以下、図面を参照して、本発明の実施の� ��態について説明する。

 図1乃至図3は、本発明を適用した顕微鏡� �一実施の形態の構成を表している。顕微鏡51 の本体61の右側上方には、レボルバ62が回転� �在に配置されている。このレボルバ62にはい くつかの対物レンズが着脱自在とされており 、ユーザは必要に応じてレボルバ62を回転し� ��装着された対物レンズのうち所望の1つの対 物レンズを予め定められた所定の位置に配置 することで、使用する対物レンズを選択する ことができる。図1には、対物レンズ120が1個� ��け装着されている状態が示されている。

 レボルバ62の上方には、本体61に対して水 平に固定板63が取り付けられている。ステー� ��64、65は、固定板63に対して、それぞれX軸方 向(図2において左右方向)とY軸方向(図2におい て上下方向)に沿って移動自在に配置されて� �る。レボルバ62の右側に下方に伸びるように 配置された調節軸68には、その下方に、調節� ��材69と調節部材70が回転自在に取り付けられ ている。ユーザが調節部材69または調節部材7 0を時計方向または反時計方向に回転すると� �ステージ64またはステージ65が、X軸方向また はY軸方向に沿ってそれぞれ移動される。

 ステージ64には試料ホルダ66が着脱自在に 配置されている。ユーザは観察する試料90に� ��じて複数の試料ホルダ66の中から所定のも� �を選択し、ステージ64上に装着し、その上に 試料90を載置する。試料ホルダ66の中央には� �67が形成されており、対物レンズ120からの光 束が、この孔67を介して試料90に照射される� �従って、ユーザは調節部材69と調節部材70を� ��転調節することにより、ステージ64上に配� �された試料90の水平面内(xy平面内)の所定の� �置を観察することができる。

 本体61の右側面には焦準ハンドル71が、左 側面には焦準ハンドル71’と、焦準ハンドル7 2が、それぞれ回転自在に取り付けられてい� �。ユーザは焦準ハンドル71又は焦準ハンドル 71’を回転調整することで、対物レンズ120が� ��着されたレボルバ62を試料90に対して微動で 近づけたり、遠ざけたりするので、対物レン ズ120によるフォーカス状態を微調整すること ができ、焦準ハンドル72を回転調整すること� ��、レボルバ62を試料90に対して粗動で近づけ たり遠ざけたりするので、フォーカスを粗調 整および微調整することができる。

 本体61の正面であって、接眼レンズ76の右 斜め下方には、開口絞り調節用の調節部材73� ��視野絞り調節用の調節部材74とからなる調� �部材75が回転自在に取り付けられている。ユ ーザは、調節部材75(開口絞り調節用の調節部 材73または視野絞り調節用の調節部材74)を回� ��調節することで、後述する絞り部材117(開口 絞り115または視野絞り116)の開き具合を調節� �ることができる。また、試料90の像と重ねて 見たいスケールが記された焦点板103を挿脱可 能とする焦点板装着部も本体61の正面に備え� ��いる。

 本体61の左側上方には、接眼レンズ76が配 置されている。接眼レンズ76は、ステージ64� �りも上方に配置されている。ユーザは接眼� �ンズ76を介して試料90の像を観察することが� ��きる。また、接眼レンズ76から視線を外せ� �、肉眼で試料90を確認することができる。な お、この接眼レンズ76は一つまたは複数のレ� ��ズから構成された接眼光学系であってもよ� ��。

 本体61の左側面の後方には、図8を参照し� ��後述するフィルタ151や偏光素子などの光学� ��材を光路中に配置したり、それを交換する� ��き操作される操作部91が設けられている。

 本体61の背面の左側後方には収容部81が配 置されている。収容部81には、図4を参照して 後述する照明用の光源111が内部に収容されて いる。収容部81の側面には、光源111で発生さ� ��た熱を逃がすための放熱用のフィン81Aが形� ��されている。収容部81は光源111から発生す� �熱が試料90に影響しないように、また接眼レ ンズ76を覗くユーザに不快感を与えないよう� ��、ステージ64の試料ホルダ66の取り付け位置 、並びに接眼レンズ76からの距離が長くなる� ��置に配置されている。

 図4は本体61の内部の光学系の構成を表し� ��いる。この光学系は照明用の光源111からの� ��束を案内し、対物レンズ120を介して試料を� ��明する照明用光学系101と、対物レンズ120を� ��して試料90の像を観察できるように、試料� �らの反射光を接眼レンズ76に案内する結像光 学系102とにより構成されている。

 照明用光学系101において、ハロゲンラン� ��などよりなる光源111は照明用の光束を射出� ��る。照明用の光束は光路P11の方向に配列さ� ��たコレクタレンズ112、リレー光学系113及び� ��ラー114の順に進行する。コレクタレンズ112� ��光源111からの発散光をほぼ平行光に変換す� ��。リレー光学系113は光源111の像である光源� ��を開口絞り115の位置に形成する。ミラー114� ��この光源像とリレー光学系113の間に配置さ� ��、光源111からほぼ水平にユーザの方向(上面 から見て接眼レンズ76の方向)に向かう光路P11 を進行した光束を、右方向に偏向し、光路P12 の光束とする。すなわち、顕微鏡を上面から 見た場合の図2において、紙面と平行に下方� �に向かう光源111の直近の光路P11と平行な方� �を縦方向とするとき、その光路は横方向の� �路P12に偏向される。

 光路P12には、開口絞り115、視野絞り116及� ��フィールドレンズ群118及びハーフミラー119� ��順次配置されている。開口絞り115は、光路P 12内の、コレクタレンズ112およびリレー光学� ��113による光源111の像が形成される位置に配� ��される。光源111の位置をコレクタレンズ112� ��前側焦点面近傍とするとき、視野絞り116は� ��路P12内の、コレクタレンズ112の後ろ側焦点� ��と略共役な関係であり、リレー光学系113に� ��りコレクタレンズ112の後ろ側焦点面の像が� ��成される位置の近傍に配置される。フィー� ��ドレンズ群118は、視野絞り116の像を試料90� �観察面上に投影するために、その前側焦点� �が視野絞り116に重なるように配置される。

 光束合成部材としてのハーフミラー119は� ��フィールドレンズ群118からの照明用の光束� ��光路P12を、垂直方向(図1において上方向)に� ��向し、対物レンズ120に向かう光路P13とする� ��この光路P13は対物レンズ120の光軸を中心と� ��た光路となっており、ハーフミラー119によ� ��、照明用の光路P13の光軸が対物レンズ120に� ��る観察用の光路P14の光軸と一致される。光� ��P13に偏向された光束は、対物レンズ120の瞳� ��位置で光源111の像を形成し、対物レンズ120� ��より略平行光となって、例えば金属などよ� ��なる試料90を照明する。

 結像光学系102において、試料90で反射ま� �は散乱された光を観察用の光束とするため� �、対物レンズ120により集光され、試料90の各 点からの光束が対物レンズ120により平行光束 となって、試料90の載置面から垂直下方向を� ��向する対物レンズ120の直近の光路P14の光束� ��なる。この光束はハーフミラー119を透過す� ��ことで照明用の光束と分離される。すなわ� ��ハーフミラー119と対物レンズ120は、照明用� ��学系101と結像光学系102の両方の機能を有し� ��おり、光路P13は照明用光学系101と結像光学� ��102の共通光路となる。光路P14に配置された� ��2対物レンズ131はハーフミラー119を透過した 光束を集束し、試料90の像90Iを形成する。こ� ��位置に前述の試料90の像と重ねて見たいス� �ールなどを記した焦点板103が交換可能に装� �される。

 ミラー132は、ほぼ垂直な光路P14をほぼ水� ��に、図1と図4において左方向に偏向し、光� �P15とする。従って、光路P15は光路P12とほぼ� �行であり、図2に示されるように、上面から� ��たときその光路は同じ1本の直線上に位置す る。

 光路P15では、第2対物レンズ131によって形 成された試料の中間像である1次像が形成さ� �、そして中間像を形成した光束はリレーレ� �ズ133を介してミラー134に入射され、ミラー13 4によりほぼ垂直上方向に偏向され、光路P16� �進行する。リレーレンズ133とリレーレンズ13 5は、1次像を接眼レンズ76の光軸へ導くため� �結像光をリレーする。ミラー134からの光束� �、光路P15内に配置されたリレーレンズ133と� �もにリレー光学系を構成する光路P16内に配� �されたリレーレンズ135でリレーされ、光路P1 6内の結像レンズ136に入射する。結像レンズ13 6より射出された光束は、プリズム137により� �射されるとともに、図示していない光路分� �光学素子により2つの光路に分割され、光路P 17に沿って接眼レンズ76に入射される。従っ� �、ユーザはその眼140により接眼レンズ76を介 して試料90の拡大された画像を観察すること� ��できる。

 なお、図4で示されているようにミラーで 構成されている偏向光学素子は、ミラー以外 にもプリズム等で構成してもよい。また、プ リズム137は、俯視プリズムやダハプリズム等 で構成してもよく、ミラーで偏向しているも のでも良い。

 図5は、上面から見た照明用光学系101と結 像光学系102の光路の関係を表している。照明 用の光路P11と接眼レンズ76の光路P17は、顕微� ��51の奥行き方向(図2の上下方向、図3の左右� �向)とほぼ平行な光路であり、光源111から接� ��レンズ76(ユーザの眼140)に向かう方向の光路 である。したがって、光源111は観察者に対し て、十分遠ざかる位置に配置可能な配置構成 となる。また、光路P12と光路P15は、光路P11、 従って光路P17とほぼ垂直な光路である。その ため、ステージがユーザに対して左右の方向 に配置されているので、接眼レンズ76を覗き� ��がら、ステージ64上に配置された試料90に手 が届き易い。

 なお、接眼レンズ76がその光軸方向を光� �P16を基準に回動変更できる場合には、少な� �とも光路P17が、照明用光学系101の光路P12ま� �は結像光学系102の光路P15に対して、顕微鏡51 を上面から見て縦・横の関係を有する状態に することができるものが、本発明に該当する 。また、本顕微鏡51は照明用光学系101及び結� ��光学系102の最も試料側に近い光路P13が共通� ��路にして落射照明が可能となっている。そ� ��ため、重い試料をステージに置くことが容� ��な倒立型顕微鏡に最適でかつ顕微観察中に� ��易に手が試料に届きやすくなっている。

 図6は、照明用光学系101の光路内に配置さ れた光学部材の位置関係の詳細を表している 。光源111と開口絞り115が共役であり、さらに 図4の対物レンズ120の後ろ側焦点面が略共役� �ある。光源111から光軸と平行に発した光が� �レクタレンズ112により集束するコレクタレ� �ズ112の焦点面F112と、視野絞り116が略共役で� ��る。また、焦点面F112と視野絞り116を通る光 束は、フィールドレンズ群118により平行光に 変換されるため、対物レンズ120により試料90� ��観察面とも共役になる。

 このように、本実施の形態においては、� ��眼レンズの光路P17と平行な光路P11の方向(図 6の上下方向)、すなわちユーザが顕微鏡51を� �用するとき、ユーザが向く方向を縦方向と� �たとき、偏向部材としてのミラー114により� �源111からの光束が横方向、すなわちユーザ� �ら見て左右方向に偏向される。そして、開� �絞り115と視野絞り116よりなる絞り部材とし� �の絞り部材117が横方向の光路P12内に配置さ� �る。公知の構造で絞り部材117を調節する調� �部材75は、絞り部材117の近傍に配置される。 従って、絞り部材117を調節する調節部材75(開 口絞り調節用の調節部材73と視野絞り調節用� ��調節部材74)を、本体61の正面(すなわち、ほ� ��直方体形状の本体61の4つの側面のうちの、� ��眼レンズ76に最も近い面)に配置することが� ��き、接眼レンズ76に対して眼140を近接させ� �がら作業をするユーザの調節部材の操作が� �易となる。

 また、光路P12を横方向に配置したので、� ��路P12を光源111の直近の光路P11と同じ1本の直 線上に縦方向に配置するようにした場合に比 べて、奥行き方向の長さを短くすることがで き、操作部91の位置を接眼レンズ76に近い位� �に配置することができる。従って、ユーザ� �フィルタの交換などの作業を容易に操作す� �ことが可能となる。

 また、照明用光学系では、開口絞り115、� ��野絞り116及びフィルタ151などの配置可能位� ��を構成するために、照明用光源の直後に配� ��されるコレクタレンズ112とリレー光学系113� ��フィールドレンズ群118が組み合わされる。� ��般的に、通常市販されているような寸法を� ��する光源からの光を効率よく対物レンズ120� ��導き、試料90を照明するために、コレクタ� �ンズでは40乃至50mm、リレーレンズ光学系で� �100乃至250mm、フィールドレンズ群では80乃至1 20mmの光路長が必要となる。したがって、光� �の長さは約220mm乃至420mmが必要となる。この� ��うな長い光路長を確保するために従来の装� ��ではある方向の寸法を非常に長く取る必要� ��あったが、本発明では操作性を向上させつ� ��、どの方向の寸法もコンパクトにすること� ��できている。

 なお、上面から見た場合の接眼レンズ76� �直近の光路P17(光路P17と平行な光源111の直近� ��光路P11)と光路P12の角度、すなわち接眼レン ズ76の直近の光路P17の方向を縦方向とする場� ��における横方向の角度は、必ずしも正確に� ��直である必要はなく、開口絞り115や視野絞� ��116を調節するための調節部材75を本体61の正 面に配置することができる角度であれば、若 干鈍角あるいは鋭角な角度とすることができ る。

 また、図7に示すように、照明用光学系101 において、ミラー114を省略し、光源111、コレ クタレンズ112、リレー光学系113からなる光路 P11を、光路P12と平行にし、すなわち、照明用 光学系101の光路を1本の直線状にして、接眼� �ンズ76の光路P17の縦方向に対して全体を横方 向(左右方向)に配置するようにしてもよい。� ��かしながら、照明用光学系101の光路を一本� ��直線状にした場合、光源111の収容部81が観� �者から近くなる。そのため、光源111の収容� �81に誤って触れてしまい、ユーザに不快感を 与える可能性が高くなるので、本実施の形態 のように光路P11と光路P12の方向を変えるよう にすることが好ましい。

 開口絞り115と視野絞り116を共に光路P12上に� ��置するためには、視野絞り116を対物レンズ1 20の光路P13に近付ける必要がある。本発明者� ��、そのために、フィールドレンズ群118の焦� ��距離f1、並びにフィールドレンズ群118の視� �絞り116から最も離れた面と、視野絞り116の� �との光軸に沿った距離L1を、次の式(1)の関係 を満たすようにした。
  1<L1/f1<1.2     (1)

 L1/f1の値が下限値より小さくなると、す� �わち1以下になると、フィールドレンズ群118� ��強いテレフォト比をかけることになり、収� ��、特に像面湾曲が補正しきれなくなる。具� ��的には、像面湾曲はペッツバール和で評価� ��ることができるが、目安としてこの値が±0. 015を超えると、平らな試料を観察するとき、 中央と端とでピントが異なる状態を目視で認 識できるようになってしまう。L1/f1の値が下� ��値より小さくなると、ペッツバール和の値� ��±0.015の範囲内に抑えることが困難になる。 フィールドレンズ群118に、照明光が進む方向 とは逆に、ハーフミラー119の方向から平行光 を入射して光線追跡を行うと、その平行光は 視野絞り116の面に結像する。その場合におい て、ペッツバール和の値が大きいと像面湾曲 が発生するため、観察時に視野絞り116の像を 試料90の面に重ねたとき、視野絞り116の開口� ��によってピントの合う面がずれていく現象� ��起き、操作性が悪化する。

 また、L1/f1の値が上限値より大きくなる� �、すなわち1.2以上になると、視野絞り116と� �ィールドレンズ群118の間の光路長が長くな� �、小型化に不利となる。その結果、顕微鏡� �体の各部の配置の変更を余儀なくされたり� �開口絞り115と視野絞り116を共に光路P12上に� �置することが困難になり、操作部91が、観察 者から遠くなり、操作性が悪化する。従って 、L1/f1の値が式(1)の関係を満足するようにす� ��のが好ましい。

 さらに縦方向(奥行き方向)に配置した光路P1 1に対して、光路P12を横方向に配置するため� �は、リレー光学系113と開口絞り115の間に偏� �部材としてのミラー114を配置する必要があ� �。そのために、本発明者は、リレー光学系11 3の焦点距離f2と、リレー光学系113の最も開口 絞り115に近い光学部材の面から、開口絞り115 の面までの光軸に沿った距離L2に、次の式(2)� ��関係を満足させればよいことがわかった。
  0.70<L2/f2<1.0   (2)

 リレー光学系113の後ろ側焦点の位置に開� ��絞り115が配置されるため、リレー光学系113� ��開口絞り115の間にミラー114を配置するには� ��リレー光学系113の最も開口絞り115側の面と� ��点面までの距離、すなわちバックフォーカ� ��を十分長くする必要がある。L2/f2の値が下� �値を超えると、すなわち0.70以下になると、� ��ラー114を挿入する空間が狭くなる。このた� ��ミラー114の有効径を小さくする必要が生じ� ��その結果、照明のNAが小さくなってしまう� �これに対して、L2/f2の値が上限値を超えると 、すなわち1.0以上になると、必要な照明NAを� ��たすための光束の径が大きくなり過ぎ、リ� ��ー光学系113の口径が大きくなってしまう。� ��って、L2/f2の値が式(2)の関係を満足するよ� �にするのが好ましい。

 図8は式(1)のL1=54.7mm、f1=50mm、従って、L1/f1 =1.09とし、式(2)のL2=56.4mm、f2=67.7mm、従って、L 2/f2=0.83とした場合の照明用光学系101の構成を 表している。この場合のペッツバール和の値 は0.014である。なお、図8においてはコレクタ レンズ112とリレー光学系113の間にフィルタ151 が配置されている他、開口絞り115の直前に光 を拡散する拡散板152が配置されている。また 、距離L2は、リレー光学系113の最もミラー114� ��近い面とミラー114の光路中心に沿った距離L 21と、ミラー114と開口絞り115の光路中心に沿� ��た距離L22の和である。

 図9は、図8のフィールドレンズ群118に対� �て、照明光が進む方向とは逆に、ハーフミ� �ー119の方向から平行光を入射して行った光� �追跡を説明する図である。フィールドレン� �群118を構成する2つのレンズのうち、面s16を� ��する視野絞り116から遠いレンズは、視野絞� ��116から遠い方の面s11と近い方の面s12とを有� ��ている。視野絞り116に近い方のレンズは、� ��野絞り116から遠い方の面s13、中間の面s14、� ��よび近い方の面s15を有している。

 表1は、図9のフィールドレンズ群118の光� �追跡の結果を表している。面s11乃至s16の曲� �半径は、それぞれ60.000mm、-60.000mm、35.000mm、- 40.000mm、75.521mm、0.000mm、とされている。

 面s11と隣接する面s12との間隔は6mm、面s12� ��隣接する面s13との間隔は0.5mm、面s13と隣接� �る面s14との間隔は7.5mm、面s14と隣接する面s15 との間隔は1.5mm、面s15と隣接する面s16との間� ��は39.2mmとされている。

 d線(Naランプを光源とした場合の輝線)の� �折率ndは、面s11と面s13では1.49782、面s14では1. 65412とされている。アッベ数νdは、面s11と面s 13では82.52、面s14では39.7とされている。

 また、図8のリレー光学系113のレンズデー タを表2に示した。なお、開口絞り115に近い� �から光源111に向かって、面番号を付してい� �。リレー光学系113を構成する2つのレンズの� ��ち、開口絞り115から遠いレンズは、開口絞� ��115から遠い面s45、中間面s44、および近いほ� ��の面s43を有している。開口絞り115から近い� ��ンズは、開口絞り115から遠い面s42と、近い� ��s41を有している。

 表2は、図8のリレー光学系113の光線追跡� �結果を表している。曲率半径と面間隔はい� �れもミリメートル単位である。また、ndはd� �の波長における屈折率を表し、νdはd線を中� ��波長にしたときのアッベ数を示している。

 また、リレー光学系113の最もミラー114に� ��い面とミラー114の光路中心に沿った距離L21� ��、26.4mmで、ミラー114と開口絞り115の光路中� ��に沿った距離L22は30.0mmであった。

 図10は式(1)のL1=57.9mm、f1=50mm、従って、L1/f 1=1.16とし、式(2)のL2=54.7mm、f2=69.7mm、従って、 L2/f2=0.78とした場合の照明用光学系101の構成� �表している。この場合のペッツバール和の� �は0.009である。

 図11は、図10のフィールドレンズ群118に対 して行った光線追跡を説明する図である。フ ィールドレンズ群118を構成する2つのレンズ� �うち、面s27を有する視野絞り116から遠いレ� �ズは、視野絞り116から遠い方の面s21、中間� �面s22、および近い方の面s23を有している。� �野絞り116に近いレンズは、視野絞り116から� �い方の面s24、中間の面s25、および近い方の� �s26を有している。

 表3は、図11のフィールドレンズ群118の光� ��追跡の結果を表している。面s21乃至面s27の� ��率半径はそれぞれ、34.800mm、-32.300mm、-64.922m m、23.120mm、-33.500mm、26.450mm、0.000mmである。

 面s21と隣接する面s22との間隔は10mm、面s22 と隣接する面s23との間隔は5.0mm、面s23と隣接� ��る面s24との間隔は7.7mm、面s24と隣接する面s2 5との間隔は12.0mm、面s25と隣接する面s26との� �隔は5mm、面s26と隣接する面s27との間隔は18.2m mとされている。

 d線の屈折率ndは、面s21と面s24では1.49782、 面s22では1.65412、面s25では1.7725とされている� �アッベ数νdは、面s21と面s24では82.52、面s22で は39.7、面s25では49.61とされている。

 また、図10のリレー光学系113のレンズデ� �タを表4に示した。なお、開口絞り115に近い� ��から光源111に向かって、面番号を付してい� ��。リレー光学系113を構成する4つのレンズの うち、開口絞り115から最も遠いレンズは、開 口絞り115から遠い面s58、および近い面s57を有 している。次いで開口絞り115から遠いレンズ は、開口絞り115から遠い面s56、および近い面 s55を有している。次いで、開口絞り115から2� �目に近いレンズは、開口絞り115から遠い面s5 4、及び近い面s53を有している。開口絞り115� �ら最も近いレンズは、開口絞り115から遠い� �s52と、近い面s51を有している。

 表4は、図10のリレー光学系113の光線追跡� ��結果を表している。曲率半径と面間隔はい� ��れもミリメートル単位である。また、ndはd� ��の波長における屈折率を表し、νdはd線を中 心波長にしたときのアッベ数を示している。

 また、リレー光学系113の最もミラー114に� ��い面とミラー114の光路中心に沿った距離L21� ��、25.0mmで、ミラー114と開口絞り115の光路中� ��に沿った距離L22は29.7mmであった。

 図10におけるリレー光学系113を、図12に示 されるように、前段の光学系113Aと後段の光� �系113Bとに分割し、前段の光学系113Aと後段の 光学系113Bの間にミラー114を配置することも� �きる。ただし、図10に示されるように構成し た方が、試料90と接眼レンズ76を近づけるこ� �ができ、全体をコンパクトにすることがで� �る。

 図13は式(1)のL1=65.8mm、f1=60mm、従って、L1/f 1=1.10とし、式(2)のL2=50.0mm、f2=67.7mm、従って、 L2/f2=0.74とした場合の照明用光学系101の構成� �表している。この場合のペッツバール和の� �は0.012である。なお、図13においては、図8の 場合と同様に、コレクタレンズ112とリレー光 学系113の間にフィルタ151が配置されている他 、開口絞り115の直前に、光を拡散する拡散板 152が配置されている。

 図14は、図13のフィールドレンズ群118に対 して行った光線追跡を説明する図である。フ ィールドレンズ群118を構成する2つのレンズ� �うち、面s36を有する視野絞り116から遠いレ� �ズは、視野絞り116に遠い方の面s31と近い方� �面s32を有している。視野絞り116に近いレン� �は、視野絞り116から遠い方の面s33、中間の� �s34、および近い方の面s35を有している。

 表5は、図14のフィールドレンズ群118の光� ��追跡の結果を表している。面s31乃至面s36の� ��率半径はそれぞれ、71.000mm、-71.000mm、59.000mm 、-41.500mm、263.308mm、0.000mmとされている。

 面s31と隣接する面s32との間隔は6mm、面s32� ��隣接する面s33との間隔は0.5mm、面s33と隣接� �る面s34との間隔は7.5mm、面s34と隣接する面s35 との間隔は1.5mm、面s35と隣接する面s36との間� ��は50.3mmとされている。

 d線の屈折率ndは、面s31と面s33では1.49782、 面s34では1.654115とされている。アッベ数νdは� ��面s31と面s33では82.52、面s34では39.7である。

 また、図13のリレー光学系113のレンズデ� �タを表6に示した。なお、開口絞り115に近い� ��から光源111に向かって、面番号を付してい� ��。リレー光学系113を構成する2つのレンズの うち、開口絞り115から遠いレンズは、開口絞 り115から遠い面s65、中間面s64および近い面s63 を有している。開口絞り115から近いレンズは 、開口絞り115から遠い面s62と、近い面s61を有 している。

 表6は、図13のリレー光学系113の光線追跡� ��結果を表している。曲率半径と面間隔はい� ��れもミリメートル単位である。また、ndはd� ��の波長における屈折率を表し、νdはd線を中 心波長にしたときのアッベ数を示している。

 また、リレー光学系113の最もミラー114に� ��い面とミラー114の光路中心に沿った距離L21� ��、20.0mmで、ミラー114と開口絞り115の光路中� ��に沿った距離L22は30.0mmであった。

 図13の構成は図8と図10の構成に比べて、� �レー光学系113とミラー114の距離をより短く� �ることができる。リレー光学系113とミラー11 4の距離をより短くすることは、式(2)におけ� �L2/f2の値を小さくすることを意味する。リレ ー光学系113をミラー114に近づけると、リレー 光学系113から射出されて開口絞り115に向かう 集束光の径を小さくすることができるので、 リレー光学系113の径とミラー114の径を小さく することができる。

 ただし、径を小さくし過ぎて式(2)の下限� ��を超えると、リレー光学系113とミラー114が� ��触してしまうので、それを避けて径を小さ� ��すると、必要な光束径を確保することがで� ��ず、照明のNAが小さくなってしまうのは上� �した通りである。

 また、本発明の実施の形態における顕微� ��51では、光路P15と接眼レンズ76を通る光路P17 とが、上方から見たときに、互いにほぼ直交 するように、各光路が設定されている。した がって、接眼レンズ76から観察者への試料か� ��の光の射出方向と結像光学系102の光路の一� ��が略直交している。

 これにより、ユーザの目に対して右側に� ��対物レンズ120、レボルバ62、試料90などが位 置するようになる。よって、顕微鏡51を使用� ��るユーザは、上体を動かしたりすることな� ��、調節部材75や操作部材91以外にも合焦操作 や観察位置調整操作などの操作が容易となり 、また直接目視による確認が可能となる。

 具体的には例えば、対物レンズ120の視認� ��の向上が図られる。また、対物レンズ120の� ��替えの操作性の向上、即ち、倍率切り替え� ��ためのレボルバ62へのアクセス性の向上が� �られる。また、試料90の交換や位置の変更な どの作業性の向上が図られる。また、焦点板 103の着脱が容易となる。また、光路中への光 学部材の着脱が本体部21の前面でできるので� ��観察時から交換時に移る際に、上体の動き� ��必要としない。それゆえ、作業性の向上が� ��られる。

 更に、光路P15のように、一旦、接眼レン� ��76の射出光軸に対して、横方向に向かう光� �を結像光学系中に形成することで、結像光� �系の光路を長くすることができる。それ故� �焦点距離がある程度必要となる場合であっ� �も、十分対応できる長さを確保できる。

 また、光路P15に中間像90Iを形成するよう� ��したので、焦点板103の光路中への挿板を装� ��前面で行える。これにより、結像光学系に� ��する操作性が大幅に向上する。

 更に、光路P16における距離を光路P13と光� ��P14の総和の距離よりも長く設定している。� ��れにより接眼レンズ76の位置をステージ64よ りも高くすることができ、接眼レンズ76から� ��線を外せば、ステージ64に載置された試料90 を容易に上方から俯瞰することができ、観察 時の姿勢を崩さずに試料90の配置位置の微調� ��を目視で容易に確認することができる。

 なお、対物レンズ120等はユーザの目に対� ��て右側だけでなく、左側に配置したもので� ��っても、本発明を適用することにより同等� ��視認性、操作性、作業性が得られる。

 換言すると、光路P13および光路P14は、光� ��P16の光軸に対して、右側に並列配列されて� ��る。しかしながら、光路P13および光路P14は� ��光路P16に対して左側に並列配列される構成� ��もよい。この場合は、図1において、配置が 光路P16の中心を示す一点鎖線を軸に、各部材 やレンズが反転した配置となる。

 また、照明用光学系101の光路の一部であ� ��光路P12に、図1の開口絞り115や視野絞り116の 他にも、特殊観察時における図示せぬ各種フ ィルタ類(偏光板、蛍光フィルタ等)等の各種� ��学素子を、本体部21の前面側に配置するこ� �ができるようになる。また、結像光学系102� �光路P14にも装置前面から各種フィルタ類を� �脱可能にすることもできる。その結果、各� �光学素子に対する操作性が向上する。

 さらに、結像光学系102の光路P15と、照明� ��光学系101の光路P12とについては、図2の上面 (上方)から垂直下方向に見たとき、即ち、光� ��P15と光路P12との垂直方向となる図2に示され るように上面から見たとき、その光路は同じ 1本の直線上に重なり合うように設定されて� �る。

 これにより、対物レンズ120の光軸方向か� ��見て、一方向だけ光路のスペースを取れば� ��いことになる。その結果、ステージ64、65の 周辺の省スペース化、即ち、図2における本� �部61の横方向の小型化を図ることができる。

 なお、上述した視認性、操作性、作業性� ��改善の効果、および、本体部61の横方向の� �型化を図る効果を奏するための光学系の配� �は、図1乃至図4の例に限定されず、次のよう な配置であれば足りる。即ち、照明光学系の 光路の一部と、結像光学系の光路のうちの、 上方から見たときに、接眼レンズ76からユー� ��への試料からの光の射出方向とは、略直交� ��る方向に形成される光路(以下第2光路と称� �る)があり、かつ、照明光学系の光路の一部� ��も第2光路とほぼ平行となる光路を有し、そ の光路と第2光路とのそれぞれに対して垂直� �向となる所定方向から見たときに、照明光� �系の光路の一部と第2光路の少なくとも一部� ��重なりあうように、照明光学系の光路が設� ��されている構成であれば、上述の効果を奏� ��ることが可能になる。

 なお、本発明の実施の形態は、上述した� ��施の形態に限定されるものではなく、本発� ��の要旨を逸脱しない範囲において種々の変� ��が可能である。