Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine magnetische Lagereinrichtung und ein Positioniersystem.

Eine magnetische Lagereinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 ist aus der Veröffentlichung 1 „Design of Novel Permanent Magnet Biased Linear Magnetic Bearing and it’s Application to High-Precision Linear Motion Stage“, Sang-Ho Lee et al. und der Veröffentlichung 2 „The High Precision Linear Motion Table With a Novel Rare Earth Permanent Magnet Biased Magnetic Bearing Suspension”, Dong-Chul Han et al. bekannt.

Veröffentlichung 1 beschreibt eine magnetische Lagereinrichtung, welche einen Stator und einen relativ zum Stator entlang einer Bewegungsrichtung bewegbaren Läufer umfasst. Die magnetische Lagereinrichtung ist im Wesentlichen aus Flussleitstücken, Magneten und Spulen zusammengesetzt und so konfiguriert, dass sie bei Beaufschlagung der Spulen mit elektrischer Energie eine magnetische Kraft auf den Läufer ausüben kann, die eine vollständige Kompensation der Gewichtskraft des Läufers ermöglicht und damit als Hubkraft auf den Läufer wirkt. Insbesondere erzeugen die stromdurchflossenen Spulen ein Magnetfeld, das in Wechselwirkung mit dem durch die Magneten erzeugten Magnetfeld steht. Die aktiven Elemente (Spulen) befinden sich im Läufer, was den Nachteil mit sich bringt, dass die zur elektrischen Energieversorgung erforderlichen Kabel am Läufer befestigt und bei einer Bewegung des Läufers relativ zum Stator mitgeführt werden müssen. Alternativ müsste eine drahtlose Energieübertragung bereitgestellt oder Energiespeicherelemente im Läufer angeordnet werden, was zu einer deutlichen Erhöhung des Läufergewichts führen würde. Weiterhin ist bei dieser Konfiguration eine Abführung des elektrisch induzierten Wärmeeintrags nur über die Luft und ggf. über Kabel möglich.

Veröffentlichung 2 beschreibt einen XY-Tisch, welcher ebenfalls einen Teil der Struktur der magnetischen Lagereinrichtung aus Veröffentlichung 1 umfasst. Allerdings sind die aktiven Elemente (Spulen) hier ein Teil des Stators, wodurch die elektrische Energie nicht mehr dem Läufer zugeführt werden muss. Nachteilig sind bei dieser Konfiguration jedoch der deutlich geringere Stellweg und die Veränderung der Kraftangriffspunkte gegenüber dem Läuferkoordinatensystem während der Bewegung des Läufers. Insbesondere sind die Kraftangriffspunkte aufgrund der geometrischen Dimensionen positionsabhängig, wodurch positionsabhängige Hebelarme bezüglich eines Drehmoments entstehen, welches nachteilig für die Regelung eines solchen Systems ist und ebenfalls zu einem positionsabhängigen Leistungsbedarf entlang der Bewegungsrichtung führt. Daher liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine magnetische Lagereinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 dahingehend zu verbessern, dass eine einfache und unabhängige Konfiguration des Läufers, eine hinreichend große Abführung des elektrisch induzierten Wärmeeintrags sowie eine positionsunabhängige Regelung über einen längeren Stellweg hinweg erreicht wird.

Zur Lösung dieser Aufgabe stellt die vorliegende Erfindung eine magnetische Lagereinrichtung nach Anspruch 1 bereit.

Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die Spulenvorrichtung ausschließlich im Stator angeordnet ist und die Erstreckung des Läufers in Bewegungsrichtung kleiner ist als die Erstreckung des Stators in diese Richtung, wobei die Erstreckung des Stators der Länge des wenigstens einen Spulenkörpers entspricht.

Dadurch, dass das aktive Element (d.h. die Spulenvorrichtung bzw. deren Spulenkörper) Teil des Stators ist, muss keine Energie zum Läufer übertragen werden. Der Läufer verkörpert demnach eine völlig passive Baugruppe, welche in ihren Dimensionen und ihrem Gewicht auf ein Minimum reduziert werden kann. Dadurch können benötigte Kräfte für die Beschleunigung und Bewegung reduziert werden oder höhere Beschleunigungen erreicht werden. Insgesamt kann der Leistungseintrag, der erforderlich ist, um den Läufer entlang des Stators zu bewegen, dadurch signifikant reduziert werden. Weiterhin finden entlang der Bewegungsrichtung kaum Ummagnetisierungsvorgänge in den Flussleitstücken statt, wodurch nur sehr geringe Hystereseverluste in den Flussleitstücken entstehen.

Aufgrund der Anordnung der Spulenvorrichtung im Stator erfolgt auch der Wärmeeintrag ausschließlich im Stator. Da zwischen dem Stator als feststehendem Bauteil und einer angrenzenden Struktur, insbesondere einem Gehäuse, eine hohe thermische Kopplung realisierbar ist, kann der Wärmeeintrag effektiv aus dem Stator abgeführt werden.

Die kleinere Erstreckung des Läufers in Bewegungsrichtung im Vergleich zu der des Stators in diese Richtung führt zu einer positionsunabhängigen Hebelarmlänge. Das hat zur Folge, dass der Leistungsbedarf unabhängig von der Position des Läufers ist und aus systemtheoretischer Sicht ein lineareres System entsteht. Zudem ermöglicht dies ein Verschieben des Läufers entlang des Stators mit deutlich geringeren Änderungen bzgl. hervorgerufener Drehmomente. Im Ergebnis ermöglicht die erfindungsgemäße magnetische Lagereinrichtung ein Verschieben des Läufers entlang des Stators ohne bzw. nahezu ohne eine Änderung der Kraft- und Drehmomentkonstanten, ähnlich einer mechanischen Führung. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstände der Unteransprüche.

Es kann sich als vorteilhaft erweisen, wenn die Erstreckung des Läufers in Bewegungsrichtung kleiner ist als 3/4, vorzugsweise kleiner als 1/2, bevorzugt kleiner als 1/3, besonders bevorzugt kleiner oder gleich 1/4, der Erstreckung des Stators in dieser Richtung. Die oben beschriebenen Vorteile können mit zunehmender Verkleinerung des Erstreckungsverhältnisses von Läufer zu Stator verstärkt werden. Durch Anpassen des Erstreckungsverhältnisses können außerdem verschiedene Bauraumanforderungen erfüllt werden.

Es kann von Nutzen sein, wenn der Läufer mindestens zwei Flussleitstücke umfasst, welche auf gegenüberliegenden Seiten des Stators angeordnet sind und durch ein zumindest teilweises nichtmagnetisches Element miteinander verbunden sind. Durch diese Konfiguration umgreift der Läufer den Stator in möglichst kompakter Bauform. Vorzugsweise ist das Verbindungselement aus einem nichtmagnetisierbaren Material, damit eine kompakte Bauform realisiert werden kann. Falls eine kompakte Bauform nicht entscheidend ist, kann es von Vorteil sein, für das Verbindungselement ein magnetisierbares Material zu verwenden, jedoch unter der Bedingung, dass ein genügend großer Abstand zum Stator besteht, damit der Fluss in dem zwischenliegenden Luftspalt gering gehalten wird und somit keine bzw. nur geringe Anziehungskräfte resultieren. Hierbei ist denkbar, dasjenige flussleitende Seitenteil des Stators, welches näher an dem Verbindungselement liegt, in einer „E-Form“ auszuführen und darin eine weitere Spule einzusetzen. Damit wäre es möglich, bei einem kleinen Luftspalt gegenüber dem aus einem magnetisierbaren Material bestehenden Verbindungselement, eine seitliche Kraft zu erzeugen.

Es kann auch nützlich sein, wenn sich jeder Spulenkörper der Spulenvorrichtung in einer eigenen Ebene (xy) erstreckt, wobei vorzugsweise die Länge der Magnete und Flussleitstücke des Stators in Bewegungsrichtung der Länge der parallel verlaufenden Abschnitte jedes Spulenkörpers entspricht. Durch die gleiche Länge der Magnete, Flussleitstücke und parallel verlaufender Abschnitte der Spulenkörper kann ein homogener Bereich erzeugt werden, der eine hohe Gleichförmigkeit in Bezug auf die Bewegung des Läufers ermöglicht.

Es kann von Vorteil sein, wenn die Magnete im Stator jeweils zwischen zwei Flussleitstücken angeordnet sind. Durch diese Anordnung wird eine Entmagnetisierung der Magnete durch das von der Spulenvorrichtung hervorgerufene Magnetfeld verhindert.

Es kann sich als nützlich erweisen, wenn die Spulenvorrichtung übereinander angeordnete Spulenkörper aufweist und die Magnete in einer Ebene zwischen den Spulenkörpern angeordnet sind. Durch diese Konfiguration können Magnetfelder erzeugt werden, die gezielt miteinander oder gezielt gegeneinander wirken.

Es kann vorteilhaft sein, wenn jeder Spulenkörper eine Öffnung aufweist und ein Flussleitstück in der Öffnung jedes Spulenkörpers angeordnet ist.

Es kann nützlich sein, wenn jeder Spulenkörper zwischen zwei parallel verlaufenden und sich vorzugsweise in Bewegungsrichtung erstreckenden Flussleitstücken angeordnet ist, und vorzugsweise wenigstens eines dieser Flussleitstücke einen Kopplungsabschnitt aufweist, an dem es an eine weitere Struktur, vorzugsweise an ein Gehäuse, gekoppelt werden kann. In dieser Konfiguration übernimmt das Flussleitstück nicht nur die Leitung des magnetischen Flusses, sondern dient auch als Strukturbauteil zur Anbindung des Stators an ein Gehäuse.

Es kann auch sinnvoll sein, wenn der Stator ein zentrales Flussleitstück mit kreuzförmigem Querschnitt aufweist und gegenüberliegende Abschnitte des zentralen Flussleitstücks in den Öffnungen von verschiedenen Spulenkörpern angeordnet sind. Diese Konfiguration ermöglicht eine zielgerichtete Leitung des magnetischen Flusses bei kompakter Bauform. Es sind jedoch auch andere Querschnitte für das zentrale Flussleitstück denkbar, etwa solche mit einer plattenförmigen Geometrie. Eine entsprechende Querschnittsgeometrie hat den Vorteil deutlich reduzierter Herstellkosten für das Flussleitstück.

Es kann von Nutzen sein, wenn die Magnete und/oder die Flussleitstücke einstückig oder gestückelt ausgebildet sind.

Es kann praktisch sein, wenn die magnetische Lagereinrichtung eine magnetische Führung umfasst, die konfiguriert ist, den Läufer in einer Ebene senkrecht zur magnetischen Kraft und in einer Richtung senkrecht zur Bewegungsrichtung zu bewegen. Durch die Erzeugung einer magnetischen Seitenkraft, die in der Ebene senkrecht zur Wirkungsrichtung der magnetischen Hubkraft und in einer Richtung senkrecht zur Bewegungsrichtung wirkt, kann eine Positionierung des Läufers in diese Richtung ermöglicht werden.

Es kann sinnvoll sein, wenn die magnetische Führung einen Führungsläufer umfasst, der mit dem Läufer, vorzugsweise über ein nichtmagnetisches Material, verbunden ist. Damit kann eine Baugruppe geschaffen werden, auf die sowohl die magnetische Hubkraft als auch die magnetische Seitenkraft wirkt.

Es kann von Vorteil sein, wenn die magnetische Führung eine Spulenvorrichtung mit einem Spulenkörperpaar aufweist, das sich in einer Ebene erstreckt, wobei der Stator und der Läufer in einer Richtung senkrecht zu dieser Ebene über dem Spulenkörperpaar angeordnet sind und der Führungsläufer zwischen dem Läufer und dem Spulenkörperpaar angeordnet ist, wobei der Führungsläufer Permanentmagnete aufweist, welche vorzugsweise in Konfiguration eines Halbach- Arrays angeordnet sind. Die Spulenvorrichtung der magnetischen Führung kann ebenso nur einen Spulenkörper oder mehr als zwei Spulenkörper aufweisen. Für den Führungsläufer sind auch Konfigurationen der Permanentmagnete möglich, die von der Halbach-Array-Anordnung abweichen.

Darüber hinaus umfasst die vorliegende Erfindung ein Positioniersystem, umfassend wenigstens eine magnetische Lagereinrichtung nach einer der vorangehenden Ausführungsformen, ein Gehäuse und eine Plattform, wobei der Stator mit dem Gehäuse gekoppelt ist und die Plattform mit dem Läufer gekoppelt ist. Mit einem derartigen Positioniersystem ist es möglich, die Plattform relativ zum Stator ohne Reibungsverluste zu positionieren.

Es kann vorteilhaft sein, wenn das Positioniersystem weiter einen Linearmotor umfasst, der konfiguriert ist, die Plattform relativ zum Gehäuse in Bewegungsrichtung zu bewegen. Über die Wahl der Ansteuerparameter des Linearmotors sowie der magnetischen Lagereinrichtung kann eine hochpräzise Positionierung der Plattform erreicht werden.

Es kann von Vorteil sein, wenn das Positioniersystem wenigstens eine Elektronikkomponente mit zumindest einem Sensor, vorzugsweise in Form einer Sensorplatine, beinhaltet. Es ist denkbar, dass das Positioniersystem weitere Elektronikkomponenten umfasst, beispielsweise einen Motortreiber, einen Motorcontroller und logische digitale Bausteine. Dabei kann es vorteilhaft sein, dass zwei oder mehr Elektronikkomponenten auf einer gemeinsamen Platine bzw. Leiterplatte angeordnet sind. Diese Maßnahme ermöglicht eine Reduzierung des Leistungseintrags, da keine Verlustleistungen über ansonsten notwendige Zuleitungen bzw. Kabel entstehen. Zudem gelingt durch räumliche Integration der Elektronikkomponente/n eine sehr kompakte Bauweise des Positioniersystems, so dass etwa auf einen externen Controller verzichtet werden kann.

Begriffe und Definitionen

Der Begriff „Spulenvorrichtung“ umfasst im einfachsten Fall einen Spulenkörper, dessen Windungen konzentrisch und in einer gemeinsamen Ebene verlaufend angeordnet sind. Er umfasst daneben auch einen Spulenkörper, dessen konzentrische Windungen sich in mehreren unterschiedlichen Ebenen erstrecken. Hierbei können die Windungen eines Spulenkörpers in ein Ma- terial, etwa ein Epoxidharz, eingebettet sein. Es ist denkbar, einzelne Spulenkörper der Spulenvorrichtung elektrisch parallel oder seriell miteinander zu verbinden bzw. zu koppeln.

Der Begriff „nichtmagnetisch“ beschreibt sowohl nichtmagnetisierbare als auch sehr schwach bzw. nicht dauerhaft magnetisierbare Materialien, und schließt insbesondere Materialien mit permanentmagnetischen bzw. ferromagnetischen Eigenschaften aus. Unter nichtmagnetisierbare Materialien fällt zum Beispiel Aluminium, während unter den Begriff „magnetisierbare Materialen“ ferro- oder paramagnetische Materialien wie etwa Eisen oder Alkalimetalle fallen.

Kurze Beschreibung der Figuren

Fig. 1 zeigt eine perspektivische Darstellung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen magnetischen Lagereinrichtung.

Fig. 2 zeigt eine geschnittene perspektivische Darstellung der Ausführungsform gemäß Fig. 1.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung einer Weiterbildung der Ausführungsform der magnetischen Lagereinrichtung gemäß Figur 1 , die eine magnetische Führung in Form eines nebeneinander angeordneten Spulenkörperpaars und eines Führungsläufers umfasst.

Fig. 4 zeigt eine geschnittene perspektivische Darstellung der Ausführungsform gemäß Fig. 3.

Fig. 5 zeigt eine Schnittansicht der Ausführungsform gemäß Fig. 4.

Fig. 6 zeigt eine perspektivische Darstellung eines erfindungsgemäßen Positioniersystems.

Fig. 7 zeigt das Positioniersystem gemäß Fig. 6, wobei die Plattform zum Zweck der Veranschaulichung nicht abgebildet ist.

Fig. 8 zeigt eine Rückansicht des Positioniersystems gemäß Fig. 6, wobei zum Zweck der Veranschaulichung das Gehäuse sowie die Statoren nicht abgebildet sind.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachstehend mit Bezug auf die angehängten Figuren im Detail beschrieben.

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen magnetischen Lagereinrichtung 1 in perspektivischer Ansicht. Die magnetische Lagereinrichtung 1 umfasst einen Stator 2 und einen Läufer 3. Der Stator 2 beinhaltet eine Spulenvorrichtung 4 mit zwei separaten und elektrisch nicht miteinander verbundenen Spulenkörpern 4-1, die in z-Richtung übereinander und folglich in parallelen x-y-Ebenen angeordnet sind. Die Länge der Spulenkörper 4-1 erstreckt sich in x-Richtung. Der Stator 2 umfasst weiterhin drei Flussleitstücke 6a, 6b, 6c aus einem magnetisierbaren Stahl und vier Magnete 5 (in den Figuren sind nur zwei davon zu sehen), deren Längen sich ebenfalls in x-Richtung erstrecken. Aus Fig. 2 wird ersichtlich, dass zwei Flussleitstücke 6b, 6c als äußere Flussleitstücke 6b, 6c die Spulenkörper 4-1 so flankieren, dass sich diese in y-Richtung zwischen den beiden äußeren Flussleitstücken 6b, 6c befinden. Das dritte Flussleitstück 6a ist als zentrales Flussleitstück 6a in y-Richtung zwischen den äußeren Flussleitstücken 6b, 6c und in z- Richtung zwischen den Spulenkörpern 4-1 angeordnet. In der vorliegenden Ausführungsform weist das zentrale Flussleitstück 6a einen kreuzförmigen Querschnitt auf und ragt somit mit gegenüberliegenden Abschnitten in die Öffnungen der Spulenkörper 4-1. Eines der äußeren Fluss- leistücke 6c ist zudem mit einem Kopplungsabschnitt versehen, der sich entlang des Flussleitstücks 6c in x-Richtung erstreckt und eine Anbindung an eine weitere Struktur, insbesondere an ein Gehäuse, ermöglicht. Die zwei Magnete 5 sind in y-Richtung jeweils zwischen einem äußeren Flussleitstück 6b, 6c und dem zentralen Flussleitstück 6a und in z-Richtung zwischen den Spulenkörpern 4-1 angeordnet. Die Höhe der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c in z-Richtung ist so gewählt, dass die Flussleitstücke 6a, 6b, 6c bündig mit der oberen bzw. unteren Endfläche der Spulenkörper 4-1 abschließen. Damit werden zwei im Wesentlichen ebene Hauptoberflächen des Stators 2 gebildet. Abweichungen von dem bündigen Abschließen der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c mit der oberen bzw. unteren Endfläche der Spulenkörper 4-1 sind möglich, wobei für bestimmte Anwendungsfälle gerade ein deutliches Überragen der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c über die Endflächen der Spulenkörper 4-1 vorteilhaft ist, etwa bei Vakuumanwendungen, um dadurch den magnetischen Fluss quasi durch eine Schleuse zu leiten, wobei ein magnetischer Rückschluss innerhalb des Vakuums stattfindet, während Spulenkörper 4-1 und Magnete 5 außerhalb des Vakuums angeordnet sind. Bei einem Unterragen der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c bezüglich der Endflächen der Spulenkörper 4-1 kann etwa eine E-Form hinsichtlich des Rückschlusses gewählt werden. Denkbar ist zudem, dass nur einzelne der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c mit den Endflächen der Spulenkörper 4-1 abschließen, und der Rückschluss entsprechend komplementär geformt ist.

Der Läufer 3 umfasst zwei vorzugsweise identische Flussleitstücke 7, die auf gegenüberliegenden Seiten des Stators 2 angeordnet sind, und ein zumindest teilweise nicht-magnetisches Element, das die beiden Flussleitstücke 7 miteinander verbindet (nicht abgebildet). Der Läufer 3 ist demnach so ausgebildet, dass er den Stator 2 umgreift. Die Flussleitstücke 7 können ebenfalls Kopplungsabschnitte aufweisen, die eine Anbindung an eine weitere Struktur, insbesondere eine Plattform, ermöglichen. Die Flussleitstücke 7 überragen in y-Richtung gesehen den Stator 2 (siehe hierzu insbesondere Fig. 5), wodurch nur geringe Rückstellkräfte in y-Richtung resultieren und ein verringerter Leistungseintrag in die magnetische Lagereinrichtung zur Erzeugung einer Bewegung entlang der y-Richtung ermöglicht wird. Weiterhin können die Flussleitstücke 7 eine besondere Form, beispielsweise eine „E-Form“ aufweisen, um translatorische Rückstellkräfte in y-Richtung und rotatorische Rückstellkräfte um die z-Achse zu erhalten. Die Länge des Läufers 3 in x-Richtung ist deutlich geringer als die Länge des Stators 2 in dieser Richtung. In der vorliegenden Ausführungsform beträgt die Länge des Läufers in x-Richtung 1/4 der Länge des Stators in dieser Richtung. Das Längenverhältnis von Läufer 3 zu Stator 2 in x-Richtung ist jedoch nicht auf diesen Wert beschränkt, sondern kann beliebige Werte aufweisen, die vorzugsweise kleiner als 3/4 sind.

Im Allgemeinen sind die Flussleitstücke 6a, 6b, 6c, 7 des Stators 2 und des Läufers 3 sowie die Magnete 5 des Stators 2 nicht auf die in den Figuren abgebildeten Formen beschränkt, sondern können jede zweckmäßige Form aufweisen, insbesondere auch Formen, die die Integration des Stators 2 und des Läufers 3 in übergeordnete Strukturen (z. B. Gehäuse und Plattform) vereinfachen. Weiterhin können die Flussleitstücke 6a, 6b, 6c, 7 und Magnete 5 sowohl einstückig als auch gestückelt ausgebildet sein. Insbesondere ist bei den Flussleitstücken 6a, 6b, 6c und 7 denkbar, diese in Schichtbauweise bzw. als Laminat auszuführen, wobei sich Schichten magnetisierbaren Materials und Schichten mit elektrisch nichtleitendem Material abwechseln. Bei den Spulenkörpern 4-1 handelt es sich vorzugsweise um Drahtspulen. Daneben ist es jedoch auch möglich, Folienspulen oder gedruckte Spulen einzusetzen.

Durch Beaufschlagung der Spulenkörper 4-1 mit elektrischer Energie kann die magnetische Lagereinrichtung 1 angesteuert werden. Die stromdurchflossenen Spulenkörper 4-1 erzeugen Magnetfelder in den Flussleitstücken 6a, 6b, 6c, 7, die in Wechselwirkung mit dem durch die Magnete 5 erzeugten Magnetfeld stehen. Insbesondere können diese Magnetfelder miteinander oder gegeneinander wirken. Wirkt das Magnetfeld des oberen Spulenkörpers 4-1 dem Magnetfeld der Magnete 5 im oberen Teil der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c, 7 entgegen, so kann das Magnetfeld des unteren Spulenkörpers 4-1 das Magnetfeld der Magnete 5 im unteren Teil der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c, 7 durch die richtige Wahl der Ansteuerparameter (Stromrichtung) verstärken.

Durch eine geeignete Wahl der Ansteuerparameter kann damit eine magnetische Kraft (Hubkraft) auf den Läufer 3 ausgeübt werden, die zur Ausbildung eines Luftspalts zwischen dem oberen Flussleitstück 7 des Läufers 3 und der oberen Hauptoberfläche des Stators 2 sowie zwi- sehen dem unteren Flussleitstück 7 des Läufers 3 und der unteren Hauptoberfläche des Stators 2 führt. Insbesondere ist die Größe des Luftspalts, d.h. der Abstand zwischen den Hauptoberflächen des Stators 2 und den Flussleitstücken 7 des Läufers 3 in z-Richtung durch die Anpassung der Ansteuerparameter einstellbar. Diese als Hubkraft wirkende magnetische Kraft ist somit in der Lage, die Gewichtskraft des Läufers 3 zu kompensieren. Bei gleichzeitiger Stabilisierung des Läufers 3 bezüglich seiner Rotationsfreiheitsgrade um die X- und Y-Achse schwebt der Läufer 3 und kann relativ zum Stator 2 entlang der x-Richtung reibungsfrei verschoben werden.

Der Stellweg des Läufers 3 wird im Wesentlichen durch die Länge der Flussleitstücke 6a, 6b, 6c und der Magnete 5 des Stators 2 bestimmt. Durch das oben beschriebene Längenverhältnis von Läufer 3 zu Stator 2 in x-Richtung können entsprechend große Stellwege realisiert werden. Weiterhin besteht die Möglichkeit, mehrere Statoren 2 entlang der x-Richtung in Reihe zu schalten und geeignet anzusteuern, um den Stellweg des Läufers 3 im Sinne eines fortlaufenden Systems weiter zu vergrößern.

Die Fig. 3 bis 5 zeigen einer Weiterbildung der magnetischen Lagereinrichtung 1 gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform. Diese Weiterbildung umfasst zusätzlich eine magnetische Führung 8, die konfiguriert ist, den Läufer 3 in y-Richtung zu bewegen. Insbesondere wird mithilfe der magnetischen Führung 8 eine magnetische Kraft (Seitenkraft) erzeugt, die den Läufer in y-Richtung bewegt. Damit ist die Position des Läufers 3 in y-Richtung einstellbar. Die magnetische Führung 8 umfasst eine Spulenvorrichtung mit einem Spulenkörperpaar 10, welches in einer gemeinsamen x-y-Ebene unterhalb der Läufer-Stator-Gruppe angeordnet ist, sowie einen Führungsläufer 9, der in z-Richtung zwischen dem Spulenkörperpaar 10 und der Läufer- Stator-Gruppe angeordnet ist. Dabei ist der Führungsläufer 9 mit dem Läufer 3 über ein den Figuren nicht entnehmbares Verbindungselement aus Aluminium verbunden. Das Verbindungselement kann jedoch aus einem beliebigen anderen Material hergestellt sein. Wenn etwa eine magnetische Kopplung gewünscht ist, um zum Beispiel den Fluss in dem unteren Flussleitstück 7 zu verstärken, so kann es vorteilhaft sein, das Verbindungselement mit einem magnetisierbaren Material auszuführen. Das Verstärken des Flusses im unteren Flussleitstück 7 kann vorteilhaft sein, damit eine asymmetrische Kraftkennlinie bzw. ein Offset in der Kraftkennlinie für die magnetische Lagereinrichtung 1 entsteht und somit ein Teil der Gewichtskraft kompensiert wird. In der vorliegenden Ausführungsform ist diese Verbindung bevorzugt zwischen einander zugewandten Oberflächen des Führungsläufers 9 und des unteren Flussleitstücks 7 des Läufers 3 ausgebildet. Weiterhin umfasst der Führungsläufer 9 Permanentmagneten, die in einer Halbach- Array-Konfiguration angeordnet sind, wobei auch andere Anordnungen der Permanentmagnete zueinander denkbar sind. Je nach Anwendungsfall kann der Führungsläufer 9 mit dem Läufer 3 magnetisch gekoppelt oder von diesem magnetisch entkoppelt sein.

Die Fig. 6 bis 8 zeigen ein Positioniersystem 11, welches vier magnetische Lagereinrichtungen 1 nach der oben beschriebenen Ausführungsform, vier magnetische Führungen 8, ein Gehäuse 12, eine Plattform 13 sowie einen Linearmotor 14 umfasst. Es ist jedoch denkbar, statt magnetischen Führungen mechanische Führungen oder Luftlager zu verwenden. Das Gehäuse 12 ist als rechteckige Platte ausgebildet, wobei die Platte an zwei gegenüberliegenden Seiten mit einer Seitenwand versehen ist. Zwei magnetische Lagereinrichtungen 1 sind entlang jeder Seitenwand hintereinander angeordnet. Eines der äußeren Flussleitstücke 6c des Stators 3 von jeder magnetischen Lagereinrichtung 1 ist dabei mithilfe seines Kopplungsabschnitts an der entsprechenden Seitenwand befestigt. In der Mitte der Platte ist der Stator-Teil (Spulenvorrichtung) eines Linearmotors 14 angeordnet.

Die Plattform 13 ist mit jedem Läufer 3 der vier magnetischen Lagereinrichtungen 1 gekoppelt. Wie Fig. 8 zeigt, ist die Plattform 13 dabei sowohl mit dem unteren Flussleitstück 7 als auch mit dem oberen Flussleitstück 7 eines jeden Läufers 3 gekoppelt. Die Kopplung mit den oberen Flussleitstücken erfolgt über Ausnehmungen in der Plattformfläche. Die Kopplung mit den unteren Flussleitstücken 7 erfolgt über zwei Verbindungsstege 15, die auf der Unterseite der Plattform 13 angeordnet sind. Jeder Verbindungssteg 15 verbindet die Plattform 13 mit den unteren Flussleitstücken 7 von zwei hintereinander angeordneten Läufern 3. Weiterhin ist in der Mitte der Plattform 13 der Läufer-Teil (Permanentmagnete) des Linearmotors 14 angeordnet.

Mit dem oben beschriebenen Positioniersystem 11 kann eine 6D Positionierung der Plattform 13 ohne Reibungsverluste realisiert werden. Weiterhin kann über die Wahl der entsprechenden Ansteuerparameter eine hochpräzise Positionierung der Plattform 13 erreicht werden.

Die Anzahl der magnetischen Lagereinrichtungen 1 im Positioniersystem 11 ist nicht auf vier beschränkt und kann je nach Anwendungsfall bzw. Einbausituation angepasst werden. Im einfachsten Fall ist es ausreichend, wenn das Positioniersystem 11 eine magnetische Lagereinrichtung 1 umfasst. Bezugszeichenliste

1 magnetische Lagereinrichtung

2 Stator

3 Läufer

4 Spulenvorrichtung

4-1 Spulenkörper

5 Magnet

6, 6a, 6b, 6c Flussleitstück des Stators

7 Flussleitstück des Läufers

8 magnetische Führung

9 Führungsläufer

10 Spulenkörperpaar der magnetischen Führung

11 Positioniersystem

12 Gehäuse

13 Plattform

14 Linearmotor

15 Verbindungssteg