Licht wird in der Technik als berührungslos und zerstörungsfrei arbeitende Sonde zur Messung einer Vielzahl von Probeneigenschaften benutzt. Dabei wird die Änderung von charakteristischen Eigenschaften der Strahlung nach der Wechselwirkung mit der Probe ausgenutzt, wie z. B. der Reflexion oder Transmission. In der Polarimetrie und Ellipsometrie macht man sich dagegen die in den Polarisationseigenschaften enthaltenen Informationen bzw. deren Änderungen infolge der Probenwechselwirkung zunutze.

Bei vollständig polarisiertem Licht sind dieses die Elliptizität, die Lage der Hauptachse der Polarisationsellipse im Raum (Azimuth) und der Drehsinn des Feldstärkevektors. Für partiell polarisiertes Licht kommt noch der Polarisationsgrad hinzu. Diese Größen werden vollständig durch die vier Elemente des Stokesvektors, die sogenannten Stokesparameter erfaßt (siehe R.

M. Azzam, Bashara, Ellipsometry and Polarized Light, North Holland, Amsterdam. 1988). Geräte zur Messung der Parameter von polarisiertem Licht nennt man Polarimeter. Eine Vielzahl von Meßaufgaben kann mit Hilfe von vollständig polarisiertem Licht erledigt werden, wobei der Drehsinn des Feldstärkevektors nicht bekannt sein muß. Es genügt dann die Bestimmung von Elliptizität und Azimuth.

Zur Bestimmung von Komponenten des Stokesvektors werden häufig Anordnungen mit mechanisch bewegten Analysatoren bzw. Phasenschiebern (Retarder) benutzt. Systeme mit bewegten Teilen haben immer den Nachteil, daß sie langsam arbeiten, störanfällig, teuer und relativ groß sind. Dieses ist insbesondere fur Anwendungen in der Prozeßkontrolle ungünstig : Hohe Meßgenauigkeit, Zuverlässigkeit, Kosteneffizienz und Flexibilität beim Einbau in Fertigungslinien spielen eine immer größere Rolle.

Daher wurde in EP 0 632 256 Al und US 5,502,567 ein sehr kleines, sehr schnell arbeitendes Polarimeter ohne bewegte Teile vorgeschlagen. Es beruht auf einem polarisierenden Schichtsystem, welches auf der Mantelfläche eines Glaskegels abgeschieden wird. Der beschichtete Kegel wird dann entlang der optischen Achse des Systems über einem kreisförmigen Detektorarray angeordnet, so daß eine eindeutige Zuordnung der Winkelsektoren des polarisierenden Kegels und den Detektorelementen entsteht. Diese Anordnung ist sehr klein, vermeidet jegliche Bewegung und kann infolge ihrer parallelen Arbeitsweise sehr schnell ausgelesen werden.

Ein Nachteil ist jedoch die strenge Monochromasie dieses Kegelpolarimeters, weil das polarisierende Schichtsystem ein Schmalbandfilter ist, der nur in einem sehr engen Spektralbereich die gewünschte Selektivität für eine Polarisation besitzt. Spektrale Anwendungen oder der Wechsel auf andere als die Designwellenlänge sind somit ausgeschlossen.

Nachteilig ist auch die technologisch aufwendige Herstellung des polarisierenden Schichtsystems. So hat die Beschichtung unter einem sehr steilen Winkel zu erfolgen. Außerdem ist eine hohe Homogenität der Schichtparameter auf der Mantelfläche gefordert. Diese Anforderungen können nicht mit gängigen Beschichtungsanlagen, die fur senkrechte Beschichtungsgeometrien aufgelegt sind, erfüllt werden.

Ein weiterer Nachteil ist, daß mit dieser Anordnung nur zwei Polarisationsparameter (Elliptizität und Azimuth) gemessen werden können.

Die Ermittlung des kompletten Satzes der Stokesparameter erfordert weitere Messungen unter Einbeziehung von Retardern, wie beispielsweise in P. S.

Hauge"Recent Developments in Instrumentation in Ellipsometry", Surface Science, 96 (1989) 108-140 diskutiert wird.

Weiterhin wurde in der EP 0 632 256 A1 bzw. US 5,502,567 eine Variante für Miniaturpolarimeter auf der Basis einer zirkularen Anordnung von metallischen Gittern vorgeschlagen. Praktisch wurden nur Polarisationsgrade von 3 erreicht. Diese geringen Werte genügen nicht für Anwendungen in der quantitativen Polarimetrie, wo man für die Erzielung von hohen Meßgenauigkeiten gewöhnlich Bauelemente mit Polarisationsgraden > 10 000 einsetzt.

Die Ursache für den relativ geringen Polarisationsgrad bei Gitterpolarisatoren ist die selektive Reflexion der parallel zu den Gitterlinien schwingenden Komponenten des elektrischen Feldes. Da es sich damit um einen Oberfldcheneffekt handelt, kann pro Flächeneinheit nur ein endlicher Polarisationsgrad erreicht werden. So wurden bei einer Wellenlänge von 670 nm für ein Gitter mit einer Gitterkonstanten von 100 nm ein theoretisch erreichbarer Polarisationsgrad von ca. 100 ermittelt. Ein solches elektronenlithografisch hergestelltes Gitter liefert praktisch sogar nur Werte von 2 bis 3 (siehe B. Stenkamp et al."Grid Polarizer for the Visible Spectral Region", SPIE Proceedings Vol 2213).

Der theoretisch mögliche Polarisationsgrad von Gitterpolarisatoren hängt weitgehend vom Verhältnis der Gitterkonstanten zur Wellenlänge ab. Für eine optimale Wirkung sollte die Wellenlänge größer als die Gitterkonstante sein.

Im sichtbaren Spektralbereich bedeutet dies Gitterkonstanten unter 100 nm, was schwierig herstellbar ist. So ist für die Realisierung dieser Anordnung der Einsatz der Elektronenstrahllithografie in Verbindung mit aufwendigen- dünnschichttechnologischen Prozessen erforderlich. Beides ist mit sehr hohen Kosten verbunden. Daher wurden solche Gitterpolarisatoren bisher hauptsächlich für Anwendungen im Infraroten hergestellt, wo bei Wellenlängen von einigen lOm bis lOOm die konventionelle Photolithografie mit einer Auflösung von ca. lttm eingesetzt werden kann.

Weiterhin wurde in der EP 0 632 256 A1 bzw. der US 5,502, 567 eine Variante auf der Basis von polarisierenden Wellenleitern vorgeschlagen, die senkrecht auf den Detektorflächen münden. Diese Variante liefert zwar theoretisch einen sehr hohen Polarisationsgrad, nachteilig ist jedoch die zu erwartende außerordentlich geringe Transmission dieser Anordnung infolge des geringen Flachenfullgrades und der mit der Einkopplung der Welle in die Wellenleiter verbundenen hohen Einkoppelverluste.

Aus der US 4,158,506 ist eine Anordnung mit 6 rechteckigen nebeneinander angeordneten Analysatorelementen mit vorgegebener Polarisationsrichtung bekannt, wovon 2 Elemente doppelt vorkommen und zusätzlich ein X/4- Plättchen aufweisen. Auf welchem Prinzip die Analysatorelemente beruhen, ob es sich z. B. um Gitter oder dergleichen handelt, wird nicht mitgeteilt.

Die Asymmetrie der Anordnung hat jedoch gravierende Nachteile in der praktischen Anwendung. Für die Anwendungen in der Ellipsometrie werden gut kollimierte Strahlen verwendet. Die Intensitätsverteilung ist jedoch stets inhomogen. Sie klingt gewöhnlich nach außen ab und verläuft häufig gaußförmig. Trifft ein solcher Strahl auf die in der US 4,158,506 vorgeschlagene asymmetrische Anordnung aus 6 Segmenten auf, so kommt es in den Detektoren zu einer Signalverteilung, die nicht nur vom Polarisationszustand, sondern auch von der Position der Achse des Strahls auf der Eintrittsflãche abhängt. Dies bedeutet, daß diejenigen Detektorelemente, die in der Nähe der Strahlachse liegen, mehr Intensität empfangen als andere, weiter entfernte Detektorelemente. Dafür fuhren die in der US 4,158,506 vorgeschlagenen Auswertemethoden zu großen systematischen Fehlern. Die einzige praktikable Möglichkeit besteht darin, den Strahl mit Hilfe einer zusätzlichen Optik soweit aufzuweiten, daß nur ein sehr kleiner und damit weitgehend homogener Ausschnitt der Kuppe der Strahlachse auf die Anordnung abgebildet wird. Dies ist jedoch mit einem zusätzlichen Aufwand und einem erheblichen Intensitätsverlust verbunden, der nur bei starken Impulslasern gerechtfertigt ist, so daß Anwendungen dieser Anordnung bisher nicht bekannt wurden.

Aus der DE 44 42 400 A1 ist ein Sensor zur Lagebestimmung im Raum bekannt, der einen einen Leitstrahl brechenden Kegel und ein zylindrisches Übergangselement aufweist, das auf einem Detektorarray angeordnet ist. Der Kegel kann mit einem Interferenz-Schichtsystem versehen sein, um den Leitstrahl von parasitärer Strahlung zu trennen. Die Polarisation des Leitstrahles kann mit dieser Anordnung nicht gemessen werden.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Mikropolarimeter ohne bewegte Teile zu schaffen, das einen hohen Polarisationsgrad aufweist, für polychromatisches Licht einsetzbar ist, das so klein ist, daß der Strahl von gängigen Lasern ohne zusätzliche Aufweitung in einem Meßschritt erfaßt werden kann und das auf einfache Weise zu einem kompletten Stokesmeter ausgebaut werden kann.

Diese Aufgabe wird mit einem Mikropolarimeter gelöst, bei dem der Analysator aus einer radialsymmetrischen, flachen Scheibe aus einem Polarisationsmaterial besteht, bei dem die Polarisation auf Absorptionseffekten innerhalb des Materials beruht, wobei die Fläche des Analysators (1) 2 der Segmentflächen des Detektors ist.

Derartige Polarisationsmaterialien sind an sich zwar bekannt (s. Thomas P.

Seward III"Glass Polarizers Containing Silver", SPIE Proceedings Vol. 464, 1984).

Der Einsatz solcher Polarisationsmaterialien für Segmente eines Analysators in einem Mikropolarimeter. das keine bewegten Teile aufweist, war jedoch bislang noch nicht in Erwägung gezogen worden. Hinzu kommt, daß die mechanische Bearbeitung solcher Polarisationsmaterialien, insbesondere die erfindungsgemäß erforderliche Herstellung von präzisen Zuschnitten einen hohen Arbeitsaufwand bedeutet.

Zur Herstellung von Segmenten pur ein Mikropolarimeter werden vorzugsweise mikrotechnische Verfahren angewendet, um die optische Qualität des verwendeten Analysators zu erhalten. Bei den verwendeten Dimensionen spielt die Qualität der Schnittkanten im Vergleich zu makroskopischen Zuschnitten eine große Rolle. Eine schlechte Qualität der Kanten würde Streuung und damit Depolarisation, d. h. eine Erniedrigung des Polarisationsgrades, verursachen. Daher sollten die Schnittkanten nur Unregelmäßigkeiten kleiner als 10, um aufweisen.

Dem stehen jedoch eine Reihe von Vorteilen gegenüber, die das Mikropolarimeter zu einem hochpräzisen, universell einsetzbaren Gerät machen. Hierzu zählen insbesondere die Unabhängigkeit von der eingestrahlten Wellenlänge und der hohe Polarisationsgrad, der diesen Materialien eigen ist.

Bei diesen Polarisationsmaterialien sind die nanometergroßen Teilchen makroskopisch entlang der gewünschten optischen Achse ausgerichtet und in der organischen oder anorganischen Matrix fixiert. Vorzugsweise handelt es sich um ein Polarisationsmaterial, das nanometergroße Teilchen mit starker Anisotropie der optischen Leitfähigkeit enthält. Vorteilhafterweise ist das Polarisationsmaterial Glas mit eingelagerten Silberteilchen.

Die Analysatorscheibe kann gemäß einer Ausführungsform einstückig sein, wobei die Polarisationsrichtung radial oder tangential ausgerichtet ist. Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß die Analysatorscheibe NA Segmente mit NA = ND aufweist. Die Segmente können Sektoren oder aber auch flächige Gebilde anderer Gestalt sein, wie z. B. rechteckige oder ovale Segmente, wobei die Segmente auch beabstandet zueinander angeordnet sein können.

Vorzugsweise ist jedes Segment des Analysators aus einem dreieckförmigen oder trapezförmigen Zuschnitt eines Polarisationsmaterials gebildet, bei dem die Polarisation auf Absorptionseffekte innerhalb des Materials beruht.

Die Segmente der Analysatorscheibe müssen nicht zwingend eine radiale oder tangentiale Polarisationsrichtung aufweisen. Die Polarisationsrichtung jedes Segmentes kann mit der jeweiligen Winkelhalbierenden des Segments einen Winkel a bilden, für den 0° a 180° gilt.

Vorzugsweise weisen jeweils gegenüberliegende Segmente dieselbe Polarisationsrichtung auf.

Um einen möglichst hohen Polarisationsgrad zu erreichen, liegt die Dicke des Polarisationsmaterials im Bereich von 50 ym bis 2 mm Im Gegensatz zu den bekannten Gitterpolarisatoren beruht in solchen Polarisatoren die Auslöschung der einen Feldkomponente der Lichtwelle nicht auf einer Oberflächenreflexion, sondern auf einer selektiven Absorption in den Nanopartikeln. Die Verteilung im Volumen der Matrix ermöglicht auch deutlich höhere Polarisationswerte, weil die absorbierte Energie von der Anzahl der Absorptionszentren bzw. von der durchlaufenen Materialdicke abhängt.

Das Mikropolarimeter ist vorzugsweise so ausgelegt, daß eingangsseitig grundsätzliche eine kreissymmetrische Anordnung benutzt wird, die der bei Lasern oder kollimierten Weißlichtquellen vorliegenden Strahlgeometrie und Intensitätsverteilung entspricht. Vorzugsweise sind daher die NA Segmente des Analysators kreisförmig angeordnet.

Die Messung der Polarisation liefert dann sinnvolle Ergebnisse, wenn die Strahlachse mit der Symmetrieachse des Polarimeters übereinstimmt. Dies wird vorzugsweise dadurch erreicht, daß eine gerade Anzahl NA D von gleichen Segmenten vorgesehen ist. Gegenüberliegende Segmente werden damit bei korrekter Justierung der Strahlachse auf die Symmetrieachse gleiche Signale erzeugen und zwar unabhängig von der Polarisation. Damit ist im Gegensatz zur US-4, 158, 506 eine Separation der geometrischen von der Polarisationsinformation auch im Fall von Gaußstrahlen möglich. Die erfindungsgemäße Anordnung ist also nicht nur ein Polarimeter, sondern auch gleichzeitig ein Sensor zur Feststellung der korrekten Justierung des Gerätes im Strahlengang. Der Analysator muß mindestens drei Segmente unterschiedlicher Polarisation enthalten, um zwei Polarisationseigenschaften-Elliptizität und Azimuth-sowie die Intensität ermitteln zu können. Bei zusätzlicher Verwendung von Retardern (X/4-oder X/2-Plättchen) in einigen Elementen können auch weitere Stokesparameter bestimmt werden, wie der Drehsinn des Feldstärkevektors und der Polarisationsgrad. Wenn mehr Elemente benutzt werden, als zur Bestimmung der Polarisation erforderlich sind, so kann damit das Signal/Rauschverhältnis der Messung verbessert werden.

Nach Durchlaufen der Elemente des Analysators müssen die N Informationen den ND Segmenten des Detektorarrays eindeutig und ohne Übersprechen zugeführt werden. Gemäß einer ersten Ausführungsform sind die Zuschnitte auf den Segmenten des Detektors mittels eines transparenten Klebers befestigt.

Wenn die Größe oder Form der Segmente von Analysator und Detektor unterschiedlich sind, ist ein Strahlkonverter bevorzugt vorzusehen.

Ein Strahlkonverter vermittelt die Anpassung des Strahlquerschnittes zwischen Analysator-und Detektorarray, so daß eine für die Detektion optimale und von Ubersprechen freie, eindeutige Zuordnung erfolgt.

Gemäß einer besonderen Ausführungsform sind die Segmente des Detektors rechteckig, wobei die Segmente linear oder in Zeilen und Spalten nebeneinander angeordnet sind. Zwischen den NA Segmenten des Analysators und den ND Segmenten des Detektors können Lichtleiter angeordnet sein.

Vorzugsweise ist pro Segment ein verpreßtes, an die Form von Analysatorsektor und Detektorsegment angepaßtes Lichtleiterbündel als Strahlenkonverter angeordnet.

Es ist auch möglich, zwischen dem Analysator und dem Detektor eine Gradientenindexlinse vorzusehen.

Ein gewöhnliches PSA-Ellipsometer (Polarizer-Sample-Analyzer) ist aufgrund der Tatsache, daß man nicht die elektrischen Felder, sondern deren Intensitäten detektiert, nicht in der Lage, zwischen links-und rechtszirkular polarisierten Zuständen zu unterscheiden. Diese Doppeldeutigkeit der Ergebnisse kann durch Einbringen weiterer optischer Komponenten in den Strahlengang beseitigt werden. Häufig wird dazu ein X/2-Plättchen benutzt, das zwischen dem Eingangspolarisator und der Probe so angebracht wird, daß rechts-oder linkszirkular polarisiertes Licht entsteht. Durch den Vergleich zweier Messungen-einmal mit linear (45° zum p-s Koordinatensystem) und einmal mit zirkular polarisiertem Licht-kann man nun zwischen links-und rechtszirkular unterscheiden.

Dieses Verfahren ist für das erfindungsgemäße Mikropolarimeter nicht brauchbar, da es sowohl die Meßzeit als auch die Meßgenauigkeit beeinträchtigt. Um zudem weiterhin redundante Segmente auf dem Detektor zu haben, die eine Positionsdetektion ermöglichen, wird zusätzlich zum Analysator ein weiteres Array vorgeschaltet, das im einfachsten Fall zwei Plättchen aus einem doppelbrechenden Material mit bekannter Phasenverschiebung 6 aufweist. Vorzugsweise werden A/4-Plättchen mit einer der Hauptachsen unter 45° zum p-s Koordinatensystem verwendet. Die nicht mit doppelbrechendem Material belegten Analysatorsegmente liefern dann weiterhin redundante Polarisationsinformation und somit im Falle der Dejustage ein Positionssignal, während die mit doppelbrechenden Plättchen belegten Paare im justierten Zustand die Information über die Händigkeit des Polarisationszustandes liefern. Die Summe aller Signale aus den einzelnen Segmenten kann zudem als Intensitätssignal, das auch im Falle von teilpolarisiertem Licht zur Gesamtintensität proportional ist, interpretiert werden und daraus kann der komplette Stokes-Vektor in einem einzigen Meßschritt ermittelt werden.

Bei kreisförmigem Analysator und Detektor kann ein Problem bei einer gaußförmigen Intensitätsverteilung des Strahls auftreten, weil die Intensität des Gaußstrahls in das Zentrum des Analysator-bzw. Detektorarrays fallut, wo die segmentförmigen Elemente gerade sehr unempfindlich werden bzw. der Detektor einen blinden zentralen Bereich aufweist. Dagegen wird der Randbereich, der die optimale Analysator-und Detektorfläche darstellt, nur von den Ausläufern des Gaußbündels beleuchtet. Durch Vorschalten eines geeigneten Strahlkonverters vor den Analysator kann die Intensitätsverteilung auf der Analysator-und der Detektorfläche vorteilhaft beeinflußt werden.

Die Verwendung eines vorgeschalteten Strahlkonverters verbessert auch die Justierung, weil ansonsten eine Fehljustierung bezüglich der Winkel nicht von einer bloßen lateralen Verschiebung zu trennen ist. Ein solcher vorgeschalteter Strahlkonverter soll somit im wesentlichen zwei Funktionen erfüllen : -Umverteilung der Intensität des Strahls im Hinblick auf eine gute Ausleuchtung des Analysators und des Detektors, -Ausbildung eines empfindlichen Justiersignals für die Ausrichtung der Strahlachse auf die Symmetrieachse des Sensors.

Dies wird immer dann erreicht, wenn der Strahlkonverter eine"Blenden- Detektor"-Anordnung darstellt. Verkippt man die Strahlachse, so wandert das Bild auf dem Analysator, was durch Vergleich der Intensitäten auf den gegenüberliegenden Analysator-bzw. Detektorflächen leicht nachgewiesen werden kann.

Als vorgeschaltete Strahlkonverter können vorzugsweise konvexe. plankonvexe, konkave, plankonkave Linsen, transparente Kegel, Linsenarrays, Fresnellinsen oder Gradientenindexlinsen eingesetzt werden.

Vorzugsweise ist der Durchmesser des Strahlkonverters größer gleich dem Durchmesser des Analyators.

Die Detektorsegmente können auf einem Signalkonditionierungschip angeordnet oder in einem solchen Chip integriert sein.

In der Detektorebene liegen-nachdem das Licht die NA Segmente des Analysators durchlaufen hat-n Polarisationsinformationen vor, die alle parallel, d. h. gleichzeitig ausgelesen werden müssen, um die maximale Geschwindigkeit des Mikropolarimeters ausnutzen zu können, wobei die Polarisationsfunktionen frei von Übersprechen zwischen den einzelnen Segmenten sind. Nur das parallele Auslesen aller Segmente zu definierten Zeitpunkten macht die Verfolgung sich schnell ändernder Signale möglich.

Gelöst wird dieses Problem in unserer Anordnung durch ein spezielles Diodenarray, das so beschaffen ist, daß ein Photon, welches in der Diode m absorbiert wurde, auch nur in dieser Diode zu einem Strom beitragen kann und nicht-aufgrund von Diffusionsprozessen-in einer der benachbarten Dioden.

Da die Ströme, die bei der optoelektronischen Konvertierung entstehen, so gering sind, daß sie in unmittelbarer Nähe zum Detektor sofort vorverstärkt und impedanzgewandelt werden müssen, können die Signale wegen des elektronischen Verhaltens der Detektordioden nicht über Leitungslängen geschickt werden, die größer als ca. 10 cm sind. Diesen Anforderungen werden durch ein Array von n Vorverstärkern Rechnung getragen, die beispielsweise in Chip-on-wire Technologie-hoch kompakt und in nächster Nähe zu den Dioden-mit auf der Leiterplatine integriert sind. Hieraus ergibt sich ein optoelektronischer Detektor, der allen Anforderungen des Polarimeters genügt und der klein genug ist, um die Vorteile des kompakten Aufbaus des Micro-polarimeters nicht zu beeinträchtigen.

Für den Detektor kann auch ein CCD-Chip verwendet werden, der keine vorgegebene Aufteilung in Segmente aufweist. Erst in der späteren Signalverarbeitung kann elektronisch eine Zuordnung der über die Pixel ausgelesenen Informationen zu entsprechenden Segmenten erfolgen.

Beispielhafte Ausführungsformen werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen Fig. la eine perspektivische Darstellung eines Analysators und eines Detektors, Fig. lb einen Vertikalschnitt durch den in der Fig. la gezeigten Analysator und Detektor, Fig. Ic, d perspektivische Darstellungen des Detektorchips, Fig. le einen Analysator gemäß einer weiteren Ausführungsform, Fig. 2 einen Schnitt durch ein Mikropolarimeter mit einer vorgeschalteten plankonkaven Linse, Fig. 3 einen Vertikalschnitt durch ein Mikropolarimeter mit einer vorgeschalteten plankonvexen Linse, Fig. 4 einen Vertikalschnitt durch ein Mikropolarimeter mit einem vorgeschalteten transparenten Kegel, Fig. 5 einen Vertikalschnitt durch ein Mikropolarimeter mit einem vorgeschalteten Linsenarray, Fig. 6 einen Vertikalschnitt durch ein Mikropolarimeter mit einer vorgeschalteten Fresnellinse, Fig. 7 die perspektivische Darstellung eines Strahlkonverters in Form eines Lichtwellenleiterbündels zwischen Analysator und Detektor, und Fig. 8 ein Stokes-Meter.

In der Fig. la ist ein Analysator 1 mit einer kreisförmigen Anordnung von Segmenten 2 dargestellt, die zusammen eine Scheibe 5 bilden. Jedes Segment besteht aus einem Zuschnitt 4 eines Polarisationsmaterials, dessen Polarisationswirkung auf Absorptionseffekten innerhalb des Polarisationsmaterials beruht. Die Polarisationsrichtung liegt radial und ist durch das Bezugszeichen 3 gekennzeichnet. Unterhalb des Analysators 1 befindet sich ein Detektor 10, der dieselbe Anzahl von Segmenten 11 aufweist, die in einem Detektorchip 12 angeordnet sind. Die Anordnung dieser Segmente ist ebenfalls kreisförmig. Die Segmente 11 sind identisch und unabhängig voneinander auslesbar. Bei korrekter Justierung liefert jeder der gegenüberliegenden Detektorsegmente 11 identische Signale. In der Fig. la ist der Analysator l noch nicht mit dem Detektor 10 verbunden.

In der Fig. lb ist der Analysator 1 über eine transparente Klebschicht mit dem Detektor 10 verbunden.

In der Fig. 1 c ist der Detektorchip 12 als hybrider Signalkonditionierungschip 90 mit aufgesetzten IC-Verstärkerbausteinen 91 und in der Fig. ld als monolithischer Chip mit integrierter Verstärkerschaltung 92 dargestellt.

In der Fig. le ist eine aus Zuschnitten 4 zusammengesetzte Scheibe 5 dargestellt, bei der die Polarisationsrichtung 3 mit der jeweiligen Winkelhalbierenden 6 der Segmente 2 einen Winkel a bildet.

In der Fig. 2 ist ein Schnitt durch ein solches Mikropolarimeter, bestehend aus Analysator 1 und Detektor 10 ebenfalls im Schnitt dargestellt, wobei ein Strahlkonverter 30 in Form einer plankonkaven Linse 30 vorgeschaltet ist. Die konkave Fläche 31 ist dem zu analysierenden Strahl 21 zugewandt, während die plane Fläche 32 auf der Oberseite des Analysators 1 aufliegt. Aufgrund der konkaven Krümmung des Strahlkonverters 30 und der im Zentrum angeordneten Blende 33 wird der Strahl 22 nach außen gebrochen, und somit von dem unempfindlichen zentralen Bereich von Analysator und Detektor ferngehalten. Wenn es sich bei dem Eingangsstrahl 21 um einen Strahl mit kreisförmigem Querschnitt handelt, erhält man auf dem Analysator eine ringförmig ausgeleuchtete Fläche 23 mit einem dunklen Bereich im Zentrum.

Wenn eine Fehljustierung vorliegt, d. h. wenn die Achse des Strahls 21 nicht parallel zur Normalen der Detektorfläche ist, erhält man eine deformierte, ausgeleuchtete Fläche 23. die über die gemessene Intensität der Detektorsegmente nachgewiesen wird. Anhand der Intensitätswerte kann eine präzise Justierung vorgenommen werden.

In der Fig. 3 ist eine entsprechende Anordnung mit einer plankonvexen-Linse 40 dargestellt. Die plane Fläche 42 liegt auf dem Analysator auf, während die konvexe Fläche 41 dem zu analysierenden Strahl 21 zugewandt ist. Auch hier ist in der Mitte eine Blende 43 angeordnet. Die Krümmung und die Dicke der Linse 40 ist so gewählt, daß etwa in der Mitte zwischen konvexer Fläche 41 und planer Fläche 42 die Brennebene 44 verläuft. Dadurch wird erreicht, daß die eintretenden Strahlen so stark gebrochen werden, daß sie auf die jeweils gegenüberliegende Seite des Analysators gelenkt werden. Auch bei dieser Anordnung erhält man eine kreisförmig ausgeleuchtete Fläche 23 auf der Oberfläche des Analysators, wobei das Zentrum des Analysators und damit das Zentrum des Detektors dunkel bleibt.

In der Fig. 4 ist eine weitere Ausführungsform mit einem Kegel 50 dargestellt.

Die Kegeltläche 51 ist dem zu analysierenden Strahl 21 zugewandt, während die plane Fläche 52 auf der Oberfläche des Analysators aufliegt. Die Ebene 54, in der sich die Strahlen kreuzen, verläuft innerhalb des Kegels 50, so daß die eintretenden Strahlen jeweils auf die gegenüberliegende Seite gebrochen werden. Auch in dieser Ausführungsform erhält man eine ringförmig ausgeleuchtete Fläche 23 auf der Oberseite des Analysators.

In der Fig. 5 ist eine weitere Ausführungsforrn mittels eines Linsenarrays 60 dargestellt. Die Linsenanordnung 61 ist dem zu analysierenden Strahl 21 zugewandt, während die plane Fläche 62 auf der Oberseite des Analysators 1 aufliegt.

In der Fig. 6 ist eine weitere Ausführungsform mittels einer Fresnellinse 70 dargestellt. Die Linsenfläche 71 ist dem zu untersuchenden Strahl 21 zugewandt, während die plane Fläche 72 auf der Oberfläche des Analysators 1 aufliegt.

In der Fig. 7 ist eine Ausführungsform mit einem Konverter zwischen dem Analysator 1 und dem Detektor 10 dargestellt. Das Analysatorarray besitzt eine kreisförmige Anordnung von dreieckförmigen Segmenten 2, während das Detektorarray nebeneinander angeordnete rechteckige Segmente 11 aufweist.

Um eine Transformation der dreieckförmigen Analysatorsegmente auf die rechteckigen Detektorsegmente 11 herbeizuführen, ist ein Strahlkonverter 81 vorgesehen, das aus einer Vielzahl von Lichtwellenleitern 80 besteht. Die Eintrittsfläche 82 entspricht der Form und Größe eines Segments des Analysators, während die Austrittsfläche 83 in Gestalt und Ausdehnung einer Segmentfläche 11 des Detektors entspricht. Diese Anordnung hat den Vorteil, daß kommerziell erhältliche Detektorzeilen oder Detektorarrays verwendet werden können.

In der Fig. 8 ist ein vollständiges Stokes-Meter dargestellt, das zusätzlich zum Aufbau der Fig. la vor dem Analysator 1 vier alternierend angeordnete A/4- Plättchen 100 aufweist, deren Hauptachsenrichtung 101 für alle X/4-Plättchen 100 gleich ist.