以下、本発明の実施形態を添付図面を参� ��して説明する。

 まず、図1に示す平面図に基づいて、本発 明の一実施形態に係るガラス板の研削装置の 全体構成を説明する。なお、本実施形態では 、液晶ディスプレイ用のガラス基板の端面を 研削する場合を例にとって説明する。

 同図に示すように、ガラス基板の端面研� ��装置1は、成形後の素板ガラスから切り出さ れたガラス基板2の端面2a(切断面)に対して研� ��加工を施すための装置であり、水平姿勢で� ��定の方向に搬送されるガラス基板2の一方の 側(又は両方の側)に配設される。ここで、こ� ��端面研削装置1は、ガラス基板2の搬送方向� �一辺に沿った端面2aを回転を伴って研削する 砥石3と、砥石3とガラス基板2との接触部(研� �部)4を基準として砥石3の回転方向後方側(図1 でいえば、接触部4よりも右側領域)に配設さ� ��、接触部4の周辺に向けて研削液(ここでは� �水)を供給する研削液供給ノズル5と、後述す る遮蔽板6、および、パージノズル7とを備え� ��。また、本実施形態では、上記構成要素(砥 石3、研削液供給ノズル5、遮蔽板6、パージノ ズル7)が略矩形状のハウジング8内に収容され ると共に、このハウジング8の一端面に設け� �開口部8aにより、ガラス基板2の一部がハウ� �ング8内部に挿通でき、かつ、挿通したガラ� ��基板2の一部に係る端面2aを砥石3の外周面と 接触できるように構成されている。

 砥石3は、ガラス基板2の平面に直交する� �と平行な軸まわりに回転するように構成さ� �ており、その回転方向は、ガラス基板2の研� ��部(接触部4)においてガラス基板2の搬送方向 と相対する方向(図1中、反時計回りの方向)と されている。なお、研削面となる砥石3の外� �面3aは、例えば図4に示すように、略凹部円� �状の断面輪郭形状をなし、ガラス基板2の端� ��2aの両縁部を一度にR面取りできるように構� ��されている。

 研削液供給ノズル5は、ガラス基板2と砥� �3との接触部4を基準として、砥石3の回転方� �後方側から、接触部4に向けて研削液を供給� ��るように構成されている。

 遮蔽板6は、図2に示すように、長手方向� �沿って湾曲状、例えば略円弧状(円弧状を含� ��)に形成された部分を有しており、この円弧 状部が接触部4を含む砥石3のガラス基板2側の 周囲を包囲する包囲部9となる。詳細には、� �囲部9は、ガラス基板2の平面を平面視した状 態では、図1に示すように、砥石3の外周面3a� �沿った略円弧状をなし、また、その長手方� �に沿って幅寸法一定のスリット10を有してい る。そして、このスリット10にガラス基板2の 一部を挿通し、挿通部分の端面2aを砥石3と接 触させた状態では、図4に示すように、包囲� �9が接触部4よりもガラス基板2の平面中央側� �位置に配置される。また、包囲部9の一端が� ��接触部4を基準として砥石3の回転方向前方� �(図1中、接触部4よりも左側領域)でガラス基� ��2の端面2aと交差して延びるように、遮蔽板6 がハウジング8に固定されている。上記構成� �包囲部9は、ガラス基板2の表裏双方の平面側 に配置される。なお、スリット10の幅寸法に� ��し、上述の如くガラス基板2が挿通できる程 度の大きさは少なくとも必要であり、できれ ば、研削時のガラス基板2のバタつき(板厚方� ��への振幅)を考慮して当該幅寸法を設定する のが好ましい。

 パージノズル7は、本実施形態では、図3� �示すように、複数のノズル開口部11を集約し てなるノズルユニットとして構成されており 、遮蔽板6を挟んで砥石3とは反対側の位置に� ��設されている。ここで、パージノズル7は、 遮蔽板6と同様、ガラス基板2を挿通するため� ��スリットを有し、このスリットを間に挟ん� ��対向する一対の斜面12,12には、各斜面12,12の 長手方向に沿って複数のノズル開口部11がそ� ��ぞれ一列に配置されている。また、これら� ��ズル開口部11は、一律に同じ方向を指向す� �ように配置されている。そのため、パージ� �ズル7の斜面12,12間(スリット)にガラス基板2� �一部を挿通し、その端面2aを砥石3に接触さ� �た状態では、これら複数のノズル開口部11か ら噴射されたパージ水(例えば純水)13が、当� �複数のノズル開口部11とガラス基板2の平面� �の間にカーテン状の水壁を形成するように� �っている。なお、パージノズル7に設けられ� ��スリットの幅寸法に関しては、遮蔽板6のス リット10と同様、挿通されるガラス基板2の厚 みに応じて設定されるのがよく、好ましくは 、研削時のガラス基板2のバタつき度合いを� �考慮して設定されるのがよい。

 ここで、パージノズル7から吐出されるパー ジ水13の鉛直方向における指向態様について� ��述すると、図5に示すように、各ノズル開口 部11は、当該ノズル開口部11から噴射された� �ージ水13が、砥石3と接触状態にあるガラス� �板2と遮蔽板6との間隙に供給されるように指 向されている。ここで、好ましくは、ノズル 開口部11から噴射されたパージ水13のガラス� �板2の平面に対する入射角θ ₁ が10度以上45度以下となるように、より好ま� �くは、入射角θ ₁ が25度以上35度以下となるように、パージノ� �ル7の取り付け角度、もしくはノズル開口部1 1の形成角度が設定される。これは、パージ� �13のガラス基板2平面への着地点が砥石3の側� ��近いほど、研削液の押し戻し作用は高い一� ��で、ガラス基板2との干渉を回避するには、 両者間(ガラス基板2とパージノズル7)の鉛直� �向隙間をなるべく大きく取るほうがよい、� �の理由に基づく。逆に言えば、上述の理由� �ら、パージノズル7のノズル開口部11は、パ� �ジ水13が包囲部9とガラス基板2との間の間隙� ��通ってガラス基板2の平面に達するように、 その設置角度が設定されていることが好まし い。

 また、ガラス基板2の平面を平面視した状態 でパージ水13の指向態様を詳述すると、図6に 示すように、各ノズル開口部11は、当該ノズ� ��開口部11から噴射されたパージ水13が砥石3� �接触状態にあるガラス基板2の端面2aのうち� �研削の部分を斜めに横切って砥石3に向かう� ��う指向されている。言い換えると、ノズル� ��口部11から噴射されたパージ水13の噴出方向 と、砥石3の接触部4における接線方向V(回転� �向前方側。図6を参照)とのなす角θ ₂ が90度を越え180度未満となるようにノズル開� ��部11の指向角度が設定されている。

 以下、上記構成の装置を用いたガラス基� ��の研削方法につき、図7および図8を参照し� �説明する。なお、図7は遮蔽板6の作用に焦点 を当てて当該作用を説明するための要部平面 図であり、図8はパージノズル7の作用に焦点� ��当てて当該作用を説明するための要部平面� ��を示している。

 まず、遮蔽板6の作用について説明する。 図7に示すように、研削時、接触部4の近傍に� ��けて供給された研削液(同図中、太矢印で示 されている)は、接触部4に到った後、その周� ��に向けて飛散する。この際、接触部4は、遮 蔽板6に設けた包囲部9によって包囲されてい� ��ため、接触部4の周囲に飛散した研削液は、 包囲部9に沿って、接触部4よりも砥石3の回転 方向前方側でガラス基板2の端面2aとの交差位 置を超える位置まで誘導される。すなわち、 接触部4から砥石3の回転方向前方側において� ��研削液は包囲部9に沿って、ガラス基板2の� �面中央側から離れる方向に流れ、ガラス基� �2の端面2aを超える位置まで誘導される。こ� �により、接触部4で飛散した研削液がガラス� ��板2の平面中央側に流れて、平面中央側に付 着することが効果的に防止される。また、研 削液は包囲部9によって流れの方向性を与え� �れるため、研削液が効率的に回収される。

 また、本実施形態のように、包囲部9を砥 石3の外周面3aに沿って略円弧状に形成してい れば、包囲部9に到達した研削液を砥石3の回� ��方向に沿って円滑に誘導して、上記の効果� ��高めることができる。また、当該形状とす� ��ことで、ガラス基板2を平面視した状態では 、包囲部9と砥石3との間に半径方向の対向間� ��が略一定な流路が形成され、これによって� ��研削液の送出がスムーズに行われる。

 次に、パージノズル7の作用について説明 すると、図8に示すように、パージノズル7(の ノズル開口部)から噴射されたパージ水13は、 接触部4から見て斜め前方側から遮蔽板6とガ� ��ス基板2との隙間に供給される。そのため、 包囲部9とガラス基板2との間の間隙を通じて� ��ラス基板2の平面に侵入しようとする研削液 は、パージ水13により砥石3の側に押し戻され る。また、接触部4から砥石3の回転方向前方� ��へ飛散した研削液は当該飛散方向への勢い� ��弱められると共に、その飛散方向(流動方向 )を変え、ガラス基板2から遠ざかる向きに誘� ��される。加えて、包囲部9によりガラス基板 2から遠ざかる向きに誘導されている研削液� �対しては、包囲部9による誘導を促進する向� ��に押し込むように作用する。以上より、遮� ��板6とガラス基板2との間隙を通じて研削液� �ガラス基板2の平面中央側へ侵入するのを防� ��と共に、この遮蔽板6とガラス基板2との隙� �を通じて研削液がハウジング8の外部へ漏れ� ��すのを防ぐことができる。

 また、本実施形態のように、砥石3や研削 液供給ノズル5を収容するハウジング8を設け� ��ことで、ガラス基板2の挿通側となる開口部 8aを除き、砥石3がハウジング8で覆われる。� �って、上記遮蔽板6による遮蔽作用や、上記� ��ージノズル7によるパージ作用(排出作用)と� ��乗的に作用し合って、ガラス基板2の平面中 央側への研削液の漏れ出しだけでなく、ハウ ジング8外への研削液の漏れ出しも可及的に� �止される。また、包囲部9によりガラス基板2 から遠ざける向きに逃がした研削液を漏れな く回収することができる。これにより、例え ば研削工程後の検査工程にて検出が困難な微 小なガラスパーティクルや砥粒残渣がガラス 板の平面に残存付着している可能性をできる 限り零に近づけて、上記ディスプレイ用パネ ルの高精細化を図ることができる。

 以上、本発明の一実施形態を説明したが� ��本発明に係るガラス板の端面研削装置もし� ��はその方法は、本発明の範囲内において任� ��に変更が可能であることはもちろんである� ��

 例えば上記実施形態では包囲部9の形状を 部分的に略円弧状に湾曲させた形状としたが 、特にこれに限ることはない。包囲部9とし� �の機能を有する限りにおいて、その形状は� �意である。例えば図示は省略するが、包囲� �9は円弧状以外の湾曲形状を有するものでも� ��く、また、フラットな面を部分的に含むも� ��であってもよい。あるいは、上記長手方向� ��沿った形状のみならず、これと直交する向� ��(ガラス基板2の厚み方向)に沿って湾曲する� ��状をなすものでもよい。

 また、パージノズル7に形成されるノズル 開口部11の配列態様に関し、全てのノズル開� ��部11がガラス基板2上に配置されている必要� ��なく、並列された複数のノズル開口部11の� �部がガラス基板2の端面2aを境として砥石3の� ��に配置されていてもよい。また、上記実施� ��態では、ガラス基板2の両面側に複数のノズ ル開口部11を1列に配置したが、2列以上の複� �とすることも可能である。なお、ノズル開� �部11の形状に関しても、丸穴形状に限ること なく、例えばスリット状にしてもよい。

 また、上記実施形態ではそれぞれ別体に� ��成し、配置した遮蔽板6とパージノズル7と� �一体化した構成を採ることも可能である。� �の場合、図示は省略するが、遮蔽板6に設け� ��れたスリット10の砥石3側の角部を面取りし� ��このスリット長手方向に沿った面取り部に� ��えば図3に示す複数のノズル開口部11を並列� ��置した構成が上記一体化(ユニット化)の一� �として挙げられる。かかる構成によれば、� �ウジング8への取り付け部品を1部品に集約で きるため、ハウジング8への取り付け精度が� �上する。もちろん、遮蔽板6やパージノズル7 をそれぞれハウジング8と一体化することも� �きる。

 ここで、図9は、上記ユニット化の他の構 成例を示し、具体的には、遮蔽板と研削液供 給ノズル、およびパージノズルをユニット化 した研削液飛散防止ユニット20の斜視図を示� ��ている。また、図10は、上記研削液飛散防� �ユニット20を組み込んだ端面研削装置の要部 平面図を示している。この研削液飛散防止ユ ニット20は図2に示す遮蔽板6を一体に有する� �箱状に形成されており、その側面に設けら� �た包囲部9’がスリット10’により上下に分� �された形態をなす。そして、上記実施形態� �同様、このスリット10’にガラス基板2の一� �を挿通し、挿通部分の端面2aを砥石3と接触� �せた状態では、図10に示すように、包囲部9� �の一端が、接触部4を基準として砥石3の回転 方向前方側(図10中、接触部4よりも左側領域)� ��ガラス基板2の端面2aと交差して延びるよう� ��、研削液飛散防止ユニット20が例えば図1に� ��す形状のハウジング8に固定されている。ま た、包囲部9’を挟んで砥石3とは反対の側に� ��複数のノズル開口部11’が配置されており(� ��10を参照)、研削時、ガラス基板2の平面に向 けてパージ水13を噴射できるように研削液飛� ��防止ユニット20内に配置されている。なお� �この図示例では、研削液飛散防止ユニット20 の上部に研削液供給ノズル5’が一体に配設� �れているが、代わりに下部に研削液供給ノ� �ル5’を配設することもでき、あるいは、上� ��と下部の双方にそれぞれ配設することもで� ��る。

 このように構成することで、砥石3の交換 時には、研削液飛散防止ユニット20を脱着す� ��のみで砥石3の交換が可能となる。加えて、 研削液供給ノズル5’や包囲部9’、およびパ� ��ジノズルのノズル開口部11’相互間の位置� �係を改めて調整し直す必要がないので、砥� �3の交換に要する時間が短縮される。

 また、上記実施形態では、ガラス基板2の 上下両面側に遮蔽板6やパージノズル7(ノズル 開口部11)を配置した場合を例示したが、必ず しも両面側に配置する必要はなく、例えばガ ラス基板2の上面側にのみ遮蔽板6とパージノ� ��ル7の一方または双方を配置してもよい。ま た、この際、ガラス基板2の一面側にのみ遮� �板6(包囲部9)とパージノズル7とが配置される ように、両構成要素9,7をユニット化した構成 を採ることも可能である。

 また、以上の説明に係るガラス基板の端� ��研削装置1は、ガラス基板2の両方の側に配� �されているが、素板ガラスから切り出され� �ガラス基板2の4辺に係る端面全てを研削する 場合には、例えば、ガラス基板2の搬送ライ� �の相対的に上流側となる位置および下流側� �なる位置に、当該搬送方向に直交する向き� �それぞれ2台の端面研削装置1を対向配置した 構成を採ることも可能である。また、ガラス 基板2のサイズ変更等に同一の端面研削装置1� ��対応できるよう、端面研削装置1を搬送方向 に直交する向きに移動可能に構成することも 可能である。あるいは、砥石3など特定の構� �要素のみをハウジング8内で搬送直交方向に� ��対移動可能に構成することも可能である。

 なお、搬送手段は、ここでは図示は省略� ��るが、ベルトコンベア等の搬送手段により� ��成されていてもよい。また、この際、真空� ��着等によりガラス基板2を搬送手段を構成す る要素(例えばベルト)の所定位置に固定する� ��うに構成されていてもよい。もちろん、ガ� ��ス基板2と砥石3との間で相対移動がなされ� �限りにおいて、その構成は任意であり、例� �ば、ガラス基板2を固定し、砥石3を含むガラ ス板の端面研削装置1をガラス基板2の配列方� ��に沿って移動可能に構成することも可能で� ��る。

 以上、本発明を液晶用ディスプレイ用の� ��ラス基板の研削工程に適用する場合を例に� ��って説明したが、本発明に係るガラス板の� ��削装置およびその方法は、液晶ディスプレ� ��用のガラス基板の他に、プラズマディスプ� ��イ、エレクトロルミネッセンスディスプレ� ��、フィールドエミッションディスプレイ等� ��各種画像表示機器用のガラス基板や、各種� ��子表示機能素子や薄膜を形成するための基� ��として用いられるガラス基板のように、高� ��面精度が要求されるガラス板の端面を研削� ��るに際しても好適に利用することができる� ��