PROCEDE ET DISPOSITIF D'ACTIONNEMENT MAGNETIQUE

La présente invention concerne le domaine des actionneurs magnétiques, notamment pour les micro- et nanotechnologies.

L'invention concerne plus particulièrement un procédé et un dispositif d'actionnement magnétique ne nécessitant aucun courant électrique important ni bobinage électrique.

L'actionnement magnétique de systèmes est couramment utilisé et apprécié dans l'industrie et la recherche car les interactions magnétiques offrent de hautes densités d'énergie et d'excellents rendements de conversion entre énergies mécanique et électrique. Un tel actionnement magnétique nécessite traditionnellement la mise en œuvre de courants électriques plus ou moins élevés au sein de conducteurs et/ou de bobinages interagissant avec des aimants permanents et/ou des matériaux magnétiques doux ou même avec d'autres conducteurs. Or, la circulation de ces courants électriques dans des conducteurs engendre des échauffements et des pertes par effet Joule, qui réduisent le rendement des systèmes et, dans le cas de systèmes embarqués ou nomades, réduisent également l'autonomie des sources d'énergie électrique.

De plus, dans les systèmes de petite taille tels les micro- ou nanosystèmes, réchauffement résultant des pertes par effet Joule peut engendrer une altération des composants, voire leur destruction, ainsi que des parasites dans certains cas ou applications.

Enfin, la circulation de courants électriques peut également, notamment lorsque les courants sont forts, provoquer une désaimantation ou un changement d'aimantation de certains aimants permanents au sein des systèmes, perturbant leur fonctionnement.

La demande de brevet WO 98/44572 Al et l'article de UENO et AL:"Linear step motor based on magnetic force control using composite of Magnetostrictive and Piezoelectric materials", IEEE Transactions on magnetics, IEEE service center, New-York, US, vol. 43, N°l, 1 janvier 2007, décrivent des procédés d'actionnement magnétiques mettant en œuvre la possibilité de faire varier la valeur, que l'on peut qualifier de grandeur "scalaire", de la perméabilité magnétique d'un matériau magnétostrictif

lorsqu'il est soumis à une contrainte mécanique afin d'obtenir un mouvement ou un actionnement. La contrainte appliquée peut être globale sur tout le matériau magnétostrictif, ce qui change la force d'interaction avec un aimant placé à proximité. La contrainte peut également être localisée sur une portion seulement du matériau, ce qui affecte localement la valeur de sa perméabilité, et peut avoir pour effet un déséquilibre des forces magnétiques en jeu apte à générer un mouvement, qui peut être une rotation. Cette rotation peut être entretenue par exemple en changeant progressivement l'endroit où est localisée la contrainte, avec plusieurs actionneurs piézoélectriques en étoile par exemple, ou appliqués sur plusieurs segments séparés d'un anneau de matériau magnétostrictif. Ces techniques sont donc contraignantes sur le plan de l'application des contraintes nécessaires à l'initiation et l'entretien du mouvement induit.

Un premier objectif de l'invention est de proposer un nouveau procédé d'actionnement magnétique que ne souffre pas des inconvénients précédemment évoqués des procédés d'actionnement magnétique connus.

Un autre objectif de l'invention est de proposer un procédé d'actionnement magnétique qui soit très simple et économique à mettre en œuvre. Un autre objectif de l'invention est de proposer un procédé d'actionnement magnétique qui puisse aisément être adapté à des micro- et nanosystèmes.

Ces différents objectifs sont atteints conformément à la présente invention par un procédé d'actionnement magnétique, selon lequel on dirige un mobile aimanté au moyen d'au moins un élément magnétique disposé en regard dudit mobile aimanté, et qui est caractérisé en ce que l'on fait tourner la direction privilégiée (ou axe facile) d'aimantation en tout point dudit élément par application d'au moins une contrainte mécanique sur le(s) dit(s) élément(s) magnétique(s), provoquant une anisotropie au sein dudit élément et entraînant ainsi le mobile aimanté suivant une direction linéaire ou angulaire privilégiée.

Le procédé de l'invention procure l'avantage déterminant de permettre l'actionnement d'un mobile aimanté sans force magnétique obtenue au moyen d'un courant électrique, ce qui permet ainsi de supprimer les problèmes majeurs liés à ces courants, notamment la consommation, les pertes thermiques par effet Joule et leurs inconvénients connexes.

De plus, le procédé de l'invention présente l'avantage de pouvoir être mis en œuvre selon de multiples modalités d'application de la contrainte mécanique sur l'élément magnétique, ce qui procure une facilité d'adaptation du procédé d'actionnement en fonction des applications dédiées et des dimensionnement des systèmes dans lequel le procédé est exploité.

La présente invention se différencie par ailleurs fondamentalement de l'art antérieur par le fait qu'elle exploite, au contraire d'une variation de la valeur de perméabilité locale ou globale d'un matériau magnétostrictif, l'aspect intrinsèquement directionnel, que l'on peut qualifier de vectoriel, de la direction privilégiée aimantation, également appelée axe facile d'aimantation, de matériaux magnétostrictifs soumis à une contrainte unidirectionnelle, qui peut être angulairement orientée. En particulier, l'orientation de cette direction de facile aimantation peut être contrôlée par la direction et l'amplitude d'une contrainte mécanique unidirectionnelle à laquelle le matériau est soumis.

Selon l'invention, l'élément magnétique est avantageusement constitué d'un matériau magnétostrictif magnétiquement doux dont l'axe facile d'aimantation peut tourner sous l'effet d'une contrainte mécanique, c'est-à- dire un matériau à haute perméabilité et dont la direction de l'axe facile d'aimantation peut être pilotée par une contrainte mécanique.

Toujours selon l'invention, la contrainte mécanique appliquée à l'élément magnétique est une contrainte que l'on peut qualifier indistinctement d'orientée ou de directionnelle, ou d'anisotrope, c'est-à-dire une compression ou une traction dont la composant principale dans tout le matériau est sensiblement alignée selon une direction bien déterminée, la même direction dans tout le matériau.

De plus, ladite contrainte mécanique directionnelle appliquée sur l'élément magnétique peut également résulter de l'application de deux contraintes directionnelles appliquées, de préférence selon deux directions sécantes séparées de sensiblement 45° l'une de l'autre, notamment en fonction du mouvement que l'on souhaite imprimer au mobile aimanté.

Selon une caractéristique avantageuse du procédé de l'invention, on maintient le mobile aimanté dans au moins une position stable en l'absence de contrainte mécanique appliquée sur au moins un élément magnétique, la ou les positions stables étant déterminée par au moins une anisotropie de forme dudit au moins un élément magnétique. De préférence, on maintient le mobile aimanté dans plusieurs positions stables régulièrement espacées les unes des autres en l'absence de contrainte mécanique, lesdites positions stables étant déterminées par une anisotropie périodique identique dudit au moins un élément magnétique. Grâce à cette faculté de maintient de la position du mobile aimanté suivant l'anisotropie du matériau magnétique, on peut notamment envisager et réaliser des applications d'actionnement pas à pas par le procédé de l'invention, en appliquant de façon séquentielle la contrainte mécanique sur le matériau magnétique.

De façon préférée, selon le procédé de l'invention, l'élément magnétique est constitué d'au moins une couche mince ou d'au moins un élément d'un matériau magnétostrictif doux, tels que par exemple les alliages de bases suivantes : FeNi, FeCo, FeAI, FeB, FeSiB, FeCoZrNbB, FeCoSmB, FeCoTbB, obtenus sous forme amorphe ou cristalline.

De préférence encore, l'élément magnétique est solidaire sur un support, notamment un élément piézoélectrique, par exemple de type multifibres composite (MFC) relié à un générateur de tension continue ou alternative. L'utilisation de supports piézoélectriques pour appliquer la contrainte mécanique sur l'élément magnétique s'avère particulièrement avantageuse. En effet, ces matériaux ont la propriété de se déformer relativement peu tout en étant le sein de contraintes mécaniques relativement élevées. De surcroît, les pertes et courants de fuite (en statique) dans ces matériaux sont très faibles, ce qui permet de réduire très

fortement la consommation des systèmes actionnés selon le procédé de l'invention. Il convient enfin de noter que la solidarisation du matériau magnétique sur son support doit être telle que la liaison entre les deux éléments soit telle que la contrainte créée par le support soit bien transmise à l'élément magnétique, tant en amplitude qu'en direction. C'est la raison pour laquelle on favorisera une solution de dépôt par pulvérisation, soudage ou collage de l'élément magnétique sur son support.

Un autre aspect de la présente invention concerne par ailleurs un actionneur magnétique configuré pour mettre en œuvre le procédé de l'invention. Un tel actionneur est caractérisé en ce qu'il comporte au moins un élément aimanté monté mobile relativement à un élément magnétique constitué d'au moins une couche mince ou d'au moins un élément d'un matériau magnétostrictif doux dont l'axe facile d'aimantation est orientable sous l'action d'une contrainte mécanique, et comportant en outre des moyens d'application d'au moins une contrainte mécanique sur l'élément magnétique.

Selon un mode de réalisation préféré de l'actionneur de l'invention, les moyens d'application de contrainte comportent au moins un élément piézoélectrique, de préférence de type multifibres composite, sur lequel est apposé le matériau magnétique.

Dans une variante avantageuse de l'actionneur de l'invention, l'élément magnétique présente dans au moins un plan une forme anisotrope, et de préférence encore une anisotropie de forme périodique et identique. Une telle forme anisotrope du matériau magnétique permet de réaliser, par exemple avec un élément magnétique cranté ou en étoile, un actionneur pas à pas permettant le maintien du mobile aimanté dans des positions stables déterminées par l'anisotropie du matériau en l'absence de contraintes mécaniques sur ce matériau, en couplant l'usage de la forme anisotrope avec un pilotage électronique séquentiel des moyens d'application des contraintes mécaniques.

Dans une variante de réalisation, l'élément magnétique de l'actionneur comporte deux couches d'un matériau magnétique et les moyens

d'application de contrainte comportent un entrefer électrostatique ménagé par des moyens d'écartement disposé entre les deux couches de matériau magnétique. Dans ce mode de réalisation, des électrodes multiples de part et d'autre de l'entrefer et en forme de quadrants, permettent par exemple d'appliquer une contrainte sensiblement unidirectionnelle et d'orientation angulaire variable en fonction des électrodes activées.

Un tel actionneur magnétique peut avantageusement constituer un interrupteur, un potentiomètre, un moteur ou un indicateur directionnel.

Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention.

- la Fig. 1 représente l'effet d'une contrainte isotrope dans le plan sur une couche mince ou un ruban d'un matériau magnétostrictif sur la direction et l'intensité de l'axe facile d'aimantation de ladite couche ou ruban ; - la Fig. 2 représente l'effet d'une contrainte uniaxiale et dans le plan sur une couche mince ou un ruban d'un matériau magnétostrictif et l'apparition d'une direction de facile aimantation dans cette couche en fonction de la direction et du sens de la contrainte appliquée ;

- La Fig. 3 représente l'effet de rotation dans le plan de l'axe facile d'aimantation d'une couche mince ou d'un ruban non circulaire d'un matériau magnétostrictif sous l'action d'une contrainte uniaxiale ;

- la Fig. 4 représente l'effet progressif de rotation dans le plan de l'axe facile d'aimantation d'une couche mince ou d'un ruban d'un matériau magnétostrictif sous l'action de deux contraintes uniaxiales indépendantes et séparées d'un angle de 45° ;

- les Fig. 5A à 5C représentent différentes variantes préférées de mise en œuvre d'un élément magnétostrictif et de moyens d'application de contraintes mécaniques sur cet élément pour réaliser un actionneur magnétique conforme à l'invention ; - la Fig. 6 représente un premier exemple de réalisation d'un interrupteur à actionnement magnétique fonctionnant selon le procédé de l'invention ;

- la Fig. 7 représente une variante de réalisation de l'interrupteur de la Fig. 6 ;

- les Fig. 8 et 9 représentent d'autres formes de réalisation d'interrupteurs à actionnement magnétique conformes à l'invention ; - les Fig. 10 et 11 représentent schématiquement un actionneur rotatif ou moteur à entrainement magnétique fonctionnant selon le procédé de l'invention ;

- les Fig. 12 à 14 représentent différentes configurations d'actionneurs magnétiques rotatifs conformes à la présente invention.

La présente invention propose un nouveau procédé d'actionnement magnétique qui n'utilise pas de courants électriques pour créer une force magnétique mais propose essentiellement d'utiliser les propriétés de rotation de l'axe facile d'aimantation de certains matériaux sous l'action de contraintes mécaniques pour initier et contrôler un mouvement rotatif ou linéaire d'un mobile formé préférentiel lement par un aimant permanent. Le procédé de l'invention peut également être utilisé pour créer un champ magnétique "variable" ou "dirigeable" dans un volume, notamment liquide ou gazeux, dans lequel flottent des cellules ou microparticules magnéto- sensibles.

La Fig. 1 représente l'effet, connu de l'état de la technique, produit par l'application d'une contrainte isotrope S sur la perméabilité magnétique μ d'une couche Cm d'un matériau magnétostrictif à magnétostriction positive tel que, par exemple une couche de Fer-Silicium-Bore (FeSiB). Ainsi, lorsque la contrainte S correspond à une traction (1) sur les bords de la couche Cm, la perméabilité μ du matériau est plus élevée dans le plan de la contrainte que selon l'axe perpendiculaire Oz, sans direction privilégiée dans le plan Oxy sauf en cas de forme géométrique de la couche induisant un effet de forme, ou d'anisotropie cristallographique de celle-ci. A l'inverse, lorsque la contrainte S est une compression isotrope (2) la perméabilité magnétique μ dans le plan X-Y de ladite couche diminue.

La Fig. 2 représente la mise en évidence (ou la génération) par l'application d'une contrainte uniaxiale Si en traction (1) et compression (2) respectivement, d'un axe facile d'aimantation AF dans une couche Cm circulaire d'un matériau magnétostrictif tel que, par exemple du Fer-Silicium- Bore (FeSiB).

Ainsi, on peut remarquer que l'orientation de l'axe facile AF dépend de la contrainte. Dans le cas d'un matériau à magnétostriction positive, lorsque la contrainte appliquée est une traction (1), axe facile AF est orienté parallèlement à l'axe de la contrainte. Par opposition, lorsque la contrainte appliquée à la couche Cm est une compression (2), l'axe facile AF est orienté orthogonalement à l'axe de ladite contrainte. Les effets en traction et compression s'inversent dans le cas d'un matériau à magnétostriction négative.

La Fig. 3 représente la faculté de rotation de l'axe facile d'aimantation AF d'une couche mince Cm de matériau magnétostrictif de forme géométrique anisotrope déterminée, en l'espèce ovale ou elliptique, en fonction d'une variation d'intensité et de sens d'une contrainte S ₂ appliquée dans une direction intermédiaire aux axes principaux de la couche Cm. Le facteur de forme de la géométrie non circulaire de la couche induit une direction privilégiée d'aimantation, dans le cas présent le long du grand axe.

On peut ici constater, en observant la séquence représentée de gauche à droite sur la Fig. 3, que l'intensité et le sens de la contrainte S ₂ appliquée sur la couche mince Cm dans une seule direction modifient la direction privilégiée d'aimantation AF de ladite couche Cm. Ainsi, lorsque l'on applique une contrainte de traction S ₂ croissante dans une direction sensiblement décalée d'un certain angle par rapport à l'axe facile de la couche Cm, la direction de l'axe facile AF tend à se rapprocher progressivement de la parallèle à la direction de la contrainte, et quand au contraire on applique une contrainte de compression S' ₂ croissante, toujours selon cette même direction décalée, Taxe facile AF s'oriente progressivement selon une droite sensiblement perpendiculaire à la direction d'application de la contrainte S' ₂ .

On peut donc en jouant sur le signe et l'intensité d'une seule contrainte unidirectionnelle appliquée à une couche Cm présentant une anisotropie de forme orienter continûment la direction d'aimantation privilégiée AF dans le plan de la couche mince Cm. L'utilisation de formes anisotropes du matériau magnétique permet de façon avantageuse la réalisation d'actionneurs pas à pas.

La Fig. 4 représente l'effet de rotation continue de la direction d'aimantation privilégiée AF d'une couche mince Cm de matériau magnétique (ici la couche mince est de géométrie circulaire, et donc isotrope, et ne présente donc pas naturellement d'axe facile d'aimantation, contrairement à l'ellipse de la figure 3 ci-dessus.). L'effet de rotation continue est produit par l'action conjuguée de deux contraintes indépendantes S ₃ , S ₄ de traction ou S' ₃ , S' ₄ de compression, dont les axes d'application sont décalés d'un angle de 45° dans le plan de la couche Cm. Comme cela ressort de cette Fig. 4, observée de la gauche vers la droite et de haut en bas, l'axe facile AF peut être orienté dans n'importe quelle direction angulaire dans le plan d'une couche Cm, en jouant sur le signe (compression ou traction) et l'intensité des deux contraintes unidirectionnelles S ₃ , S ₄ et/ou S' ₃ , S' ₄ appliquées sur ladite couche Cm. II convient en outre de noter que dans l'expérience réalisée par les inventeurs, les deux contraintes appliquées sur la couche mince Cm sont sinusoïdales dans le temps avec un déphasage temporel de 90°, ce qui permet de piloter l'axe facile en rotation sensiblement uniforme.

Le procédé d'actionnement de la présente invention repose sur le fait que dans certains matériaux magnétiques, comme notamment le FeSiB, une anisotropie ou une direction d'axe facile d'aimantation AF peuvent être créées et contrôlée sous l'action de contraintes mécaniques. Le procédé de l'invention n'exploite pas, contrairement à l'état de la technique la variation d'intensité de la perméabilité du matériau, qu'elle soit globale ou locale selon que la contrainte est appliquée sur tout le matériau ou localement seulement.

En effet, l'interaction entre un aimant permanent et un matériau magnétique doux dépend notamment de l'axe facile d'aimantation AF du matériau doux et de la polarisation de l'aimant permanent. Lorsque l'axe facile AF du matériau magnétique varie, il est possible de créer un déséquilibre de force et/ou couple sur l'aimant permanent obligeant l'aimant à se déplacer, et notamment à tourner le cas échéant.

On réalise ainsi un actionnement magnétique qu'il est possible d'exploiter conformément à la présente invention dont différents exemples de mise en œuvre pratique vont être décrits ci-après en référence aux Fig. 5A à 14.

Les Fig. 5A à 5C représentent en premier lieu différentes configurations préférées de montage d'un élément magnétique soumis à des contraintes pour permettre le déplacement d'un mobile aimanté et réaliser un actionneur magnétique apte à mettre en œuvre le procédé de l'invention. La Fig. 5A représente la configuration la plus simple de réalisation d'un actionneur magnétique 1 conforme à l'invention. Une couche mince 2 de fer- silicium-bore amorphe FeSiB est collée sur une plaque formée d'un piézoélectrique 3 de type multifibre composite "MFC". Un mobile aimanté 4 de néodyme-fer-bore (NdFeB) ou sa ma ri u m -cobalt (SmCo) ou fer-platine ou ferrite par exemple, est placé en proche proximité. Tous ces matériaux d'aimants permanents sont des matériaux courants du commerce ou connus de l'état de l'art.

La plaque piézoélectrique 3 est connectée à un générateur 5 de tension continue ou alternative. En appliquant une tension à ladite plaque 3, celle-ci exerce alors une contrainte mécanique uniaxiale sur la couche mince magnétique 2, dont résulte une orientation de la direction privilégiée ou axe facile d'aimantation AF de la couche 2 conformément aux principes énoncés précédemment en référence aux Fig. 1 à 4.

Ainsi, le flux magnétique d'un mobile aimanté 4 placé à côté ou en suspension au dessus de l'assemblage formé de la couche mince 2 et du piézoélectrique 3 a donc tendance à être canalisé au sein de la couche 2 selon la direction privilégié correspondant à l'orientation de l'axe facile AF

dans ladite couche, ce qui se traduit par une force ou un couple dont résulte à son tour le déplacement en rotation ou translation de l'aimant 4 par rapport à l'assemblage de la couche magnétique 2 et de la plaque piézoélectrique 3. Dans un cas plus particulier, une contrainte anisotrope peut être appliquée sur la couche 2 de FeSiB lorsque la plaque piézoélectrique 3 utilisée est une plaque de type MFC qui travaille dans une seule direction. Dans ce cas, l'application d'une tension sur la plaque 3 au moyen d'un générateur de tension 5 entraîne au sein de la couche 2 une rotation de la direction d'aimantation privilégiée dans son plan. L'aimant permanent 4 placé au dessus de ladite couche 2 subit alors à un couple pour aligner son flux dans cette nouvelle direction, et cela se traduit par un mouvement de rotation de l'aimant 5 qui peut alors être exploité.

Dans une première variante de réalisation préférée représentée à la Fig. 5B, l'actionneur magnétique 1 peut comporter deux couches magnétiques de FeSiB 2a, 2b déposées de part et d'autre d'une plaque d'un piézoélectrique 3 prise en sandwich entre les deux dites couches 2a, 2b. Cette configuration en sandwich permet d'éviter les phénomènes de flexion de type bilame ou bimorphe qui peuvent être rencontrés lorsque l'on a une dissymétrie des couches 2, 3 comme représenté à la Fig. 5A. Il est à noter que les deux couches magnétiques 2a, 2b, peuvent servir comme électrodes pour la plaque piézoélectrique 3 si elles sont conductrices.

Dans une deuxième variante de réalisation préférée représentée à la Fig. 5C, l'actionneur magnétique 1 peut comporter deux plaques piézoélectriques 3a, 3b apposées de part et d'autre d'un couche magnétique 2 prise en sandwich entre les deux dites plaques 3a, 3b. Cette configuration permet d'appliquer deux contraintes indépendantes l'une de l'autre en valeur et direction sur une même couche magnétique 2, par exemple pour entraîner le mobile aimanté 4 en rotation complète à 360° sur lui-même. Les Fig. 6 à 9 représentent différentes variantes de réalisation d'un actionneur magnétique linéaire conforme à l'invention et constituant un interrupteur 10, 10", 20, 20". Dans la description qui va suivre, les éléments

communs à ceux des actionneurs des Fig. 5A à 5C portent les mêmes références numériques.

Ces différentes variantes de réalisation mettent en œuvre le principe de changement de direction et d'intensité de l'axe facile d'aimantation d'une couche magnétique décrit aux Fig. 1, 2, ou 3.

Tel que représenté sur la Fig. 6, l'interrupteur 10 comprend en particulier un mobile aimanté 4 formé par un aimant permanent et flottant en translation entre deux assemblages 11, 12 constitués chacun de deux couches magnétiques de FeSiB 2a, 2b déposées sur une plaque 3 d'un matériau piézoélectrique connecté à un générateur de tension 5. Intercalées entre un côté de chaque assemblage 11, 12 et le mobile aimanté 4 se trouvent deux parois 13, 14 destinées à limiter l'étendue des mouvements du mobile aimanté 4, de sorte que les couches 2a, 2b des assemblages 11, 12 ne saturent pas ni qu'au contraire le mobile 4 ne soit hors de portée magnétique desdits assemblages. Les parois 13, 14 sont en outre recouvertes chacune sur leur rebord supérieur d'une couche métallique 15 adaptée pour établir un contact électrique avec le mobile aimanté 4 lors des déplacements de celui-ci sous l'attraction combinées des assemblages 11, 12 lorsque ces derniers sont mis sous tension des générateurs 5 séparément et de manière complémentaire.

La Fig. 7 représente un interrupteur 10' similaire à celui de la Fig. 6 mais dans lequel le mobile aimanté 4 est porté sur un bras ressort 16. Ce bras 16 ajoute une force supplémentaire de soutien du mobile aimanté 4, qui en combinaison avec les forces d'attraction magnétique exercées sur le mobile 4 par les assemblages 11, 12 permet de régler la force de déplacement du mobile 4 et de contraindre ce déplacement en mouvement de translation linéaire entre les parois 13,14 de l'interrupteur 10".

Dans ce mode de réalisation, les assemblages 11, 12 quant à eux peuvent présenter une structure identique à celles proposées sur la Fig. 6. Ils sont pilotés séparément et de manière complémentaire.

Les Fig. 8 et 9 représentent deux autres variantes de réalisation d'un interrupteur 20, 20" respectivement, fonctionnant selon le procédé

d'actionnement magnétique de la présente invention. Dans ces deux variantes, l'interrupteur 20, 20" comporte deux assemblages actionneurs 21, 22 constitués chacun de deux couches 2a, 2b de matériau magnétostrictif entre lesquelles est intercalée une plaque d'un matériau piézoélectrique 3. Les deux assemblages 21, 22 présentent ainsi une structure similaire à celle des assemblages 11, 12 des interrupteurs 10, 10" des Fig. 5 et 6, et sont eux aussi pilotés séparément et de manière complémentaire. Les deux assemblages 21,22 sont disposés l'un au dessus de l'autre et un mobile aimanté 4, formé par un aimant permanent est disposé mobile en translation verticale dans un espace 23 de déplacement du mobile 4 ménagé entre les assemblages 21, 22. De façon analogue aux parois 13, 14 décrites précédemment pour les variantes des Fig. 6 et 7, des cales 24 de contact, revêtues avantageusement d'une couche métallique conductrice, sont disposées entre les assemblages 21, 22 et le mobile 4. De plus, les assemblages 21, 22 sont chacun connectés à un générateur de tension alternative ou continue, non représenté sur les figures, permettant de solliciter le piézoélectrique 3 et ainsi d'appliquer une contrainte mécanique sur les couches magnétiques 2a, 2b pour provoquer le déplacement du mobile 4 dans l'espace 23. Dans la variante de la Fig. 9, le mobile aimanté 4 est porté par un bras ressort 25 alors que dans la variante de la Fig. 8 ledit mobile 4 est maintenu en position purement par la force magnétique.

Dans la variante de la Fig. 9, le bras 25 sert à maîtriser le mobile 4 suivant un mouvement de translation linéaire et également à ajouter une force de soutien non-magnétique et indépendante de la force magnétique exercée entre mobile 4 et assemblages actionneurs 21, 22 pour régler le déplacement du mobile 4.

La variante de la Fig. 8 présente l'avantage d'être d'une construction plus simple, sans bras de soutien et guidage du mobile 4, la force de contact étant simplement plus forte entre le mobile 4 et les cales 24 de contact.

Les Fig. 10 à 14 représentent d'autres variantes d'actionneurs magnétiques conformes à la présente invention dans lesquelles

l'actionnement d'un mobile aimanté est effectué en rotation, conformément aux principes précédemment explicités en référence aux Fig. 3 et 4.

Ces actionneurs magnétiques sont basés sur la rotation de l'axe facile d'aimantation AF décrite sur les Fig. 3 et 4. La Fig. 10 représente un actionneur magnétique rotatif 30 dont la course est limitée dans une plage angulaire de 90°. Cet actionneur 30 comporte un assemblage d'actionnement 31 composé de deux couches magnétiques 2a, 2b apposées sur chaque coté d'une plaque 3 formée d'un piézoélectrique alimenté par un générateur de tension continue ou alternative, non représenté.

Un mobile aimanté 4, aimanté dans le plan de l'assemblage 31, est placé au dessus de ce dernier et confiné en mouvement rotatif par un tourillon 32. Le mobile aimanté 4 induit une aimantation dans les couches magnétiques 2a, 2b. L'axe facile des couches 2a, 2b est contrôlé par la nature et l'intensité de la contrainte mécanique appliquée par le piézoélectrique 3. Lorsque la direction de l'aimantation induite par le mobile 4 n'est pas parallèle à la direction de l'axe facile des couches 2a, 2b, ces deux directions ont tendance à s'aligner : il existe alors un couple entre le mobile aimanté 4 et l'assemblage d'actionnement 31. Il est ainsi possible d'exploiter la mobilité rotationnelle du mobile aimanté dans le but de réaliser des fonctions d'actionnement en rotation.

La Fig. 11 représente une variante de l'actionneur magnétique de la Fig. 10. Cette variante présente un actionneur rotatif 40, comportant un mobile aimanté 4 apte à suivre une rotation de 360°, conformément aux principes de rotation de l'axe facile d'aimantation d'un matériau magnétique décrits précédemment en relation avec la Fig. 4.

Cet actionneur comporte un assemblage d'actionnement 41 comportant deux éléments piézoélectriques 3a, 3b, distincts et décalés d'un angle α de 45° l'un par rapport à l'autre autour d'un axe vertical Z perpendiculaire à chacun des éléments piézoélectriques, qui imposent des contraintes sur une couche magnétique 2 disposée entre les deux éléments 3a, 3b. Le mobile 4,

aimanté selon une direction parallèle au plan supérieur de l'assemblage 41 est placé au dessus et confiné en mouvement rotatif par un tourillon 42.

Pour pouvoir contraindre simultanément selon deux directions distinctes la couche de matériau magnétique 2 et entraîner le mobile 4 en rotation, les deux éléments piézoélectriques 3a, 3b sont reliés indépendamment à des générateurs de tension continue ou alternative. L'alimentation en tension des deux éléments piézoélectriques engendre la création de deux contraintes distinctes qui sont conjuguées sur la couche magnétique 2, et en faisant varier la tension d'alimentation on provoque une variation relative des contraintes ce qui engendre une rotation de l'axe facile d'aimantation de la couche 2, qui à son tour provoque l'entraînement en rotation du mobile aimanté 4.

Les Fig. 12 à 14 représentent schématiquement l'utilisation d'actionneurs tels que décrits et représentés aux Fig. 10 et 11 dans des applications avec des composants susceptibles à réchauffement et pour lesquels le positionnement dans un état statique est plus intéressant que le mouvement dynamique.

La Fig. 12 représente schématiquement un actionneur magnétique angulaire 50 pour le contrôle de la position d'un potentiomètre. Cet actionneur présente une structure identique à celui de la Fig. 10. Un curseur de positionnement Cp est fixé sur le mobile aimanté et s'étend au dessus d'une résistance R de façon à balayer celle-ci lors des mouvements du mobile 4 et ainsi faire varier ladite résistance R.

La Fig. 13 représente schématiquement un actionneur magnétique angulaire 60 pour le contrôle de la position d'une valve V fluidique ou bio- fluidique où les propriétés des fluides (souvent organique) et /ou l'aspect biologique (les cellules par exemple) sont susceptible à la chaleur. Dans cet exemple, le mobile aimanté de l'actionneur, dont la structure est une fois encore identique à celle des Fig. 10 ou 11, supporte ou forme le volet Vt de fermeture des différentes voies de la valve.

La Fig. 14 représente enfin schématiquement un actionneur magnétique angulaire 70 pour le contrôle de la position d'un miroir, réseau

de diffraction ou photodétecteur M. Dans cet exemple, l'actionneur présente une fois encore une structure similaire à celle des actionneurs décrits aux Fig. 10 ou 11.

Ce genre d'actionneur 70 peut être utilisé comme interrupteur optique pour la communication par fibres optiques, ou moyen de choisir une fréquence de lumière parmi d'autres pour les filtres optiques, pour la communication par fibre optique ou pour l'analyse spectroscopique.

La qualité optique est dépendante de la planéité du miroir M qui peut changer avec la chaleur. De plus l'émission de la lumière infrarouge par les éléments chauds exclue souvent l'utilisation d'actionneurs utilisant les bobinages dans des applications optique dans le domaine l'infrarouge.

Dans les différentes variantes d'actionneurs magnétiques présentées, on peut également envisager d'appliquer la contrainte mécanique sur la ou les couches magnétiques de l'actionneur par déformation électrostatique, thermique, effort mécanique direct ou toute autre méthode.

L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés car diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre.