以下、必要に応じて図面を参照しつつ、� ��発明の好適な実施形態について詳細に説明� ��る。なお、図面中、同一要素には同一符号� ��付すこととし、重複する説明は省略する。� ��た、上下左右等の位置関係は、特に断らな� ��限り、図面に示す位置関係に基づくものと� ��る。さらに、図面の寸法比率は図示の比率� ��限られるものではない。

 本発明の多孔性ポリマー成形物の製造方� ��は、ポリマー成形物上に複数の開口が形成� ��れた第1のマスクと、第1のマスクの平均開� �径よりも大きい平均開口径を有する開口が� �数形成された第2のマスクとをこの順に積層� ��る工程と、第2のマスク側からドライエッチ ングすることによりポリマー成形物に貫通孔 を形成する工程とを備えるものである。

 図1は、本発明の製造方法により得られる 多孔性ポリマー成形物の実施形態を示す斜視 図である。図1に示す多孔性ポリマー成形物1� ��、フィルム状を成しており、その厚さ方向� ��貫通孔3が複数形成されている。貫通孔3は� �それぞれ独立し規則的に配列されている。� �1に示す多孔性ポリマー成形物1は、図2に示� �工程により作製することができる。図2は、� ��発明に係る多孔性ポリマー成形物の製造方� ��の実施形態を斜視図により示す工程図であ� ��。まず、ポリマー成形物2、第1のマスク4及� ��第2のマスク6を準備する。(図2(a))。次に、� �リマー成形物2上に、第1のマスク4と、第2の� ��スク6とをこの順に積層する。(図2(b))。次い で、ドライエッチング装置8から第2のマスク6 上に反応性のガス等を照射してポリマー成形 物2をドライエッチングし、ポリマー成形物2� ��貫通孔を形成する(図2(c))。そして、第1及び 第2のマスクを除去し、貫通孔3が形成された� ��孔性ポリマー成形物1が製造される(図2(d))。

 上記ポリマー成形物2は、使用目的に応じ て各種ポリマーをフィルム状、シート状、板 状等に成形したものである。

 ポリマー成形物2は、ドライエッチングの 容易性の観点から、フィルム状であることが より好ましい。この場合の膜厚は0.1~500μmで� �ることが好ましく、1~200μmであることがより 好ましく、2~50μmであることがさらに好まし� �。ポリマーフィルムの膜厚が0.1μm未満では� �取り扱い難くなる傾向があり、500μmを超え� �と、エッチング時間が長くなり、微細な貫� �孔の形成がし難くなる傾向がある。

 ポリマー成形物2としては、例えば、ポリ イミド、ポリアミド、ポリエチレンテレフタ レート、ポリカーボネート、ポリグリコール 酸からなるポリマー成形物が挙げられる。ド ライエッチング性に優れる観点からポリマー 成形物2は、ポリグリコール酸からなる成形� �であることが好ましい。

 ポリグリコール酸(以下、「PGA」と表記す る)は、-(O-CH2-CO)-で表わされるグリコール酸� �り返し単位のみからなるグリコール酸の単� �重合体又は上記グリコール酸繰り返し単位� �有するグリコール酸共重合体を含むもので� �る。ポリグリコール酸がグリコール酸共重� �体である場合、上記繰り返し単位を、50質量 %以上含むことが好ましく、75質量%以上含む� �とがより好ましく、90質量%以上含むことが� �に好ましく、99質量%以上含むことが特に好� �しい。

 グリコール酸共重合体は、例えば、シュ� ��酸エチレン(即ち、1,4-ジオキサン-2,3-ジオン )、ラクチド類、ラクトン類(例えば、β-プロ� ��オラクトン、β-ブチロラクトン、β-ピバロ� ��クトン、γ-ブチロラクトン、δ-バレロラク� ��ン、β-メチル-δ-バレロラクトン、ε-カプロ ラクトン)、カーボネート類(例えば、トリメ� ��リンカーボネート)、エーテル類(例えば1,3-� ��オキサン)、エーテルエステル類(例えば、� �オキサノン)、アミド類(例えば、ε-カプロラ クタム)等の環状モノマー;乳酸、3-ヒドロキ� �プロパン酸、3-ヒドロキシブタン酸、4-ヒド� ��キシブタン酸、6-ヒドロキシカプロン酸等� �ヒドロキシカルボン酸又はそのアルキルエ� �テル;エチレングリコール、1,4-ブタンジオー ル等の脂肪族ジオール類、コハク酸、アジピ ン酸等の脂肪族ジカルボン酸類又はそのアル キルエステル類をコモノマーとして用い、グ リコール酸モノマーと共重合したものである 。上記コモノマーは、1種を単独で又は2種以� ��を混合して使用することができる。

 第1のマスク4及び第2のマスク6には、複数 の開口が形成されている。そして、本発明に おいては、第1のマスク4の平均開口径より、� ��2のマスク6の平均開口径が大きいことを特� �としている。平均開口径は、表面に形成さ� �た開口部の面積を計算し、その開口部面積� �持つ真円の直径として計算する。第2のマス� ��6の平均開口径は、第1のマスク4の平均開口� ��の5~100倍であることが好ましく、7~60倍であ� ��ことがより好ましく、8~20倍であることがさ らに好ましい。第2のマスク6の平均開口径が� ��1のマスク4の平均開口径の5倍未満又は100倍� ��超えると、本発明の効果を奏し難くなる。

 平均開口径を具体的な数値で表すと、第1 のマスクの平均開口径は、0.1~1000μmであるこ� ��が好ましく、1~100μmであることがより好ま� �い。第1のマスクの平均開口径が0.1μm未満で� ��、貫通孔の形成がし難くなり、100μmを超え� ��と、形成した貫通孔が大きくなりすぎる。

 第2のマスクの平均開口径は、200~5000μmで� ��ることが好ましく、400~2500μmであることが� �り好ましい。第2のマスクの平均開口径が200� �m未満では、第1のマスクとの開口径に対応し た貫通孔が得られない傾向があり、5000μmを� �えると、第1のマスクとポリマー成形物との� ��着性が低下する傾向がある。

 また、第1及び第2のマスクとして、平織り� �の網目を有する網を用いる場合は、平均開� �径の代わりに「メッシュ数」で表すことも� �きる。メッシュとは、1インチ(2.54×10 ⁴ μm)間に存在する網目を形成する糸の本数を� �い、メッシュ数が大きいほど網目が細かい� �とを意味する。図3に、平織りメッシュ10の� �式図を示す。図3中、糸と糸の間の距離を目� ��き12といい、下記式(1)に示すように、目開� �12は、メッシュ数と糸の線径14から算出する� ��とができる。この目開き12は、平均開口径� �ほぼ対応しており、目開きに基づき好適な� �ッシュ数を選択することができる。
 目開き(μm)=2.54×10 ⁴ /メッシュ数-線径(μm)   (1)

 第1及び第2マスクの材質としては、ポリ� �ー成形物とのエッチング時の選択比が大き� �ものが好ましく、ポリマー成形物の種類に� �じて、適宜選択できる。例えば、シリカ系� �含フッ素ポリマー系、金属系、ポリエステ� �系、ポリアミド系のマスクを用いることが� �きる。本発明においては、エッチング選択� �の観点から、第1及び第2のマスクが同じ材質 であることが好ましく、第1及び第2のマスク� ��、SUS等の金属系マスクであることがより好� ��しい。

 第1及び第2のマスクの厚さとしては、特� �限定されないが、第2のマスクは補強材とし� ��使用されるため、第1のマスクの厚さよりも 第2のマスクの厚さが厚いほうが好ましい。

 本発明におけるドライエッチングとは、� ��応性のガス、イオン、ラジカル又は研磨剤� ��によって、材料をエッチングする方法であ� ��。ドライエッチングとしては、プラズマエ� ��チング、イオンエッチング、集束イオンビ� ��ムエッチングなど、公知の様々な方法が利� ��できる。

 イオンエッチングは、ヘリウム(He)、アル ゴン(Ar)、ネオン(Ne)、及びその組合せを含む� ��活性ガス等で、固体表面をエッチングする� ��法である。本発明においては、垂直なエッ� ��ングが可能であり、エッチング形状の整っ� ��貫通孔を形成できることから、反応性イオ� ��エッチング(RIE)を用いることがより好まし� �、アルゴンガスを用いたアルゴンイオンエ� �チングであることがさらに好ましい。

 エッチング時間としては、30秒~36時間で� �ることが好ましく、1分~14時間であることが� ��り好ましく、1分~7時間であることが更に好� ��しい。エッチング時間が30秒未満では、貫� �孔を形成し難くなり、36時間を越えると、工 業的な生産に適合し難くなる。なお、エッチ ング時の真空度は、50mTorr以下であることが� �ましく、40mTorr以下であることがより好まし� ��。

 以上のように、本発明においては、上記� ��孔性ポリマー成形物の製造方法により、簡� ��なプロセスにより微細な貫通孔を形成した� ��孔体を得ることができる。

 以上、本発明をその実施形態に基づいて� ��細に説明した。しかし、本発明は上記実施� ��態に限定されるものではない。本発明は、� ��の要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可� ��である。