本発明の好適な実施例をレジスト塗布装� ��を用いて、以下、図面に基づきより詳しく� ��明するが、これは、本発明を説明するため� ��あって、本発明の内容を以下の実施の形態� ��限定するものでないことはいうまでもない� ��

 まず、本発明に使用されるプライミング� ��ーラー洗浄装置について図1を用いて説明す る。図1は、プライミングローラー洗浄装置� �一例を示す構成図である。図1に示すプライ� ��ングローラー洗浄装置(90)は、スリットノズ ル(91)、プライミングローラー(92)、洗浄槽(93) 、ノズル(94、95、96)、並びに排出管(97)を備え る。スリットノズル(91)から基板へ塗布を行� �前に、プライミングローラー洗浄装置(90)で� ��、スリットノズル(91)からプライミングロー ラー(92)に向け、塗布液(98)が吐出される。プ� ��イミングローラー(92)は1回転する間に表面� �きれいにして、次のダミーディスペンスに� �える必要があるため、プライミングローラ� �(92)の塗布領域以下は洗浄槽(93)に覆われてい る。

 洗浄槽(93)の中では、プライミングローラー (92)の洗浄と乾燥が行われる。まず、ノズル(9 4)からリサイクルされた洗浄液をプライミン� ��ローラー(92)表面に向け吹きつける。このと き洗浄液にエアを混入させ強い圧力で洗浄液 を吹きつけてもよいし、また、洗浄液のノズ ル(94)を揺動させることも効果的である。さ� �にプライミングローラー(92)の回転方向にお� ��て下流側となる位置に配置したノズル(95)か ら未使用洗浄液(使用していない洗浄液)を吹� ��つける。このときにもジェット式、あるい� ��揺動式が効果的である。最後に洗浄液を乾� ��す目的でノズル(96)から窒素(N ₂ )ガスの吹き付けを行う。以上の動作でプラ� �ミングローラー(92)の洗浄、乾燥が終了する� ��この時に使用された洗浄液(塗布液と洗浄液 の混合液)は洗浄槽の下に設けられた排出管(9 7)を通じ、再生装置(洗浄液再生ユニット)へ� �られる。

 次に、再生装置について説明する。図2は 、洗浄液の再生装置の構成の一例を示す図で ある。図2に示す洗浄液の再生装置は、回収� �、分離部、供給部、廃棄部、並びに冷却水� �給部を備える。回収部は、プライミングロ� �ラー洗浄装置から排出される塗布液と洗浄� �とが混じった混合液を回収する。分離部は� �回収部が回収した混合液から洗浄液を分離� �、再生洗浄液を再生する。混合液から再生� �浄液を分離する工程では、洗浄液と塗布液� �の混合液中の各成分の沸点の違いを利用し� �混合液を加熱して蒸留することによって実� �する。また、加熱時に容器内を減圧すると� �点が下がり蒸発が促進されて効果的である� �蒸留・分離された洗浄液は、冷却してリサ� �クルされた再生洗浄液として溜められる。� �給部は、分離部が分離・再生した再生洗浄� �を一時貯留し、ブロアー(70)等による加圧で� ��ライミングローラー洗浄装置へ供給する。� ��棄部は、混合液から多くの揮発性成分が蒸� ��し分離された残存混合液(一部に洗浄液等の 揮発性成分が残存する)を廃棄する。冷却水� �給部は、分離部並びに廃棄部において冷却� �必要となる工程へ冷却水を供給する。

 以上が再生装置の概略であり、以下図2を 用いて具体的な構成例について説明する。回 収部は、配管(11)、バルブAV1A及びAV1B(12a、12b)� ��加熱・再生タンクA及びB(13a、13b)を備える。 分離部は、ヒーター(21a、21b)、ダクト(22a、22b )、バルブAV3A及びAV3B(23a、23b)、第一冷却部で� ��る冷却塔(24)、バルブAV2A及びAV2B(25a、25b)、� �浄液タンクA及びB(26a、26b)、真空ポンプ(27)、 バルブAV5A及びAV5B(28a、28b)を備える。供給部� �、配管(31、31a、31b)、フィルタ(32)、バルブAV6 A、AV6B、AV7A、及びAV7B(33a、33b、34a、34b)、供給 管(35、35a、35b)、並びにフィルタ(36)を備える� ��廃棄部は、バルブAV4A及びAV4B(41a、41b)、第二 冷却部である冷却タンク又は排液タンク(42)� �配管(43)を備える。冷却水供給部は、VSPバル� ��(51)、バルブBV2及びBV3(52a、52b)、配管(53a、53b 、54a、54b)を備える。なお、図2は、再生装置� ��一例を示すものであり、回収部、分離部、� ��給部、廃棄部、並びに冷却水供給部の各機� ��を実現する構成であれば他の構成であって� ��よい。

 次に、各構成要素について、塗布液(レジ スト液)と洗浄液(シンナー)が混じった混合液 の分離工程の流れに沿って説明する。加熱・ 再生タンクA及びB(13a、13b)は、配管(11)によっ� ��図1に示した排出管(97)と連結されており、� �ライミングローラー洗浄装置の洗浄槽(93)か� ��排出される混合液が排出管(97)並びに配管(11 )を通って加熱・再生タンクA又はB(13a、13b)に� ��められる。ここでは、加熱・再生タンクA及 びB(13a、13b)のうち、まず加熱・再生タンクA(1 3a)に混合液が回収される場合を説明する。ま た、混合液は60秒に1回100ccの割合で加熱・再� ��タンクA及びB(13a、13b)に回収され、加熱・再 生タンクA及びB(13a、13b)には6Lの混合液を溜め ることができることを前提として説明する。

 加熱・再生タンクA(13a)が所定量の混合液� ��溜めるとバルブAV1A(12a)が閉じられ、バルブA V1B(12b)が開けられ、混合液は加熱・再生タン� ��B(13b)への回収に切替られる。バルブAV1A(12a)� ��閉じられると加熱・再生タンクA(13a)ではヒ� ��ター(21a)により加熱が開始される。ヒータ� �(21a)によって120度~140度まで加熱を行い、混� �液が設定温度に達したことが検出されると� �ルブAV2A及びAV5A(25a、28a)が自動的に開けられ( この時点でバルブAV2B及びAV5B(25b、28b)は閉じ� �れている)、真空ポンプ(27)により洗浄液タン クA(26a)の気体領域と冷却塔(24)を経由して加� �・再生タンクA(13a)内の減圧が開始される。� �空ポンプ(27)の作動により加熱・再生タンクA (13a)や配管(22a)内は、既存の空気等が排出さ� �、混合液中の揮発性成分の蒸気で満たされ� �。このように、加熱と減圧を同時に行うこ� �で、混合液の揮発を促進する。混合液の中� �は洗浄液(シンナー)の方の沸点が低いため、 洗浄液の揮発性成分が先に蒸発し始める。

 このとき、塗布液の全ての成分が揮発性� ��あってもよいが、一部に不揮発性若しくは� ��沸点の成分を含んでいてもよい。この場合� ��そのような成分は蒸発せず、加熱・再生タ� ��クA(13a)内にとどまる。一般には、洗浄液の� ��ての成分は揮発性であり、ここで蒸発し多� ��の部分が加熱・再生タンクA(13a)の外に出て� ��く。しかしながら、洗浄液の一部に不揮発� ��若しくは高沸点の成分を含んでいてもよい� ��このような成分は、上述のように加熱・再� ��タンクA(13a)内にとどまる。

 ダクト(22a)の途中には冷却塔(24)があり、� ��却水による冷却が行われるため、液化した� ��生された洗浄液が冷却塔(24)から洗浄液タン クA(26a)に落下し、収容される。なお、加熱・ 再生タンクB(13b)に溜められた混合液について も同様の処理を行い、洗浄液タンクB(26b)にリ サイクルされた洗浄液を収容する。

 加熱・再生タンクA(13a)による再生処理が� ��了すると、バルブAV2A及びAV5A(25a、28a)は閉じ られ、バルブAV3A(23a)が開かれ加熱・再生タン クA(13a)内の残圧開放とバルブAV4A(41a)を開け、 残渣混合液の廃棄を行う。それと同時に、バ ルブAV6A、AV7A(33a、34a)が自動的に開けられ、� �アブロアー(70)からバルブFV(72)を介して送ら� ��るエアによって、配管(31)からフィルタ(32)� �経由し配管(31a)を通り、バルブAV7A(34a)が開け られた供給管(35a)を通じてリサイクルされた� ��浄液が圧送される。尚、加熱・再生タンクA (13a)で再生処理中は洗浄液タンクA(26a)からの� ��給ができないので、その場合、洗浄液タン� ��B(26b)からの供給に自動的に切替られる。こ� ��とき、送られるエアは、洗浄液タンクA及び B(26a、26b)の再生洗浄液の液面より高い位置に 開口されたダクトのその開口部から排出され ることが好ましい。また配管(35a、35b)の洗浄� ��タンクA及びB(26a、26b)内の開口部は、洗浄液 タンクA及びB(26a、26b)の再生洗浄液の液面よ� �低い位置に配置されることが好ましい。供� �管(35a、35b)は、リサイクルされた洗浄液を供 給する配管であり、図1に示したノズル(94)へ� ��圧装置を介して連結されている。このよう� ��して、供給管(35)により圧送されるリサイク ルされた洗浄液は、プライミングローラー洗 浄装置において再びプライミングローラー(92 )の洗浄に使用される。尚、供給管(35)にフィ� ��タ(36)を設けておくと塵が混入していた場合 でも不都合が生じ難く、好ましい。

 ここで、再生洗浄液の成分につき述べる� ��、再生洗浄液の主成分は、洗浄液の成分中� ��本装置によって蒸発・凝縮される成分であ� ��。このような再生を繰り返し行っても、成� ��の変化は殆ど無く、洗浄力に変化が生じる� ��とは殆ど無い。尚、念のため、未使用の洗� ��液を再生洗浄液に加え、成分の変化を抑制� ��るように構成することもできる。

 加熱・再生タンクA及びB(13a、13b)では混合 液中の全ての揮発成分が蒸発する前に加熱を 停止させる。これは、塗布液が加熱・再生タ ンクA及びB(13a、13b)内で固化してしまうと再� �タンクA及びB(13a、13b)の壁面にこびりついて� ��れなくなってしまうため、液体の状態で廃� ��することが望ましいからである。例えば、� ��収した混合液が約20%の量になったら、加熱� ��止め、バルブAV3A(AV3B)を開け大気開放した後 、バルブAV4A若しくはAV4B(41a若しくは41b)を開� �て混合液から洗浄液を分離した塗布液を廃� �する。廃棄の際は高温のままでは危険なの� �冷却水による冷却が施されている排液タン� �(42)で冷却をし、配管(43)を通して混合液から 洗浄液を分離した塗布液等を廃棄する。

 冷却水は、VSPバルブ(51)を開け、バルブBV2 及びBV3(52a、52b)の開閉を調整することにより� ��配管(53a、53b)を通じて冷却塔(24)及び排液タ� ��ク(42)へ供給される。また、配管(54a、54b)を� ��じて使用済みの冷却水を回収する。

 以上のような装置には、一番底にドレイ� ��パン(74)が配置され、不用意に漏れた洗浄液 などを受けて、必要に応じて集めた上、レベ ルセンサ(76)に応じてドレインバルブ(78)を開� ��て、系外へと廃棄する。

 以上説明したように、加熱・再生タンクA 及びB(13a、13b)を切り替えて使用することで連 続的に混合液の回収と洗浄液の再生が可能と なり、洗浄液タンクA及びB(26a、26b)を切り替� �て使用することでプライミング洗浄装置へ� �連続的な供給が可能となる。ここでは、説� �の都合上、2つの再生タンクの例をしめした� ��、3つの再生タンク、或いはそれ以上の再生 タンクがある場合であってもよい。洗浄液タ ンクは最低2つあれば連続的な供給が可能と� �るが、同様に3つ以上あってもよい。尚、加� ��・再生タンクA及びB(13a、13b)と洗浄液タンク A及びB(26a、26b)にはそれぞれ、液面高さを検� �するレベルセンサLV1A~LV4A、LV1B~LV4B(61、62、63� ��64、66a、65a、66a、65b)を設けておき、上限値� ��下限値を検出することでバルブAV1A~AV7A、AV1B ~AV7B(12a、25a、23a、41a、28a、33a、34a、12b、25b、 23b、41b、28b、33b、34b)の開閉が自動的に行わ� �るように制御しておくことによって、再生� �ンクA及びB(13a、13b)並びに洗浄液タンクA及び B(26a、26b)の切り替え等の作業を自動化するこ とが可能になり、全ての処理工程が平行で実 施できる。

 例えば、センサLV2A(62)が再生タンクA(13a)� �液面高さが上限値に到達したことを検出す� �と、バルブAV1A(12a)を閉じ、バルブAV1B(12b)を� �けて再生タンクB(13b)へ混合液の回収が開始� �れ、再生タンクA及びB(13a、13b)の切り替えの� ��動化が可能になる。また、再生タンクA(13a)� ��おいて、ヒーター(21a)が加熱を開始した後� �センサLV1A(61)が再生タンクA(13a)の液面高さが 下限値に到達したことを検出すると、ヒータ ー(21a)の加熱を停止するとともにバルブAV2A及 びAV5A(25a、28a)を閉じ、バルブAV3A及びAV4A(24a、 41a)が開けられ、再生タンクA(13a)に残ってい� �、再生洗浄液を分離した残渣混合液が排液� �ンク(42)へ送られることにより、再生タンクA 及びB(13a、13b)から塗布液を廃棄する工程の自 動化が可能になる。再生タンクBも前述と同� �に設定しておく。

 図3は、回収及び分離システムの構成を示 すブロック図である。上述のような操作は、 制御部(10c)によって制御される。具体的には� ��再生タンクA系(10a)において、レベルセンサL V1A及びLV2A(61、62)からの信号を受けた制御部(1 0c)は、後述するようなプログラムに従って、 バルブAV1A(12a)を閉じる。バルブAV2A及びAV5A(25a 、28a)は、真空ポンプ(27)の動作に対応して、� ��御部(10c)からの指令により開放される。分� �工程が始まると、ヒーター(21a)及びバルブAV4 A(41a)が制御部(10c)からの指令により適宜制御� ��れる。尚、非常制御部(10e)は、安全装置と� �て機能し、レベルセンサLV1A(61)が反応しない 場合には、ヒーター(21a)のスイッチが入らな� ��ようにされ、空炊き防止ができるようにさ� ��ている。同様に、レベルセンサLV2A(62)でタ� �クが満杯であるとき、バルブAV1A(12a)が開放� �れないようにされ、タンクのオーバーフロ� �を防止している。

 再生タンクB系(10b)においても、同様にバ� ��ブAV1B、AV2B、及びAV5B(12b、25b、28b)、及びヒ� �ター(21b)が制御され、また、非常制御部(10f)� ��安全装置としてレベルセンサLV1B及びLV2B(63� �64)により機能する。このような制御内容等� �、表示部(10d)により表示され、オペレータが 観察できる。

 図4から6は、図2の再生装置を制御するプ� ��グラムの一例を示すものである。再生プロ� ��ラムが開始されると、まず、図5に示すタン クモニタ工程(ステップ(以下「S」)11)が行わ� �る。このタンクモニタ工程では、まず、変� �の初期値化が行われる(S111)。次に、再生タ� �クA(13a)に混合液が満杯になっているかを調� �(S112)、満杯であれば(S112、Yes)、タンクA再生� ��号が発せられる(S113)。次に、再生タンクB(13 b)が混合液で満杯かどうかがチェックされ(S11 4)、満杯であれば(S114、Yes)、再生タンクA及び B(13a、13b)が共に満杯となるので、タンク異常 警報が発せられ(S115)、適切な処置を施すよう にオペレータを促す。ここで、再生タンクB(1 3b)が満杯で無ければ(S114、No)、再生タンクB(13 b)が使用可能として、B信号が発せられ(S124)、 メインプログラムに戻る。

 上述の再生タンクA(13a)の状態をチェック� ��る工程で再生タンクA(13a)が満杯でないとさ� ��た場合(S112、No)、再生タンクA(13a)を使用で� �るとして、A信号が発せられる(S121)。そして� ��再生タンクB(13b)が混合液で満杯になってい� ��かを調べ(S122)、満杯であれば(S122、Yes)、タ� ��クB再生信号が発せられ(S123)、メインプログ ラムに戻る。また、満杯で無ければ(S122、No)� ��そのままメインプログラムに戻る。

 図4のメインプログラムでは、次に再生信 号が発生しているかどうかをチェックする(S1 2)。そして再生信号が発生していない場合は( S12、No)、次に、再生タンクA又はBのいずれを� ��うかを決定するA/B信号判定ステップが行わ� ��る(S14)。一方、再生信号が発生している場� �は(S12、Yes)、再生処理が開始され(S13)、処理� ��再度メインストリームに戻り、A/B信号判定� ��テップに移行する(S14)。

 A/B信号判定ステップにおいて、A信号が発 せられたと判断した場合(S14、A信号)、バルブ AV1A(12a)を開く(S15)。レベルセンサLV2A(62)の信� �に基づき、随時加熱・再生タンクA(13a)が満� �になっているかをモニタする(S16)。このモニ タで、満杯でないと判断されると(S16、No)、� �度モニタするルーチンを構成する。再生タ� �クAが満杯になっていると判断されれば(S16、 Yes)、再生タンクBが、再生モードでないかど� ��かを判断する(S17)。再生タンクBが再生モー� ��である場合、即ち、タンクBの再生信号がOFF でない場合(S17、No)、回収するためのタンクA� ��びBの両方が使えないので、異常警報を発す る(S18)。再生タンクBが再生モードでない場合 、即ち、タンクBの再生信号がOFFである場合(S 17、Yes)、バルブAV1A(12a)を閉じる(S19)。次に、� ��動入力装置(例えば、停止ボタン)から、終� �信号が入力されているかを判断し(S20)、入力 されている場合は(S20、Yes)、洗浄液の再生装� ��を停止する一連の処理が行われる(S21)。終� �信号が入力されていない場合(S20、No)、洗浄� ��の回収・再生サイクルを回すべく、処理を� ��ンクモニタ(S11)に戻す。

 A/B信号判定ステップ(S14)において、B信号� ��発せられたと判断した場合(S14、B信号)、バ� ��ブAV1B(12b)を開く(S35)。以下は、上述と同様� �あるので、簡単に述べる。レベルセンサLV2B( 64)等の信号に基づき、随時加熱・再生タンク B(13b)が満杯になっているかをモニタし(S36)、� ��杯でないと判断されると(S36、No)、再度モニ タするルーチンを構成する。再生タンクBが� �杯になっていると判断されれば(S36、Yes)、再 生タンクAが、再生モードでないかどうかを� �断する(S37)。加熱・再生タンクAの再生信号� �OFFでない場合(S37、No)、異常警報を発する(S18 )。再生タンクAの再生信号がOFFである場合(S37 、Yes)、バルブAV1B(12b)を閉じる(S39)。次に、手 動入力装置(例えば、停止ボタン)から、終了� ��号が入力されているかを判断し(S40)、入力� �れている場合は(S40、Yes)、洗浄液の再生装置 を停止する一連の処理が行われる(S21)。終了� ��号が入力されていない場合(S40、No)、洗浄液 の回収・再生サイクルを回すべく、処理をタ ンクモニタ(S11)に戻す。

 図6は、上述の再生処理工程(S13)を図解す� ��フローチャートである。再生処理工程では� ��まず、タンクモニタ工程で発せられた再生� ��号が、タンクA再生信号なのかタンクB再生� �号なのかを判定する(S201)。タンクA再生信号� ��判断されたら(S201、A再生信号)、バルブAV1A(1 2a)を閉じ(S202)、再生タンクのヒーターをONし� ��加熱を始め(S203)、混合液が設定温度になる� ��で加熱する(S204)。混合液が設定温度に達し� ��ことを検知したら(S204、Yes)、バルブAV2A及び AV5A(25a、28a)を開く(S205)。そして、真空ポンプ (27)をONして(S206)、加熱・再生タンクA内及び� �管内の既存の空気を排出して減圧する。既� �の空気等を排出し、発生する蒸気が冷却塔(2 4)のコンデンサで液化されるので、この再生� ��浄液を、洗浄液タンクA(26a)へと滴下(又は落 下)させる。混合液の残量がLV1A(61)まで下がっ たところで(S207、Yes)再生タンクのヒーターを OFFして(S208)、バルブAV2A及びAV5A(25a、28a)を閉� �(S209)、バルブAV3A(23a)を開けて(S210)残圧開放� �る。

 EXHから外気を入れて、再生タンクA(13a)内� ��ほぼ大気圧にして(S211)、真空ポンプの作動� ��停止し(S212)、バルブAV4A(41a)を開けて(S213)、� ��生タンクAに残った混合液を排出する。残っ た混合液はバルブAV4Aを所定時間開放するこ� �で排出され(S214)、洗浄タンクAのレベルセン� ��LV4A(65a)が前記バルブAV4A(41a)の開放時間内に� ��応したことを確認し(S215、Yes)、再生タンクA の再生信号をOFFし(S216)、バルブAV4A(41a)を閉じ 他の設定を初期に戻す処理を行う(S217)。これ により、再生タンクA(13a)は、回収される洗浄 液等の混合液を再び回収し貯留することがで きるようになる。そして処理を再生信号待ち に戻す。

 また、タンクA再生信号か又はタンクB再� �信号かを判定するステップ(S201)で、タンクB� ��生信号と判断されたら(S201、B再生信号)、バ ルブAV1B(12b)を閉じ(S222)、再生タンクBのヒー� �ーをONし(S223)、混合液が設定温度に達するま で加熱する(S224)。混合液が設定温度に達した ことを検出したら(S224、Yes)、バルブAV2B及びAV 5B(25b、28b)を開く(S225)。そして、真空ポンプ(2 7)をONして(S226)、再生タンクB内及び配管内の� ��存の空気を排出して減圧する。既存の空気� ��を排出し、ほぼ所定の圧力まで下がったと� ��ろで、発生する蒸気が冷却塔(24)のコンデン サで液化されるので、この再生洗浄液を、洗 浄液タンク26bへと滴下(又は落下)させる。

 再生タンクB(13b)の混合洗浄液の残量が所� ��量にまで減った場合(S227、Yes)、再生タンクB のヒーター(21b)のスイッチを切り、加熱を停� ��する(S228)。そして、バルブAV2B及びAV5B(25b、2 8b)を閉じて(S229)、バルブAV3B(23b)を開けて(S230) EXHから外気を入れて、再生タンクB(13b)内をほ ぼ大気圧にして(S231)、真空ポンプの作動を停 止する(S232)。その後、バルブAV4B(41b)を開けて (S234)、再生タンクB(13b)に残った混合液を排出 する。残った混合液はバルブAV4B(41b)を所定時 間開放することで排出され、洗浄タンクBの� �ベルセンサLV4B(65b)が前記バルブAV4B(41b)の開� �時間内に反応したことを確認し(S235、Yes)、� �生タンクBの再生信号をOFFし(S236)、他の設定� ��初期に戻す処理を行う(S237)。これにより、� ��生タンクB(13b)は、回収される洗浄液等の混� ��液を再び回収し貯留することができるよう� ��なる。そして処理を再生信号待ちに戻す。

 実験の結果、混合液から分離した洗浄液� ��50回の再生にも問題なく使用できることが� �明し、洗浄液の使用削減に大きく貢献でき� �と考えられる。このように、再生装置を利� �することにより、プライミングローラーの� �浄に使用した洗浄液の約8割が再生されるこ� ��になる。

 このように、上記で説明した再生装置を� ��用することにより、ダミーディスペンスで� ��生した塗布液と洗浄液との混合液から蒸留� ��分離し、分離した再生洗浄液をプライミン� ��ローラーの洗浄に再利用することができる� ��これにより、洗浄液の使用量を削減するこ� ��ができるため、資源の有効利用と経費の削� ��を可能にする。

 なお、図2では、再生タンク(13a及び13b)を� ��つ備える場合を説明したが、再生タンクは� ��三つ以上備え、それぞれのタンクを切り替� ��て混合液を貯留することも可能である。プ� ��イミングローラー(92)の洗浄回数が多い場合 は混合液の発生が増加するため、混合液の分 離が追いつかない場合に有効である。

 次に、包括的に、洗浄液等の液体の使用� ��再生システム(100)のブロック図を図7に示す� ��この使用・再生システム(100)は、洗浄液等� �液体をリサイクル処理する再生装置(102)と、 再生された該液体を使用する適用装置(104)と� ��該適用装置(102)に新品(即ち未使用)の液体を 供給すべく新品の液体を貯留するタンク(106)� ��、そして、再生された液体が該適用装置(104 )において使用できるように再生された液体� �貯留するタンク(108)とから構成される。この 使用・再生システム(100)は、上述する再生装� ��を含む塗布装置を含んでよいが、このよう� ��塗布装置に限定されず、あらゆる装置に適� ��できる。また、再生装置(102)は、上述する� �うな再生装置を含んでよいが、これに限ら� �るものではない。また、適用装置(104)は、上 述するような洗浄装置を含んでよいが、これ に限られるものではない。尚、新品の液体を 貯留するタンク(106)は、省略することもでき� ��。

 この適用装置(104)では、洗浄やその他の� �的で、所定の液体(固形物を含まないもので� ��ってもよく、固形物を含むスラリ状のもの� ��あってもよい)が用いられるが、使用後の液 体であっても後述する再生処理により、リサ イクルして再使用が可能となっている。また 、この適用装置(104)は、必要に応じて、未使� ��の液体をタンク(106)から流量センサ(106b)に� �り計測される量(Ysup)だけ供給を受ける。こ� �未使用液体は、流量センサ(108b)により計測� �れる量(Xsup)だけ供給される再生液体と共に� �しくは単独で、適用装置(104)において使用さ れる。この結果生成する使用済み液体は、適 用装置(104)内に設けられたポンプ(P)により加� ��され、流量センサ(104a)により計測される量( Xin)だけ、再生装置(102)に供給される。

 この再生装置(102)では、上述のような蒸� �による、或いはその他の方法による再生が� �われる。例えば、フィルタによる篩い分け� �イオン交換樹脂等の機能性部材による選別� �を利用した再生を含んでよい。再生装置(102) において再生された再生液体は、同装置内に 設けられたポンプ(P)により加圧され、流量セ ンサ(102a)により計測される量(Xout)だけ、再生 タンク(108)に供給される。再生装置(102)にお� �て、再生されなかったものは排出され、そ� �排出量は、流量センサ(102b)により計測され� �。これ以外に、蒸発等により回収されなか� �た使用済み液体の一部は、特に計測はされ� �いが、残りとして計算される(Xcon)。

 再生タンク(108)に供給された再生液体は� �同タンク内に備えられるポンプにより加圧� �れ、流量センサ(108b)により計測される量(Xsup )だけ、適用装置(104)に供給される。この再生 タンク(108)及び未使用タンク(106)には、それ� �れレベルセンサ(108a、106a)が備えられ、タン� ��内の液体の量がモニタされ、あるレベル以� ��に液体量が減ると、警報を発する。

 次に、これらの装置を機能させる制御装置( 110)による制御について説明する。制御装置(1 10)は、再生装置(102)と通信回線(無線を含む。 以下同じ。)により接続され、XdrainやXout等の� ��量情報i ₀₁ やi ₀₃ が送られる。また、これらの流量等を制御す る制御信号等i ₀₂ が、制御装置(110)から、再生装置(102)に送ら� �る。また、同様に、制御装置(110)は、再生タ ンク(108)と通信回線により接続され、レベル� ��ンサ(108a)からの液量情報等i ₀₄ や流量センサ(108b)からの流量情報等i ₀₆ が送られ、逆に、流量等を制御する制御信号 等i ₀₅ が、制御装置(110)から、再生タンク(108)に送� �れる。これらの情報を基に、制御装置(110)は 、液体使用制御信号等i ₀₇ を演算し、適用装置(104)へと送信する。一方� ��未使用タンク(106)の流量センサ(106b)及びレ� �ルセンサ(106a)からは、流量情報i ₀₈ や液量情報i ₁₀ が、制御装置(110)に通信回線を通して送られ� ��未使用タンク(106)を制御する制御信号等i ₀₉ が、制御装置(110)から送られる。適用装置(104 )の流量センサ(104a)から、計測された流量情� �等i ₁₁ が、制御装置(110)に通信回線を通して送られ� ��。

 制御装置(110)では、以上のような情報を� �信回線を介して取得し、適切な演算を行い� �それぞれの装置の制御を行う制御信号を発� �る。尚、このような制御装置(110)を介する信 号・情報のやりとりだけでなく、若しくは、 に代わって、直接、再生装置(102)と適用装置( 104)との間の通信回線(103)を介して、信号・情 報のやりとりをすることができる。

 図8は、上述の再生装置(102)に相当する薬� ��回収装置及び適用装置(104)に相当する処理� �置の間のインターフェースを図解する。処� �装置側からは、排液要求時に出力する排液� �令及び回収薬液を取り込める場合に出力す� �送出許可命令が、回収装置側に送信される� �一方、回収装置側からは、回収が可能な場� �に出力する回収可能信号、装置に異常が発� �している場合に出力する異常発生中信号、� �アードポンプの動作不良時に出力する薬液� �込ポンプ異常信号、そして、エアードポン� �の動作カウントを出力する薬液取込ポンプ� �転カウンタ信号が、処理装置側に送信され� �。例えば、処理装置において洗浄等により� �液の排出が必要になった場合に、回収装置� �排液命令を送信し、それに対して、回収装� �が回収可能信号を処理装置に送信すれば、� �用済みの薬液が回収装置側に送られる。し� �しながら、回収装置から、異常発生信号が� �せられた場合には、使用済みの薬液は、回� �装置へ送られない。一方、処理装置から送� �許可命令が回収装置へ発せられると、再生� �れた薬液が処理装置へ送られ、同時に、薬� �取込ポンプ運転カウンタ信号も処理装置へ� �信される。しかしながら、薬液取込ポンプ� �常信号が発せられる場合は、薬液は送信さ� �ない。

 図7に戻り、液体の使用・再生システム(10 0)の運用例について、説明する。同システム� ��再生装置(102)における時間tにおける液体の� ��F(t)は、その使用済み液体が入る流量Xinと、 再生液体が送出される流量Xoutと、排出され� �量Xdrain等から、次のように表わすことがで� �る。

 これを単位時間あたりの流量変化にすれ� ��、F(t)を時間で微分して、d[F(t)]/dtとすれば� �ることができる。ここで、Xin、Xout、Xdrain等� ��、それぞれ個別に積分及び微分可能である� ��で、これらの関数が事前に分かっている場� ��は、所定時間における再生装置(102)内に蓄� �される液体の量や、その変化量を把握する� �とができる。これにより、再生装置(102)内の 液体貯蔵タンク容量を予め決めることができ る。また、個々の流量(Xin、Xout、Xdrain)等を計 算により求め、適用装置(104)への供給量の経� ��変化を把握することにより、再生タンク(108 )の容量等を決定することができる。

 図9から12を参照しつつ、図7の液体の使用 ・再生システム(100)の実際の運用シミュレー� ��ョンを示す。図9は、液体の使用・再生シス テム(100)の再生装置(102)の中にある、図2にい� ��加熱・再生タンク(13a、13b)と同等なタンク� �2若しくは3つ備えられた例を示す。この図の 横軸は、時間を示すもので、秒や分等の任意 の単位を想定することができる。縦軸は、単 位時間あたりの流量で、ml/secやml/min等の任意 の流量を適用することができる。

 最初に、図7の液体の使用・再生システム(10 0)が連結手段となる使用済み液体や再生液体( Xin、Xout)を送るポンプや流路を、再生装置(102 )及び適用装置(104)の間に接続する。次に、時 間t ₀ で、適用装置(104)を駆動し、使用済み液体をX in流し始め、時間t ₁ で、流量100の定常状態にする。この適用装置 (104)は、以後時間t ₁₁ までこの流量を維持する。一方、時間t ₂ で、再生装置(102)の加熱・再生タンク(13a又は 13b)相当の一方のタンクが一杯になり、真空� �きや加熱などにより、再生が開始される。� �のため、徐々に再生液体の流量Xoutが増えて� ��き、時間t ₃ で、ほぼ110の定常状態になる。その後、時間 t ₄ で、ヒーター等のスイッチが切られ、徐々に 再生液体の流量Xoutが減っていき、時間t ₅ で、ほぼ0となる。そして、加熱・再生タン� �(13a又は13b)相当のタンク中の液体の量が所定 以下となるので、この内容物が所定の速度Xdr ainで時間t ₆ から時間t ₇ の間に廃棄される。そして、時間t ₈ では、加熱・再生タンク(13a又は13b)相当の他� ��のタンクが一杯になり、時間t ₈ から時間t ₁₆ において、上述と同様に他方のタンクにおい て再生及び廃棄が行われる。更に、時間t ₁₆ から時間t ₂₂ において、上述と同様に再び一方のタンクに おいて再生及び廃棄が行われる。このような 再生処理中に、液体の蒸発等による消費Xcon� �少ないながらも時間t ₂ から時間t ₂₂ まで生じている。

 このようにして、加熱・再生タンク(13a又 は13b)相当の2つのタンクを用いることにより� ��適用装置(104)の連続的な処理と、再生装置(1 02)による断続的ではあるが、適用装置(104)の� ��理と同時並行的な使用済み液体の再生が可� ��であることがわかる。

 図10は、図9の液体の使用・再生システム( 100)とは異なる例における運用例を示してい� �。このとき、再生装置(102)には、図2にいう� �熱・再生タンク(13a、13b)と同等なタンクが多 く備えられているため、再生される再生液体 をほぼ一定の流量でコンスタントに供給する ことができるものである。

 図10において、時間t ₀ で、適用装置(104)を駆動し、使用済み液体をX in流し始め、時間t ₁ で、流量100の定常状態にする。この適用装置 (104)は、以後時間t ₁₂ までこの流量を維持するとする。一方、時間 t ₂ で、再生装置(102)の加熱・再生タンク(13a又は 13b)相当の第1のタンクが一杯になり、真空引� ��や加熱などにより、再生が開始される。そ� ��ため、徐々に再生液体の流量Xoutが増えてい き、時間t ₃ で、ほぼ70の定常状態になる。この間、第2の タンクが一杯になり、同じく再生が開始され ると共に、第1のタンクの再生量が加熱量等� �調整により減少する。そのため、全体の再� �液体の流量Xoutは、一定の定常値を示してい� ��。そして、第1のタンクから、時間t ₂ から時間t ₇ で、再生液体が取り出された残りが排出され る。第2のタンクから再生液体が供給されて� �る間に、第3のタンクが一杯になり、同じく� ��生が開始され、上述と同様に、第2のタンク の再生量が加熱量等の調整により減少する。 そのため、全体の再生液体の流量Xoutは、一� �の定常値を示す。同様に、第4のタンクも順� ��再生を開始し、第3のタンクの再生液体の流 量と合わせた全体の流量Xoutは、一定の定常� �を示す。時間t ₁₂ から次第に減少し時間t ₁₄ で、適用装置(104)からの使用済み液体の供給� ��止まるので、次のタンクに新たな使用済み� ��体が溜まらない。従って、それ以降のタン� ��からは再生が行われず、再生液体の全体の� ��量Xoutは、時間t ₁₉ から次第に減少し時間t ₂₀ で、再生装置(102)からの再生液体の供給が止� ��る。また、再生処理中に、液体の蒸発等に� ��る消費Xconが少ないながらも時間t ₂ から時間t ₂₀ まで生じている。

 このように再生装置(102)内に多くの再生� �のタンクを備えることにより、再生液体の� �給量を一定にすることができ、適用装置(104) の安定的な再生液体の使用が可能となり、再 生タンク(108)の容量をコンパクトにすること� ��可能となる。

 図11及び12に、図9及び10に示す液体の使用 ・再生システム(100)の運用を行ったときの使� ��済み液体の流量Xinから再生液体の流量Xoutを 引いた、適用装置(104)から実質的に排出され� ��流されない液体の量の経時変化を示す。従� ��て、横軸は時間を示し、縦軸は液体の量で� ��る。図11では、再生液体の供給量が変動す� �ため、時間40から100の間に、ピークが3つあ� �変動を示す。一方、図12では、再生液体の供 給量が一定であるため、同じ時間の間の液量 は一定の割合で増加する。そのため、最終的 に再生液体が全て環流された後の液量(約2500) に比べ、ピークとなる最大液量(約3700)の割合 は、図11のそれ(約2500に対する約4300)よりも小 さい。

 上述するように、洗浄装置のような適用� ��置の仕様と、再生装置の仕様をうまくマッ� ��ングすれば、最適な液体の使用・再生シス� ��ムを組合わせることができるのである。例� ��ば、洗浄装置の洗浄液の全体の使用量、使� ��量の時間変化、再生洗浄液の再使用量、及� ��再生洗浄液の再使用量の時間変化を、予め� ��測しておき、スペックとしてその適用装置� ��関連してデータベースに記憶しておく。そ� ��て、再生装置として、単位時間あたりの再� ��液体の通常及び最大生産量等の再生処理能� ��や、そのための再生タンクの容量や数、再� ��タンクの切替え時間等のスペックをその再� ��装置と関連してデータベースに記憶してお� ��ば、これらの適用装置及び再生装置の好ま� ��い選択が可能となる。