Trichlorsilan

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Umsetzung von Siliciumtetrachlorid mit Wasserstoff zu Trichlorsilan in einem Hydrodechlorierungsreaktor, wobei der Hydrodechlorierungsreaktor unter Druck betrieben wird und ein oder mehrere Reaktorrohre umfasst, die aus keramischem Material bestehen. Die Erfindung betrifft des Weiteren die Verwendung eines solchen Hydrodechlorierungsreaktors als integraler Bestandteil einer Anlage zur Herstellung von Trichlorsilan aus metallurgischem Silicium.

Bei vielen technischen Prozessen in der Siliciumchemie entstehen SiCI ₄ und HS1CI3 gemeinsam. Es ist deswegen notwendig, diese beiden Produkte ineinander zu überführen und damit der jeweiligen Nachfrage nach einem der Produkte gerecht zu werden.

Darüber hinaus ist hochreines HS1CI3 ein wichtiger Einsatzstoff bei der Herstellung von Solarsilicium.

Bei der Hydrodechlorierung von Siliciumtetrachlorid (STC) zu Trichlorsilan (TCS) wird nach technischem Standard ein thermisch kontrolliertes Verfahren eingesetzt, bei dem das STC zusammen mit Wasserstoff in einem mit Graphit ausgekleideten Reaktor, dem so genannten "Siemensofen", geleitet wird. Die im Reaktor

befindlichen Graphitstäbe werden als Widerstandsheizung betrieben, so dass Temperaturen von 1 .100 °C und höher erreicht werden. Durch die hohe Temperatur und den anteiligen Wasserstoffgehalt wird die Gleichgewichtslage zum Produkt TCS verschoben. Das Produktgemisch wird nach der Reaktion aus dem Reaktor geführt und in aufwendigen Verfahren abgetrennt. Der Reaktor wird kontinuierlich durchströmt, wobei die Innenflächen des Reaktors aus Graphit als korrosionsfestes Material bestehen müssen. Zur Stabilisierung wird eine Außenhülle aus Metall eingesetzt. Die Außenwand des Reaktors muss gekühlt werden, um die bei den hohen Temperaturen auftretenden Zersetzungsreaktionen an der heißen Reaktorwand, die zu Siliciumabscheidungen führen können, möglichst zu

unterdrücken.

Neben der nachteiligen Zersetzung aufgrund der notwendigen und unökonomischen sehr hohen Temperatur, ist auch die regelmäßige Reinigung des Reaktors nachteilig. Aufgrund der eingeschränkten Reaktorgröße muss eine Reihe von unabhängigen Reaktoren betrieben werden, was ökonomisch ebenfalls nachteilig ist. Die gegenwärtige Technologie erlaubt keinen Betrieb unter Druck, um eine höhere Raum-/Zeitausbeute zu erzielen, um somit beispielsweise die Anzahl der Reaktoren zu reduzieren.

Ein weiterer Nachteil ist die Durchführung einer rein thermisch geführten Reaktion, ohne einen Katalysator, der das Verfahren insgesamt sehr ineffizient gestaltet.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es nun, ein Verfahren zur Umsetzung von Siliciumtetrachlorid mit Wasserstoff zu Trichlorsilan bereitzustellen, welches effizienter arbeitet und mit dem bei vergleichbarer Reaktorgröße ein höherer Umsatz erzielt werden kann, also die Raum-/Zeitausbeute an TCS erhöht wird. Des Weiteren soll das erfindungsgemäße Verfahren eine hohe Selektivität bezüglich TCS ermöglichen.

Zur Lösung des Problems wurde gefunden, dass ein Gemisch aus STC und

Wasserstoff durch einen druckbetriebenen röhrenartigen Reaktor geführt werden kann, der vorzugsweise einerseits mit einer katalytischen Wandbeschichtung versehen und andererseits mit einem Festbettkatalysator ausgestattet sein kann. Die Kombination aus der Verwendung eines Katalysators zur Verbesserung der Reaktionskinetik und Steigerung der Selektivität sowie eine druckbetriebene

Reaktion sorgen für eine ökonomisch und ökologisch sehr effiziente

Prozessführung. Durch geeignete Einstellung der Reaktionsparameter wie Druck, Verweilzeit, Verhältnis aus Wasserstoff zu STC kann ein Verfahren dargestellt werden, in dem hohe Raum-/Zeitausbeuten an TCS mit einer hohen Selektivität erhalten werden. Die Nutzung eines geeigneten Katalysators in Verbindung mit Druck stellt eine Besonderheit des Verfahrens dar, da so schon bei vergleichsweise niedrigen Temperaturen von deutlich unter 1 .000 °C, bevorzugt unterhalb 950 °C ausreichend hohe Mengen an TCS erzeugt werden können, ohne dass nennenswerte Verluste durch die thermische Zersetzung in Kauf genommen werden müssten.

Hierbei wurde gefunden, dass für die Reaktionsröhren des Reaktors bestimmte keramischen Materialien verwendet werden können, da sie ausreichend inert sind und auch bei hohen Temperaturen wie z. B. 1 .000 °C die Druckfestigkeit des Reaktors gewährleisten, ohne dass das keramische Material beispielsweise eine Phasenumwandlung durchläuft, die das Gefüge schädigen und somit die

mechanische Belastbarkeit negativ beeinträchtigen würde. Hierbei ist es notwendig, gasdichte Rohre einzusetzen. Die Gasdichtigkeit und Inertheit kann durch hochtemperaturfeste Keramiken erreicht werden, die unten näher spezifiziert werden.

Das Reaktorrohrmaterial kann mit einer katalytisch aktiven Innenbeschichtung versehen werden. Als zusätzliche Maßnahme kann das Reaktorrohr mit einem inerten Schüttgut befüllt werden, um die Strömungsdynamik zu optimieren. Das Schüttgut kann dabei aus dem gleichen Material bestehen wie das Reaktormaterial. Als Schüttgut können Füllkörper, wie Ringe, Kugeln, Stäbchen, oder andere geeignete Füllkörper verwendet werden. Die Füllkörper können in einer besonderen Ausführungsform zusätzlich mit einer katalytisch aktiven Beschichtung belegt sein. In diesem Fall kann gegebenenfalls auf die katalytisch aktive Innenbeschichtung verzichtet werden.

Die Dimensionierung des Reaktorrohres und das Design des kompletten Reaktors werden durch die Verfügbarkeit der Rohrgeometrie bestimmt, sowie durch die Vorgaben bezüglich der Einbringung der für die Reaktionsführung benötigten Wärme. Dabei kann sowohl ein einzelnes Reaktionsrohr mit der dazu gehörigen Peripherie eingesetzt werden als auch eine Kombination von vielen Reaktorrohren. Im letzten Fall kann die Anordnung vieler Reaktorrohre in einer beheizten Kammer sinnvoll sein, bei der die Wärmemenge beispielsweise durch Erdgasbrenner eingebracht wird. Um eine lokale Temperaturspitze an den Reaktorrohren zu vermeiden, sollten die Brenner nicht direkt auf die Rohre gerichtet sein. Sie können beispielsweise indirekt von oben in den Reaktorraum ausgerichtet und über den Reaktorraum verteilt sein, so wie in Figur 1 exemplarisch gezeigt. Zur Steigerung der Energieeffizienz kann das Reaktorsystem an ein Wärmerückgewinnungssystem angebunden werden.

Die erfindungsgemäße Lösung der oben genannten Aufgabe wird im Folgenden näher beschrieben einschließlich verschiedener oder bevorzugter

Ausführungsvarianten.

Gegenstand der Erfindung ist nun ein Verfahren zur Umsetzung von

Siliciumtetrachlorid mit Wasserstoff zu Trichlorsilan in einem

Hydrodechlorierungsreaktor, dadurch gekennzeichnet, dass der

Hydrodechlorierungsreaktor unter Druck betrieben wird und ein oder mehrere Reaktorrohre umfasst, die aus keramischem Material bestehen.

Insbesondere ist das erfindungsgemäße Verfahren ein Verfahren bei dem bei der genannten Umsetzung ein siliciumtetrachloridhaltiges Eduktgas und ein

wasserstoffhaltiges Eduktgas in einem Hydrodechlorierungsreaktor durch Zufuhr von Wärme zur Reaktion gebracht werden unter Bildung eines trichlorsilanhaltigen und HCI-haltigen Produktgases, dadurch gekennzeichnet, dass das

siliciumtetrachloridhaltige Eduktgas und/oder das wasserstoffhaltige Eduktgas als unter Druck stehende Ströme in den druckbetriebenen Hydrodechlorierungsreaktor geführt werden und das Produktgas als unter Druck stehender Strom aus dem Hydrodechlorierungsreaktor herausgeführt wird. Im Produktstrom können gegebenenfalls auch Nebenprodukte wie Dichlorsilan, Monochlorsilan und/oder Silan enthalten sein. Im Produktstrom sind in der Regel auch noch nicht umgesetzte Edukte, also Siliciumtetrachlorid und Wasserstoff, enthalten.

Die Gleichgewichtsreaktion im Hydrodechlorierungsreaktor wird typischerweise bei 700 °C bis 1 .000 °C, bevorzugt bei 850 °C bis 950 °C, und bei einem Druck im Bereich zwischen 1 und 10 bar, bevorzugt zwischen 3 und 8 bar, besonders bevorzugt zwischen 4 und 6 bar, durchgeführt.

In allen beschriebenen Varianten des erfindungsgemäßen Verfahrens können das siliciumtetrachloridhaltige Eduktgas und das wasserstoffhaltige Eduktgas auch als ein gemeinsamer Strom in den druckbetriebenen Hydrodechlorierungsreaktor geführt werden.

Das keramische Material für die ein oder mehreren Reaktorrohre wird vorzugsweise ausgewählt aus AI2O3, AIN, Si3N ₄ , SiCN oder SiC, besonders bevorzugt ausgewählt aus Si-infiltriertem SiC, isostatisch gepresstem SiC, heiß isostatisch gepresstem SiC oder drucklos gesintertem SiC (SSiC).

Vor allem Reaktoren mit SiC-haltigen Reaktorrohren werden bevorzugt, da sie über eine besonders gute Wärmeleitfähigkeit verfügen, die eine gleichmäßige

Wärmeverteilung und einen guten Wärmeeintrag für die Reaktion ermöglichen. Besonders bevorzugt ist es, wenn die ein oder mehreren Reaktorrohre aus drucklos gesintertem SiC (SSiC) bestehen.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das siliciumtetrachloridhaltige Eduktgas und/oder das wasserstoffhaltige Eduktgas vorzugsweise mit einem Druck im

Bereich von 1 bis 10 bar, bevorzugt im Bereich von 3 bis 8 bar, besonders bevorzugt im Bereich von 4 bis 6 bar, und mit einer Temperatur im Bereich von 150 °C bis 900 °C, bevorzugt im Bereich von 300 °C bis 800 °C, besonders bevorzugt im Bereich von 500 °C bis 700 °C, in den Hydrodechlorierungsreaktor geführt wird.

Die Wärmezufuhr für die Reaktion in dem Hydrodechlorierungsreaktor kann über einen Heizraum, in dem die ein oder mehreren Reaktorrohre angeordnet sind, erfolgt. Beispielsweise kann der Heizraum durch eine elektrische

Widerstandsheizung erhitzt werden. Der Heizraum kann auch eine Brennkammer sein, die mit Brenngas und Brennluft betrieben wird. Erfindungsgemäß ist es besonders bevorzugt, dass die Umsetzung in dem

Hydrodechlorierungsreaktor durch eine die Umsetzung katalysierende

Innenbeschichtung der ein oder mehreren Reaktorrohre katalysiert wird. Die

Umsetzung in dem Hydrodechlorierungsreaktor kann zusätzlich durch eine die Umsetzung katalysierende Beschichtung eines im Reaktor bzw. in den ein oder mehreren Reaktorrohren angeordneten Festbettes katalysiert werden. Bei

Verwendung eines katalytisch aktiven Festbettes kann gegebenenfalls auf die katalytisch aktive Innenbeschichtung verzichtet werden. Bevorzugt ist jedoch, dass die Reaktorinnenwand mit einbezogen wird, da so die katalytisch nutzbare

Oberfläche gegenüber rein geträgerten Katalysatorsystemen (z. B. per Festbett), vergrößert wird.

Die katalytisch aktive(n) Beschichtung(en), also für die Reaktorinnenwand und/oder ein gegebenenfalls verwendetes Festbett, bestehen bevorzugt aus einer

Zusammensetzung, die mindestens eine aktive Komponente enthält ausgewählt aus den Metallen Ti, Zr, Hf, Ni, Pd, Pt, Mo, W, Nb, Ta, Ba, Sr, Ca, Mg, Ru, Rh, Ir oder Kombinationen daraus oder deren Silicidverbindungen, insbesondere Pt, Pt/Pd, Pt/Rh sowie Pt/Ir.

Die Reaktorinnenwand und/oder das gegebenenfalls verwendete Festbett können wie folgt mit der katalytisch aktiven Beschichtung versehen werden:

Durch Bereitstellen einer Suspension, nachfolgend auch als Lack bzw. Paste bezeichnet, enthaltend a) mindestens eine aktive Komponente ausgewählt aus den Metallen Ti, Zr, Hf, Ni, Pd, Pt, Mo, W, Nb, Ta, Ba, Sr, Ca, Mg, Ru, Rh, Ir oder Kombinationen daraus oder deren Silicidverbindungen, b) mindestens ein

Suspensionsmittel, und optional c) mindestens eine Hilfskomponente, insbesondere zur Stabilisierung der Suspension, zur Verbesserung der Lagerstabilität der

Suspension, zur Verbesserung der Haftung der Suspension auf der zu

beschichtenden Oberfläche und/oder zur Verbesserung des Auftragens der

Suspension auf die zu beschichtende Oberfläche; durch Auftragen der Suspension auf die Innenwand des einen oder der mehreren Reaktorrohre und, optional, durch Auftragen der Suspension auf die Oberfläche von Füllkörpern des gegebenenfalls vorgesehenen Festbettes; durch Trocknen der aufgetragenen Suspension; und durch Tempern der aufgetragenen und getrockneten Suspension bei einer

Temperatur im Bereich von 500 °C bis 1 .500 °C unter Inertgas oder Wasserstoff. Die getemperten Füllkörper können dann in das eine oder die mehreren

Reaktorrohre eingefüllt werden. Das Tempern und optional auch das vorherige Trocknen können aber auch bei bereits eingefüllten Füllkörpern erfolgen.

Als Suspensionsmittel gemäß Komponente b) der erfindungsgemäßen Suspension, d. h. Lack bzw. Paste, insbesondere solche Suspensionsmittel mit Bindecharakter (kurz auch als Bindemittel bezeichnet), können vorteilhaft thermoplastische polymere Acrylatharze verwendet werden, wie sie in der Farben- und Lackindustrie eingesetzt werden. Hierzu zählen beispielsweise Polymethylacrylat,

Polyethylacrylat, Polypropylmethacrylat oder Polybutylacrylat. Es handelt sich um marktübliche Systeme, beispielsweise die unter dem Markennamen Degalan® von Evonik Industries erhältlich sind.

Optional können als weitere Komponenten, d. h. im Sinne von Komponente c), vorteilhaft ein oder mehrere Hilfsstoffe bzw. Hilfskomponenten eingesetzt werden.

So kann man als Hilfskomponente c) optional Löse- oder Verdünnungsmittel einsetzen. Vorzugsweise eignen sich organische Lösemittel, insbesondere aromatische Löse- bzw. Verdünnungsmittel, wie Toluol, Xylole, sowie Ketone, Aldehyde, Ester, Alkohole oder Gemische aus mindestens zwei der zuvor genannten Löse- bzw. Verdünnungsmittel.

Eine Stabilisierung der Suspension kann - sofern erforderlich - vorteilhaft durch anorganische oder organische Rheologieadditive erreicht werden. Zu den bevorzugten anorganischen Rheologieadditiven als Komponente c) zählen beispielsweise Kieselgur, Bentonite, Smektite und Attapulgite, synthetische

Schichtsilikate, pyrogene Kieselsäure oder Fällungskieselsäure. Zu den

organischen Rheologieadditiven bzw. Hilfskomponenten c) zählen vorzugsweise Rhizinusöl und dessen Derivate, wie polyamidmodifiziertes Rhizinusöl, Polyolefin oder polyolefin-modifiziertes Polyamid, sowie Polyamid und Derivate hiervon, wie sie beispielsweise unter dem Markennamen Luvotix® vertrieben werden, sowie Mischsysteme aus anorganischen und organischen Rheologieadditiven.

Um eine vorteilhafte Haftung zu erzielen, können als Hilfskomponenten c) auch geeignete Haftvermittler aus der Gruppe der Silane oder Siloxane eingesetzt werden. Hierzu sind beispielsweise - aber nicht ausschließlich - Dimethyl-, Diethyl-, Dipropyl-, Dibutyl-, Diphenylpolysiloxan oder Mischsysteme daraus, wie

beispielsweise Phenylethyl- oder Phenylbutylsiloxane oder andere Mischsysteme, sowie Mixturen hiervon zu nennen.

Der erfindungsgemäße Lack bzw. die Paste können in vergleichsweise einfacher und wirtschaftlicher weise zum Beispiel durch Mischen, Rühren bzw. Kneten der Einsatzstoffe, vgl. Komponenten a), b) und optional c) , in entsprechenden, dem Fachmann an sich bekannten, gängigen Apparaten erhalten werden. Ferner wird auf die vorliegenden, erfindungsgemäßen Beispiele hingewiesen.

Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist die Verwendung eines

Hydrodechlorierungsreaktors als integraler Bestandteil einer Anlage zur Herstellung von Tnchlorsilan aus metallurgischem Silicium, dadurch gekennzeichnet, dass der Hydrodechlorierungsreaktor unter Druck betrieben wird und ein oder mehrere Reaktorrohre umfasst, die aus keramischem Material bestehen. Der

erfindungsgemäß zu verwendende Hydrodechlorierungsreaktor kann dabei so beschaffen sein, wie dies oben beschrieben wird.

Die Anlage zur Herstellung von Tnchlorsilan, in der der Hydrodechlorierungsreaktor vorzugsweise verwendet werden kann, umfasst:

a) eine Teilanlage zur Umsetzung von Siliciumtetrachlorid mit Wasserstoff unter Bildung von Tnchlorsilan umfassend:

- einen in einem Heizraum oder einer Brennkammer angeordneten

Hydrodechlorierungsreaktor, wobei die Anordnung bevorzugt ein oder mehrerer Reaktorrohre in einer Brennkammer umfasst;

- zumindest eine Leitung für siliciumtetrachloridhaltiges Gas und zumindest eine Leitung für wasserstoffhaltiges Gas, die in den Hydrodechlorierungsreaktor bzw. die Anordnung ein oder mehrerer Reaktorrohre führen, wobei optional anstelle getrennter Leitungen eine gemeinsame Leitung für das

siliciumtetrachloridhaltige Gas und das wasserstoffhaltige Gas vorgesehen ist;

- eine aus dem Hydrodechlorierungsreaktor herausgeführte Leitung für ein trichlorsilanhaltiges und HCI-haltiges Produktgas;

- einen Wärmetauscher, der bevorzugt ein Rohrbündelwärmetauscher ist, durch den die Produktgasleitung sowie zumindest die eine Sil iciumtetrachlorid- Leitung und/oder die zumindest eine Wasserstoff-Leitung so geführt wird, dass ein Wärmeübertrag aus der Produktgasleitung in die zumindest eine

Siliciumtetrachlorid-Leitung und/oder die zumindest eine Wasserstoff-Leitung möglich ist, wobei optional der Wärmetauscher Wärmetauscherelemente aus keramischem Material umfasst;

- optional eine Teilanlage oder eine Anordnung umfassend mehrere Teilanlagen zum Abtrennen jeweils eines oder mehrerer Produkte umfassend

Siliciumtetrachlorid, Trichlorsilan, Wasserstoff und HCl;

- optional eine Leitung, die abgetrenntes Siliciumtetrachlorid in die

Siliciumtetrachlorid-Leitung führt, vorzugsweise stromaufwärts vom

Wärmetauscher;

- optional eine Leitung über die abgetrenntes Trichlorsilan einer

Endproduktentnahme zugeführt wird;

- optional eine Leitung, die abgetrennten Wasserstoff in die Wasserstoff-Leitung führt, vorzugsweise stromaufwärts vom Wärmetauscher; und

- optional eine Leitung über die abgetrenntes HCl einer Anlage zur

Hydrochlorierung von Silicium zugeführt wird; und

eine Teilanlage zur Umsetzung von metallurgischem Silicium mit HCl unter Bildung von Siliciumtetrachlorid umfassend:

- eine der Teilanlage zur Umsetzung von Siliciumtetrachlorid mit Wasserstoff vorgeschaltete Hydrochlorierungsanlage, wobei optional zumindest ein Teil des eingesetzten HCl via den HCI-Strom in die Hydrochlorierungsanlage geführt wird;

- einen Kondensator zum Abtrennen zumindest eines Teils des

Kopplungsprodukts Wasserstoff, der aus der Reaktion in der

Hydrochlorierungsanlage stammt, wobei dieser Wasserstoff über die Wasserstoff-Leitung in den Hydrodechlorierungsreaktor bzw. die Anordnung ein oder mehrerer Reaktorrohre geführt wird;

- eine Destillationsanlage zum Abtrennen von zumindest Siliciumtetrachlorid und Trichlorsilan aus dem übrigen Produktgemisch, welches aus der Reaktion in der Hydrochlorierungsanlage stammt, wobei das Siliciumtetrachlorid über die Siliciumtetrachlorid-Leitung in den Hydrodechlorierungsreaktor bzw. die Anordnung ein oder mehrerer Reaktorrohre geführt wird; und

- optional einen Rekuperator zur Vorwärmung der für die Brennkammer

vorgesehenen Brennluft mit dem aus der Brennkammer ausströmende

Rauchgas; und

- optional eine Anlage zur Dampferzeugung aus dem aus dem Rekuperator ausströmenden Rauchgas.

Figur 1 zeigt beispielhaft und schematisch einen Hydrodechlorierungsreaktor, der erfindungsgemäß in einem Verfahren zur Umsetzung von Siliciumtetrachlorid mit Wasserstoff zu Trichlorsilan oder als integraler Bestandteil einer Anlage zur

Herstellung von Trichlorsilan aus metallurgischem Silicium verwendet werden kann.

Figur 2 zeigt beispielhaft und schematisch eine Anlage zur Herstellung von

Trichlorsilan aus metallurgischem Silicium in der der erfindungsgemäße

Hydrodechlorierungsreaktor verwendet werden kann.

Der in Figur 1 gezeigte Hydrodechlorierungsreaktor umfasst mehrere in einer Brennkammer 15 angeordnete Reaktorrohre 3a, 3b, 3c, einen gemeinsamen Eduktstrom 1 ,2, der in die mehreren Reaktorrohre 3a, 3b, 3c geführt wird sowie eine aus den mehreren Reaktorrohren 3a, 3b, 3c herausgeführte Leitung 4 für einen Produktstrom. Der gezeigte Reaktor umfasst ferner eine Brennkammer 15 sowie eine Leitung für Brenngas 18 und eine Leitung für Brennluft 19, die zu den vier gezeigten Brennern der Brennkammer 15 führen. Gezeigt ist schließlich noch eine aus der Brennkammer 15 herausführende Leitung für Rauchgas 20.

Die in Figur 2 gezeigte Anlage umfasst einen in einer Brennkammer 15

angeordneten Hydrodechlorierungsreaktor 3, der erfindungsgemäß ein oder mehrere Reaktorrohre 3a, 3b, 3c (nicht gezeigt) umfassen kann. Die gezeigte Anlage umfasst eine Leitung 1 für siliciumtetrachloridhaltiges Gas und eine Leitung

2 für wasserstoffhaltiges Gas, die beide in den Hydrodechlonerungsreaktor 3 führen, eine aus dem Hydrodechlonerungsreaktor 3 herausgeführte Leitung 4 für ein trichlorsilanhaltiges und HCI-haltiges Produktgas, einen Wärmetauscher 5 durch den die Produktgasleitung 4 sowie die Siliciumtetrachlorid-Leitung 1 und die

Wasserstoff-Leitung 2 geführt wird, so dass ein Wärmeübertrag aus der

Produktgasleitung 4 in die Siliciumtetrachlorid-Leitung 1 und in die Wasserstoff- Leitung 2 möglich ist. Die Anlage umfasst ferner eine Teilanlage 7 zum Abtrennen von Siliciumtetrachlorid 8, von Trichlorsilan 9, von Wasserstoff 10 und von HCl 11. Dabei wird das abgetrennte Siliciumtetrachlorid durch die Leitung 8 in die

Siliciumtetrachlorid-Leitung 1 geführt, das abgetrennte Trichlorsilan durch die Leitung 9 einer Endproduktentnahme zugeführt, der abgetrennte Wasserstoff durch die Leitung 10 in die Wasserstoff-Leitung 2 geführt und das abgetrennte HCl durch die Leitung 11 einer Anlage 12 zur Hydrochlorierung von Silicium zugeführt. Die Anlage umfasst ferner einen Kondensator 13 zum Abtrennen des

Kopplungsprodukts Wasserstoff, der aus der Reaktion in der

Hydrochlorierungsanlage 12 stammt, wobei dieser Wasserstoff über die

Wasserstoff-Leitung 2 via den Wärmetauscher 5 in den Hydrodechlonerungsreaktor

3 geführt wird. Gezeigt ist auch eine Destillationsanlage 14 zum Abtrennen von Siliciumtetrachlorid 1 und Trichlorsilan (TCS) sowie Leichtsiedern (LS) und

Hochsiedern (HS) aus dem Produktgemisch, welches via den Kondensator 13 von der Hydrochlorierungsanlage 12 kommt. Die Anlage umfasst schließlich noch einen Rekuperator 16, der die für die Brennkammer 15 vorgesehene Brennluft 19 mit dem aus der Brennkammer 15 ausströmende Rauchgas 20 vorwärmt sowie eine Anlage 17 zur Dampferzeugung mit Hilfe des aus dem aus dem Rekuperator 16

ausströmenden Rauchgases 20.

Beispiel

Umsetzung in einem erfindungsgemäßen Reaktor: Als Reaktionsrohr wurde ein Rohr aus SSiC mit einer Länge von 1 .100 mm und einem Innendurchmesser von 5 mm verwendet. Das Reaktorrohr wurde in einen elektrisch beheizbaren Röhrenofen gestellt.

Zunächst wurde der Röhrenofen mit dem jeweiligen Rohr auf 900 °C gebracht, wobei Stickstoff bei 3 bar absolut durch das Reaktionsrohr geleitet wurde. Nach zwei Stunden wurde der Stickstoff durch Wasserstoff ersetzt. Nach einer weiteren Stunde im Wasserstoffstrom, ebenfalls unter 3 bar absolut, wurden 36,3 ml/h Siliciumtetrachlorid in das Reaktionsrohr gepumpt. Der Wasserstoffstrom wurde auf einen molaren Überschuss von 4,2 zu 1 eingestellt. Der Reaktoraustrag wurde per online Gaschromatographie analysiert und daraus der Siliciumtetrachloridumsatz und die molare Selektivität zum Trichlorsilan berechnet.

Als Nebenkomponente wurde nur Dichlorsilan gefunden. Der entstehende

Chlorwasserstoff wurde nicht herausgerechnet und nicht bewertet. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 dargestellt.

Tabelle 1 : Ergebnisse der katalytischen Umsetzung von STC mit Wasserstoff

STC = Siliciumtetrachlorid

TCS = Trichlorsilan

DCS = Dichlorsilan

Bezugszeichenliste

(1 ) siliciumtetrachlohdhaltiger Eduktstrom

(2) wasserstoffhaltiger Eduktstrom

(1 ,2) gemeinsamer Eduktstrom

(3) Hydrodechlorierungsreaktor

(3a, 3b, 3c) Reaktorrohre

(4) Produktstrom

(5) Wärmetauscher

(6) abgekühlter Produktstrom

(7) nachgeschaltete Teilanlage

(7a, 7b, 7c) Anordnung mehrerer Teilanlagen

(8) in (7) oder (7a, 7b, 7c) abgetrennter Siliciumtetrachloridstrom

(9) in (7) oder (7a, 7b, 7c) abgetrennter Endproduktstrom

(10) in (7) oder (7a, 7b, 7c) abgetrennter Wasserstroffstrom

(1 1 ) in (7) oder (7a, 7b, 7c) abgetrennter HCI-Strom

(12) vorgeschaltetes Hydrochlorierungsverfahren bzw. -anläge

(13) Kondensator

(14) Destillationsanlage

(15) Heizraum oder Brennkammer

(16) Rekuperator

(17) Anlage zur Dampferzeugung

(18) Brenngas

(19) Brenn luft

(20) Rauchgas