1では、分流路構造 部11、ゴムパッキン12及び基板3bの孔部を楕円 状に形成する例を示したが、楕円状に限定さ れるものではなく被測定流体を導入するボデ ィ部2の分流部9,10の形状に合わせて構成して� ��い。

 なお、上記実施の形態1では、流路折り曲 げ孔31d付近に金網14を設ける構成を示したが� ��流路折り曲げ孔32dの直後にもさらに金網14� �設け、下流側流路32から導入された逆流の被 測定流体を該金網14で整流した後にセンサ15� �供給するように構成してもよい。