Optoelektronischer Halbleiterchip und Verfahren zur

Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips

Es wird ein optoelektronischer Halbleiterchip angegeben.

Darüber hinaus wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterchips angegeben. Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, einen

optoelektronischen Halbleiterchip anzugeben, der mit einer vergleichsweise großen Betriebsspannung betreibbar ist.

Diese Aufgabe wird unter anderem durch einen

optoelektronischen Halbleiterchip mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs gelöst. Bevorzugte

Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der Halbleiterchip zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung

eingerichtet. Beispielsweise wird im Betrieb des

Halbleiterchips ultraviolette Strahlung, blaues Licht, grünes Licht und/oder rotes Licht erzeugt. Bevorzugt handelt es sich bei dem Halbleiterchip um einen Leuchtdiodenchip oder um einen Laserdiodenchip.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform beinhaltet der

Halbleiterchip einen Träger. Der Träger weist eine

Trägeroberseite sowie eine dieser gegenüberliegende

Frontseite auf. Bei dem Träger handelt es sich um die den

Halbleiterchip mechanisch stützende und mechanisch tragende Komponente. Es kann der Träger diejenige Komponente des

Halbleiterchips sein, die die größte Dicke aufweist. Beispielsweise liegt die Dicke des Trägers im Bereich

zwischen einschließlich 75 μιη und 500 μιη oder zwischen einschließlich 100 μιη und 300 μιη. Alternativ oder zusätzlich liegt die Dicke des Trägers bevorzugt bei mindestens 5 % oder bei mindestens 7,5 % und/oder bei höchstens 35 % oder bei höchstens 25 % einer mittleren lateralen Abmessung des

Halbleiterchips, in Draufsicht auf die Trägeroberseite gesehen. Insbesondere ist der Träger aus einem elektrisch isolierenden Material geformt. Weiterhin ist der Träger bevorzugt einstückig ausgebildet und aus einem einzigen, zusammenhängenden Material geformt.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst der

Halbleiterchip eine Halbleiterschichtenfolge. Die

Halbleiterschichtenfolge weist mindestens eine aktive Schicht zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung auf. Die Halbleiterschichtenfolge beinhaltet ferner eine n-leitende n- Schicht sowie eine p-leitende p-Schicht. Die aktive Schicht kann durch eine Grenzfläche zwischen der n-Schicht und der p- Schicht gebildet sein. Ebenso kann die aktive Schicht als Einfach-Quantentopfstruktur oder als Mehrfach- Quantentopfstruktur geformt sein.

Die Halbleiterschichtenfolge basiert bevorzugt auf einem III- V-Verbindungshalbleitermaterial . Bei dem Halbleitermaterial handelt es sich zum Beispiel um ein Nitrid- Verbindungshalbleitermaterial wie Al _n In _] __ _n _ _m Ga _m N oder um ein Phosphid-Verbindungshalbleitermaterial wie Al _n In _] __ _n _ _m Ga _m P oder auch um ein Arsenid-Verbindungshalbleitermaterial wie Al _n In _] __ _n _ _m Ga _m As, wobei jeweils 0 ^ n < 1, 0 ^ m < 1 und n + m -S 1 ist. Dabei kann die Halbleiterschichtenfolge Dotierstoffe sowie zusätzliche Bestandteile aufweisen. Der Einfachheit halber sind jedoch nur die wesentlichen Bestandteile des Kristallgitters der Halbleiterschichtenfolge, also AI, As, Ga, In, N oder P, angegeben, auch wenn diese teilweise durch geringe Mengen weiterer Stoffe ersetzt und/oder ergänzt sein können. Bevorzugt basiert die Halbleiterschichtenfolge auf Al _n i _ni _ _n _ _m Ga _m N.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist der

Halbleiterchip eine oder mehrere n-Kontaktstellen sowie eine oder mehrere p-Kontaktstellen auf. Die Kontaktstellen sind zum elektrischen Kontaktieren des Halbleiterchips

eingerichtet. Beispielsweise sind die Kontaktstellen dazu eingerichtet, dass der Halbleiterchip über die Kontaktstellen mittels Löten elektrisch und mechanisch befestigbar ist.

Bevorzugt weist der Halbleiterchip genau eine n-Kontaktstelle und genau eine p-Kontaktstelle auf. Bevorzugt ist die n-

Kontaktstelle elektrisch unmittelbar mit der n-Schicht und die p-Kontaktstelle elektrisch unmittelbar mit der p-Schicht verbunden . Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst der

Halbleiterchip mehrere elektrische Leiterbahnen, bevorzugt mindestens zwei oder mindestens drei oder mindestens vier Leiterbahnen. Die Leiterbahnen umfassen insbesondere ein Metall oder eine Metalllegierung oder bestehen hieraus.

Ebenso ist es möglich, dass die Leiterbahnen zum Teil aus einem elektrisch leitfähigen Oxid wie Zinkoxid geformt sind. Eine Leiterbahn kann ein in sich zusammenhängender,

elektrisch ununterbrochener, ohmscher Leiter sein. Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist die

Halbleiterschichtenfolge, in Draufsicht auf die

Trägeroberseite gesehen, in mindestens zwei nebeneinander angeordnete Emitterbereiche strukturiert. Es ist bevorzugt jeder der Emitterbereiche dazu eingerichtet, im

bestimmungsgemäßen Gebrauch des Halbleiterchips Strahlung zu emittieren. In Draufsicht gesehen überlappen die

Emitterbereiche bevorzugt nicht. Es sind alle Emitterbereiche aus derselben Halbleiterschichtenfolge heraus strukturiert. Ein Abstand der Emitterbereiche, in Richtung parallel zur Trägeroberseite, ist bevorzugt klein. Klein kann bedeuten, dass der Abstand höchstens 5 μιη oder höchstens 2 μιη beträgt. Gemäß zumindest einer Ausführungsform befinden sich die

Leiterbahnen an einer dem Träger abgewandten Seite der

Halbleiterschichtenfolge. Mit anderen Worten befindet sich die Halbleiterschichtenfolge dann zwischen dem Träger und den Leiterbahnen .

Gemäß zumindest einer Ausführungsform sind alle

Emitterbereiche oder mindestens ein Teil der Emitterbereiche über die Leiterbahnen elektrisch in Serie geschaltet.

Insbesondere ist die n-Schicht von einem der Emitterbereiche mit der p-Schicht eines in Stromrichtung benachbarten

Emitterbereichs verbunden. Die Stromrichtung ergibt sich aus der elektrischen Serienschaltung. Innerhalb eines

Emitterbereichs kann ein Stromfluss verzweigt sein. Zwischen benachbarten Emitterbereichen ist ein Stromfluss bevorzugt unverzweigt und eindeutig.

In mindestens einer Ausführungsform umfasst der

optoelektronische Halbleiterchip einen Träger mit einer Trägeroberseite. Eine Halbleiterschichtenfolge mit zumindest einer aktiven Schicht zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung, die sich zwischen einer n-leitenden n-Schicht und einer p-leitenden p-Schicht befindet, ist auf der

Trägeroberseite angebracht. Der Halbleiterchip weist eine n- Kontaktstelle und eine p-Kontaktstelle zum elektrischen

Kontaktieren des Halbleiterchips auf. Ferner beinhaltet der Halbleiterchip zumindest zwei oder zumindest drei elektrische Leiterbahnen. In Draufsicht auf die Trägeroberseite gesehen ist die Halbleiterschichtenfolge in wenigstens zwei

nebeneinander angeordnete Emitterbereiche strukturiert. Die Emitterbereiche sind über die Leiterbahnen elektrisch in Serie geschaltet. Es befinden sich die Leiterbahnen an einer dem Träger abgewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge.

Durch die serielle Verkettung der Emitterbereiche ist eine um ein Vielfaches höhere Betriebsspannung des oben angegebenen Halbleiterchips erzielbar, als dies für einen

Leuchtdiodenchip mit einem einzigen Emitterbereich üblich ist. Die höhere Betriebsspannung erlaubt einen Verzicht auf ein stark spannungswandelndes Vorschaltgerät . Hierdurch ist eine höhere Systemeffizienz realisierbar.

Bei einem solchen Halbleiterchip kann die serielle

Verschaltung der Emitterbereiche auf Chipebene erfolgen. Das heißt, es sind zum Erstellen der Serienschaltung keine externen Leiterbahnen, etwa auf einer Leiterplatte,

erforderlich. Dies vereinfacht eine Montage der

Serienschaltung der Emitterbereiche und reduziert auch einen Justageaufwand des Halbleiterchips.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform durchdringen sich zwei entlang der Stromrichtung der Serienschaltung

aufeinanderfolgende Leiterbahnen. Das Durchdringen bezieht sich insbesondere auf eine Richtung senkrecht zur

Trägeroberseite. Durchdringen kann bedeuten, dass, in einer Ebene parallel zur Trägeroberseite, eine Leiterbahn ringsum von einem Material einer anderen Leiterbahn umgeben ist. Die durchdringende Leiterbahn befindet sich bevorzugt teilweise näher an und teilweise weiter entfernt von der

Trägeroberseite als der Teilbereich der Leiterbahn, die durchdrungen wird. Zumindest für Leiterbahnen, die nicht elektrisch unmittelbar mit den Kontaktstellen verbunden sind, ist es möglich, dass jede dieser Leiterbahnen genau eine andere Leiterbahn durchdringt und dass jede dieser

Leiterbahnen, die nicht in unmittelbarem elektrischen Kontakt zu den Kontaktstellen stehen, von genau einer anderen

Leiterbahn durchdrungen wird. Die unmittelbar mit den

Kontaktstellen in elektrischem Kontakt stehenden Leiterbahnen können abweichend von den anderen Leiterbahnen geformt sein.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform sind alle Leiterbahnen, die nicht elektrisch unmittelbar mit den Kontaktstellen verbunden sind, im Rahmen der Herstellungstoleranzen gleich geformt. Diese Leiterbahnen können durch geometrische

Operationen der Translation und der Rotation deckungsgleich ineinander übergehen.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen zumindest die Leiterbahnen, die elektrisch nicht unmittelbar mit den

Kontaktstellen verbunden sind, eine oder mehrere

Kontaktflächen auf. Die bevorzugt genau eine Kontaktfläche befindet sich an der p-Schicht. Insbesondere ist die

Kontaktfläche unmittelbar mit der p-Schicht elektrisch verbunden. Zwischen der p-Schicht und der Kontaktfläche befindet sich bevorzugt keine weitere Schicht oder höchstens eine Schicht zur Verbesserung des elektrischen Kontakts. Die Kontaktfläche bedeckt beispielsweise, in Draufsicht gesehen, mindestens 50 % oder mindestens 70 % oder mindestens 85 % der p-Schicht. Die p-Schicht kann also nahezu vollständig von der Kontaktfläche bedeckt sein. Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist die Kontaktfläche eine oder mehrere Öffnungen auf. Die Öffnungen sind bevorzugt ringsum von einem Material der Kontaktfläche umgeben. Bei den Öffnungen kann es sich dann um Löcher in der Kontaktfläche handeln .

Gemäß zumindest einer Ausführungsform reicht durch die mindestens eine Öffnung der Kontaktfläche einer der

Leiterbahnen ein Teilbereich einer weiteren Leiterbahn hindurch. Diese weitere Leiterbahn, die die Kontaktfläche durchdringt, reicht bevorzugt bis in die n-Schicht des entsprechenden Emitterbereichs hinein und durchdringt die mindestens eine aktive Schicht.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen zumindest diejenigen Leiterbahnen, die elektrisch nicht unmittelbar mit den Kontaktstellen verbunden sind, eine elektrisch leitende Brücke auf. Die Brücke ist dazu eingerichtet, zwei

benachbarte elektrische Emitterbereiche elektrisch

miteinander zu verbinden. Die Brücke kann leiterbahnartig oder, bevorzugt, flächig geformt sein.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform überdeckt die Brücke einer Leiterbahn, in Draufsicht auf die Trägeroberseite gesehen, die zwei miteinander elektrisch über die Brücke verbundenen Emitterbereiche jeweils zum Teil. Es ist möglich, dass zumindest einer dieser Emitterbereiche von der Brücke zu mindestens 50 % oder zu mindestens 80 % überdeckt ist. Es können die Emitterbereiche also von den Brücken der

Leiterbahnen nahezu vollständig überdeckt sein. Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist je genau eine der Kontaktflächen der Leiterbahnen an jeweils genau einem der Emitterbereiche angebracht. Jede dieser Kontaktflächen dieser Leiterbahnen ist von der oder den Brücken genau einer in Stromrichtung benachbarten Leiterbahn durchdrungen. Es ist möglich, dass dies nicht für Leiterbahnen gilt, die

elektrisch unmittelbar mit den Kontaktstellen verbunden sind.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform liegen alle

Kontaktflächen in einer gemeinsamen Ebene. Diese gemeinsame Ebene ist bevorzugt parallel zur Trägeroberseite

ausgerichtet. Parallel zu dieser Ebene verlaufende

Teilbereiche der Brücken befinden sich bevorzugt weiter von der Trägeroberseite entfernt als die Kontaktflächen.

Senkrecht zu dieser Ebene orientierte Teilbereiche der

Brücken können sich zum Teil näher an der Trägeroberseite befinden als die Kontaktflächen.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform sind parallel zu der durch die Kontaktflächen definierten Ebene verlaufende

Teilbereiche der n-Kontaktstelle und/oder der p-Kontaktstelle weiter von der Trägeroberseite entfernt als die

Kontaktflächen. Insbesondere können die Kontaktstellen die am weitesten von der Trägeroberseite entfernt liegenden Teile des Halbleiterchips bilden, mindestens für denjenigen

Halbraum oberhalb der Trägeroberseite, in dem sich die

Halbleiterschichtenfolge befindet .

Gemäß zumindest einer Ausführungsform sind die Leiterbahnen oder ist ein Teilbereich der Leiterbahnen als Reflektor für die in der aktiven Schicht erzeugte Strahlung gestaltet. In diesem Fall weisen die Leiterbahnen bevorzugt ein reflektierendes Metall wie Silber oder Aluminium auf oder bestehen hieraus.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform handelt es sich bei dem Träger um ein Aufwachssubstrat für die

Halbleiterschichtenfolge. Das heißt, die

Halbleiterschichtenfolge ist dann bevorzugt unmittelbar auf der Trägeroberseite des Trägers aufgewachsen. Bei dem Träger handelt es sich insbesondere um ein Saphirsubstrat.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform handelt es sich bei dem Halbleiterchip um einen Flip-Chip. Der Halbleiterchip ist bevorzugt oberflächenmontierbar . Die Kontaktstellen befinden sich ferner bevorzugt in einer gemeinsamen Ebene parallel zur Trägeroberseite. Es ist der Halbleiterchip insbesondere bonddrahtfrei kontaktierbar . Es ist möglich, dass die

einzigen, sich in unmittelbarem Kontakt mit einer externen Leiterplatte befindlichen Teile des Halbleiterchips dann die n-Kontaktstelle und die p-Kontaktstelle sind.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist eine

Strahlungshauptseite des Halbleiterchips durch die der

Trägeroberseite gegenüberliegende Frontseite des Trägers gebildet. Die im Halbleiterchip im Betrieb erzeugte Strahlung wird dann ausschließlich oder überwiegend durch den Träger hindurch emittiert. Es ist hierzu möglich, dass der Träger mit einer Strukturierung, insbesondere mit einer Aufrauung, oder mit einer Anti-Reflexionsschicht versehen ist. Ebenso können an dem Träger optisch wirksame Elemente wie Linsen oder Lumineszenzkonversionsmaterialien angebracht sein.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform überlappen, in

Draufsicht auf die Trägeroberseite gesehen, in Stromrichtung benachbarte Leiterbahnen. Das heißt, in Draufsicht gesehen können die Leiterbahnen zumindest zum Teil übereinander verlaufen. Es ist möglich, dass diese übereinander

verlaufenden Leiterbahnen elektrisch nur über die

Halbleiterschichtenfolge miteinander verbunden sind. Bei dieser Betrachtung können Elemente des Halbleiterchips zum Schutz vor Schäden durch elektrostatische Entladungen wie ESD-Schutzdioden außen vor bleiben. Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist die

Halbleiterschichtenfolge zwischen benachbarten

Emitterbereichen vollständig entfernt. Zwischen benachbarten Emitterbereichen besteht dann keine durchgehende Verbindung aus einem Halbleitermaterial der Halbleiterschichtenfolge. Mit Ausnahme der elektrischen Verbindung durch die

Leiterbahnen können die Emitterbereiche dann vollständig voneinander elektrisch isoliert sein. Auch bei dieser

Betrachtung können Elemente zum Schutz gegen elektrostatische Entladungen unberücksichtigt bleiben.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist ein Graben oder ein Zwischenraum zwischen den benachbarten Emitterbereichen, insbesondere in Richtung parallel zur Trägeroberseite, teilweise oder vollständig mit einem Material aufgefüllt. Bei diesem Material handelt es sich um ein elektrisch

isolierendes Material. Ferner ist dieses Material bevorzugt reflektierend für die im Betrieb des Halbleiterchips erzeugte Strahlung oder wirkt nicht oder nur zu einem

vernachlässigbaren Anteil absorbierend.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst der

Halbleiterchip genau oder mindestens zwei, drei, vier oder sechs der Emitterbereiche. Alternativ oder zusätzlich umfasst der Halbleiterchip höchstens 24 oder höchstens 16 oder höchstens acht der Emitterbereiche.

Darüber hinaus wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips, wie in Verbindung mit einer oder mehrerer der oben genannten Ausführungsformen beschrieben, angegeben. Merkmale des Halbleiterchips sind daher auch für das Verfahren offenbart und umgekehrt. In mindestens einer Ausführungsform umfasst das Verfahren mindestens oder genau die folgenden Schritte:

- Bereitstellen des Trägers,

- epitaktisches Wachsen der Halbleiterschichtenfolge auf die Trägeroberseite,

- Aufbringen mindestens einer Kontaktschicht für die

Leiterbahnen auf eine dem Träger abgewandte Oberseite der Halbleiterschichtenfolge,

- Strukturieren der mindestens einen Kontaktschicht zu

Kontaktflächen der Leiterbahnen,

- Strukturieren der Halbleiterschichtenfolge zu den

Emitterbereichen,

- Aufbringen mindestens einer elektrisch isolierenden

Schutzschicht auf die Oberseite,

- Aufbringen von elektrisch leitenden Brücken der

Leiterbahnen, wobei die Brücken benachbarte Emitterbereiche elektrisch miteinander verbinden, und

- Aufbringen der n-Kontaktstelle und der p-Kontaktstelle .

Bevorzugt werden die Verfahrensschritte in der angegebenen Reihenfolge durchgeführt. Alternativ ist eine abweichende Reihenfolge ebenso möglich, soweit technisch sinnvoll. Nachfolgend wird ein hier beschriebener optoelektronischer Halbleiterchip und ein hier beschriebenes Verfahren unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Gleiche Bezugszeichen geben dabei gleiche Elemente in den einzelnen Figuren an. Es sind dabei jedoch keine maßstäblichen Bezüge dargestellt. Vielmehr können einzelne Elemente zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein. Es zeigen:

Figuren 1 bis 12 schematische Schnittdarstellungen eines

Ausführungsbeispiel eines Herstellungsverfahrens für einen hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterchip,

Figuren 13 bis 15 schematische Darstellungen von

Leiterbahnen für Ausführungsbeispiele von hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterchips, und

Figur 16 schematische Draufsichten auf Ausführungsbeispiele von hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterchips .

In den Figuren 1 bis 12 sind in Schnittdarstellungen

Verfahrensschritte zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips 1 gezeigt. Sich außerhalb der Schnittebene befindliche Teile, insbesondere sich hinter der Zeichenebene befindliche Materialien, sind zur Vereinfachung der

Darstellung in den Figuren 1 bis 12 jeweils nicht gezeichnet. Gemäß Figur 1 wird ein Träger 2 bereitgestellt. Bei dem

Träger 2 handelt es sich um ein Aufwachssubstrat ,

insbesondere um Saphir. Der Träger 2 weist eine

Trägeroberseite 20 und eine dieser gegenüberliegende

Frontseite 22 auf.

Auf die Trägeroberseite 20 wird epitaktisch eine

Halbleiterschichtenfolge 3 abgeschieden. Die

Halbleiterschichtenfolge 3 umfasst eine n-leitende n-Schicht 31, die sich am nächsten am Träger 2 befindet. Ferner weist die Halbleiterschichtenfolge 3 eine p-leitende p-Schicht 35 auf. Eine dem Träger 2 abgewandte Oberseite 38 der

Halbleiterschichtenfolge 3 ist durch die p-Schicht 35

gebildet .

Zwischen der n-Schicht 31 und der p-Schicht 35 befindet sich mindestens eine aktive Schicht 33. Die aktive Schicht 33 kann durch einen pn-Übergang oder durch eine Quantentopfstruktur gebildet sein. Auch für die n-Schicht 31 und die p-Schicht 35 ist es möglich, dass diese aus mehreren Schichten

zusammengesetzt sind. Dies ist in der vereinfachten

Darstellung in den Figuren jeweils nicht gezeichnet.

Die n-Schicht 31 weist beispielsweise eine Dicke von ungefähr 5 μιη auf und die p-Schicht 35 eine Dicke von ungefähr 120 nm. Die genannten Zahlenwerte können, wie ebenso alle nachfolgend genannten Zahlenwerte, auch in allen anderen

Ausführungsbeispielen gelten und sind beispielsweise mit einer Toleranz von höchstens 50 % oder mit einer Toleranz von höchstens 25 % beaufschlagt.

In Figur 2 ist dargestellt, dass auf die Oberseite 38 eine Kontaktschicht 40 abgeschieden wird. Die Kontaktschicht 40 umfasst eine erste Schicht 40a, die beispielsweise aus Silber gebildet ist und eine Dicke von ungefähr 600 nm aufweisen kann. Alternativ kann es sich auch um eine deutlich dünnere Silberschicht handeln, die durch eine oder mehrere weitere Metallschichten, beispielsweise Kupferschichten, aufgedickt ist .

Optional befindet sich an der dem Träger 2 abgewandten Seite der ersten Schicht 40a eine zweite Schicht 40b der

Kontaktschicht 40. Diese zweite Schicht 40b ist bevorzugt aus einem leitfähigen Oxid wie ZnO gebildet. Über die zweite Schicht 40b ist eine Haftung zu einem später angrenzenden, dielektrischen Material verbesserbar. Die zweite Schicht 40b weist beispielsweise eine Dicke von ungefähr 70 nm auf. Die Schichten 40a, 40b, die die Kontaktschicht 40 bilden, werden bevorzugt ganzflächig auf die Oberseite 38 abgeschieden.

In Figur 3 ist zu sehen, dass die Kontaktschicht 40

insbesondere fotolithografisch teilweise von der Oberseite 38 entfernt wird. Hierdurch erfolgt eine Strukturierung zu

Kontaktflächen 41 für Leiterbahnen 4 und es werden Öffnungen 44 gebildet. Die Kontaktflächen 41 umgeben resultierende Öffnungen 44 jeweils ringartig oder rahmenförmig . Eine Fläche der Öffnungen 44 ist, in Draufsicht gesehen, klein im

Vergleich zu einer verbleibenden Fläche der Kontaktfläche 41. Anders als durch die Schnittdarstellung in Figur 3

suggeriert, bedecken die Kontaktflächen 41 bevorzugt große Teile der Oberseite 38 der Halbleiterschichtenfolge 3. In Figur 4 ist gezeigt, dass die p-Schicht 35 stellenweise von der n-Schicht 31 entfernt ist, sodass die n-Schicht 31 stellenweise freiliegt. Die stehen bleibenden Bereiche der p- Schicht 35 können die Kontaktflächen 41 lateral, in Richtung parallel zur Trägeroberseite 20, überragen. Es wird auch Material der n-Schicht 31 teilweise entfernt, sodass die aktive Schicht 33 unterbrochen wird. Gemäß Figur 5 wird die Halbleiterschichtenfolge 3 in einzelne Emitterbereiche 36 strukturiert. Zwischen benachbarten

Emitterbereichen 36 ist ein Halbleitermaterial der

Halbleiterschichtenfolge 3 vollständig entfernt. Die

Emitterbereiche 36 befinden sich somit alle auf dem

gemeinsamen Träger 2. Ein Umbonden auf ein anderes Substrat findet nicht statt. Eine mechanische Verbindung der

Emitterbereiche 36 hin zu der Trägeroberseiten 20 bleibt dauerhaft erhalten. In diesem Verfahrensstadium besteht keine elektrische Verbindung zwischen benachbarten Emitterbereichen 36.

In Figur 6 ist gezeigt, dass auf die gemäß Figur 5 erzeugten Strukturen ringsum Schutzschichten 61, 62 aufgebracht werden. Bei der ersten Schutzschicht 61, die dem Träger 2 am nächsten gelegen ist, handelt es sich beispielsweise um eine

Aluminiumoxid-Schicht, eine Aluminiumnitrid-Schicht, eine Siliziumoxid-Schicht oder um eine Siliziumnitrid-Schicht. Auch eine S1O2 : Al-Schicht kann Verwendung finden. Auf die erste Schutzschicht 61 wird die zweite Schutzschicht 62 abgeschieden. Bei der zweiten Schutzschicht 62 handelt es sich zum Beispiel um Siliziumdioxid/Siliziumnitrid- Multischichten . Es wird die zweite Schutzschicht 62

beispielsweise mittels chemischer Gasphasenabscheidung, englisch Chemical Vapor Deposition, kurz CVD, erzeugt. Es weist die zweite Schutzschicht 62 eine Dicke von insbesondere ungefähr 400 nm auf. Im Verfahrensschritt gemäß Figur 7 werden die Schutzschichten 61, 62 teilweise entfernt und die Kontaktflächen 41 werden stellenweise freigelegt. Ebenso wird in den Öffnungen 44 die n-Schicht 31 teilweise freigelegt.

Gemäß Figur 8 wird in die Öffnungen 44 ein elektrisch

leitendes Material für Brücken 42 der Leiterbahnen 4

eingebracht. Zur Verbesserung eines elektrischen Kontakts kann optional eine Kontaktschicht, etwa eine ZnO-Schicht, auf die n-Schicht 31 aufgesputtert werden. Anschließend werden die Öffnungen 44 bevorzugt im Wesentlichen vollständig mit einem Metall, beispielsweise mit Silber, verfüllt. Nach dem Einbringen des Materials der Brücken 42 kann ein Ausheilen, englisch annealing, erfolgen.

Im Verfahrensschritt gemäß Figur 9 werden die Brücken 42 vervollständigt und die Leiterbahnen 4 ausgebildet. In diesem Verfahrensschritt werden insbesondere die im Wesentlichen parallel zur Trägeroberseite 20 verlaufenden Teilbereiche der Leiterbahnen 4 erzeugt. Jede der Leiterbahnen 4 umfasst hierbei eine der Kontaktflächen 41 und eine der Brücken 42. Die hieraus resultierenden Strompfade C sind in Figur 9 durch Pfeile schematisch dargestellt. Die Strichlinien-Pfeile zwischen den Kontaktflächen 41 innerhalb eines der

Emitterbereiche 36 deuten an, dass die Kontaktflächen 41 ringartig um die Öffnungen 44 herum geformt sind.

Ein Material für die Brücken 42 wird bevorzugt im

Wesentlichen ganzflächig aufgebracht. In der Schicht für die Brücken 42 sind dann nur vergleichsweise kleine Aussparungen vorhanden, um benachbarte Leiterbahnen 4 elektrisch

voneinander isoliert zu halten. Bei dem Material für die parallel zur Trägeroberseite 20 verlaufenden Teilbereiche der Brücken 42 handelt es sich bevorzugt um ein reflektierendes Material wie Silber. Zu einer Haftvermittlung kann sich hin zu den Kontaktflächen 41 optional eine dünne Schicht aus Titan oder ZnO befinden. In Richtung weg von dem Träger 2 können die Brücken 42 von einer dünnen Platinschicht und/oder von einer dünnen Titanschicht bedeckt sein, ebenfalls zu einer Haftverbesserung an

nachfolgenden Schichten. Es kann sich also an einer oder an beiden Seiten der Brücken 42, in einer Richtung senkrecht zur Trägeroberseite 20, eine haftvermittelnde Schicht befinden. Die parallel zur Trägeroberseite 20 verlaufenden Teilbereiche der Brücken 42 weisen beispielsweise eine Dicke von ungefähr 150 nm oder von ungefähr 350 nm auf.

Gemäß Figur 10 wird eine dritte Schutzschicht 63 ganzflächig abgeschieden, beispielsweise mittels CVD. Ein Material der dritten Schutzschicht 63 ist zum Beispiel Siliziumnitrid. Eine Dicke der dritten Schutzschicht 63 kann im Bereich um ungefähr 500 nm liegen.

In Figur 11 ist gezeigt, dass in die dritte Schutzschicht 63 zwei Ausnehmungen geformt werden, sodass eine der

Kontaktflächen 41 und eine der Brücken 42 freigelegt wird.

Gemäß Figur 12 wird der Halbleiterchip 1 fertiggestellt, indem eine n-Kontaktstelle 51 und eine p-Kontaktstelle 55 ausgeformt werden. Optional sind die Kontaktstellen 51, 55 mehrschichtig aufgebaut. Eine optionale erste Schicht 51b ist zum Beispiel aus Titan und/oder Titan-Wolfram-Nitrid gebildet und kann als Barriereschicht, Diffusionsstoppschicht und/oder Haftvermittlungsschicht wirken. Auf die erste Schicht 51b, 55b wird eine zweite Schichte 51a, 55b ausgeformt. Die zweite Schicht 51a, 55a ist bevorzugt lötfähig und kann aus AuSn geformt sein. Eine Dicke der Kontaktstellen 51, 55 liegt beispielsweise zwischen einschließlich 200 nm und 3 μιη. Der Halbleiterchip 1 gemäß Figur 12 weist nur zwei der

Emitterbereiche 36 auf. Anders als dargestellt kann eine größere Anzahl der Emitterbereiche 36 vorhanden sein. An jedem der Emitterbereiche 36 erfolgt ein Spannungsabfall von ungefähr 3 V. Bei beispielsweise vier Emitterbereichen 36 ist dann der Halbleiterchip 1 mit einer Spannung von ungefähr 12 V betreibbar. Bei entsprechend mehr Emitterbereichen 36 ist eine entsprechend höhere Betriebsspannung erzielbar.

In den Figuren 13 bis 15 sind mögliche Ausgestaltungen der Leiterbahnen 4 schematisch gezeigt, die Figurenteile A betreffen jeweils eine schematische Seitenansicht und die Figurenteile B jeweils eine schematische Draufsicht. In den Figuren 13 bis 15 sind verschiedene Aspekte der Leiterbahnen 4 dargestellt. Hierbei können auch Mischformen zwischen den in den Figuren 13 bis 15 dargestellten Leiterbahnen in einem Halbleiterchip, etwa gemäß Figur 12, auftreten.

Gemäß Figur 13 weist die Kontaktfläche 41 der Leiterbahn 4 genau eine Öffnung 44 auf und die Brücke 42 ist, in

Draufsicht gesehen, bahnartig und in Seitenansicht gesehen U- förmig gestaltet. Ein senkrecht zur Kontaktfläche 41

verlaufender Bereich der Brücke 42 schneidet eine durch die Kontaktfläche 41 definierte Ebene. Gemäß Figur 14 weist die Kontaktfläche 41 eine Mehrzahl von Öffnungen 44 auf. Die Öffnungen 44 sind bevorzugt regelmäßig in einem Raster angeordnet. Die Brücke 42 ist flächig

gestaltet, sodass zusammen mit der Kontaktfläche 41 ein im Wesentlichen ganzflächiger Spiegel für die Emitterbereiche 36 ausgebildet wird. In der Seitenansicht gesehen kann die

Brücke 42 F-förmig oder π-förmig gestaltet sein. Wie auch in allen anderen Ausführungsbeispielen liegt ein Durchmesser der Öffnungen 44 beispielsweise bei mindestens 5 μιη und/oder bei höchstens 25 μιη. Die Öffnungen 44 weisen bevorzugt eine möglichst geringe Größe auf. Bei der Leiterbahn 4, wie in Figur 15 gezeigt, befindet sich die Öffnung 44 an einem Rand der Kontaktfläche 41. Die

Öffnung 44 ist als Nase geformt. Die Brücke 42 ist flächig ausgebildet und überspannt die Kontaktfläche 41 einer

benachbarten Leiterbahn, nicht gezeichnet, bevorzugt nahezu vollständig.

In Figur 16 sind weitere Ausführungsbeispiele der

Halbleiterchips 1 gezeigt, in Draufsichten auf die Frontseite 22. Die Frontseite 22 ist als Strahlungshauptseite gestaltet. Die Halbleiterchips 1 weisen zum Beispiel eine Kantenlänge von mindestens 0,25 mm oder mindestens 0,5 mm oder mindestens 0,75 mm auf. Die Kantenlänge beträgt alternativ oder

zusätzlich höchstens 3 mm oder höchstens 2 mm. Die Frontseiten 22 sind jeweils nicht von Leiterbahnen oder Durchkontaktierungen unterbrochen. Das heißt, der Träger 2 weist bevorzugt keine Löcher, Durchbrüche oder Ausnehmungen zu einer elektrischen und/oder mechanischen Kontaktierung auf. Es erstreckt sich der Träger 2 zusammenhängend und ununterbrochen über alle Emitterbereiche 36.

Gemäß Figur 16A weist der Halbleiterchip 1 vier der

Emitterbereiche 36 auf, die in einem quadratischen Muster angeordnet und alle elektrisch in Serie geschaltet sind, vergleiche die durch Pfeile gekennzeichnete Stromrichtung C.

In Figur 16B weist der Halbleiterchip 1 neun in einem

gleichmäßigen Raster angeordnete Emitterbereiche 36 auf, die ebenfalls in einer einzigen elektrischen Serienschaltung zusammengefasst sind.

Abweichend hiervon weist der Halbleiterchip 1 gemäß Figur 16C zwei separate Serienschaltungen auf, die jeweils

beispielsweise vier der Emitterbereiche 36 umfassen.

Entsprechend umfasst der Halbleiterchip 1 gemäß Figur 16 eine der Anzahl der Serienschaltungen entsprechende Anzahl von n- Kontaktstellen und p-Kontaktstellen, nicht gezeichnet.

Die hier beschriebene Erfindung ist nicht durch die

Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt.

Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmale oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist . Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2012 106 364.8, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.