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Title:
PRESSURE SENSOR ARRANGEMENT FOR DETERMINING A PRESSURE OF A MEDIUM IN A HYGIENIC PROCESS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2020/120046
Kind Code:
A1
Abstract:
A pressure sensor arrangement for determining a pressure of a medium in a hygienic process, having: - a sensor module (1), - a process connection module (3) with a recess (11) which extends in an installation direction (14) and which serves for receiving the sensor module (1), wherein the sensor module (1) is fixed in the recess (11) such that the end surface of the sensor module (1) lies in a plane at least with an edge region of a surface around the recess (11), - a metallic separating diaphragm (9), and - a transmission fluid (2) for transmitting the pressure of the medium that prevails at the separating diaphragm (9), characterized in that the separating diaphragm (9) extends laterally beyond the outer edge of the end surface of the sensor module (1), and the separating diaphragm (9) is welded to the process connection module (3) by means of only a single intrinsically closed encircling weld seam (4) which comes into contact with the medium.

Inventors:
DORIA PATRICK (DE)
THAM ANH TUAN (DE)
Application Number:
PCT/EP2019/080820
Publication Date:
June 18, 2020
Filing Date:
November 11, 2019
Export Citation:
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Assignee:
ENDRESS HAUSER SE CO KG (DE)
International Classes:
G01L19/00; G01L19/14
Foreign References:
US5741974A1998-04-21
US6120033A2000-09-19
US20050061080A12005-03-24
Attorney, Agent or Firm:
ANDRES, Angelika (DE)
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Claims:
Patentansprüche

1. Drucksensoranordnung zum Bestimmen eines Drucks eines Mediums in einem hygienischen Prozess aufweisend:

- ein Sensormodul (1 ) mit einem Druckwandlerelement (7) zur Ausgabe eines druckabhängigen Signals, und einem Sensorgehäuse (19) in dem das Druckwandlerelement (7) in einer Druckmesskammer (5)

angeordnet ist, wobei die Druckmesskammer (5) mit einem Durchgang (8) zu einer in einer Stirnfläche des Sensorgehäuses (19) befindlichen

Öffnung (10) fluidisch verbunden ist,

- ein Prozessanschlussmodul (3) mit einer sich in eine Montagerichtung (14) erstreckenden Ausnehmung (11 ) zur Aufnahme des Sensormoduls (1 ), wobei das Sensormodul (1 ) solchermaßen in der Ausnehmung (11 ) fixiert ist, dass die Stirnfläche des Sensormoduls (1 ) zumindest mit einem Randbereich einer Fläche um die Ausnehmung (11 ) herum in einer Ebene liegen, - einer metallischen, vorzugsweise vorgeprägten Trennmembran (9), welche die Öffnung (10) des Durchgangs (8) abdichtet, und

- einer Übertragungsflüssigkeit (2) in dem Durchgang (8) und der

Druckmesskammer (5), um den an der Trennmembran (9) anstehenden Druck des Mediums zum Druckwandlerelement (7) zu übertragen, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennmembran (9) sich seitlich über einen Außenrand der Stirnfläche des Sensormoduls (1 ) hinaus erstreckt und die Trennmembran (9) mit nur einer einzigen mit dem Medium in Kontakt kommenden in sich geschlossenen umlaufenden Schweißnaht (4) an dem Prozessanschlussmodul (3) angeschweißt ist.

2. Drucksensoranordnung nach Anspruch 1 , wobei eine Außenkontur des Sensorgehäuses (19) eine umlaufende Stufe (41 ) aufweist und das

Prozessanschlussmodul (3) an einer Innenkontur der Ausnehmung (11 ) eine entsprechende Stufe (42) aufweist und die beiden Stufen derartig aufeinander abgestimmt sind, dass wenn das Sensorgehäuse (19) mit der Stufe bündig auf der Stufe des Prozessanschlussmoduls (3) aufsitzt, die Stirnfläche des

Sensormoduls (1 ) zumindest mit dem Randbereich der Fläche um die

Ausnehmung (11 ) herum in einer Ebene liegt. 3. Drucksensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ferner eine in sich geschlossene umlaufende erste Abdichtungsnaht (6) zwischen dem Sensormodul (1 ) und dem Prozessanschlussmodul (3) im Bereich der Ausnehmung (11 ) an der Stirnfläche des Sensormoduls (1 ) vorgesehen ist, wobei die erste Abdichtungsnaht (6) von dem Medium aus gesehen hinter dem seitlich über den Außenrand der Stirnfläche des

Sensormoduls (1 ) hinaus erstreckenden Teil der Trennmembran (9) angeordnet ist, sodass die erste Abdichtungsnaht (6) nicht in Kontakt mit dem Medium kommt. 4. Drucksensoranordnung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die erste Abdichtungsnaht (6) als Schweißnaht, insbesondere Laserschweißnaht, als Lotnaht oder als Klebenaht ausgeführt ist.

5. Drucksensoranordnung nach Anspruch 2, wobei das Sensormodul (1 ) und das Prozessanschlussmodul (3) durch eine, vorzugsweise im Bereich der

Stufen, in sich geschlossene umlaufende zweite Abdichtungsnaht (18) zueinander abgedichtet sind.

6. Drucksensoranordnung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die zweite Abdichtungsnaht (18) als Widerstandsschweißnaht oder als eine

Klebernaht, bevorzugt eine epoxidbasierte Klebernaht ausgeführt ist.

7. Drucksensoranordnung nach einem der Ansprüche 5 oder 6, wobei die Außenkontur des Sensorgehäuses (19) ferner eine umlaufende Nut (44) zur Aufnahme eines Dichtungsmittels (16), vorzugsweise eines O-Rings, aufweist.

8. Verfahren zur Montage einer Drucksensoranordnung umfassend die folgenden Schritte: - Bereitstellen eines Sensormoduls (1 ) mit einem Druckwandlerelement

(7) zur Ausgabe eines druckabhängigen Signals, und einem Sensorgehäuse (19) in dem das Druckwandlerelement (1 ) in einer Druckmesskammer (5) angeordnet ist, wobei die Druckmesskammer (5) mit einem Durchgang (8) zu einer in einer Stirnfläche des

Sensorgehäuses (19) befindlichen Öffnung (10) fluidisch verbindbar ist;

- Bereitstellen eines Prozessanschlussmoduls (3) mit einer sich in eine Montagerichtung (14) erstreckenden Ausnehmung (11 ) zur Aufnahme des Sensormoduls (1 ); - Einsetzen des Sensormoduls (1 ) entlang der Montagerichtung (14) in die Ausnehmung (11 ) des Prozessanschlussmoduls (3), sodass die Stirnfläche des Sensormoduls (1 ) zumindest mit einem Randbereich einer Fläche um die Ausnehmung (11 ) herum in einer Ebene liegt; Aufbringen einer, vorzugsweise vorgeprägten, sich seitlich über einen

Außenrand der Stirnfläche des Sensormoduls (1 ) hinaus erstreckenden metallischen Trennmembran (9) auf die Stirnfläche des Sensormoduls (1 ):

- Befestigen der Trennmembran (9) an dem Prozessanschlussmodul (3) mit einer einzigen mit dem Medium in Kontakt kommenden in sich geschlossenen umlaufenden Schweißnaht (4).

9. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei vor dem Aufbringen der Trennmembran (9) das Sensormodul (1 ) und das Prozessanschlussmodul (3) an der Stirnfläche durch eine in sich geschlossene umlaufende erste Abdichtungsnaht (6) zueinander abgedichtet werden. 10. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die erste

Abdichtungsnaht (6) durch Schweißen insbesondere Laserschweißen, durch Löten oder durch Kleben erzeugt wird.

11.Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Sensormodul (1 ) und das

Prozessanschlussmoduls (3), vorzugsweise im Bereich der Stufen, durch eine in sich geschlossen umlaufend ausgeführte zweite Abdichtungsnaht (18) zueinander abgedichtet werden. 12. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die zweite

Abdichtungsnaht durch eine Widerstands-Schweißung oder eine Klebung erzeugt wird. 13. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 8 bis 12, wobei vor bzw. bei dem Einsetzen des Sensormoduls (1 ) entlang der Montagerichtung (14) in die Ausnehmung (11 ) des Prozessanschlussmoduls (3) ein Abdichtungsmittel (16), vorzugsweise ein O-Ring, in eine Nut (44) eingebracht wird, die zuvor in einer Außenkontur des Sensorgehäuses (19) ausgebildet wurde

Description:
Drucksensoranordnung zum Bestimmen eines Drucks eines Mediums in einem hygienischen Prozess

Die Erfindung bezieht sich auf eine Drucksensoranordnung zum Bestimmen eines Drucks eines Mediums in einem hygienischen Prozess sowie ein Verfahren zur Montage einer solchen Drucksensoranordnung.

Drucksensoranordnungen werden in der industriellen Messtechnik zur Aufnahme von Drücken eingesetzt. Hierzu müssen sie an einem Einsatzort montiert und dort mit dem von ihnen zu bestimmenden Druck beaufschlagt werden. Zur Montage der Drucksensoranordnung an dem gewünschten Einsatzort in einer Prozessanlage werden für gewöhnlich Prozessanschlüsse verwendet. Bei hygienischen Prozessen werden an die Prozessanschlüsse besonders hohe Anforderungen hinsichtlich derer Verarbeitung und/oder Sauberkeit gestellt. Beispiele für derartige hygienische Prozess sind Anwendungen in der Lebensmittelindustrie, wo die Gefahr besteht, dass Ablagerungen und/oder Verunreinigungen die Haltbarkeit von Lebensmittel beeinträchtigenden und/oder zu gesundheitsschädlichen Kontaminationen führen können.

Es ist somit eine Aufgabe der Erfindung eine Drucksensoranordnung vorzuschlagen, welche beim Einsatz in einem hygienischen Prozess ein möglichst geringes Verunreinigungs- bzw. Kontaminierungsrisiko aufweist.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Drucksensoranordnung gemäß Patentanspruch 1 und das Verfahren gemäß Patentanspruch 8.

Die erfindungsgemäße Drucksensoranordnung zum Bestimmen eines Drucks eines Mediums in einem hygienischen Prozess umfasst:

- ein Sensormodul mit einem Druckwandlerelement zur Ausgabe eines druckabhängigen Signals, und einem Sensorgehäuse in dem das Druckwandlerelement in einer Druckmesskammer angeordnet ist, wobei die Druckmesskammer mit einem Durchgang zu einer in einer Stirnfläche des Sensorgehäuses befindlichen Öffnung fluidisch verbunden ist,

- ein Prozessanschlussmodul mit einer sich in eine Montagerichtung erstreckenden Ausnehmung zur Aufnahme des Sensormoduls, wobei das Sensormodul solchermaßen in der Ausnehmung fixiert ist, dass die Stirnfläche des Sensormoduls zumindest mit einem Randbereich einer Fläche um die Ausnehmung herum in einer Ebene liegen, - einer metallischen, vorzugsweise vorgeprägten Trennmembran, welche die Öffnung des Durchgangs abdichtet, und einer Übertragungsflüssigkeit in dem Durchgang und der

Druckmesskammer, um den an der Trennmembran anstehenden Druck des Mediums zum Druckwandlerelement zu übertragen, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennmembran sich seitlich über einen Außenrand der Stirnfläche des Sensormoduls hinaus erstreckt und die Trennmembran mit nur einer einzigen mit dem Medium in Kontakt kommenden in sich geschlossenen umlaufenden Schweißnaht an dem Prozessanschlussmodul angeschweißt ist.

Erfindungsgemäß wird eine Drucksensoranordnung vorgeschlagen, die aus einem Sensor- und einem Prozessanschlussmodul gefertigt wird. Hierbei wird das Sensormodul bei der Fertigung passgenau in die Ausnehmung des Prozessanschlussmoduls eingeführt. Anschließend wird eine Trennmembran, welche vorzugsweise bereits vorgeprägt ist, und welche einen größeren Durchmesser aufweist als das Sensormodul über das eingebrachte

Sensormodul gebracht und an dem Prozessanschlussmodul angeschweißt. Auf diese Weise können die mit dem zu messenden Medium in Berührung kommenden Nähte, insbesondere Schweißnähte, auf eine einzige Naht reduziert werden, sodass das Verunreinigungs- bzw. Kontaminierungsrisiko des Mediums reduziert werden kann.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass eine

Außenkontur des Sensorgehäuses eine umlaufende Stufe aufweist und das Prozessanschlussmodul an einer Innenkontur der Ausnehmung eine entsprechende Stufe aufweist und die beiden Stufen derartig aufeinander abgestimmt sind, dass wenn das Sensorgehäuse mit der Stufe bündig auf der Stufe des Prozessanschlussmoduls aufsitzt, die Stirnfläche des Sensormoduls zumindest mit dem Randbereich der Fläche um die Ausnehmung herum in einer Ebene liegt.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht ferner vor, dass eine in sich geschlossene umlaufende erste Abdichtungsnahtzwischen dem

Sensormodul und dem Prozessanschlussmodul im Bereich der Ausnehmung an der Stirnfläche des Sensormoduls vorgesehen ist, wobei die erste

Abdichtungsnaht von dem Medium aus gesehen hinter dem seitlich über den Außenrand der Stirnfläche des Sensormoduls hinaus erstreckenden Teil der Trennmembran angeordnet ist, sodass die erste Abdichtungsnaht nicht in Kontakt mit dem Medium kommt. Insbesondere kann die Ausgestaltung vorsehen, dass die erste Abdichtungsnaht als Schweißnaht, insbesondere Laserschweißnaht, als Lotnaht oder als Klebenaht ausgeführt ist.

Eine alternative Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das Sensormodul und das Prozessanschlussmodul durch eine, vorzugsweise im Bereich der Stufen, in sich geschlossene umlaufende zweite Abdichtungsnaht zueinander abgedichtet sind. Insbesondere kann die Ausgestaltung vorsehen, dass die zweite Abdichtungsnaht als Widerstandsschweißnaht oder als eine

Klebernaht, bevorzugt eine epoxidbasierte Klebernaht ausgeführt ist und/oder die Außenkontur des Sensorgehäuses ferner eine umlaufende Nut zur

Aufnahme eines Dichtungsmittels, vorzugsweise eines O-Rings, aufweist.

Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Montage einer

Drucksensoranordnung umfassend die folgenden Schritte: - Bereitstellen eines Sensormoduls mit einem Druckwandlerelement zur

Ausgabe eines druckabhängigen Signals, und einem Sensorgehäuse in dem das Druckwandlerelement in einer Druckmesskammer angeordnet ist, wobei die Druckmesskammer mit einem Durchgang zu einer in einer Stirnfläche des Sensorgehäuses befindlichen Öffnung fluidisch verbindbar ist; - Bereitstellen eines Prozessanschlussmoduls mit einer sich in eine Montagerichtung erstreckenden Ausnehmung zur Aufnahme des Sensormoduls; - Einsetzen des Sensormoduls entlang der Montagerichtung in die

Ausnehmung des Prozessanschlussmoduls, sodass die Stirnfläche des Sensormoduls zumindest mit einem Randbereich einer Fläche um die Ausnehmung herum in einer Ebene liegt; - Aufbringen einer, vorzugsweise vorgeprägten, sich seitlich über einen

Außenrand der Stirnfläche des Sensormoduls hinaus erstreckenden metallischen Trennmembran auf die Stirnfläche des Sensormoduls;

- Befestigen der Trennmembran an dem Prozessanschlussmodul mit einer einzigen mit dem Medium in Kontakt kommenden in sich geschlossenen umlaufenden Schweißnaht.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass vor dem Aufbringen der Trennmembran das Sensormodul und das

Prozessanschlussmodul an der Stirnfläche durch eine in sich geschlossene umlaufende erste Abdichtungsnaht zueinander abgedichtet werden. Die Ausführungsform kann insbesondere vorsehen, dass die erste

Abdichtungsnaht durch Schweißen insbesondere Laserschweißen, durch Löten oder durch Kleben erzeugt wird.

Eine alternative Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass das

Sensormodul und das Prozessanschlussmoduls, vorzugsweise im Bereich der Stufen, durch eine in sich geschlossen umlaufend ausgeführte zweite

Abdichtungsnaht zueinander abgedichtet werden. Insbesondere kann die Ausführungsform vorsehen, dass die zweite Abdichtungsnaht durch eine Widerstands-Schweißung oder eine Klebung erzeugt wird.

Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass vor bzw. bei dem Einsetzen des Sensormoduls entlang der Montagerichtung in die Ausnehmung des Prozessanschlussmoduls ein Abdichtungsmittel,

vorzugsweise ein O-Ring, in eine Nut eingebracht wird, die zuvor in einer Außenkontur des Sensorgehäuses ausgebildet wurde. Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigt:

Fig. 1 : eine noch nicht fertig montierte Drucksensoranordnung aufweisend ein Sensor- und eine Prozessanschlussmodul,

Fig. 2: eine Detailansicht von der Stirnseite im Bereich des Übergangs von dem Sensor- und Prozessanschlussmodul zur Verdeutlichung der Position und Lage der stirnseitigen Abdichtungsnaht, und

Fig. 3: eine weitere Detailansicht zur Verdeutlichung der Lage und Position der umlaufenden Schweißnaht, der stirnseitigen Abdichtungsnaht sowie der möglichen Abdichtungsnaht im Bereich der Stufe. Figur 1 zeigt ein noch nicht fertig montiertes metallisches Sensormodul 1 und ein metallisches Prozessanschlussmodul 3, welche im fertig montierten Zustand eine Drucksensoranordnung zum Bestimmen eines Druckes eines Mediums in einem hygienischen Prozess bilden. Das Sensormodul 1 umfasst ein in einer Druckmesskammer 5 eines Sensorgehäuses 19 angeordnetes Druckwandlerelement bzw. einen Drucksensor 7, der in einem fertigmontierten Zustand über einen nach außen durch eine auf einer Stirnseite des

Sensormoduls 1 angeordnete Trennmembran 9 abgeschlossenen, mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit befüllten Druckmittler mit einem auf eine Außenseite der Trennmembran 9 einwirkenden Druck p beaufschlagbar ist.

Als Druckwandlerelement bzw. Drucksensor 7 eignet sich z.B. ein

sogenannter Flalbleiter-Drucksensor, z.B. ein auf Siliziumbasis hergestellten Drucksensor-Chip. Dieser kann beispielsweise eine unter Einschluss einer zweiten Druckmesskammer auf einem Grundkörper angeordnete

Messmembran und einen elektromechanischen Wandler umfassen. Der Wandler wandelt eine vom auf die Messmembran einwirkenden Druck abhängige Durchbiegung der Messmembran in eine elektrische Größe um, die dann mittels einer an den Wandler anschließbaren Sensorelektronik

messtechnisch erfasst und in ein von dem messtechnisch zu erfassenden Druck abhängiges elektrisches Signal umgewandelt wird, das dann für eine weitere Verarbeitung und/oder Auswertung zur Verfügung steht. Beispiele hierfür sind kapazitive Wandler, die mindestens einen Kondensator mit einer von der Durchbiegung der Messmembran abhängigen Kapazität aufweisen, sowie Wandler, die auf oder in der Messmembran angeordnete

Sensorelemente, z.B. zu einer Widerstandsmessbrücke

zusammengeschaltete piezoresistive Elemente, umfassen. Eine weitere Alternative bilden piezoelektrische Wandler. Alternativ können aber auch andere als die zuvor als Beispiel genannten Wandler eingesetzt werden. Das Prozessanschlussmodul 3 umfasst eine parallel zu einer Längsachse des Prozessanschlussmoduls 3 durch das Prozessanschlussmodul 3 hindurch verlaufende Ausnehmung 11. Die Längsachse des Prozessanschlussmoduls stellt gleichzeitig auch eine Montagerichtung 14 zur Herstellung der

Drucksensoranordnung dar. Ferner ist das Prozessanschlussmodul 3 im Wesentlichen rotationssymmetrisch um die Längsachse ausgebildet. Gleiches gilt für das Sensormodul 1 , welches bezogen auf seine Außenkontur ebenfalls im Wesentlichen rotationssymmetrisch zu seiner Längsachse ist.

Im Hinblick auf die Fertigung der Drucksensoranordnung sind das

Sensormodul 1 und das Prozessanschlussmodul 3 derartig ausgebildet und aufeinander abgestimmt, dass das Sensormodul ein radial nach außen erstreckenden Absatz 37 aufweist, welcher so dimensioniert ist, dass der Absatz 37 passgenau in eine Innenkontur der Ausnehmung 11 des

Prozessanschlussmoduls 3 steckbar ist. Optional können sowohl die

Außenkontur des Sensorgehäuses 19 als auch die Innenkontur der

Ausnehmung 11 des Prozessanschlussmoduls 3 jeweils eine mit ihren Grundflächen aufeinander angepasste Stufe 41 , 42 aufweisen, sodass das Sensormodul 1 bei der Fertigung in Montagerichtung 14 ineinander einführen lassen. Die Stufen 41 , 42 sind ferner derartig aufeinander angepasst, dass das Sensormodul 1 mit der Stufe 41 auf der entsprechenden Stufe 42 des

Prozessanschlussmoduls 3 aufsitzt und durch diese gestützt wird. Ferner wird durch die Stufen sichergestellt, dass das Sensormodul 1 an der Stirnseite bündig mit dem Prozessanschlussmodul 3 abschließt. Um auch den Einsatz in einer Prozessanlage bei Hochdruck ermöglichen zu können, kann optional eine umlaufende Nut 44 zur Aufnahme eines

Dichtungsmittels, insbesondere eines O-Rings, in der Außenkontur des Sensorgehäuses vorgesehen sein. Die Anordnung der umlaufenden Nut 44 an dem Sensorgehäuse ist hierbei vorzugsweise derartig, dass die umlaufende Nut 44 näher zu der Stirnseite des Sensormoduls angeordnet ist als zu der Stufe. Durch die Nut 44 kann in Kombination mit dem Dichtungsmittel eine Leckage zwischen der Außenhülle des Sensormoduls und der Innenkontur der Ausnehmung des Prozessanschlussmoduls 3 im fertigmontierten Zustand verhindert werden. Ergänzend oder alternativ kann für den Hochdruckeinsatz eine Abdichtung über eine Abdichtungsnaht 18 im Bereich der beiden Stufen vorgesehen sein.

Um eine erfindungsgemäße Drucksensoranordnung herzustellen sind folgende Schritt notwendig:

In einem ersten Schritt werden zunächst das Sensormodul 1 und das Prozessanschlussmodul 3 gemäß einer der zuvor beschriebenen Variante bereitgestellt.

In einem nächsten Schritt wird das Sensormodul 1 entlang der

Montagerichtung 14 in die Ausnehmung 11 des

Prozessanschlussmoduls 3 eingesetzt, sodass vorzugsweise die beiden Stufen aufeinandersitzen und die Stirnfläche im Wesentlichen bündig mit dem Randbereich der Fläche um die Ausnehmung herum abschließt.

- Nach dem Einbringen des Sensormoduls 1 in die Ausnehmung 11 kann optional vorgesehen sein, dass im Bereich der Stufe eine Abdichtung zwischen dem Sensormodul 1 und dem Prozessanschlussmodul 3 durch eine Abdichtungsnaht 18 erzeugt wird. Die Abdichtungsnaht 18 wird vorzugsweise mittels eines Widerstandsschweißverfahrens als Widerstandschweißnaht ausgeführt. Alternativ kann die

Abdichtungsnaht auch mittels eines Klebeverfahrens als Klebernaht ausgeführt werden. Es versteht sich von selbst, dass die Abdichtungsnaht 18 im Bereich der Stufen 41 , 42 umlaufend um die Achse des Sensor- bzw. des Prozessanschlussmoduls ausgeführt ist, sodass die fertigmontierte Drucksensoranordnung auch im

Hochdruckbereich eingesetzt werden kann, ohne dass es zur Leckage zwischen dem Sensormodul und dem Prozessanschlussmodul kommt.

Ergänzend oder alternativ zu der Abdichtungsnaht 18 im Bereich der Stufe kann ferner ein umlaufendes Dichtungsmittel 16 in die Nut 44 des Sensormoduls vor dem Einbringen des Sensormoduls in das

Prozessanschlussmodul eingesetzt werden, sodass im fertigmontierten Zustand eine (zusätzliche) Dichtung durch das Dichtungsmittel gegeben ist. Als Dichtungsmittel kann beispielsweise ein O-Ring umfassen.

Alternativ zu der Abdichtungsnaht 18 im Bereich der Stufen 41 , 42 kann nach dem Einbringen des Sensormoduls 1 in die Ausnehmung 11 eine an der Stirnfläche des Sensor- und Prozessanschlussmoduls angeordnete Abdichtungsnaht 6 erzeugt werden. Die Abdichtungsnaht 6 wird an der Stirnseite am Übergang von dem Sensormodul zu dem Prozessanschlussmodul umlaufend um die Achse des Sensor- bzw. Prozessanschlussmoduls und in sich geschlossen vorgesehen.

Vorzugsweise wird die stirnseitige Abdichtungsnaht mittels eines Laserschweißverfahrens erzeugt. Fig. 2 zeigt eine Detailansicht der Stirnseite im Bereich des Übergangs 20 von dem Sensor- und

Prozessanschlussmodul zur Verdeutlichung der Position der

Abdichtungsnaht 6. Aus Fig. 2 wird ersichtlich, dass die

Abdichtungsnaht 6 nach der Fertigstellung der Drucksensoranordnung hinter der Trennmembran angeordnet ist, sodass diese keinen Kontakt zu einem Medium hat. In Fig. 2 ist die Lage und Position der

Abdichtungsnaht durch ein Dreieck gekennzeichnet.

In einem letzten Schritt wird eine metallische Trennmembran 9 bereitgestellt und an dem Prozessanschlussmodul 3 angeschweißt. Die Trennmembran 9 ist derartig ausgebildet, dass ein Randbereich der Trennmembran sich seitlich über einen Außenrand der Stirnfläche des Sensormoduls 1 hinaus erstreckt und somit in dem Fall, dass eine stirnseitige Abdichtungsnaht vorgesehen ist, diese überdeckt. Die Trennmembran 9 ist vorzugsweise mittels eines vorangestellten Prägeverfahrens vorgeprägt. Als bevorzugtes Prägeprofil hat sich insbesondere ein Wellenprofil herausgestellt. Die seitlich überstehende Trennmembran 9 wird über eine im überstehenden Bereich befindliche in sich geschlossene umlaufende Schweißnaht 4 an dem

Prozessanschlussmodul 3 befestigt. Dadurch, dass die Trennmembran seitlich übersteht und ggfls. auch die stirnseitige vorhandene

Abdichtungsnaht überdeckt, ist die Schweißnaht die einzige Naht, die in Kontakt mit einem Medium kommt, wenn das Prozessanschlussmodul

3 in eine Messtelle einer Prozessanlage eingebaut ist. Fig. 3 zeigt eine weitere Detailansicht zur Verdeutlichung der Lage und Position der umlaufenden Schweißnaht 4, der stirnseitigen Abdichtungsnaht 6 sowie der Abdichtungsnaht 18 im Bereich der Stufe. In Fig. 3 sind die Lagen und Positionen der Nähte ebenfalls durch Dreiecke gekennzeichnet.

Bezugszeichenliste

Sensormodul

Übertragungsflüssigkeit

Prozessanschlussmodul

Schweißnaht

Druckmesskammer

Erste Abdichtungsnaht

Druckwandlerelement

Durchgang

Trennmembran

Öffnung

Ausnehmung

Vorprägung Trennmembran / Wellenprofil

Montagerichtung

Dichtungsmittel

Zweite Abdichtungsnaht

Sensorgehäuse

Übergang Sensor- zu Prozessanschlussmodul

Absatz

Stufe

Nut