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Patent Searching and Data


Title:
PART BUILT-IN PRINTED WIRING BOARD, AND ITS MANUFACTURING METHOD
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/054105
Kind Code:
A1
Abstract:
Provided is a printed wiring board, which is constituted by laminating a core layer (1) having a first wiring circuit (3) and an electronic part (7) mounted thereon and a wiring layer (12) having a second wiring circuit (14a). The electronic part (7) is soldered to connecting electrodes (3a) constituting the first wiring circuit (3). Solder jointed portions (6c) between the electronic part (7) and the electrodes (3a) are covered with resin-coated portions (9). A part fixing layer (11a) for fixing the electronic part (7) and the resin-coated portions (9) from their peripheries is formed in the core layer (1). An interlayer wiring portion (19) for connecting the first wiring circuit (3) and the second wiring circuit (14a) is formed in the core layer (1) and the wiring layer (12). Thus, the printed wiring board having the semiconductor parts therein can be efficiently manufactured by the simple process.

Inventors:
WADA YOSHIYUKI
Application Number:
PCT/JP2008/002892
Publication Date:
April 30, 2009
Filing Date:
October 14, 2008
Export Citation:
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Assignee:
PANASONIC CORP (JP)
WADA YOSHIYUKI
International Classes:
H05K3/46
Domestic Patent References:
WO2007034629A12007-03-29
Foreign References:
JP2004311736A2004-11-04
JP2001077536A2001-03-23
JP2007214535A2007-08-23
JP2004152943A2004-05-27
Attorney, Agent or Firm:
IWAHASHI, Fumio et al. (1006 Oaza Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 01, JP)
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Claims:
第1配線回路を有し電子部品が実装されたコア層と第2配線回路を有する配線層とが積層して構成され、
前記電子部品は前記第1配線回路を構成する接続用の電極に半田接合され、
前記電子部品と前記電極との半田接合部は樹脂コート部で覆われ、
前記電子部品および前記樹脂コート部を周囲から囲んで固定する部品固定層が前記コア層に形成され、
前記第1配線回路と前記第2配線回路とを接続する層間配線部が前記コア層および前記配線層に設けられた部品内蔵プリント配線基板。
前記配線層を複数有し、少なくとも1つの前記配線層は前記部品固定層表面に形成された請求項1記載の部品内蔵プリント配線基板。
コア層の少なくとも一方の面に形成された第1配線回路を構成する接続用の電極にクリーム半田を供給する工程と、
前記コア層に電子部品を搭載する工程と、
前記コア層を加熱することにより、前記電極と前記電子部品とを半田接合する工程と、
前記電極と前記電子部品との半田接合部を洗浄して半田接合残渣を除去する工程と、
前記半田接合部を樹脂で覆って樹脂コート部を形成する工程と、
前記コア層を黒化処理することにより、前記配線回路の表面を粗化する工程と、
前記電子部品を周囲から囲んで固定する部品固定層上に第2配線回路を有する配線層を形成し、前記第1配線回路と前記第2配線回路とを接続する層間配線部を形成する工程とを含む部品内蔵プリント配線基板の製造方法。
前記配線層を複数有し、少なくとも1つの前記配線層は前記部品固定層表面に形成された請求項3記載の部品内蔵プリント配線基板。
コア層の少なくとも一方の面に形成された第1配線回路を構成する接続用の電極に、半田の酸化膜を除去する活性作用を有する熱硬化性樹脂に半田粒子を含有させた半田接合材を供給する工程と、
前記コア層に電子部品を搭載する工程と、
前記コア層を加熱することにより、前記電極と前記電子部品とを半田接合するとともに、前記電極と前記電子部品との半田接合部を前記熱硬化性樹脂が硬化した樹脂で覆って樹脂コート部を形成する工程と、
前記コア層を黒化処理することにより、前記第1配線回路の表面を粗化する工程と、
前記電子部品を周囲から囲んで固定する部品固定層上に第2配線回路を有する配線層を形成し、前記第1配線回路と前記第2配線回路とを接続する層間配線部を形成する工程とを含む部品内蔵プリント配線基板の製造方法。
前記配線層を複数有し、少なくとも1つの前記配線層は前記部品固定層表面に形成された請求項5記載の部品内蔵プリント配線基板。
Description:
部品内蔵プリント配線基板およ その製造方法

 本発明は、複数の配線層を積層して構成 れコア層に電子部品が実装された部品内蔵 リント配線基板およびその製造方法に関す ものである。

 近年電子機器の高機能化・小型化の進展 伴い、電子部品が実装された実装基板にお て実装密度の更なる高度化が求められる傾 にある。このため、電子部品の実装に用い れるプリント配線基板として、複数積層さ た配線層の内層に電子部品を実装したいわ る部品内蔵型のものが用いられるようにな ている(例えば、特許文献1参照)。

 特許文献1に記載の部品内蔵型プリント配 線基板においては、プリント配線基板に複数 層設けられた配線層のうち、内層にチップコ ンデンサ等のチップ部品を実装する例が示さ れている。これにより、プリント配線基板の 外層に実装される電子部品の一部を内層に取 り込むことができ、高密度の実装が実現され るという利点がある。

 しかしながら上述の特許文献1を含め、実 装密度の高密度化を促進する目的で採用され るプリント配線基板は、次のような問題点が ある。まず、従来のものは、内蔵の対象とな る部品の種類は主にコンデンサや抵抗などの 受動部品に限定される場合が多い。したがっ て、半導体部品などを含めた基板全体の実装 密度の高度化には限界があった。

 また、半導体部品を内層へ実装しようと れば、基板製造工程においてこれら部品を 容するためのキャビティの加工や部品を封 するための工程など、複雑な工程を経る必 があった。

 このように、従来技術においては、簡便な 程で効率よく部品内蔵プリント配線基板を 造するための技術が確立されていない。そ ため、新しい構成の部品内蔵プリント配線 板およびその製造方法が望まれていた。

特開2007-214230号公報

 本発明の部品内蔵プリント配線基板は、 便な工程で効率よく製造可能な部品内蔵プ ント配線基板および部品内蔵プリント配線 板の製造方法を提供するものである。

 本発明の部品内蔵プリント配線基板は、 1配線回路を有し電子部品が実装されたコア 層と第2配線回路を有する配線層とが積層し 構成され、電子部品は第1配線回路を構成す 接続用の電極に半田接合され、電子部品と 極との半田接合部は樹脂コート部で覆われ 電子部品および樹脂コート部を周囲から囲 で固定する部品固定層がコア層に形成され 第1配線回路と第2配線回路とを接続する層 配線部がコア層および配線層に設けられた 成を有する。

 また、本発明の部品内蔵プリント配線基 の製造方法は、コア層の少なくとも一方の に形成された第1配線回路を構成する接続用 の電極にクリーム半田を供給する半田供給工 程と、半田供給工程後、コア層に電子部品を 搭載する部品搭載工程と、部品搭載工程後、 コア層を加熱することにより、電極と電子部 品とを半田接合する半田接合工程と、半田接 合工程後、電極と電子部品との半田接合部を 洗浄して半田接合残渣を除去する洗浄工程と 、洗浄工程後、半田接合部を樹脂で覆って樹 脂コート部を形成する樹脂コート工程と、樹 脂コート工程後、コア層を黒化処理すること により、配線回路の表面を粗化する黒化処理 工程と、黒化処理工程後、電子部品を周囲か ら囲んで固定する部品固定層上に第2配線回 を有する配線層を形成し、第1配線回路と第2 配線回路とを接続する層間配線部を形成する 配線回路接続工程とを含む構成を有する。

 また、本発明の部品内蔵プリント配線基 の製造方法は、コア層の少なくとも一方の に形成された第1配線回路を構成する接続用 の電極に、半田の酸化膜を除去する活性作用 を有する熱硬化性樹脂に半田粒子を含有させ た半田接合材を供給する半田供給工程と、半 田供給工程後、コア層に電子部品を搭載する 部品搭載工程と、部品搭載工程後、コア層を 加熱することにより、電極と電子部品とを半 田接合するとともに、電極と電子部品との半 田接合部を熱硬化性樹脂が硬化した樹脂で覆 って樹脂コート部を形成する半田接合工程と 、半田供給工程後、コア層を黒化処理するこ とにより、第1配線回路の表面を粗化する黒 処理工程と、黒化処理工程後、電子部品を 囲から囲んで固定する部品固定層上に第2配 回路を有する配線層を形成し、第1配線回路 と第2配線回路とを接続する層間配線部を形 する配線回路接続工程とを含む構成を有す 。

 この構成によれば、電子部品が実装され コア層において電子部品と電極との半田接 部を樹脂によって覆って樹脂コート部を形 している。このことにより、複数の配線層 積層する際のプリプレグの密着性を確保す ために行われる黒化処理において半田接合 を保護することができる。したがって、コ 層への部品実装とプリプレグを用いた配線 の積層という簡便な工程で効率よく部品内 プリント配線基板を製造することができる

図1Aは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図1Bは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図1Cは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図1Dは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図1Eは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図2Aは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第2の 程説明図である。 図2Bは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第2の 程説明図である。 図2Cは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第2の 程説明図である。 図2Dは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第2の 程説明図である。 図2Eは、本発明の実施の形態1の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第2の 程説明図である。 図3Aは、本発明の実施の形態2の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図3Bは、本発明の実施の形態2の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図3Cは、本発明の実施の形態2の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。 図3Dは、本発明の実施の形態2の部品内 蔵プリント配線基板の製造方法を示す第1の 程説明図である。

符号の説明

 1  コア層
 2  樹脂基板
 3,5,14a,17a  配線回路
 3a  電極
 4  ソルダレジスト
 6  クリーム半田
 6a  半田粒子
 6A  半田接合材
 6b  フラックス
 6c  半田接合部
 6d  熱硬化性樹脂
 6e,9  樹脂コート部
 7  電子部品
 7a  端子
 8  洗浄剤
 11,13,16  プリプレグ
 12,15  配線層
 14,17  銅箔
 18  積層体
 19  層間配線部
 20  部品内蔵プリント配線基板

 (実施の形態1)
 図1A~図1E、図2A~図2Eは本発明の実施の形態1 部品内蔵プリント配線基板の製造方法を示 工程説明図である。すなわち、コア層と複 の配線層を積層して構成されコア層に電子 品が実装された部品内蔵プリント配線基板 製造する方法を工程順に示すものである。

 図1Aにおいて、コア層1は、絶縁性の樹脂 板2の上面2a、下面2bにそれぞれ配線回路(第1 配線回路)3および配線回路5が形成された構成 を有している。配線回路3の内側の端部は電 部品の端子を接続するための電極3aとなって いる。すなわち、電極3aは、コア層1の少なく とも一方の面(上面2a)に形成された配線回路3 一部を構成している。電極3aには、電子部 の端子との半田接合部の形成範囲を囲む配 ・形状で予めソルダレジスト4が形成されて る。

 次いで、図1Bに示すように、コア層1の少 くとも一方の面(上面2a)に形成された配線回 路3を構成する接続用の電極3a上に、クリーム 半田6をスクリーン印刷やディスペンサによ 塗布などの方法によって供給する(半田供給 程)。ここでは、電極3aにおいてソルダレジ ト4が形成されていない露呈範囲にクリーム 半田6が供給される。クリーム半田6は、半田 子6aを粘性体であるフラックス6b中に含有さ せた構成となっている。したがって、フラッ クス6b中の活性剤成分によって半田粒子6aの 面や、電極3a、端子7a(図1C)の表面の酸化膜が 除去される。

 この後、図1Cに示すように、クリーム半 6が電極3aに供給された半田供給工程後のコ 層1に対して、両端部に端子7aを有するチッ 型の電子部品7を搭載する(部品搭載工程)。 いで、電子部品7が搭載されたコア層1をリフ ロー装置に送り、図1Dに示すように、部品搭 工程後のコア層を加熱する。これにより、 極3aと電子部品7の端子7aとを半田接合する( 田接合工程)。この半田接合工程においては 、クリーム半田6中の半田粒子6aが溶融固化す ることにより、電極3aと端子7aとを接合して 気的に導通させる半田接合部6cが形成される 。このとき、溶融状態の半田が過度に濡れ拡 がることによる流動が、電極3aに形成された ルダレジスト4によって規制され、適正な形 状の半田接合部6cが形成される。なお、ソル レジスト4は必ずしも必須ではなく、半田の 流動に起因する不具合のおそれがない場合に は、ソルダレジスト4を形成しなくてもよい このことは、実施の形態2においても同様で る。

 この後、半田接合工程後のコア層1は洗浄 装置に送られる。すなわち図1Eに示すように コア層1を洗浄槽の洗浄剤8内に浸漬した状 で超音波振動を作用させる。これにより、 極3aと電子部品7との半田接合部6cを洗浄する 。その結果、半田接合部6cの周囲に残留した ラックス成分などの半田接合残渣を除去す (洗浄工程)。

 これにより、後工程において部品内蔵プ ント配線基板にさらに電子部品を実装する に実行されるリフローでの加熱によって半 接合部6cが再溶融した場合にあっても、半 接合残渣が除去されていることから、フラ クス成分が残留することによる不具合を防 することができる。すなわち、残留したフ ックス成分によって溶融半田が流動して、 田接合部6cの形状が崩れることによる不具合 を防止することができる。なお洗浄方法とし ては、洗浄剤8内にコア層1を浸漬する洗浄方 以外にも、洗浄剤を洗浄対象部位に噴射す シャワー洗浄など、各種の方法を用いるこ ができる。

 次いで洗浄工程後のコア層1に対して樹脂 塗布を行う。すなわち、図2Aに示すように、 ア層1において電子部品7の周囲にディスペ サなどによってエポキシ樹脂などの樹脂を 布する。これにより、電子部品7の下面側の 間を充填するとともに、半田接合部6cを樹 で覆って樹脂コート部9を形成する(樹脂コー ト工程)。

 この後、樹脂コート工程後のコア層1を黒 化処理することにより、配線回路の表面を粗 化する(黒化処理工程)。すなわち、図2Bに示 ように、コア層1を強酸溶液などの処理液に 漬する。これにより、配線回路3の表面3bや 線回路5の表面5aが酸化により粗化されて、 れらの表面には微細な凹凸よりなるアンカ パターンが形成される。このとき、半田接 部6cは樹脂コート部9によって覆われて保護 れている。そのため、黒化処理の作用が半 接合部6cに及ぶことはなく、半田接合部6cは 健全な状態に保たれる。

 黒化処理工程後は配線回路接続工程に入 。黒化処理工程後、まず、コア層1には電子 部品7を固定するための部品固定層および複 の配線層が積層される。すなわち、図2Cに示 すように、電子部品7の位置に対応して開口 11hが設けられたプリプレグ11をコア層1の上 側(電子部品7側)に重ねる。さらに、プリプ グ13の上面側に、導電層としての銅箔14を貼 した構成の配線層12を、プリプレグ11の上面 側に重ねる。さらに、プリプレグ16の下面側 導電層としての銅箔17を貼着した構成の配 層15を、コア層1の下面側に重ね合わせる。

 すなわち、この工程においては、黒化処 工程後のコア層1において、電子部品7を周 から囲んで固定する部品固定層を形成する めのプリプレグ11、および部品固定層の表面 に形成される表面層である配線層12を少なく も含む複数の配線層12、15をコア層1と貼り わせて積層し、積層体18を形成する(積層工 )。

 次いで、図2Dに示すように、配線層15、コア 層1、プリプレグ11および配線層12より成る積 体18をプレス装置によって30kg/cm 2 程度の圧力で加圧しながら、150℃~200℃程度 温度で加熱する。これにより、プリプレグ13 、11、16の各層に含浸された樹脂が軟化して 接する界面が相互に融着する。これととも 、配線回路3の表面3bおよび配線回路5の表面5 aにプリプレグ11、プリプレグ16がそれぞれ密 する。このとき、黒化処理工程において表 3bおよび表面5aの表面には微細なアンカーパ ターンが形成されていることから、良好な密 着性が確保される。

 さらにプリプレグ13、11中に含浸された樹 脂が、加圧・加熱により開口部11a内において 電子部品7との隙間部分を充填する。これに り、電子部品7や樹脂コート部9を周囲から固 定する部品固定層11aが形成される。すなわち ここでは、積層工程において形成された積層 体18を加熱・加圧することにより、電子部品7 を周囲から囲んで固定する部品固定層11aを形 成する。これとともに、コア層1と複数の配 層12,15とを固着させる(プレス工程)。この加 ・加圧により、プリプレグ13、16は融着状態 で熱硬化して、配線層12、15に対する絶縁層 形成する。

 次いで、図2Eに示すように、積層体18を貫 通するスルーホール18aの内面にメッキ層を形 成する。これにより、コア層1の配線回路3と 線層12、15の銅箔14、17とを接続する層間配 部19をスルーホール18aに形成する(層間配線 程)。さらに、配線層12、15の銅箔14、銅箔17 パターニングを施すことにより、配線回路( 2配線回路)14a、17aを形成する(回路形成工程) 。

 これにより、図2Eに示すように、コア層1 含む複数の配線層(コア層1、配線層12、15)を 積層して構成され、コア層1に電子部品7が実 された部品内蔵プリント配線基板20が完成 る。この部品内蔵プリント配線基板20におい ては、電子部品7はコア層1の少なくとも一方 面に形成された配線回路3を構成する接続用 の電極3aに半田接合されている。また、配線 12、15はプリプレグ13、16が固化した絶縁層 配線回路14a、17aが形成された構成となって る。

 さらに、部品内蔵プリント配線基板20は コア層1において電子部品7の端子7aと電極3a の半田接合部6cを樹脂によって覆って形成さ れた樹脂コート部9を備えている。さらに、 品内蔵プリント配線基板20は、コア層1の上 2a(一方の面)に積層されたプリプレグ11を固 させることにより形成された、電子部品7お び樹脂コート部9を周囲から固定する部品固 定層11aを備えている。さらに、部品内蔵プリ ント配線基板20は、複数の配線層の1つであっ て部品固定層11aの表面に形成された表面層と しての配線層12を備えている。さらに、部品 蔵プリント配線基板20は、コア層1の配線回 3と表面層を含む配線層12、15の配線回路(第2 配線回路)14a、17aとを接続する層間配線部19を 備えている。

 このようにして製造された部品内蔵プリ ト配線基板20はさらに部品実装の対象とな 、表面層の配線層12、さらに必要に応じて下 面層の配線層15に電子部品が実装され実装基 が完成する。実装基板の製造過程において 実施の形態に示すように多層配線基板のコ 層に電子部品を実装することにより、実装 度を高度化して基板面積を減少させ、基板 製造コストを大幅に低減することが可能で る。

 (実施の形態2)
 図3A~図3Dは、本発明の実施の形態2の部品内 プリント配線基板の製造方法を示す工程説 図である。本実施の形態2は、実施の形態1 おいて半田接合材料として用いられたクリ ム半田6に替えて、半田の酸化膜を除去する 性作用を有する熱硬化性樹脂に半田粒子を 有させた半田接合材6Aを用いている。

 図3Aにおいて、コア層1は図1Aに示すコア 1と同じである。図3Bに示すように、コア層1 上面2aに形成された接続用の電極3aに、半田 接合材6Aを供給する(半田供給工程)。電極3aは 、実施の形態1と同様に配線回路3の一部を構 する。半田接合材6Aは、半田の酸化膜を除 する活性作用を有する熱硬化性樹脂6dに半田 粒子6aを含有させた組成となっている。すな ち、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂に有 酸などの活性剤を配合することにより活性 用を付与している。ここでは、半田接合材6 Aとして、半田粒子6aの含有率が50wt%~88wt%程度 低半田含有タイプのものを使用するように ている。

 次いで図3Cに示すように、半田供給工程 のコア層1に電子部品7を搭載する(部品搭載 程)。この後、コア層1をリフロー装置に送り 、図3Dに示すように、部品搭載後のコア層1を 加熱する。これにより、電極3aと電子部品7の 端子7aとを半田接合する。これとともに、電 3aと端子7aとの半田接合部6cを熱硬化性樹脂6 dが硬化した樹脂で覆って樹脂コート部6eを形 成する(半田接合工程)。このとき樹脂コート 6eは電子部品7の下面側の隙間内にも侵入し 隙間を封止する。

 この半田接合工程においては、半田接合 6Aとして低半田含有タイプのものを用いて るので、電極3aと端子7aとを接合する半田接 部6cは固化した半田の体積が小さく、樹脂 ート部6eによって完全に覆われ易い形態とな っている。このように半田接合部の半田体積 が小さいことは通常の半田接合による電子部 品7の実装の場合には電子部品を固着する実 強度の面で望ましくない。しかし、本実施 形態のように電子部品を多層基板中に内蔵 る構成においては、電子部品7は樹脂コート 6eによってコア層1に固着される。さらに、 蔵状態において電子部品7は部品固定層11a( 2D、図2E参照)によって周囲から固定される。 このことから、半田接合部6cのサイズが小さ 場合にあっても、必要十分な実装強度が確 される。

 また、熱硬化性樹脂6d中に含有されてい 活性剤成分は、半田接合後においては熱硬 性樹脂が硬化した樹脂コート部6e内に固溶し た状態で存在している。このことから、活性 剤成分が半田接合部6cに接触した状態で残留 ることによる悪影響が無い。したがって実 の形態1において必須とされた半田接合後の 洗浄工程が不要となる。すなわち、工程負荷 の高い洗浄工程を排して工程簡略化を図るこ とが可能である。

 この半田接合工程の後は、実施の形態1と 同様に、黒化処理工程以降の配線回路接続工 程を含んで、次の工程を順次実行する。すな わち、半田接合工程後のコア層1を黒化処理 ることにより、配線回路3、5の表面3b、5aを 化する黒化処理工程(図2B)。黒化処理工程後 コア層1において、電子部品7を周囲から囲 で固定する部品固定層を形成するためのプ プレグ11、および部品固定層の表面に形成さ れる表面層を少なくとも含む複数の配線層12 15をコア層1と貼り合わせて積層する積層工 (図2C)。積層工程において形成された積層体 18を加熱加圧することにより、電子部品7を周 囲から囲んで固定する部品固定層11aを形成す るとともに、コア層1と複数の配線層12、15と 固着させるプレス工程(図2D)。コア層1の配 回路3と配線層12、15の導電層14、17とを接続 る層間配線部19を形成する層間配線工程。配 線層12、15に配線回路(第2配線回路)14a、17aを 成する回路形成工程(図2E)。

 このような工程を経ることにより、図2E 示す部品内蔵プリント配線基板20と同様の構 成の部品内蔵プリント配線基板20が完成する 但し、本実施の形態においては、半田接合 6cを覆う樹脂コート部6eとして、実施の形態 1に示す塗布された樹脂による樹脂コート部9 替わりに、半田接合材6A中の熱硬化性樹脂6d が熱硬化した樹脂コート部6eが形成された構 となっている。

 上記説明したように実施の形態1、2にお ては、コア層を含む複数の配線層を積層し 構成されコア層に電子部品が実装された部 内蔵プリント配線基板の製造に際し、電子 品7が実装されたコア層1において電子部品7 電極3aとの半田接合部を樹脂によって覆って 樹脂コート部を形成するようにしている。こ れにより、複数の配線層を積層する際のプリ プレグの密着性を確保するために行われる黒 化処理において半田接合部が樹脂コート部に よって保護される。このことから、コア層1 の部品実装に半田接合を採用することが可 となる。したがって、コア層1への半田接合 よる部品実装とプリプレグを用いた配線層 積層という簡便な工程で、効率よく部品内 プリント配線基板を製造することができる

 本発明は、簡便な工程で効率よく部品内 プリント配線基板を製造することができる で、複数の配線層を積層して構成された部 内蔵プリント配線基板の製造分野に有用で る。