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Title:
METHOD FOR PRODUCING A METAL-CERAMIC SUBSTRATE, AND METAL-CERAMIC SUBSTRATE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2019/233769
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a method for producing metal-ceramic substrates (1), having the steps of: - providing a metal-ceramic base substrate (10), - providing the metal-ceramic base substrate (10) with a first individual identifying mark (21); - cutting (40) the metal-ceramic base substrate (10) into individual metal-ceramic substrates (1); and - providing at least one of the metal-ceramic substrates (1) with a second individual identifying mark (22).

Inventors:
REGER MARTIN (DE)
GOETZ MARKUS (DE)
Application Number:
PCT/EP2019/063274
Publication Date:
December 12, 2019
Filing Date:
May 23, 2019
Export Citation:
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Assignee:
ROGERS GERMANY GMBH (DE)
International Classes:
H05K1/02; H05K13/08; H05K1/03; H05K3/00; H05K3/02
Foreign References:
EP3185655A12017-06-28
US20090223435A12009-09-10
GB2343059A2000-04-26
EP3185655A12017-06-28
Attorney, Agent or Firm:
MÜLLER SCHUPFNER & PARTNER (DE)
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Claims:
Ansprüche

1. Verfahren zur Herstellung von Metall-Keramik-Substraten (1 ), umfassend

- Bereitstellen eines Metall-Keramik-Basissubstrats (10),

- Versehen des Metall-Keramik-Basissubstrats (10) mit einer ersten individuel len Kennzeichnung (21 );

- Zerteilen (40) des Metall-Keramik-Basissubstrats (10) in einzelne Metall-Kera- mik Substrate (1 ) und

- Versehen zumindest eines der Metall-Keramik-Substrate (1 ) mit einer zweiten individuellen Kennzeichnung (22).

2. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der ersten in- dividuellen Kennzeichnung (21 ) eine erste Information zugeordnet ist und der zweiten individuellen Kennzeichnung (22) eine zweite Information zugeordnet ist, wobei sich insbesondere die erste Information von der zweiten Information unterscheidet.

3. Verfahren gemäß Anspruch 2, wobei die erste Information Defektstellen im Metall-Keramik-Basissubstrat (1 ) betrifft.

4. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die zweite In- formationen

- eine Platzierung des Metall-Keramik-Substrats (1 ) im Metall-Keramik-Ba- sissubstrat (10) und/oder

- ein Materialspezifikationen eines für die Herstellung verwendeten Metalls und/oder einer verwendeten Keramik und/oder

- eine Qualität des Metall-Keramik-Substrats (1 )

betrifft.

5. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste indi viduelle Kennzeichnung (21 ) entfernt wird.

6. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine dritte in- dividuelle Kennzeichnung (23) am Ausgangsmaterial (11 , 12) zur Bildung der Metall-Keramik-Basissubstrat (10) ausgelesen wird. 7. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die ersten In- formationen bei der Strukturierung (30) der Metallisierungsschicht (12) berück- sichtigt werden.

8. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste indi- viduelle Kennzeichnung (21 ) und/oder die zweite individuelle Kennzeichnung (22) durch Direktbelichtung erfolgt und/oder die zweite individuelle Kennzeich- nung (22) beim Bilden der strukturierten Metallisierungsschicht (12) ausgebil- det wird. 9. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste

Kennzeichnung (21 ) auf oder in der Nähe einer Fehlstelle auf dem Metall-Ke- ramik-Basissubtrat (10) platziert wird.

10. Metall-Keramik-Substrat, mit einem Metall-Keramik-Basissubstrat (10), das mindestens zwei Metall-Keramik-Substrate (1 ) aufweist,

dadurch gekennzeichnet,

dass das Metall-Keramik-Basissubstrat (10) eine erste individuelle Kennzeich- nung (21 ) und mindestens eines der mindestens zwei Metall-Keramik-Sub- strate (1 ) eine zweite individuelle Kennzeichnung (22) aufweist.

Description:
Verfahren zur Herstellung eines Metall-Keramik-Substrats und Metall-Kera- mik-Substrat

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Metall-Kera- mik-Substrats sowie ein Metall-Keramik-Substrat.

Metall-Keramik-Substrate sind beispielsweise als Leiterplatten oder Platinen aus dem Stand der Technik hinlänglich bekannt. Typischerweise werden auf einer Bauteilseite des Metall-Keramik-Substrats Anschlussflächen für elektrische bzw. elektronische Bauteile und Leiterbahnen angeordnet, wobei die elektrischen Bau- teile und Leiterbahnen zu elektrischen Schaltkreisen zusammenschaltbar sind. Wesentliche Bestandteile der Metall-Keramik-Substrate sind eine Isolations- schicht, die aus einer Keramik gefertigt ist, und eine an die Isolationsschicht ange- bundene Metallschicht. Wegen ihren vergleichsweise hohen Isolationsfestigkeiten haben sich aus Keramik gefertigte Isolationsschichten als besonders vorteilhaft er- wiesen. Durch eine Strukturierung der Metallschicht können dabei Leiterbahnen und/oder Anschlussflächen für die elektrischen bzw. elektronischen Bauteile reali- siert werden. Aus der EP 3 185 655 A1 ist ein Verfahren bekannt, bei dem ein unstrukturiertes Metall-Keramik-Substrat bereitgestellt wird und das Metall-Keramik-Substrat mit einer individualisierten Codierung versehen wird. Mittels der Codierung lassen sich dem Metall-Keramik-Substrat Informationen zuordnen, auf die beim Auslesen der Codierung zurückgegriffen werden kann. Beispiele für Informationen sind solche über Fehler am Metall-Keramik-Substrat, ein Herstellungsdatum oder eine Char- gennummer. Ausgehend von diesem Stand der Technik macht es sich die vorliegende Erfin- dung zur Aufgabe, die Herstellung von Metall-Keramik-Subtraten weiter zu verbes- sern, insbesondere in Hinblick auf deren Rückverfolgung bzw. die Qualität der ge- fertigten Metall-Keramik-Substrate.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Bildung eines Metall-Keramik- Substrats gemäß Anspruch 1 sowie ein Metall-Keramik-Substrat gemäß Anspruch 10. Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteran- sprüchen sowie der Beschreibung und den beigefügten Figuren.

Erfindungsgemäß ist ein Verfahren zur Herstellung von Metall-Keramik-Substraten vorgesehen, umfassend

- Bereitstellen eines unstrukturierten Metall-Keramik-Basissubstrats,

- Versehen des Metall-Keramik-Basissubstrats mit einer ersten individuellen Kennzeichnung,

- Zerteilen des Metall-Keramik-Basissubstrats in einzelne Metall-Keramik-Sub- strate und

- Versehen zumindest eines der Metall-Keramik-Substrate mit einer zweiten individuellen Kennzeichnung.

Gegenüber dem Stand der Technik ist es erfindungsgemäß vorgesehen, dass die erste Kennzeichnung auf dem Metall-Keramik-Basissubstrat vorgesehen ist und die zweite Kennzeichnung auf den einzelnen Metall-Keramik-Substraten, die aus dem gemeinsamen Metall-Keramik-Basissubstrat hervorgehen. Durch die individu- elle zweite Kennzeichnung der zerteilten Metall-Keramik-Substrate lassen sich diese jeweils einzeln zurückverfolgen. Insbesondere gestattet es die Nutzung der ersten und der zweiten Kennzeichnung, dass die zweite Kennzeichnung zur Rück- verfolgung des einzelnen Metall-Keramik-Substrats genutzt werden kann, während die erste Kennzeichnung als Informationsquelle im Herstellungsverfahren genutzt werden kann. Demnach müssen nicht alle Informationen einer einzelnen Kenn- zeichnung zugeordnet werden, sondern sie lassen sich bedarfsabhängig entweder der ersten Kennzeichnung auf dem Metall-Keramik-Basissubstrat oder der zweiten Kennzeichnung auf dem Metall-Keramik-Substrat zuordnen. Außerdem reicht es aus, dass das gesamte Metall-Keramik-Substrat mit einer einzelnen, individuali sierten ersten Kennzeichnung versehen wird. Vorzugsweise ist die Anzahl der ers- ten Kennzeichnungen zumindest geringer als die Anzahl der zweiten Kennzeich- nungen. Dadurch lässt sich mit Vorteil die Anzahl der durchgeführten Kennzeich- nungen reduzieren, ohne dass auf eine zweite Kennzeichnung verzichtet werden muss, mit der sich die einzelnen Metall-Keramik-Substrate zurückverfolgen lassen. Insbesondere ist es vorgesehen, dass das Metall-Keramik-Basissubstrat unstruk- turiert ist und vorzugsweise vor dem Zerteilen zur Bildung der Metall-Keramik-Sub- strate strukturiert wird.

Als erste und/oder zweite Kennzeichnungen sind insbesondere mechanische oder optisch auslesbare Codierungen zu verstehen, wie z. B. ein Loch- oder Strichcode oder ein QR-Code. Dabei ist die Nutzung von sichtbarem oder nicht-sichtbarem Licht, beispielsweise Infrarotlicht, denkbar. Es ist aber auch vorstellbar, dass die erste und/oder zweite Kennzeichnung als Aufkleber realisiert ist, wobei auf dem Aufkleber die erste Kennzeichnung und/oder zweite Kennzeichnung aufgedruckt ist. Auch elektronisch ablesbare Kennzeichnungen, wie RFID-Codes, sind denk- bar.

Grundsätzlich ist unter einem Metall-Keramik-Basissubstrat eine großflächige Me- tall-Keramik Schichtstruktur zu verstehen, aus der während der Herstellung, insbe- sondere am Ende des Herstellungsprozesses, mehrere Metall-Keramik-Substrate hervorgehen. Solche Metall-Keramik-Basissubstrate werden auch als Masterkar- ten bezeichnet. Vorzugsweise ist es vorgesehen, dass alle Metall-Keramik-Sub- strate jeweils mit einer individuellen zweiten Kennzeichnung versehen werden. Es ist aber auch vorstellbar, dass nur solche Metall-Keramik-Substrate eine zweite Kennzeichnung erhalten, die eine Mindestqualität aufweisen. Dadurch wird mit Vorteil auf eine (zweite) Kennzeichnung solcher Metall-Keramik-Substrate verzich- tet, die ohnehin aussortiert werden würden. Für den Fachmann ist es offensicht- lich, dass sich die individualisierten zweiten Kennzeichnungen von verschiedenen Metall-Keramik-Substraten aus demselben Metall-Keramik-Basissubstrate unterei- nander unterscheiden. Dadurch lassen sich die Metall-Keramik-Substrate individu ell zurückverfolgen, da jedes vereinzelte Metall-Keramik-Substrat seine eigene in- dividuelle zweite Kennzeichnung trägt.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist es vor- gesehen, dass der ersten individuellen Kennzeichnung eine erste Information zu- geordnet ist und der zweiten individuellen Kennzeichnung eine zweite Information zugeordnet ist, wobei sich insbesondere die erste Information von der zweiten In- formation unterscheidet. Vorzugsweise sind die ersten Informationen auf einer Da- tenbank und die zweiten Informationen auf einer weiteren Datenbank hinterlegt o- der erste und zweite Information sind auf einer gemeinsamen Datenbank hinter- legt. Beispielsweise ist zumindest die weitere Datenbank auf einem Server eines Netzwerks oder einer Cloud zugänglich, so dass ein Nutzer des gefertigten Metall- Keramik-Substrats unter Verwendung der zweiten Kennzeichnung bzw. nach ei- nem Auslesen der zweiten Kennzeichnung Zugriff auf die zweiten Informationen erhält. Hier lassen sich mit Vorteil weitere Informationen bezüglich des Metall-Ke- ramik-Substrats nachtragen bzw. ergänzen. Weiterhin ist es vorzugsweise vorge- sehen, dass während der Herstellung des Metall-Keramiksubstrats, insbesondere während der Zerteilung des Metall-Keramik-Basissubstrats, die zweite Information auf der weiteren Datenbank automatisch hinterlegt wird. Hierzu ist die Vorrichtung zur Bildung der zweiten Kennzeichnung mit der weiteren Datenbank verbunden. Weiterhin ist es vorstellbar, dass die Datenbank, auf der die Zuordnung zwischen der ersten Kennzeichnung und der ersten Information hinterlegt ist, im Gegensatz zur weiteren Datenbank nicht zugänglich ist, sondern ausschließlich für den Ge- brauch bei der Herstellung des Metall-Keramik-Substrats benutzt wird.

In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist es vorgesehen, dass die erste Information Defektstellen im Metall-Keramik-Basissubstrat betrifft. Insbesondere lassen sich so Spezifikationen über die Defektstelle, wie z. B. deren Position auf der Metall-Keramik-Basiskarte, den Typ des Defekt und/oder die Größe bzw. Form des Defekts hinterlegen, auf die im späteren Fertigungsverfah- ren Rücksicht genommen werden kann. Beispielsweise handelt es sich bei den Defekten bzw. Fehlern um Gaseinschlüsse zwischen Metallschicht und Keramik- schicht oder Materiafehler in der Metallschicht bzw. der Keramikschicht. Weiterhin ist es vorstellbar, dass das Metall-Keramik-Basissubstrat nach seiner Fertigung in einem DCB-Ofen, mittels eines entsprechenden Scanners bzw. einer entspre- chenden Kamera auf Fehler untersucht wird und die identifizierten Fehler mittels des Scanners als erste Informationen auf der Datenbank hinterlegen. Flierzu ist der Scanner mit der Datenbank zum Austausch von Daten verbunden. Es ist auch vorstellbar, dass die Fehler manuell identifiziert werden und über eine Mensch- Maschinen-Schnittstelle dokumentiert und als erste Informationen abgespeichert werden.

Vorzugsweise ist es vorgesehen, dass die zweite Informationen

- eine Anordnung bzw. Platzierung des Metall-Keramik-Substrats im Metall- Keramik-Basissubstrat und/oder

- ein Materialspezifikationen eines für die Herstellung verwendeten Metalls und/oder einer verwendeten Keramik und/oder

- eine Qualität des Metall-Keramik-Substrats betrifft. Vorstellbar sind als zweite Informationen beispielsweise auch eine Char- gennummer, ein Herstellungsdatum und/oder eine Herstellungszeit. Mittels dieser zweiten Informationen lässt sich das vereinzelte Metall-Keramik-Substrat individu ell zurückverfolgen. Insbesondere die Platzierung bzw. Anordnung des Metall-Ke- ramik-Substrats im Metall-Keramik-Basissubtrat ist insofern hilfreich, als dass bei spielsweise ein später festgestellter Fehler am fertigen Metall-Keramik-Substrat als Hinweis auf einen Fehler in einem benachbarten Metall-Keramik-Substrat die nen kann. Besonders bevorzugt ist es vorgesehen, dass die zweite Information frei ist von ersten Informationen, d. h. die ersten Informationen sind keine Teilmenge der zweiten Informationen. Dadurch lassen sich Informationen, die ausschließlich für die Fertigung des Metall-Keramik-Substrats dienen, von solchen trennen, die ausschließlich zur Rückverfolgung des vereinzelten Metall-Keramik-Substrats die nen .

In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist es vorgesehen, dass die erste individuelle Kennzeichnung entfernt wird. Beispielsweise wird die erste Kennzeichnung beim Strukturieren der Metallschicht entfernt. Dadurch nimmt die erste Kennzeichnung, die im Wesentlichen ausschließlich für das Her- stellungsverfahren benötigt wird, keinen Teil der Metallschicht am gefertigten Me- tall-Keramik-Substrat ein. Entsprechend muss kein Platz auf der Metallschicht für die erste Kennzeichnung am fertigen Metall-Keramik-Substrat freigehalten wer- den.

Insbesondere ist es vorgesehen, dass eine dritte individuelle Kennzeichnung am Ausgangsmaterial zur Bildung des Metall-Keramik-Basissubstrats ausgelesen wird. Die dritte individuelle Kennzeichnung ist in vorteilhafter Weise einer dritten Information zugeordnet, die das Ausgangsmaterial, beispielsweise in Hinblick auf die Materialzusammensetzung, Reinheit oder Vergleichbares, weiter spezifiziert. Vorzugsweise wird die dritte Information zur Bildung der zweiten Information ge- nutzt, d. h. die dritte Information ist Teilmenge der zweiten Information. Dadurch ist eine Rückverfolgung bis zu den Ausgangsmaterialen mittels des fertigen Metall- Keramik-Substrats möglich.

Zweckmäßigerweise ist es vorgesehen, dass die ersten Informationen beim Struk- turieren der Metallisierungsschicht berücksichtigt werden. Insbesondere lässt sich die Platzierung der Strukturierung auf dem Metall-Keramik-Basissubstrat verschie- ben, verdrehen oder bestimmte Abschnitte lassen sich modifizieren, um zu verhin- dern, dass der Fehler im späteren gefertigten Metall-Keramik-Substrat dessen Funktionalität beeinträchtigt. Es ist auch denkbar, dass auf ein Strukturieren ver- zichtet wird, wenn der Fehler keine sinnvolle Strukturierung zulässt. Dadurch lässt sich in vorteilhafter Weise Energie sparen, die andernfalls für das Realisieren ei- ner Strukturierung aufgebracht werden muss, die sich später als nutzlos erweist. In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist es vorgesehen, dass die erste individuelle Kennzeichnung und/oder die zweite individuelle Kenn- zeichnung durch Direktbelichtung erfolgt und/oder die zweite individuelle Kenn- zeichnung beim Bilden der strukturierten Metallisierungsschicht ausgebildet wird. Mittels der Direktbelichtung ist es insbesondere möglich, schnell eine individuali sierte Kennzeichnung vorzunehmen. Durch die Realisierung der zweiten Kenn- zeichnung während des Strukturierens wird in vorteilhafter Weise Zeit gespart.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist es vorge- sehen, dass die erste Kennzeichnung auf oder in der Nähe einer Fehlstelle auf dem Metall-Keramik-Basissubtrat platziert wird. Eine solche Platzierung erweist sich insbesondere deswegen als vorteilhaft, weil dadurch beim Abtragen der Me- tallschicht im Bereich der Fehl- bzw. Defektstellen, automatisch die erste Kenn- zeichnung mitabgetragen werden kann. Vorzugsweise wird die erste Kennzeich- nung auf und/oder in der Nähe der größten, d. h. flächenmäßig größten, Fehlstelle auf dem Metall-Keramik-Basissubstrat platziert. Insbesondere kann die zweite Kennzeichnung dann auch zur Orientierung auf dem Metall-Keramik-Basissubstrat genutzt werden.

Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Metall-Keramik-Sub- strat, hergestellt mit einem erfindungsgemäßen Verfahren. Alle für das erfindungs- gemäße Verfahren beschriebenen Merkmale und deren Vorteile lassen sich sinn- gemäß ebenfalls auf das erfindungsgemäße Metall-Keramik-Substrat übertragen und andersherum.

Es zeigt:

Fig-1 : schematische Darstellung eines Blockdiagramms zur Illustration eines beispielhaften Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfin- dung. In Figur 1 ist schematisch ein Blockdiagramm zur Illustration eines beispielhaften Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt, mit dem Metall-Kera- mik-Substrate 1 hergestellt werden. In der Figur 1 sind die Metall-Keramik-Sub- strate bzw. Metall-Keramik-Basissubstrate teils in einer Draufsicht und teils in ei- ner Seitenansicht dargestellt. Solche Metall-Keramik-Substrate 1 dienen vorzugs- weise als Träger von elektronischen bzw. elektrischen Bauteile, die an das Metall- Keramik-Substrat 1 anbindbar sind. Wesentliche Bestandteile eines solchen Me- tall-Keramik-Substrats 1 sind eine sich entlang einer Haupterstreckungsebene HSE erstreckende Keramikschicht 11 und eine an der Keramikschicht 11 ange- bundene Metallschicht 12. Die Keramikschicht 11 ist aus mindestens einem eine Keramik umfassenden Material gefertigt. Die Metallschicht 12 und die Keramik- schicht 11 sind dabei entlang einer senkrecht zur Haupterstreckungsebene HSE verlaufenden Stapelrichtung S übereinander angeordnet und über eine Anbin- dungsfläche miteinander stoffschlüssig verbunden. Im gefertigten Zustand ist die Metallschicht 12 zur Bildung von Leiterbahnen oder Anbindungsstellen für die elektrischen Bauteile strukturiert.

Zur Bildung des Metall-Keramik Substrats 1 ist es vorgesehen, dass zunächst das Metall für die Metallschicht 12 und die Keramik für die Keramikschicht 12 als Aus- gangsstoffe bereitgestellt werden. Mittels eines DCB-Verfahrens 20 werden an- schließend in einem Ofen 14 Metallschicht 12 und Keramikschicht 11 miteinander stoffschlüssig verbunden und ein Metall-Keramik-Basissubstrat 10 bereitgestellt. Infolge von Materialfehlern oder wegen anderer Gründe können im Metall-Kera- mik-Basissubstrat 11 Fehler 7 bzw. Defektstellen, wie z. B Lunker oder Vergleichs- bares, auftreten. Beispielsweise werden diese Fehler 7 mittels einer dazu geeigne- ten Kamera 4 identifiziert. Mittel einer ersten Kennzeichnung 21 , mit der insbeson- dere die Metallschicht 11 des Metall-Keramik-Basissubstrats 10 versehen wird, lassen sich erste Informationen über die registrierten Fehler 7 individuell kenn- zeichnen. Beispielsweise handelt es sich bei der ersten Kennzeichnung 21 um ei- nen Strichcode oder einen QR-Code und zu der ersten Kennzeichnung 21 sind in einer Datenbank die registrierten Fehler hinterlegt. Auf diese Weise kann zu einem späteren Zeitpunkt die erste Kennzeichnung 21 mittels eines Lesegeräts ausgele- sen werden und die entsprechende Information über den Fehler 7 lässt sich im weiteren Verfahren zur Herstellung des Metall-Keramik-Substrats 1 nutzen. Bei- spielsweise umfassen die Fehler bezogene erste Informationen eine Anordnung bzw. Lokalität des Fehlers auf dem Metall-Keramik-Basissubstrat 11 - beispiels weise angegeben in basissubstratspezifischen Koordinaten - , eine Klassifizierung (Typ; Form ...) des Fehlers 7 und/oder eine Größe des Fehlers 7. Diese erste In- formationen lassen sich mit Vorteil beispielsweise beim Strukturieren 30 des Me- tall-Keramik - Substrats nutzen, da so insbesondere vermieden werden kann, dass der Fehler 7 in einem Bereich, in dem im gefertigten Metall-Keramik-Substrat 1 eine Metallisierung, beispielsweise als Leiterbahn oder als Anschlussbereich für ein elektronisches Bauteil, vorgesehen ist, liegt. Mit anderen Worten: Anhand der ersten Informationen lässt sich die Strukturierung der Metallschicht 12, insbeson- dere der Metallschicht 12 des Metall-Keramik-Basissubstrats 10, so konzipieren bzw. auslegen, dass am gefertigten Metall-Keramik-Substrat 1 der Defekt bzw. der Fehler 7 nicht Teil einer relevanten Struktur der Metallschicht 12 ist. Es ist auch vorstellbar, dass die Platzierung der Metall-Keramik-Substrate 1 so gewählt wird, dass der Fehler ausschließlich auf einem der Metall-Keramik-Substrate 1 liegt, so dass die Anzahl der auszuschließenden Metall-Keramik-Substrate 1 reduziert wer- den kann. Beispielsweise ist es vorstellbar, dass die geplante Platzierung der Strukturierung bezüglich des Metall-Keramik-Basissubstrat 10 verschoben, ausge- tauscht und/oder verdreht wird, um den Bereich der Metallschicht 12 mit dem Feh- ler beim Strukturieren 30 zu entfernen. Damit lässt sich in vorteilhafter weise ein Ausschuss an unbrauchbaren Metall-Keramik-Substraten 1 in vorteilhafter weise reduzieren. Beispielsweise erfolgt die individuelle erste Kennzeichnung 21 mittels einer Direktbeleuchtung.

Weiterhin ist es bevorzugt vorgesehen, dass das Metall-Keramik-Basissubstrat 10 eine einzelne erste Kennzeichnung 21 trägt, der als erste Information alle Fehler auf dem gesamten Metall-Keramik-Basissubstrat 10 zugeordnet sind. Nach dem Ausstatten des Metall-Keramik-Basissubstrats 10 mit der ersten Kennzeichnung 21 ist es vorgesehen, dass das Metall-Keramik-Basissubstrat 10 in die einzelnen Metall-Keramik-Substrate 1 zertrennt wird. Beispielsweise erfolgt ein Zerteilen 40 der einzelnen Metall-Keramik-Substrate 1 entlang einer Sollbruchstelle 18 durch ein Brechen und/oder unter Unterstützung von Laserlicht. Im dargestellten Beispiel wird das Metall-Keramik-Basissubstrat 10 in neun Metall-Keramik-Substrate 1 un- terteilt. Dabei ist es vorgesehen, dass jedes der vereinzelten Metall-Keramik-Sub- strate 1 mit einer zweiten Kennzeichnung 22 versehen wird. Dabei sind der zwei- ten Kennzeichnung 22 insbesondere zweite Informationen zugeordnet. Vorzugs- weise ist es dabei vorgesehen, dass sich die zweiten Informationen von den ers- ten Informationen unterscheiden und nicht über Fehler bzw. Defekte informieren. Stattdessen ist es bevorzugt vorgesehen, dass die zweite Information beispiels- weise eine Platzierung des Metall-Keramik-Substrats 1 im Metall-Keramik-Ba- sissubstrat, Materialspezifikationen des Ausgangsmaterials, d. h. Materialspezifi- kationen zum verwendeten Metall und/oder zur verwendeten Keramik, ein Herstel- lungsdatum, eine Chargennummer und/oder eine Qualitätskennzeichnung betrifft. Dadurch lassen sich die entsprechenden zweiten Informationen mittels der zwei- ten Kennzeichnung am fertigen Metall-Keramik-Substrats 1 ausmachen. Vorzugs- weise dient die zweite Kennzeichnung 22 zur Rückverfolgung des Metall-Keramik -Substrats 1.

Vorzugsweise ist es vorgesehen, dass die Zuordnung zwischen der zweiten Kenn- zeichnung 22 und den zweiten Informationen in einer weiteren Datenbank gespei- chert wird. Dabei ist es insbesondere vorgesehen, dass die weitere Datenbank für Dritte zugänglich ist und beispielsweise auf einem Server eines Netzwerks oder ei- ner Cloud hinterlegt ist. Dadurch können spätere Nutzer des gefertigten Metall-Ke- ramik - Substrats 1 die zweiten Informationen auf einfache Weise beziehen. Au- ßerdem ist es möglich, die zweiten Informationen zu einem späteren Zeitpunkt zu ergänzen, beispielsweise wenn sich nach der Fertigung noch eine weitere rele- vante Erkenntnis über das gefertigte Metall-Keramik-Substrats 1 ergibt.

Die zweite Kennzeichnung 22 kann dabei als optisch erkennbare Kennzeichnung, beispielsweise in Form eines Strichcodes oder eines QR-Codes realisiert sein. Grundsätzlich sind aber auch alle anderen Formen von zweiten Kennzeichnungen 22 denkbar, die beispielsweise optisch, mit sichtbaren oder nicht-sichtbaren Licht, auslesbar sind. Denkbar ist auch dass die zweite Kennzeichnung 22 während des Strukturierens 30 der Metallschicht 12, beispielsweise durch eine Direktbelichtung realisiert wird, oder die zweite Kennzeichnung 12 wird auf das einzelne Metall-Ke- ramik-Substrate 1 aufgeklebt.

Weiterhin ist es vorzugsweise vorgesehen, dass das Ausgangsmaterial, d. h. das Metall der Metallschicht 11 und die Keramik der Keramikschicht 12, mit einer drit ten Kennzeichnung 23 versehen ist. Der dritten Kennzeichnung 23 ist vorzugs- weise eine dritte Information zugeordnet. Die dritte Information umfasst insbeson- dere Materialspezifikationen, wie z. B. eine detaillierte Materialzusammensetzung und/oder eine Chargennummer, die eine eindeutige Rückverfolgung gestattet. Vorzugsweise ist die dritte Information Teil der zweiten Information bzw. wird auto- matisch in die zweite Information übertragen. Beispielsweise wird die dritte Kenn- Zeichnung 23 am Ausgangsmaterial ausgelesen und in die zweite Information, hin terlegt auf der weiteren Datenbank, integriert. Dadurch lassen sich in vorteilhafter Weise alle Herstellungsinformationen am fertigen Metall-Keramik-Substrat 1 er- kennen und zurückverfolgen.

Bezuqszeichen:

I Metall-Keramik-Substrat

4 Kamera

7 Fehler

10 Metall-Keramik-Basis-Substrat

I I Keramikschicht

12 Metallschicht

14 Ofen

18 Sollbruchstelle

20 DCB-Verfahren

21 erste individuelle Kennzeichnung

22 zweite individuelle Kennzeichnung

23 dritte individuelle Kennzeichnung 30 Strukturieren

40 Zerteilen