Schleifschlämmen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Behandeln von Si/SiC-haltigen Schleifschlämmen.

Derartige Schleifschlämme fallen insbesondere bei der Herstellung von Silizium- Wafern an. In dem derzeitigen gängigsten Verfahren der Waferherstellung wird zunächst Reinsilizium aus Quarz gewonnen und anschließend in Siliziumblöcken oder Siliziumstäben, so genannten„Ingots", gegossen oder gezogen. Diese Ingots werden mittels eines mechanischen Sägeprozesses zu Siliziumscheiben, so genannte Wafer, zersägt. Dieser mechanische Sägeprozess erfolgt nach dem heutigen Stand der Technik ganz überwiegend mittels eines Stahlsägedrahtes, der mit hoher Geschwindigkeit von einer Rolle auf eine zweite Rolle abgespult wird. Der Ingot ist dabei auf eine Glasplatte geklebt, mit der er durch die Säge geschoben wird. Neben dem Sägedraht wird eine Sägesuspension bestehend aus Siliziumkarbid (SiC) als Sägehilfsmittel und Polyethylenglykol (PEG) oder Öl als Kühl- und

Trägermittel für das Siliziumkarbid eingesetzt. Die Sägesuspension wird auf den sich abrollenden Stahlsägedraht gegeben, wobei das Siliziumkarbid als relativ hartes Element die eigentliche Sägeleistung erbringt und der Sägedraht lediglich das Siliziumkarbid transportiert. Die verwendete Sägesuspension muss nach

mehrmaliger Anwendung ausgewechselt und entweder entsorgt oder aufbereitet werden, da der zunehmende Siliziumabrieb die Sägeeigenschaften verschlechtert. Auf diese Weise bilden sich Schleifschlämme, die neben Silizium einen hohen Anteil von Siliziumkarbid sowie flüssiges Trägermittel beinhalten. Durch den Sägeprozess gehen über 40 % des Silizium-Ausgangsmaterials und das gesamte eingesetzte Siliziumkarbid verloren. Aus diesem Grunde gab es bereits in der Vergangenheit Überlegungen, die im Schleifschlamm enthaltenen Wertstoffe zu rezyklieren.

In der WO 2006/137098 A1 wird vorgeschlagen, das in Schleifschlämmen

enthaltene Siliziumkarbid in Hydrozyklonen unter Einsatz von Wasser und

Chemikalien herauszulösen. Bei diesem Prozess wird jedoch das Silizium oxidiert und andern Industrieprozessen zugeführt. Aus der EP 1351891 B1 ist ein Verfahren zur Rückgewinnung von Siliziumkarbid aus mit Polyethylenglykol (PEG) oder Öl verschmutzten Si/SiC - Schleifschlämmen bekannt. Bei diesem Verfahren wird zunächst durch Erhitzen im Vakuum oder einer Inertgasatmosphäre PEG bzw. Öl aus dem Schleifschlamm abgetrennt. Aus dem verbliebenen Si/SiC - Gemisch werden keramische Formkörper gebildet, die in einer Stickstoffatmosphäre bei einer Temperatur gesintert werden, bei der das Silizium mit Stickstoff zu Siliziumnitrid reagiert, das die verbliebenen SiC-Teilchen miteinander verbindet. Auch dieses Verfahren hat in erster Linie die Rückgewinnung von

Siliziumkarbid zum Gegenstand.

In der WO 2008/13327 A1 wird eine Apparatur zur Wiedergewinnung von

Schleifschlämmen bei der Produktion von Siliziumwafern beschrieben. Die Apparatur umfasst eine Heizeinrichtung, in der der Schleifschlamm auf eine Temperatur zwischen 60 °C und dem Siedepunkt des eingesetzten Schleiföls erhitzt wird, und eine Zentrifuge, in der anschließend die Trennung einer öl- und siliziumreichen Flüssigphase von einer siliziumkarbidreichen Phase erfolgt. Eine weitere

Zentrifugation ermöglicht die weitere Auftrennung der Flüssigphase.

Die WO 2009/126922 A2 beschreibt ein Verfahren zur Wiederaufbereitung von Silizium, Siliziumkarbid und PEG aus Schleifschlämmen. Bei diesem Gegenstand wird im Schleifschlamm enthaltene Flüssigkeit, beispielsweise Öl, PEG oder Wasser mittels physikalischer Trennverfahren, beispielsweise einer Filterpresse, einem Hydrozyklon oder einer Zentrifuge zumindest weitgehend unter Erhalt eines feuchten, Si/SiC - haltigen Pulvers abgetrennt. Zur Rezyklierung des Siliziums wird das Pulver einem mit Siliziumtetraiodid (Sil ) befüllten Reaktor zugeführt, in dem sich bei einer Temperatur von etwa 1250°C Siliziumdiiodid (Sil ₂ ) bildet, aus dem anschließend in einem weiteren Reaktor bei einer Temperatur von 700 °C bis 1000°C reines Silizium gewonnen wird. Dieses Verfahren ist mit einem hohen

apparatetechnischen Aufwand und aufgrund der hohen benötigten Temperaturen mit einem beträchtlichen Energieaufwand verknüpft.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher, die ein alternatives Verfahren zur Rezyklierung von Silizium und/oder Siliziumkarbid aus Schleifschlämmen,

insbesondere von bei der Silizium-Waferproduktion anfallenden Schleifschlämmen sowie eine entsprechende Vorrichtung bereitzustellen, das mit einem geringeren Energieverbrauch und einem geringeren apparativen Aufwand als bei Verfahren nach dem Stand der Technik auskommt.

Gelöst wird diese Aufgabe mit einem Verfahren gemäß Patentanspruch 1 sowie mit einer Vorrichtung gemäß Patenanspruch 6. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Behandeln von siliziumhaltigen

Schleifschlämmen werden zunächst die Schleifschlämme in einer

Extraktionskammer mit Kohlendioxid in flüssigem oder überkritischen Zustand in Kontakt gebracht, wobei durch das flüssige oder überkritische Kohlendioxid Öl oder Polyethylenglykol (PEG) enthaltende Bestandteile des Schleifschlammes

herausgelöst (extrahiert) werden. Infolge des bevorzugt unter hohem Druck

(Hochdruckextraktion) ablaufenden Extraktionsvorgangs wird der weitaus größte Teil der öl- bzw. PEG -haltigen Bestandteile im Kohlendioxid gelöst. Sodann wird das mit den ölhaltigen oder polyethylenglykolhaltigen Bestandteilen beladene überkritische oder flüssige Kohlendioxid vom Schleifschlamm getrennt, wobei ein Silizium und Siliziumkarbid enthaltenes Pulver (im Folgenden: Si/SiC - haltiges Pulver)

zurückbleibt, welches anschließend unter Vakuum oder unter einer Inertgasatmosphäre einem Trennverfahren zum Trennen in eine siliziumkarbidhaltige

Fraktion und eine Siliziumfraktion zugeführt wird.

Durch die Führung sämtlicher sich an die Extraktion anschließender

Verfahrensschritte im Vakuum bzw. unter Inertgasatmosphäre wird insbesondere eine Oxidation des Siliziums und des Siliziumkarbids sicher vermieden, was die anschließende Wiederaufarbeitung dieser Komponenten wesentlich erleichtert.

Als Trennverfahren zum Trennen der Feststofffraktionen des extrahierten

Schleifschlammes kann im Rahmen der Erfindung jedes hierzu geeignete

Trennverfahren oder eine Kombination mehrerer Trennverfahren in

aufeinanderfolgenden Schritten angewandt werden. In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform wird das Si/SiC - haltige Pulver mittels eines Inertgases fluidisiert und zum Trennen einer siliziumkarbidhaltigen Fraktion von einer Siliziumfraktion einem Zyklon zugeführt. Wesentlich dabei ist, dass die Fluidisierung nicht mit Luft, sondern mit einem zumindest weitgehend sauerstofffreien Gas erfolgt, um eine Oxidation des Siliziums und/oder des Siliziumkarbids zu vermeiden. Dabei kann es sich beispielsweise um Kohlendioxid, Stickstoff oder ein Edelgas handeln.

Alternativ oder ergänzend zum vorgenannten Trennverfahren in einem Zyklon kann das Si/SiC - haltige Pulver in einem Sichter in eine siliziumkarbidhaltige Fraktion und eine Siliziumfraktion, wobei der Sichter mit einem zumindest weitgehend

sauerstofffreien Inertgasstrom betrieben wird. Auch hier ist zur Erzielung eines qualitativ hochwertigen Ergebnisses wesentlich, dass der sowohl der Trennprozess als auch die Zuführung des zu trennenden Si/SiC-haltigen Pulvers in einer zumindest weitgehend sauerstofffreien Atmosphäre erfolgt.

Eine gleichfalls vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Si/SiC - haltige Pulver einem inerten Fluid zugeführt und anschließend die Trennung in eine siliziumkarbidhaltigen Fraktion und eine Siliziumfraktion mittels Flotation und/oder Sedimentation der Fraktionen erfolgt. Der Trennvorgang erfolgt hier also aufgrund der unterschiedlichen Dichte der beiden Fraktionen mit Hilfe eines geeigneten Fluids. Bei dem Fluid kann es sich um eine Flüssigkeit oder um ein Gas handeln, wobei besonders bevorzugt das Fluid so gewählt ist, dass seine Dichte den jeweiligen Erfordernissen nach Art einer Schwertrübe einstellbar ist.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass das mit den

polyethylenglykolhaltigen oder ölhaltigen Bestandteilen beladene flüssige oder überkritische Kohlendioxid verdampft oder entspannt wird und dadurch von den Bestandteilen befreit wird. Bei der Entspannung bzw. dem Verdampfen des

Kohlendioxids fallen die Öl- bzw. PEG-haltigen Bestandteile aus und können einer erneuten Verwertung oder der Entsorgung zugeführt werden. Das Kohlendioxid kann anschließend wieder verflüssigt oder in den überkritischen Zustand verbracht und erneut zur Extraktion von Schleifschlamm eingesetzt werden.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch eine Vorrichtung zum Behandeln von siliziumhaltigen Schleifschlämmen gemäß Anspruch 6 gelöst. Eine

erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst dabei einen Druckbehälter, der mit einer Zuleitung sowie mit einer Ableitung für Kohlendioxid im flüssigen oder überkritischen Zustand ausgerüstet ist, eine im Druckbehälter aufgenommene Extraktionskammer, deren Wände zumindest abschnittsweise so ausgebildet sind, dass sie für flüssiges, überkritisches oder gasförmiges Kohlendioxid durchlässig, für Feststoffpartikel dagegen zumindest weitgehend undurchlässig ist, und eine Abführeinrichtung für bei der Extraktion in der Extraktionskammer erzeugtes Si/SiC- haltiges Pulver, die mit der Extraktionskammer sowie mit einer Trenneinrichtung zum Trennen einer siliziumkarbidreichen Fraktion von einer siliziumreichen Fraktion im wesentlichen gasdicht verbindbar ist.

Aufgrund der halbdurchlässigen Ausgestaltung der Wände der Extraktionskammer kann bei der Extraktion des Schleifschlammes mit dem flüssigen oder überkritischen Kohlendioxid das mit den öl- oder PEG-haltigen Bestandteilen beladene

Kohlendioxid zuverlässig von der zurückbleibenden pulverförmigen Feststofffraktion getrennt werden. Die Extraktionskammer ist weiterhin mit einer Zuführung für Schleifschlämme versehen. Diese bevorzugt als Druckschleuse ausgestaltete Zuführung ermöglicht es einerseits, eine begrenzte Menge an Schleifschlamm vor Beginn der Extraktion in den Extraktor einzufüllen und vorzulegen, andererseits aber auch, frischen Schleifschlamm auch während des Extraktionsvorgangs in den Extraktor kontinuierlich einzudosieren. Die Extraktionskammer ist über eine

Abführeinrichtung für Si/SiC - haltiges Pulver mit einer ihrerseits gasdicht

abschließbaren Trenneinrichtung zumindest weitgehend gasdicht verbindbar, in der eine Auftrennung der Feststofffraktion in eine siliziumkarbidreiche Fraktion und eine siliziumreiche Fraktion erfolgt. Als„mit der Trenneinrichtung verbindbar" soll hier sowohl eine geschlossene Leitung verstanden werden, die sowohl mit der

Extraktionskammer als auch mit der Trenneinrichtung verbunden ist, also auch ein im wesentlichen gasdicht verschließbarer Behälter, der nacheinander an die

Extraktionskammer und an die Trenneinrichtung angeschlossen werden kann, um die Zuführung der Feststofffraktion unter zumindest weitgehendem Ausschluss von Luftsauerstoff an die Trenneinrichtung zu gewährleisten.

Als bevorzugte Trenneinrichtung zum Trennen einer siliziumkarbidhaltigen Fraktion von einer Siliziumfraktion kommt insbesondere ein Sichter, ein Sieb oder ein Zyklon oder eine Kombination mehrerer dieser Trenneinrichtungen in Betracht. Um die Wiederverwertung des eingesetzten Kohlendioxids und/oder der öl- bzw. PEG - haltigen Bestandteile zu ermöglichen, sieht eine weiter vorteilhafte

Weiterbildung der Erfindung vor, dass die vom Druckbehälter ausgehende Ableitung für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid an einer Entspannungsdüse in einem Separator ausmündet, welcher Separator über eine Gasleitung mit einer Verflüssigungsvorrichtung zum Verflüssigen des gasförmigen Kohlendioxids strömungsverbunden ist, in dem das im Separator entspannte, gasförmige

Kohlendioxid wieder in den flüssigen oder überkritischen Zustand bringbar ist, und welche Verflüssigungsvorrichtung zu mit der Zuleitung für Kohlendioxid des

Druckbehälter in Strömungsverbindung steht. Bei dieser Ausführungsform der Erfindung wird das Kohlendioxid also im Kreislauf geführt und muss während der Behandlung nur in geringen Mengen durch frisches Kohlendioxid ergänzt werden.

Eine andere zweckmäßige Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, dass der Druckbehälter und/oder die Extraktionskammer um eine im

Wesentlichen horizontale Achse drehbar gelagert ist. In diesem Falle ist es möglich, den Druckbehälter bzw. die Extraktionskammer während der Extraktion zu drehen. Derartige Systeme sind etwa aus der Lebensmitteltechnik bekannt, z. B. bei der Beladung von Maltodextrin - Pulver mit Gasen. Durch die Rotationsbewegung könnten kleinere Agglomerate im Schleifschlamm schnell aufgebrochen werden, so dass ein feines Pulver gewonnen werden kann.

Anhand der Zeichnung soll ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert werden. Die einzige Zeichnung (Fig. 1 ) zeigt schematisch den Aufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Die Vorrichtung 1 umfasst einen für die Hochdruckextraktion von Schleifschlämmen geeigneten Druckbehälter 2. Im Druckbehälter 2 ist die eigentliche Extraktionskammer 3 aufgenommen, die für die Aufnahme des zu behandelnden

Schleifschlammes bestimmt ist. Die Extraktionskammer 3 ist vom übrigen Innenraum des Druckbehälters 2 mit Wänden 4, 5 abgeteilt, welche zumindest abschnittsweise für Kohlendioxid im flüssigen oder überkritischen Zustand durchlässig, für Silizium bzw. Siliziumkarbid enthaltende Bestandteile des Schleifschlamms jedoch undurchlässig sind. Realisiert wird dies durch einen entsprechend filter- oder siebartigen Aufbau der Wände 4, 5 bzw. von deren Wandabschnitten.

Beispielsweise sind die Wände 4, 5 aus porösen Sintermetallscheiben aufgebaut. Zum Zuführen des Schleifschlammes ist die Extraktionskammer 3 mit einer druckfesten Schleuse 6 und einem Aufnahmetrichter 7 versehen; eine weitere Schleuse 9 ist an einer Entladeöffnung 10 der Extraktionskammer 3 angeordnet. Anstelle zweier getrennter Schleusen 6, 9 ist es prinzipiell auch möglich, die

Schleifschlämme über eine einzige Schleuse sowohl zu- als auch abzuführen. In diesem Falle ist beispielsweise der Druckbehälter in hier nicht gezeigter Weise um eine horizontale Achse drehbar gelagert, sodass beim Einfüllen die (einzige)

Schleuse nach oben - im geodätischen Sinne - gerichtet ist, beim Entleeren dagegen nach unten. An die Schleuse 9 schließt sich ein Auffangtrichter 1 1 an, der zumindest dann, wenn die Schleuse 9 geöffnet wird um die Extraktionskammer 3 zu entleeren, zumindest weitgehend gasdicht mit der Schleuse 9 und damit mit der Extraktionskammer 3 verbindbar ist. Der Auffangtrichter 1 1 mündet in einen

Zwischenspeicher 12, in dem das in der Extraktionskammer 3 behandelte Gut zur weiteren Verarbeitung zwischengelagert wird. Der Zwischenspeicher 12, der im Wesentlichen gasdicht aufgebaut und ebenso im Wesentlichen gasdicht mit dem Auffangtrichter 1 1 verbunden ist, ist über eine Schleuse 13 mit einer Transportleitung 14 verbunden, über die der Weitertransport des im Zwischenspeicher 12 gelagerten Guts erfolgt. Die Transportleitung 14 mündet in eine Trenneinrichtung 16 ein, bei der es sich beispielsweise um einen Sichter oder um einen Fliehkraftabscheider (Zyklon) handeln kann. In den Auffangtrichter 1 1 und die Transportleitung 14 münden

Gaszuleitungen 17, 18 ein, die in hier nicht gezeigter Weise mit einer Quelle für ein Inertgas, beispielsweise ein Edelgas, Stickstoff oder Kohlendioxid, verbunden sind.

Außerhalb der Extraktionskammer 3 ist der Druckbehälter 2 mit einer Zuleitung 20 und einer Ausleitung 21 für Kohlendioxid im flüssigen oder überkritischen Zustand verbunden. Die Zuleitung 20 ist mit einem Kohlendioxidtank 23 verbunden, in dem das Kohlendioxid im Ausführungsbeispiel im gasförmigen oder flüssigen Zustand gelagert wird. Um das im Kohlendioxidtank 23 gelagerte Kohlendioxid auf den gewünschten, flüssigen oder überkritischen Zustand zu bringen, ist stromab zum Kohlendioxidtank 23 eine Kompressionseinheit 24 vorgesehen. Die Kompressionseinheit 24 umfasst einen Kompressor 25 oder mehrere Kompressoren sowie einen oder mehrerer Wärmetauscher 26, in denen dem Kohlendioxid die vom Kompressor 25 zugeführte Kompressionswärme zumindest weitgehend entzogen wird. Bei dem Wärmetauscher 26 bzw. den Wärmetauschern handelt es sich beispielsweise um konventionelle Kältemaschinen oder um kryogene Kühleinrichtungen, bei denen der Wärmetausch mittels eines kondensierten Gases, beispielsweise verflüssigtem Stickstoff, erfolgt. Die mit dem Druckbehälter 2 strömungsverbundene Ausleitung 21 mündet stromab zum Druckbehälter 2 mit einer Entspannungsdüse 28 in einen Separator 29 ein. Durch die Entspannung an der Entspannungsdüse 28 geht das Kohlendioxid vom flüssigen bzw. überkritischen Zustand in den gasförmigen Zustand über und gibt dabei die in der Extraktionskammer 3 eingelösten Substanzen frei. Das gasförmige Kohlendioxid wird anschließend über eine Gaszuleitung 30 dem

Kohlendioxidtank 23 zugeführt, während die separierten Substanzen über eine Ableitung 31 abgeführt werden. Über eine Zuleitung 32 kann dem Kohlendioxidtank 23 zusätzliches Kohlendioxid zugeführt werden. Ventile 33, 34, 35 dienen zum Öffnen und Schleißen der Leitungen 17, 18, 20, 21 , 30, 31 , 32.

Beim Betrieb der Vorrichtung 1 wird der zu behandelnde Schleifschlamm bei geschlossener Schleuse 9 über den Aufgabetrichter 7 und die geöffnete Schleuse 6 in die Extraktionskammer eingefüllt. Anschließend wird die Schleuse 6 geschlossen und im Innern des Druckbehälters 2 der in der Zuleitung 20 herrschende Druck von über 60 bar - bevorzugt ein Druck oberhalb des kritischen Punktes von Kohlendioxid (74 bar) - hergestellt. Durch Einleitung von Kohlendioxid im flüssigen oder

überkritischen Zustand in den Druckbehälter 2 über die Zuleitung 20 erfolgt anschließend die Extraktion des eingefüllten Schleifschlamms. Das flüssige oder überkritische Kohlendioxid durchdringt die Wand 5 und kommt mit dem

Schleifschlamm in Kontakt. Aufgrund seiner guten Lösungseigenschaften löst sich im Schleifschlamm enthaltenes Öl bzw. PEG im Kohlendioxid fast vollständig auf.

Zurück bleibt ein Pulvergemisch aus einer siliziumreichen und einer

siliziumkarbidreichen Fraktion (im Folgenden: Si/SiC-haltiges Pulver). Die Ausbildung der Schleusen 6, 9 als Druckschleusen ermöglichen sowohl eine chargenweise Behandlung des Schleifschlammes, bei der jeweils eine vorgegebene Menge an Schleifschlamm eingefüllt, extrahiert und anschließend abgeführt wird, als auch eine kontinuierliche Zu- und Abführung von Schleifschlamm während des laufenden Extraktionsvorgangs. Das beladene Kohlendioxid wird im flüssigen bzw. überkritischen Zustand über die Ableitung 21 zum Separator 29 geleitet und dort an der Entspannungsdüse 28 auf einen Druck von beispielsweise 50 - 60 bar entspannt. Dabei geht das Kohlendioxid in den gasförmigen Zustand über, wobei die aufgenommenen Bestandteile, also etwa Öl oder PEG im Separator 29 zurückbleiben. Diese Bestandteile werden über die Ableitung 31 entnommen und können einer Wiederverwertung oder einer Entsorgung zugeführt werden. Das bei der Entspannung entstandene gasförmige Kohlendioxid wird dem Kohlendioxidtank 23 zugeführt, und steht somit wieder zur Verfügung, um in der Kompressionseinheit 24 erneut verflüssigt bzw. in den überkritischen Zustand versetzt und über Zuleitung 20 dem Druckbehälter 2 zugeführt zu werden. Durch diese Kreislaufführung des Kohlendioxids werden die Kosten für das Extraktionsmittel minimiert.

Nach einer Behandlungsdauer von typischerweise einigen Minuten werden die Ventile 33 geschlossen und der Druck im Druckbehälter 2 reduziert. Anschließend wird die Schleuse 9 geöffnet und das Si/SiC-haltige Pulver strömt in den

Zwischenspeicher 12 ein. Um zu verhindern, dass das Si/SiC-haltige Pulver mit Luftsauerstoff in Kontakt kommt, wird der Auffangtrichter 1 1 - und damit der

Zwischenspeicher 12 - zuvor über Leitung 17 mit Inertgas geflutet. Idealerweise weist dabei die sich bildende Inertgasatmosphäre im Innern des Auffangtrichters 1 1 bzw. des Zwischenspeichers 12 einen geringen Überdruck gegenüber

Umgebungsdruck auf, um das Eindringen von Luftsauerstoff über etwaige Leckagen zu verhindern. Im Zwischenspeicher 12 wird so viel Si/SiC-haltiges Pulver

aufgenommen, dass ein einwandfreier Betrieb der bevorzugt im kontinuierlichen Betrieb arbeitenden Trenneinrichtung 16 gewährleistet ist.

Das im Zwischenspeicher 12 gelagerte Si/SiC-haltige Pulver wird anschließend über die Transportleitung 14 der Trenneinrichtung 16 zugeführt. Auch die Transportleitung 18 wurde zuvor mittels Inertgas, das über die Gaszuleitung 18 eingespeist wurde, inertisiert und der darin enthaltende Sauerstoff zumindest weitestgehend verdrängt. Das über die Transportleitung 18 mit Überdruck herangeführte Inertgas kann auch zur Förderung des Si/SiC-haltigen Pulvers in der Transportleitung 14 herangezogen werden. In der Trenneinrichtung 16 erfolgt eine Auftrennung des aus Partikeln mit einer Größe von üblicherweise mit 1 bis 10 μιτι bestehenden Si/SiC-haltigen Pulvers in eine siliziumreiche bzw. siliziumkarbidarme Fraktion einerseits und eine

siliziumkarbidreiche und siliziumarme Fraktion andererseits. Handelt es sich bei der Trenneinrichtung 16 beispielsweise um einen Hochdruckzyklon, wird das Si/SiC- haltige Pulver zuvor mit einem Inertgas fluidisiert und dem Hochdruckzyklon zugeführt. Handelt es bei dem zu Fluidisierung benutzten Inertgas um Kohlendioxid, kann über eine Dichtevariation des Kohlendioxids sogar die Trennschärfe beeinflusst werden.

Als Trenneinrichtung 16 kann auch ein Sichter, insbesondere ein Hochdrucksichter, zum Einsatz kommen, bei dem die Trennung mithilfe eines Inertgasstroms erfolgt. Auch eine Folge mehrerer aufeinander folgender Trennschritte mit dem gleichen oder unterschiedlichen Verfahren kann zum Einsatz kommen, um eine noch höhere Reinheit der voneinander getrennten Fraktionen zu erzielen.

Die in der Trenneinrichtung 16 erzeugte siliziumreiche Fraktion wird in einem anschließenden Schritt (hier nicht gezeigt) - ebenfalls unter Inertgas - einem

Schmelzbad zugeführt und aufgeschmolzen. Verunreinigungen, wie restliches Siliziumkarbid oder Metalle, konzentrieren sich als Schlacke auf der Oberfläche auf und können abgeschöpft werden. Es verbleibt in der Schmelze hochreines Silizium, das insbesondere wieder zur Herstellung von Ingots verwendet werden kann. Das SiC kann ebenfalls in an sich bekannter Weise aufgearbeitet und wiederverwertet werden.

Bezugszeichenliste

1 . Vorrichtung

2. Druckbehälter

3. Extraktionskammer

4. C0 ₂ -durchlässige Wand

5. C0 ₂ -durchlässige Wand

6. Schleuse

7. Aufnahmetrichter

8.

9. Schleuse

10. -

1 1 . Auffangtrichter

12. Zwischenspeicher

13. Schleuse

14. Transportleitung

15. -

16. Trenneinrichtung

17. Gaszuleitung

18. Gaszuleitung

19. -

20. Zuleitung für Kohlendioxid

21 . Ausleitung für Kohlendioxid

22. -

23. Kohlendioxidtank

24. Kompressionseinheit

25. Kompressor

26. Wärmetauscher

27. -

28. Entspannungsdüse

29. Separator

30. Gaszuleitung

31 . Ableitung

32. Zuleitung

33. Ventile

34. Ventile

35. Ventile