Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan durch vorzugsweise katalytische Umsetzung von Siliziumpartikeln mit Tetrachlorsilan und Wasserstoff in einem Wirbelschichtreaktor sowie eine Anlage, in der ein solches Verfahren betrieben werden kann.

Wie allgemein bekannt ist, ist Trichlorsilan ein wertvolles Zwischenprodukt bei der Herstellung von hochreinem Silizium, wie es für photovolta- ische Anwendungen und für die Halbleitertechnik sowie in der Silizium- organik benötigt wird. So kann beispielsweise metallurgisches Silizium, das häufig noch einen relativ hohen Anteil an Verunreinigungen aufweist, in Trichlorsilan überführt werden, das anschließend mit Wasser zu hochreinem Silizium reduziert wird. Eine derartige Vorgehensweise ist beispielsweise aus der DE 2 919 086 bekannt. Alternativ dazu kann man hochreines Silizium auch durch thermische Zersetzung von Monosilan gewinnen, wie es z. B. in der DE 33 11 650 beschrieben ist. Das dafür benötigte Monosilan lässt sich wiederum insbesondere durch Dispropor- tionierung von Trichlorsilan erhalten.

Für die Synthese von Trichlorsilan kommen insbesondere zwei Reaktionswege in Frage, nämlich zum einen die direkte Umsetzung von metallurgischem Silizium mit Chlorwasserstoff (Hydrochlorierungsvariante) und zum anderen durch Umsetzung von Siliziumtetrachlorid mit metallurgischem Silizium und Wasserstoff (Hydrierungsvariante).

Insbesondere die Hydrierungsvariante ist sehr gebräuchlich, da das dafür benötigte Siliziumtetrachlorid bei der Disproportionierung von Tri- chlorsilan zu Monosilan ohnehin zwingend als Nebenprodukt (wie in praktisch allen Verfahren zur Herstellung von Polysilizium) anfällt. Die Gesamtausbeute der Synthesekette Si + SiCI ₄ + H ₂ -» SiHCI ₃ -» SiH ₄ + SiCI ₄ -> Si lässt sich natürlich deutlich erhöhen, indem das bei der Disproportionierung Siliziumtetrachlorid wieder in den Reaktionsweg eingespeist wird.

Die Umsetzung von Siliziumtetrachlorid mit metallurgischem Silizium und Wasserstoff zu Trichlorsilan erfolgt vorzugsweise in Wirbelschichtreaktoren. Ein geeigneter Wirbelschichtreaktor ist beispielsweise aus der DE 196 47 162 bekannt. Ein solcher umfasst in der Regel einen Reaktionsraum, in dessen unterem Bereich eine Verteilerplatte vorgesehen ist, über die Wasserstoffgas und dampfförmiges Silizumtetrachlorid in den Reaktionsraum eingeströmt werden können. Siliziumpartikel können über einen geeigneten Einlass direkt in den Reaktionsraum überführt werden. Durch das nach oben strömende Gasgemisch aus Wasserstoff und dampfförmigem Siliziumtetrachlorid werden die Siliziumpartikel in einen fluidisierten Zustand überführt und bilden eine Wirbelschicht aus.

Das in der Wirbelschicht entstehende Trichlorsilan (sowie gegebenenfalls andere Reaktionsprodukte) wird in der Regel über einen Auslass im oberen Bereich des Wirbelschichtreaktors aus dem Reaktor abgeführt. Problematisch ist dabei, dass insbesondere bei höheren Gasgeschwindigkeiten stets feine Siliziumpartikel aus der Wirbelschicht mitgerissen werden und zusammen mit dem trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom aus dem Reaktor entweichen. Damit dieser Schwund nicht überhand nimmt, sind Wirbelschichtreaktoren zur Synthese von Trichlorsilan in der Regel mit Partikelabscheidern wie Zyklonen versehen. Geeignete Zyklone weisen in der Regel einen Zyklonkörper mit einem Gaseinlass, einem Gasauslass, einem Partikel-Fallauslass und einem Partikelabführrohr auf, dessen oberes Ende mit dem Partikel-Fallauslass des Zyklonkör- pers kommuniziert. Gewöhnlich ist ein Staubtrichter zwischen dem Zyklonkörper und dem Partikelabführrohr eingesetzt.

Der Zyklonkörper, der Staubtrichter und das Partikelabführrohr sind in der Regel so im Reaktionsraum des Wirbelschichtreaktors angeordnet, dass sich der Zyklonkörper in einem oberen Teil des Reaktionsraumes, idealerweise über dem im Reaktionsraume gebildeten Wirbelbett, befindet. Ein unterer Teil des Partikelabführrohrs ragt hingegen vorzugsweise bis in die Wirbelschicht hinein.

In einem typischen Betriebszustand eines solchen Wirbelschichtreaktors liegt der mittlere Partikeldurchmesser der in den Reaktionsraum eingebrachten Siliziumpartikel zwischen ca. 100 und 400 μm. Im laufenden Betrieb reduziert sich die Größe der Partikel allerdings, Partikel mit Größen von z.B. weniger als 10 μm treten dann vermehrt auf. Sobald eine bestimmte Partikelgröße (die genaue Größe hängt von Parametern wie der Dichte der Teilchen, den Strömungsgeschwindigkeiten im Wirbelschichtreaktor etc. ab) unterschritten wird, werden Partikel mit einer solchen Größe mit dem trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom mitgerissen und treten in den Zyklonkörper des Zyklons ein. Innerhalb des Zyklonkörpers werden alle Siliziumpartikel über einer bestimmten (in der Regel einstellbaren) Partikelgröße vom Produktgasstrom separiert und fallen durch den Partikel-Fallauslass des Zyklonkörpers in das Partikelabführrohr. Durch dieses können sie direkt ins Wirbelbett rücküberführt werden. Feinere Partikel passieren dagegen den Zyklon und müssen in Folgeschritten durch Filter oder sonstige Mittel aus dem trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom aufwendig abgetrennt werden.

Ein weiteres in derartigen Wirbelschichtreaktoren auftretendes Problem ist, dass das partikulär eingeführte metallurgische Silizium stets einen gewissen Anteil an„inaktiven" oder„inerten" Siliziumpartikeln aufweist, die sich unter den im Wirbelschichtreaktor vorherrschenden Reaktions- - A - bedingungen nicht oder nur sehr langsam mit dem gasförmigen Siliziumtetrachlorid und dem Wasserstoff umsetzen lassen. Dies ist beispielsweise der Fall, wenn ein Siliziumpartikel eine stark oxidierte Oberfläche aufweist, die reaktive Teile des Partikels vor dem Dampf-Gas-Gemisch aus Siliziumtetrachlorid und Wasserstoff abschirmt. Im Dauerbetrieb steigt die Konzentration solcher Partikel in der Wirbelschicht mit der Zeit an und kann die Effizienz des betroffenen Wirbelschichtreaktors erheblich beeinflussen. In der Folge kann es erforderlich sein, in regelmäßigen Zeitabständen den Betrieb des Wirbelschichtreaktors zu unterbrechen und die enthaltene Siliziumcharge zum Teil oder komplett auszutauschen.

Alternativ dazu versuchte man, die Konzentration an inaktiven Partikeln in der Wirbelschicht gering zu halten, indem man über den im Wirbelschichtreaktor angeordneten Partikelabscheider zusammen mit dem Produktgasstrom mehr und auch größere Partikel aus dem Reaktor entweichen lässt, als dies eigentlich erforderlich wäre. Wie bereits erwähnt, lässt sich die Selektivität von Partikelabscheidern wie Zyklonen in der Regel ja variieren.

In der Folge erhöht sich allerdings der Aufwand bei der sich anschließenden Abtrennung der Partikel vom trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom deutlich. Weiterhin sinkt natürlich auch die Gesamtausbeute der Umsetzung im Hinblick auf das eingesetzte metallurgische Silizium deutlich.

Der vorliegenden Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, eine technische Lösung zur Herstellung von Trichlorsilan bereitzustellen, bei der die obigen Probleme nicht auftreten oder zumindest weitestgehend vermieden werden. Diese Aufgabe wird gelöst durch das Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und die Anlage zur Herstellung von Trichlorsilan mit den Merkmalen des Anspruchs 6. Bevorzugte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den abhängigen Ansprüchen 2 bis 5 angegeben. Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Anlage finden sich in den abhängigen Ansprüchen 7 und 8. Der Wortlaut sämtlicher Ansprüche wird hiermit durch Bezugnahme zum Inhalt dieser Beschreibung gemacht.

Das erfindungsgemäße Verfahren macht wie die meisten der eingangs genannten gattungsgemäßen Verfahren Gebrauch von einem Wirbelschichtreaktor, in dem Siliziumpartikel mit Tetrachlorsilan und Wasserstoff sowie gegebenfalls mit Chlorwasserstoff zu einem trichlorsilanhalti- gen Produktgasstrom umgesetzt werden. Die Anwesenheit von Chlorwasserstoff ist in der Regel nicht zwingend erforderlich, kann sich insbesondere beim Anfahren des Reaktors aber positiv auswirken.

Der eingesetzte Wirbelschichtreaktor weist mindestens einen Einlass für das Tetrachlorsilan und den Wasserstoff, insbesondere ein Dampf-Gas- Gemisch aus beiden, sowie gegebenfalls den Chlorwasserstoff auf sowie mindestens einen Einlass für die Siliziumpartikel. Zumindest der mindestens eine Einlass für das Tetrachlorsilan und den Wasserstoff ist dabei vorzugsweise im Bodenbereich des Wirbelschichtreaktors angeordnet, so dass das Tetrachlorsilan und der Wasserstoff innerhalb des Wirbelschichtreaktors nach oben strömen können. In den Reaktor eingebrachte Siliziumpartikel können dann mit dem Tetrachlorsilan und dem Wasserstoff eine Wirbelschicht ausbilden.

In bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Umsetzung der Siliziumpartikel mit Tetrachlorsilan und Wasserstoff sowie gegebenenfalls mit Chlorwasserstoff unter katalytischen Bedingungen. Als Katalysatoren kommen insbesondere eisen- und/oder kupferhaltige Katalysatoren in Frage, wobei letztere bevorzugt eingesetzt werden. Als eisenhaltiger Katalysator eignet sich beispielsweise metallisches Eisen, als kupferhaltiger Katalysator metallisches Kupfer (beispielsweise in Form von Kupferpulver oder Kupfer-Flakes) oder eine Kupferverbindung. Der Katalysator kann separat in den Wirbelschichtreaktor eingebracht werden oder vorab mit den Siliziumpartikien gemischt werden.

Der verwendete Wirbelschichtreaktor weist weiterhin mindestens einen Auslass für den trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom auf. Wie eingangs bereits erwähnt, enthält ein solcher trichlorsilanhaltiger Produktgasstrom in aller Regel stets kleine Siliziumpartikel. Deshalb ist auch beim im Rahmen der vorliegenden Erfindung verwendeten Wirbelschichtreaktor dem mindestens einen Auslass für den trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom mindestens ein Partikelabscheider vorgeschaltet, der selektiv nur Siliziumpartikel bis hin zu einer bestimmten Maximalpartikelgröße passieren lässt. Diese Maximalpartikelgröße ist in aller Regel einstellbar, abhängig vom verwendeten Partikelabscheider. So kann als Partikelabscheider beispielsweise ein Fliehkraftabscheider, insbesondere ein Zyklon, verwendet werden. Bei diesen Abscheidern lässt sich in der Regel präzise einstellen, welche Partikel mit welcher Größe abgetrennt werden sollen und welche Partikel den Abscheider noch passieren dürfen.

Besonders zeichnet sich ein erfindungsgemäßes Verfahren dadurch aus, dass in vorzugsweise regelmäßigen Zeitabständen oder kontinuierlich über mindestens einen weiteren Auslass Siliziumpartikel aus dem Reaktor ausgeschleust werden, wobei diesem mindestens einen weiteren Auslass kein solcher selektiv arbeitender Partikelabscheider vorgeschaltet ist. Entsprechend kann der mindestens eine weitere Auslass auch von Siliziumpartikeln mit Durchmessern jenseits der erwähnten Maximalpartikelgröße passiert werden. Wie eingangs erwähnt, tritt in Wirbelschichtreaktoren zur Herstellung von Trichlorsilan häufig das Problem auf, dass sich innerhalb des Reaktors inaktive Siliziumpartikel anreichern und so die Effizienz des Reaktors herabgesetzt wird. Durch das gezielte Ausschleusen von Siliziumpartikeln, die in der Regel über den mindestens einen Einlass für die Siliziumpartikel unverzüglich durch frische Silliziumpartikel ersetzt werden, lässt sich eine solche Anreicherung von inaktiven Partikeln effizient verhindern.

Besonders bevorzugt werden die Siliziumpartikel unmittelbar dem FIu- idabschnitt einer Wirbelschicht im Wirbelschichtreaktor entnommen. Auch bei der vorliegenden Erfindung werden der Wasserstoff und das Tetrachlorsilan sowie gegebenenfalls der Chlorwasserstoff bevorzugt im Bodenbereich des Wirbelschichtreaktors in den Reaktor eingeströmt. Oberhalb dieses Bodenbereiches bildet sich dann die Wirbelschicht aus. Diese weist in der Regel eine deutliche untere Grenze auf. Nach oben hin kann der Fluidabschnitt relativ deutlich begrenzt sein, insbesondere wenn es sich bei der Wirbelschicht um eine stationäre Wirbelschicht handelt. Als Fluidabschnitt einer Wirbelschicht wird dann der Abschnitt zwischen der oberen und der unteren Grenze bezeichnet.

Handelt es sich bei der Wirbelschicht hingegen um eine zirkulierende Wirbelschicht, so besitzt diese aufgrund der größeren Strömungsgeschwindigkeiten des Wasserstoffs und des Siliziumtetrachlorids sowie gegebenenfalls des Chlorwasserstoffs häufig keine deutliche obere Grenze mehr.

Die ausgeschleusten Siliziumpartikel werden in besonders bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens in einen zweiten Reaktor überführt, bei dem es sich besonders bevorzugt um einen zweiten Wirbelschichtreaktor handelt. Dort werden sie wiederum mit Tetrachlorsilan und Wasserstoff sowie gegebenenfalls mit Chlorwasserstoff zu einem trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom umgesetzt. Im Ge- gensatz zu Siliziumpartikeln, die über den Auslass mit dem Partikelabscheider aus dem Reaktor ausgetragen werden, werden die gezielt über den mindestens einen weiteren Auslass ausgeschleusten Partikel somit weiterverwertet. Dies trägt natürlich positiv zur Gesamtausbeute des erfindungsgemäßen Verfahrens bei.

Der im zweiten Reaktor entstehende trichlorsilanhaltige Produktgasstrom kann grundsätzlich völlig separat von dem im ersten Reaktor entstehenden Produktgasstrom aufgereinigt und weiterverarbeitet werden. Besonders bevorzugt ist es jedoch, wenn der trichlorsilanhaltige Produktgasstrom aus dem zweiten Reaktor in den vorgeschalteten (ersten) Wirbelschichtreaktor rücküberführt wird. Dies ermöglicht es nämlich, den zweiten Reaktor aus baulicher Sicht sehr einfach zu halten. Es werden so nämlich beispielsweise keine separaten Partikelabscheider im zweiten Reaktor benötigt. Stattdessen kann der trichlorsilanhaltige Produktgasstrom aus dem zweiten Reaktor mit dem trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom aus dem vorgeschalteten Wirbelschichtreaktor vereinigt werden. Die vereinigten Produktgasströme passieren dann den mindestens einen Partikelabscheider im ersten Wirbelschichtreaktor.

Damit sich der Anteil an inaktiven Partikeln, der aus dem ersten Wirbelschichtreaktor in den zweiten Reaktor überführt wird, in letzterem auch umsetzen lässt und sich nicht dort anreichert, ist es bevorzugt, dass die Reaktionsbedingungen, bei denen die ausgeschleusten Siliziumpartikel umgesetzt werden, sich im zweiten Reaktor von denen im vorgeschalteten Wirbelschichtreaktor unterscheiden. Dies gilt insbesondere im Hinblick auf die Reaktionsparameter Temperatur und/oder Druck. Besonders bevorzugt wird der zweite Reaktor bei höheren Temperaturen betrieben als der erste Reaktor.

Theoretisch ist es im übrigen denkbar, dem zweiten Reaktor noch einen parallelen dritten Reaktor sowie gegebenfalls noch weitere Reaktoren nachzuschalten, um wiederum einer Anreicherung von inaktiven Partikeln im zweiten Reaktor vorzubeugen. In der Praxis dürfte dies jedoch in den meisten Fällen nicht erforderlich sein.

Eine erfindungsgemäße Anlage zur Herstellung von Trichlorsilan weist einen ersten und einen zweiten Reaktor, insbesondere zwei Wirbelschichtreaktoren, auf, die sich jeweils zur Umsetzung von Siliziumpartikeln mit Tetrachlorsilan und Wasserstoff sowie gegebenenfalls mit Chlorwasserstoff zu einem trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom eignen. Im ersten Reaktor wird ein erster trichlorsilanhaltiger Produktgasstrom gebildet, im zweiten Reaktor ein zweiter trichlorsilanhaltiger Produktgasstrom.

Der erste Reaktor weist bevorzugt zumindest die folgenden Komponenten auf:

• mindestens einen Einlass für das Tetrachlorsilan und den Wasserstoff sowie gegebenenfalls den Chlorwasserstoff,

• mindestens einen Einlass für die Siliziumpartikel,

• einen Reaktionsraum, in dem die Siliziumpartikel mit dem Tetrachlorsilan und dem Wasserstoff sowie gegebenenfalls dem Chlorwasserstoff eine Wirbelschicht ausbilden können,

• mindestens einen Auslass für den ersten trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom, dem mindestens ein Partikelabscheider vorgeschaltet ist, der selektiv nur Siliziumpartikel bis hin zu einer bestimmten Maximalpartikelgröße passieren lässt und

• mindestens einen weiteren Auslass ohne einen solchen Partikelabscheider, über den auch Siliziumpartikel mit Größen über der Maximalpartikelgröße aus dem Reaktor ausgeschleust werden können.

Der zweite Reaktor umfasst zumindest • mindestens einen Einlass für Siliziumpartikel,

• einen Reaktionsraum, in dem die Siliziumpartikel mit Tetrachlorsilan und Wasserstoff sowie gegebenenfalls mit Chlorwasserstoff eine Wirbelschicht ausbilden können und

• mindestens einen Auslass für den zweiten trichlorsilanhaltigen Produktgasstrom.

Die erfindungsgemäße Anlage zeichnet sich besonders dadurch aus, dass zwischen dem mindestens einen weiteren Auslass des ersten Reaktors und dem mindestens einen Einlass für Siliziumpartikel des zweiten Reaktors eine Verbindung besteht, über die die aus dem ersten Reaktor ausgeschleuste Siliziumpartikel in den zweiten Reaktor überführt werden können. Bei einer solchen Verbindung kann es sich beispielsweise um eine Rohrleitung handeln, die über ein geeignetes Verbindungsstück wie ein Ventil oder eine Klappe an den Einlass bzw. an den Auslass des jeweiligen Reaktors gekoppelt ist.

Bei dem mindestens einen Partikelabscheider, der vom ersten Wirbelschichtreaktor umfasst ist, handelt es sich bevorzugt um einen oder mehrere Zyklone. Geeignete Zyklone sind dem Fachmann grundsätzlich bekannt und müssen im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht ausführlich erläutert werden. Darüber hinaus kann diesbezüglich auch auf die eingangs gemachten Ausführungen zu geeigneten Zyklonen für Wirbelschichtreaktoren Bezug genommen werden.

In besonders bevorzugten Ausführungsformen besteht zwischen dem ersten und dem zweiten Reaktor neben der bereits erwähnten Verbindung mindestens eine weitere Verbindung, über die der zweite trichlorsi- lanhaltige Produktgasstrom in den ersten Reaktor geleitet werden kann. In einer Ausführungsform mit diesen beiden Verbindungen ist der Reaktionsraum des zweiten Reaktors somit dem Reaktionsraum des ersten Reaktors „parallel geschaltet". Das aus dem ersten Reaktor ausgeschleuste Silizium wird im Reaktionsraum des zweiten Reaktors mit Siliziumtetrachlorid und Wasserstoff sowie gegebenefalls mit Chlorwasserstoff umgesetzt, das dabei entstehende Trichlorsilan wird dann wieder in den ersten Reaktor überführt, womit der Kreislauf geschlossen ist.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anlage in Verbindung mit den Unteransprüchen. Hierbei können einzelne Merkmale jeweils für sich oder zu mehreren in Kombination miteinander bei einer Ausführungsform der Erfindung verwirklicht sein. Die beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen dienen lediglich zur Erläuterung und zum besseren Verständnis der Erfindung und sind in keiner Weise einschränkend zu verstehen.

Figurenbeschreibung:

Fig. 1 zeigt schematisch den Aufbau einer bevorzugten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anlage mit einem ersten Wirbelschichtreaktor und einem zweiten Wirbelschichtreaktor.

Die dargestellte bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anlage 100 umfaßt einen ersten Wirbelschichtreaktor 101 und einen zweiten Wirbelschichtreaktor 102.

Der erste Wirbelschichtreaktor 101 weist im Bodenbereich einen Einlass 103 auf, über den Wasserstoff und gasförmiges Siliziumtetrachlorid sowie gegebenfalls Chlorwasserstoff in den Reaktor eingeleitet werden kann. Innerhalb des Reaktors 101 befindet sich der Verteiler 104, der es ermöglicht, einen gleichmäßig verteilten Gasstrom innerhalb des Reaktors zu erzeugen. Über den Einlass 105 kann das umzusetzende metallurgische Silizium in den Reaktor 101 eingeführt werden. Dieses bildet, verursacht durch das aufströmende Dampf-Gas-Gemisch aus Wasserstoff und Siliziumtetrachlorid bzw. ggf. auch Chlorwasserstoff im Reaktionsraum 106 des Wirbelschichtreaktors 101 eine Wirbelschicht aus. Bei der Wirbelschicht handelt es sich bevorzugt um eine stationäre Wirbelschicht, also eine Wirbelschicht, die sowohl nach oben als auch nach unten eine relativ deutliche Grenze aufweist. Die untere Begrenzung ist durch die Markierung 107 angedeutet, die obere Begrenzung durch die Markierung 108. Zwischen den beiden Markierungen befindet sich der sogenannte Fluidabschnitt der Wirbelschicht. Aus diesem können über den Auslass 109 Siliziumpartikel aus dem Wirbelschichtreaktor 101 ausgeschleust werden und über die Verbindungsleitung 110 und den Einlass 111 in den Wirbelschichtreaktor 102 überführt werden. Dargestellt ist des weiteren noch der Auslass 112 sowie die Verbindungsleitung 113. Über diese ist es möglich, der Wirbelschicht Siliziumpartikel aus einem höher gelegenen Abschnitt des Fluidabschnitts zu entnehmen. Grundsätzlich kann der Reaktor 101 auch mehr als zwei solcher Ausschleusungsmöglichkeiten aufweisen.

Im Wirbelschichtreaktor 102 können die ausgeschleusten Siliziumpartikel wiederum mit Wasserstoff und Siliziumtetrachlorid sowie gegeben- falls mit Chlorwasserstoff eine Wirbelschicht bilden (der Wirbelschichtreaktor 102 kann zu diesem Zweck eigene Einlassmöglichkeiten für Wasserstoff, Siliziumtetrachlorid und Chlorwasserstoff aufweisen). Das dabei entstehende trichlorsilanhaltige Reaktionsgemisch kann über den Auslass 114 und die Verbindungsleitung 115 in den Wirbelschichtreaktor 101 rücküberführt werden. Vorzugsweise wird das Gemisch oberhalb der Obergrenze 108 der Wirbelschicht in den Reaktor 101 eingeleitet. Dort kann es sich mit dem im Reaktor 101 entstehenden trichlorsilanhal- tigen Produktgemisch vermischen. Über den Auslass 116 und die Ableitung 117 kann das vereinigte tri- chlorsilanhaltige Produktgemisch aus dem Reaktor abgeleitet und seiner weiteren Verwendung zugeführt werden. Dem Auslass 116 vorgeschaltet ist der Partikelabscheider 118. Dieser lässt lediglich Siliziumpartikel mit einer bestimmten Maximalpartikelgröße passieren. Die übrigen Partikel werden innerhalb des Abscheiders 118 abgetrennt und über den Partikel-Fallauslass 119 in die Wirbelschicht rückgeführt.