Oberflächenemittierende Laserdioden {engl. Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser: VCSEL) werden aufgrund ihrer zahlreichen Vorzüge, wie geringe Schwellenströme und symmetrische Strahlungskeule , zunehmend in modernen optoelektronischen Systemen eingesetzt und verdrängen dabei nach und nach die herkömmlichen kantenemittierenden Halbleiterlaser. Aufgrund ihrer mehr oder weniger stark ausgeprägten transversalen Symmetrie (Rotationssymmetrie ) weisen die VCSEL keine oder nur eine unzureichende Polarisationsselektivität auf. Dies kann im Betrieb zu Polarisationsinstabilitäten und PolarisationsSprüngen führen, was einen Einsatz entsprechender Laser für die meisten Anwendungen ausschließt.

Oberflächenemittierende Laserdioden besitzen in der Regel eine zylindersymmetrische Struktur und weisen aufgrund ihres Designs sowie ihrer Herstellungsverfahren keine Vorzugsrichtung für die Polarisationsrichtung der abgestrahlten Welle auf. Es existieren daher zwei orthogonale Zustände bzgl . der Polarisationsrichtung der abgestrahlten Welle. In einer idealen Laserstruktur sind diese beiden Zustände energetisch entartet und für den Laserbetrieb gleichberechtigt . Aufgrund des elektrooptischen Effektes und Anisotropien im

Bauelementedesign sowie Asymmetrien und Fluktuationen des Herstellungsprozesses wird diese Entartung j edoch aufgehoben und der VCSEL schwingt dominant nur auf der jeweils bevorzugten Polarisationsmode. In den meisten Fällen ist der zur Bevorzugung einer bestimmten Mode führende Mechanismus schwer kontrollierbar bzw. nicht offensichtlich und schwach ausgeprägt, womit sich insgesamt ein statistischer und instabiler Charakter des Polarisationsverhaltens ergibt. Die Polarisationssprünge limitieren generell den Einsatz in polarisationsabhängigen optischen Systemen. Beispielsweise führen solche Sprünge in der optischen Datenübertragung zu einem erhöhten Rauschen. Da viele Anwendungen auf polarisationsstabile Laser als Lichtquellen angewiesen sind, bedeutet dies eine signifikante Reduktion der Produktionsausbeute . In manchen Fällen ist zwar eine Vorzugsrichtung definierbar, doch ist die Aufhebung der Entartung nicht stark genug, um Polarisationsstabilität bei veränderlichen Umgebungs- und Betriebsbedingungen zu gewährleisten . In diesem Fall können selbst leichte Veränderungen dieser Parameter einen Wechsel zwischen den beiden Zuständen ( " Polflip" ) bewirken .

In der Vergangenheit wurden vielfältige

Lösungsmöglichkeiten zur Stabilisierung der Polarisation studiert . Für Erreichung von Polarisationsstabilität von GaAs-basierten VCSEL wurde das Wachstum auf höher indizierten [ 311 ] -Substraten erfolgreich nachgewiesen in 0. Tadanaga, K. Tateno, H . Uenohara, T . Kagawa, and C . Amano, „An 850-nm InAlGaAs Strained Quantum-Well Vertical- Cavity Surface-Emitting Laser G own on GaAs (311) B Substrate with High-Polarization Stability", IEEE Photon. Technol . Lett . , 12, 942 (2000) . Da sich jedoch die sonstigen Lasereigenschaften in der Regel verschlechtern und insbesondere für InP-basierte Halbleite schichten schwierige Wachstumsbedingungen bestehen, erscheint diese Methode für langwellige VCSEL nicht geeignet.

Ein weiterer Lösungsansatz besteht in der Verwendung von dielektrischen oder metallischen Gitterstrukturen wie in J . -H . Ser et al . , „Polarisation stabilisation of vertical- cavity top-surface-emitting lasers by inscription of fine metal-interlaced gratings" , Appl . Phys . Lett . 66, 2769 (1995) ; T . Mukaihara et al . , „Polarization control of vertical-cavity surface-emitting lasers using a birefringent metal/dieleetric polarizer loaded on top distributed Bragg Reflector", IEEE J. Sei . Top. Quantum. Electron . 1, 667 (1995); M . Ortsiefer et al . , „Polarization Control in Buried Tunnel Junction VCSELs Using a Birefringent Semiconductor/Dielectric Subwavelength

Gräting", IEEE Photon . Technol . Lett . , 22, 15 (2010) und P. Debernardi et al . : "Reliable Polarization Control of VCSELs Through Monolith!cally Integrated Surface Grätings : A Comparative Theoretical and Experimental Study" , IEEE J. Sei . Top. Quantum Electron. 11, 107 (2005) gezeigt . Dabei dienen metallisch-dielektrische Gitter mit

Subwellenlängenabmessungen zur Erzeugung von Doppelbrechung im Laserresonator . Damit kann die optische Resonatorlänge, bzw. die Resonanzfrequenz des Laserresonators , nur bei einer Polarisation mit dem Maximum des bzw . der Braggspiegel übereinstimmen . Die andere Polarisation wird damit unterdrückt . Die vorgestellten dielektrischen Gitter hingegen nutzen Interferenzeffekte im Gitter aus , wodurch die Gesamtreflexion polarisationsabhängig durch das Gitter verstärkt oder abgeschwächt wird . Die Periode der entsprechenden Gitterstrukturen sollte daher nicht unter ca. einer halben Vakuumwellenlänge liegen . Ein Lösungsansatz für die von der Anmelderin hergestellten BTJ (Buried-Tunnel-Junction) - VCSEL mit integrierten Subwellenlängengittern kleiner Periode (<λ/2 ) wurde kürzlich vorgestellt von M. Ortsiefer et al . , „Polarization Control in Buried Tunnel Junction VCSELs Using a Birefringent Semiconductor/Dielectric Subwavelength

Gräting", IEEE Photon. Technol. Lett . , 22, 15 (2010). Generell ist die Technologie der Subwellenlängengitter , insbesondere wenn diese mit anderen Dielektrika aufgefüllt werden müssen, kompliziert und aufwendig

(Nanostrukturierung) , wenngleich die Vorteile eindeutig sind .

In der WO 2007/057807 A2 der Philips Forschungslaboratorien wurde 2005 vorgeschlagen, innerhalb des VCSEL-Resonators vor einem der beiden Endspiegel eine Schicht mit polarisationsabhängigem Brechungsindex oder polarisationsabhängiger Äbsorption einzufügen, sodass die effektive Spiegelreflexion polarisationsabhängig wird und damit eine Polarisationsmode bevorzugt wird und anschwingt . Ein entscheidender Nachteil dieser Methode sowie aller Verfahren, die polarisationsselektive Elemente innerhalb des Laserresonators einbringen, ist die gleichzeitige Beeinflussung der (optischen) Resonatorlänge und damit der Laserwellenlänge. Auch können Verluste in den anisotropen Schichten vorliegen, insbesondere bei schräg aufgedampften, die die Lasereigenschaften (z.B. die Schwelle) empfindlich verschlechtern können . Zudem ergibt sich eine kompliziertere Herstelltechnologie und eine reduzierte Ausbeute, wenn die Laserwellenlänge genau getroffen werden muss . Aufgabe vorliegender Erfindung ist es, die genannten Nachteile im Stand der Technik zu überwinden, insbesondere eine polarisationsstabile oberflächenemittierende

Laserdiode anzugeben, die mit einer weniger komplizierten Herstelltechnologie auskommt.

Die vorliegende Erfindung löst das Problem der

Polarisationsselektion- und -Stabilisierung in VCSELn dadurch, dass mit einer vergleichsweise einfachen und effektiven Technologie optische Doppelbrechung in einem dielektrischen Laserspiegel erzeugt wird und dadurch eine polarisationsabhängige Reflektivität entsteht, die eine der beiden in-plane Polarisationen bevorzugt. Dazu werden im Gegensatz zu der bekannten Anordnung in Druckschrift WO 2007/057807 A2 eine oder mehrere Schichten mit polarisationsabhängiger Brechzahl außerhalb eines oder beider Laserspiegel angebracht. Die erfindungsgemäße oberflächenemittierende Laserdiode weist einen aktiven, verstärkenden Bereich auf, der von zwei Laserspiegeln begrenzt wird, wobei zur Polarisationsstabilisierung in einem Bereich, der sich auf der dem aktiven, verstärkenden Bereich gegenüberliegenden Seite zumindest eines der Laserspiegel befindet, eine oder mehrere polarisationsselektive Schichten vorhanden sind, die parallel zum jeweiligen Spiegel verlaufen und eine polarisationsabhängige Brechzahl und/oder Absorption aufweisen . Damit kann gewährleistet werden, dass die Laserwellenlänge unabhängig von der

PolarisationsStabilisierung eingestellt werden kann und Verluste in den Schichten kaum Auswirkungen auf die Laserschwelle haben . Die Herstellung und das Aufbringen der polarisationsabhängigen Schichten auf die Laserspiegel kann relativ einfach mittels Schrägaufdampfens von Dielektrika, z . B . Silizium, erfolgen.

Die vorliegende Erfindung präsentiert somit einen Lösungsvorschlag für polarisationsstabile oberflächenenaittierende Laserdioden. Die Idee beruht auf der Verwendung eines optisch anisotropen dielektrischen Spiegels, der aufgrund der polarisationsabhängigen Brechzahl der Schicht (en) in Abhängigkeit der Polarisationsrichtung unterschiedliche Reflektivität aufweist. Die Anisotropie wird z . B. durch schräges Aufdampfen einer oder mehrerer dielektrischer Schichten des Spiegels erzeugt. Die erfindungsgemäße Spiegelstruktur ermöglicht ein deterministisches und stabiles Polarisationsverhalten bei hoher Polarisationsmoden- Seitenmodenunterdrückung sowie Unempfindlichkeit der Polarisation gegenüber Rückkopplung.

Es ist für das Herstellungsverfahren vorteilhaft, wenn eine polarisationsselektive Schicht direkt auf einen der

Laserspiegel aufgebracht ist.

Insbesondere sind mehrere polarisationsselektive Schichten auf der Außenseite eines Laserspiegels vorhanden, die jeweils abwechselnd bezüglich ihrer

Polarisationsausrichtung um 90° verdreht sind und deren Reflekt ionsphase derjenigen des Laserspiegels, auf dessen Seite sie sich befinden, für die eine Polarisation gleich und für die andere Polarisation entgegengesetzt ist . Besonders vorteilhaft ist es dabei , die Schichtdicken j eweiis entsprechend einem Viertel der Laserwellenlänge in der bevorzugten Polarisation zu wählen . Nähere Erläuterungen zu einem solchen Aufbau und seinen Vorteilen finden sich weiter unten bei den Ausführungsbeispieien .

Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn der einen, oder den mehreren polarisationsselektiven Schichten auf der den jeweiligen Laserspiegel abgewandten Seite eine isotrope Schicht folgt, die insbesondere aus Aluminiumoxid oder Siliziumnitrid besteht, wobei weiterhin insbesondere die Dicke diese isotropen Schicht einer halben Weilenlänge des Laserlichts in dieser Schicht entspricht. Nähere Erläuterungen zum Aufbau und zu den Vorteilen dieser Ausgestaltung finden sich ebenfalls in den Ausführungsbeispieie . Die Erfindung und ihre Vorteile werden nunmehr anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es sei darauf hingewiesen, dass die Merkmale der hier erläuterten Beispiele erfindungsgemäßer oberflächenemittierender Laserdioden nicht nur in der hier angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen realisierbar sind, ohne dass sämtliche Kombinationsmöglichkeiten explizit genannt und beschrieben sein müssten.

Figur 1 zeigt eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Aufbaus einer oberflächenemittierenden Laserdiode ,

Figur 2 zeigt eine typische Anordnung eines schematischen

Längsschnitts durch eine Laserdiode gemäß Stand der Technik sowie das zugehörige Brechzahlprofil, zeigt einen Teil des erfindungsgemäßen Aufbaus eines Längsschnitts in schematischer Ansicht zusammen mit den den Schichten zugeordneten Brechzahlen , zeigt die Transmission ( " 1-Rmax ( % ) " ) als gestrichelte Linie in Abhängigkeit von der Dicke der Schicht in Mikrometer ( "thickness (microns ) " ) sowie die Differenz der Reflektivitäten ("Delta- R(%}*5") der beiden Polarisationen als durchgezogene Linie (mit dem Faktor 5 multipliziert) , ebenfalls abhängig von der Schichtdicke der Siliziumschicht; sowohl die Transmissionskurve als auch die Differenzkurve der Reflektivitäten sind in Prozent aufgetragen,

Figur 5 zeigt eine weitere Ausführungsform eines Aufbaus einer erfindungsgemäßen oberflächenemittierenden Laserdiode in schematischem Längsschnitt mit zwei polarisationsselektiven Schichten sowie das zugehörige Brechzahlprofil für die beiden Polarisationen,

Figur 6 zeigt eine Darstellung entsprechend Figur 4 für einen Aufbau gemäß Figur 5 mit zwei polarisationsseiektiven Schichten aufgetragen gegen eine für beide Schichten identische Einzelschichtdicke und Figur 7 zeigt weitere Ausführungsformen eines schematisch dargestellten erfindungsgemäßen Aufbaus einer oberflächenemittierenden Laserdiode . Eine mögliche Äusführungsform der Erfindung ist in Fig. 1 gezeigt. Oben ist ein schematischer Längsschnitt durch einen erfindungsgemäßen Laser gezeigt. Dieser besteht aus dem aktiven, verstärkenden Bereich 2 , der von zwei Spiegeln 1 und 3 begrenzt wird und dessen Resonatorlänge, und damit die Laserwellenlänge, von diesen bestimmt wird. Die erfindungsgemäße Polarisationsstabilisierung wird durch die zusätzlich außen auf einen (oder beide) Spiegel 3 aufgebrachte Schichtenfolge 4 geleistet. Diese Schichtenfolge kann aus einer oder mehreren Schichten bestehen, von denen zumindest eine polarisationsabhängige Brechzahl oder Absorption aufweist. Unten in Fig. 1 ist der Laserquerschnitt 5 schematisch gezeigt, der rotationssymmetrisch oder elliptisch ist . Die Richtungen der beiden senkrecht zueinander stehenden Polarisationen Pol 1 und Pol 2 sind durch zwei Vektoren illustriert . Die Spiegel 1 und 3 bestehen gewöhnlich aus zahlreichen Paaren von dielektrischen Schichten unterschiedlicher Brechzahl . Das Laserlicht wird an j eder Schichtgrenzfläche reflektiert , so dass sich eine entsprechend hohe Gesamtreflexion von typischerweise über 99% ergibt .

Eine typische Anordnung nach Stand der Technik ohne die Schichten 4 ist in Fig. 2 gezeigt . Die einzelnen Reflexionen rl und - rl addieren sich phasenrichtig mit der Endreflexion r2 gegen den Aussenbereich "AIR" (Luft ) . Da die Brechzahlen nl und n2 der Spiegelpaare polarisationsunabhängig sind, dh . keine Doppelbrechung aufweisen, ist die Gesamtreflekti ität , die der aus dem Laserresonator 2 kommende Lichtstrahl erfährt , polarisationsunabhängig . Die erfindungsgemäße Laserstruktur erzeugt mit einer auf der Außenseite des Spiegels 3 aufgebrachten Schicht oder Schichtfolge 4 eine polarisationsabhängige Gesamtreflektion für das aus dem Resonator 2 kommende Licht und stabilisiert die Laserpolarisation, da der Laser dann in derjenigen Polarisation emittiert, die die höhere Gesamtreflexion auf eist .

Eine erste Ausführungsform mit nur einer Schicht 4 ist in Fig. 3 gezeigt . Die Brechzahlen n in der Schicht 4 für die beiden Polarisationen (Pol 1, Pol 2) sind mit durchgezogenen bzw. gestrichelten Linien markiert. Aufgrund der unterschiedlichen Brechzahlen ergeben sich unterschiedliche bzw. polarisationsabhängige

Reflexionsfaktoren an den Grenzflächen der Schicht . Zusammen mit der Reflexion des Spiegels 3 entsteht dadurch eine polarisationsabhängige Gesamtreflektivität an der Grenzfläche zum Resonator 2. Rechnungen zeigen, dass ein Unterschied in der Gesamtreflektivität von mindestens 0.01%, bevorzugt mindestens 0.1%, notwendig ist, um die Laserleistung stabil in nur einer Polarisation zu emittieren . Fig. 4 zeigt eine Berechnung einer Laserst uktur für eine Wellenlänge von 1.55μηα beschichtet mit einer Siliziumschicht variabler Dicke, die unter einem Winkel von 60° schräg aufgedampft wurde ("Silicon Laser on Top of Epi- DBR" , deutsch: Siliziumschicht auf Epi-DBR (=Spiegel)). Die Brechzahlen dieses schräg aufgedampften Siliziums bei der Laserwellenlänge wurden experimenteil für die beiden Polarisationen zu ca. 2.13 (nl) beziehungsweise 2.3 (n2) 11 069062

11 bestimmt. Die Gesamtreflektivität des Spiegeis 3 beträgt ohne Schicht 4 ca. 99.6%. Die Grafik zeigt gestrichelt die Transmission, d. h. die Differenz der Gesamtreflektivität zu 100%, und durchgezogen die Differenz der Reflektivitäten der beiden Polarisationen. Zur besseren Veranschaulichung wurde die Differenzreflektivität mit dem Faktor fünf multipliziert. Wie man sieht, kann leicht eine Differenz der Reflektivitäten von 0.2% bei einer Dicke der Si-Schicht von 120nm (A) oder sogar 0.6% bei 450nm (B) erzielt werden. Im Gegensatz zu Anordnungen mit der polarsisationsselektiven Schicht innerhalb des Resonators ( WO 2007/057807 A2 ) bleibt die Wellenlänge des Lasers unabhängig von der Dicke der Schicht 4 praktisch konstant. Wie ebenfalls aus der Fig . 4 zu ersehen ist , geht die Polarsiationsselektivität mit einer erhöhten Transmission einher, was eine verringerte Gesamtreflexion bedeutet und letztlich zu einer höheren Laserschwelle führt . Auch weist die Anordnung in Fig . 3 , insbesondere auch an den Punkten (A) und (B) , eine ausgeprägte Abhängigkeit der Gesamtreflexion von der Si--Schichtdicke auf (siehe Fig. 4), wodurch ParameterSchwankungen beim Herstellungsprozess die Laserausbeute verringern könnten . Deshalb wäre eine Anordnung, die eine polarisationsabhängige Reflektivität ohne Reduktion der Gesamtreflexion bewirkt , vorzuziehen .

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung, die diesen Nachteil nicht aufweist , indem sie eine polarisationsselektive Gesamtreflexion ohne Erniedrigung der Gesamtreflexion ermöglicht, kann durch Aufbringen von mehreren polarisations selektiven Schichten erreicht Vierden, wenn diese j eweils abwechselnd bezüglich ihrer Polarisationsausrichtung um 90° verdreht sind und ihre Reflexionsphase derjenigen des Laserspiegels 3, auf dessen Seite sie sich befinden, für die eine Polarisation gleich und für die andere Polarisation entgegengesetzt ist. Praktisch lässt sich dies sehr einfach bei einer Aufdampfung dadurch realisieren, dass die Richtung, aus der die schräge Aufdampfung mit einem Anstellwinkel von typisch 60° erfolgt, nach jeder Schicht um 90° verdreht wird. Man dreht dabei die zu bedampfenden Laser jeweils nach jeder Schicht abwechselnd 90° um. ihre Achse. Das resultierende polarisationsabhängige Brechzahlprofil ist in Fig . 5 gezeigt ,

In dieser Anordnung sind die Dicken der Schichten 4a und 4b vorzugsweise ein Viertel der Laserwellenlänge dividiert durch die jeweilige Brechzahl n3 und n4. Damit ergeben sich für die Polarisation Pol 1 konstruktive Reflexionen r3 und r4 bezogen auf die Reflexion des Spiegels 3, die die Gesamtreflexion des Spiegels 3 sogar noch etwas erhöhen. Andererseits ist die Reflexion r3 für die andere Polarisation Pol 2 destruktiv, da für diese Polarisation die Schicht 4b mit n3 eine kleinere Brechzahl als die Schicht 4a mit n4 aufweist. Eine entsprechende Rechnung für einen Laser bei 1.55μιη beschichtet mit zwei um 90° verdrehten, schräg (60°) aufgedampften Si-Schichten zeigt Fig. 6.

Wie in Figur 6 gut zu erkennen ist , ergibt sich bei ca. 175nm Dicke jeweils beider Schichten, entsprechend ca. einem Viertel der Wellenlänge, eine Differenz der Reflektivitäten der beiden Polarisationen von ca. 0.1%, während die Transmission bzw. die Gesamtreflexion praktisch konstant bleibt. Ein zusätzlicher Vorteil der einschlichtigen Anordnung in Fig. 3 ist die große Prozesstoleranz bezüglich der Dicke der aufgedampften Schichten. Eine Schichtdicke zwischen ISOnm und 200nm ergibt im Wesentlichen denselben Effekt auf Polarisationsselektion und Gesamtreflektivität .

Weitere Äusführungsformen der Erfindung, die noch bessere Eigenschaften aufweisen können, sind in Fig. 7 gezeigt. Oben in der Zeichnung ist gezeigt, dass die Schichtenfolge 4 aus mehr als nur einem jeweils um 90° gedrehten Schichtpaaren mit anisotropen Dielektrika bestehen kann. Dadurch ergibt sich im Vergleich zu Fig. 6 eine ca. mit der Anzahl der Paare proportional zunehmende Differenz der polarisationsabhängigen Reflektivität und damit auch eine entsprechend stärkere Polarisationsstabilisierung. Unten in Fig. 7 ist gezeigt, dass die Schichtenfolge 4 mit zusätzlichen isotropen Schichten 5 abgedeckt werden kann. Dabei kann beispielsweise eine Erosion der anisotropen Schichten 4 durch die Umgebungsluft durch eine dichte, senkrecht aufgedampfte Schutzschicht aus Aluminiumoxid oder Siliziumnitrid verhindert werden. Wenn die Dicke dieser Schutzschicht einer halben Wellenlänge des Laserlichts in der Schutzschicht entspricht, hat diese keinen Einfluss auf die Gesamtreflexion der Schichten 3 und 4.

Entscheidend für die Funktion der vorliegenden Erfindung ist die Herstellung einer ausreichend doppelbrechenden (anisotropen) dielektrischen Schicht. In der vorliegenden Erfindung wird dies einfach und effektiv und ohne aufwendige Nanotechnologie durch schräges Aufdampfen der betreffenden Schicht (en) erzielt. Gemäß T. Motohiro und Y. Taga, "Thin film retardation plate by oblique deposition", Applied Optics, 28, 2466 (1989) und I . Hodgkinson und Q. Wu, "Serial bideposition of anisotropic thin fIlms with enhanced linear birefringence" , Applied Optics, 38, 3621 (1999) entstehen bei diesem Verfahren sel st-organisiserte Nanostrukturen in der Schicht (den Schichten) , die zu einer Form-Anisotropie führen und die typisch einen Unterschied der Brechzahlen der beiden in-plane (d.h. parallel zur Scheibenoberfläche ) Polarisationen von bis zu 5-10% ergeben . Besonders hohe Anisotropie lässt sich mit Si1i ziumschichten erzielen, die um 60° geneigt zur Oberflächennormale auf die Laserspiegel aufgedampft werden, wie in G, Beydaghyan et al . : "Enhanced birefringence in vacuum evaporated Silicon thin films", Äppl . Opt . 43, 5343 ( 2004 ) gezeigt . Die Erfindung beschränkt sich j edoch nicht nur auf diesen Hersteilprozess . Jede andere Technik zum Aufbringen von anisotropen dielektrischen Schichten ist grundsätzlich geeignet .

Die erfindungsgemäße Struktur kann insbesondere auf BTJ- VCSEL in verschiedenen MaterialSystemen angewendet werden . Hierzu zählen GaAs- , InP- bzw. GaSb-basierte Bauelemente .

Bezugs zeichenliste

1 Spiegel

2 aktiver, verstärkender Bereich, Resonator

3 Spiegel

4 , 4a , 4b polarisationsselektive Schicht

5 Laserquerschnitt nl , n2 , n3, n4 Brechzahl

rl, r2, r3, r4 Reflektivität

Poll, Pol2 Polarisationsrichtung