以下、本発明の実施形態について、図面� ��参照して説明する。なお、以下の説明にお� ��ては、まず本発明に係る封止機構を説明し� ��後に、この封止機構を用いた熱処理炉につ� ��て説明する。

 図1は、本発明に係る構造体1を示す外観構� �図である。
 図1に示すように、構造体1は、開口部2が形� ��された壁部3等により密閉室Rが構成された� �体4と、開口部2を封止する封止扉(扉)5と、封 止扉5を上下に可動させる昇降装置6と、封止� ��5の鉛直方向以外の動きを規制するスライド ガイド7(7A,7B)と、開口部2を封止する封止機構 10とから概略構成されている。

 本体4は、床Gに鉛直に立設された壁部3と天� ��部4a等から構成されており、これら壁部3や� ��板部4a等により密閉室Rが形成されている。� ��の密閉室Rを形成する壁部3には、密閉室Rと� ��部空間とを連通させ、その開口断面が矩形� ��なった開口部2が形成されている。
 なお、密閉室Rは、封止扉5が開口部2を封止� ��ると共に封止機構10が開口部2を封止した状� ��において、比較的に高圧となる。

 封止扉5は、開口部2の開口面積よりも大� �な面積を有する扉板面5a,5bを備える略矩形板 状をしている。この封止扉5は、昇降装置6及� ��スライドガイド7により、壁部3に沿って鉛� �方向に移動させることができ、開口部2を封� ��することが可能である。

 昇降装置6は、天板部4aに固定されたワイ� ��巻取装置6aと、封止扉5の上方に配置された� ��車6bと、滑車6bを介してワイヤ巻取装置6aと� ��止扉5とを連結するワイヤ6cとから構成され� ��、封止扉5を上下に移動させる。

 スライドガイド7(7A,7B)は、細長状に形成� �れると共に断面が略L字型に形成された部材� ��ある。このスライドガイド7は、封止扉5の� �手方向の長さとほぼ同様の長さを空けて、� �口部2の両側に対向配置されている。より具� ��的には、スライドガイド7(7A,7B)の壁面が壁� �3と直交する方向に封止扉5の厚さとほぼ同様 の長さだけ延びた後に、他方のスライドガイ ド7(7A,7B)の方向に屈曲し、同方向へ向けて開� ��部2に重ならない長さだけ延びているもので ある。

 すなわち、このスライドガイド7(7A,7B)と� �部3とで封止扉5を挟むことで、封止扉5の鉛� �方向以外の移動が規制されている。このス� �イドガイド7(7A,7B)の下部には、封止扉5の下� �向の移動を制限するストッパ(不図示)が形成 されている。このストッパが封止扉5に接触� �ることにより、封止扉5が定位置において開� ��部2を封止する。以下では、特に言及しない 限り、封止扉5が開口部2を封止した状態とは� ��この定位置での封止状態を指すものとする� ��

 図2は、扉板面5a側から見た封止扉5を示す一 部断面図である。図3は、封止扉5の要部断面� ��であって、図3Aは、図2におけるA-A線断面図� ��あり、図3Bは、図2におけるB-B線断面図であ� ��。
 図2に示すように、封止機構10は、封止扉5に 形成された環状溝部11と、この環状溝部11内� �配置された封止部材13と、この封止部材13を� ��状溝部11に固定する固定部材15と、封止部材 13に空気(空気)Aを供給すると共に空気Aを排気 するポンプ機構17(図3B参照)とを備えている。

 環状溝部11は、壁部3と対向する扉板面5aに� �封止扉5が開口部2を封止した状態において、 開口部2を取り囲むように形成されている。� �り正確には、封止扉5が開口部2を封止した状 態において、扉板面5aに開口部2を投影した投 影線2pを取り囲むように環状に形成されてい� ��。
 この環状溝部11は、図3A及び図3Bに示すよう� ��、溝深さ方向の断面が矩形に形成されてお� ��、扉板面5aと直交するように形成された溝� �面11a,11bと、これら溝側面11a,11bとに直交する ように形成された溝底面11cと、を備えている 。

 溝底面11cには、溝底面11cと扉板面5bとを� �通する複数のボルト貫通孔11dが一定間隔を� �けて開口していると共に、溝底面11cと扉板� �5bとを貫通する一つのノズル貫通孔11eが開口 している(図2参照)。

 封止部材13は、フッ素ゴム製のものであ� �、図2に示すように、環状に形成され、環状� ��部11に配置されている。この封止部材13は、 図3Aおよび図3Bに示すように、剛性パッド部13 aと、可撓伸縮部13bと、突起部13cと、被固定� �13dとを備えている。

 剛性パッド部13aは、環状溝部11の開放側� �位置する肉厚の部位であり、環状、かつ、� �状に形成され、溝側面11a,11bに挟まれるよう� ��して環状溝部11に嵌合している。この剛性� �ッド部13aは、扉板面5aから壁部3までの長さ(� ��状溝部11の溝深さ方向)以上の厚さを有して� ��る。すなわち、剛性パッド部13aを突出させ� ��壁部3に密着させた状態において、剛性パッ ド部13aに扉板面5aの方向に沿って荷重を作用� ��せても、その荷重を環状溝部11で受けるこ� �ができるようになっている。

 また、剛性パッド部13aの各寸法は、密閉室R と外部空間との圧力差によって剛性パッド部 13aに生じる変形が極めて小さくなるように設 定されている。
 具体的には、フッ素ゴムの機械的性質を考� ��し、剛性パッド部13aを突出させて壁部3に密 着させた状態において、密閉室Rと外部空間� �の圧力差によって作用するせん断力(後述す� ��)に十分に耐え得る寸法が設定されている。

 また、剛性パッド部13aには、環状溝部11� �開放側に延設された突起部13cが形成されて� �る。具体的には、環状溝部11の溝底面11cの幅 方向における中心から、この幅方向に直交す る方向に延在する仮想中心面Q上の位置と、� �の仮想中心面Qを挟んで対称となる二つの位� ��とに一定の距離を空けて、突起部13cは形成� ��れている。

 可撓伸縮部13bは、剛性パッド部13aの両端� ��から溝底面11cに向けて延設された肉薄の部� ��であり、屈曲部13eを備えている。すなわち� ��可撓伸縮部13bは、環状溝部11の開放側から� �底面11cに向けて、仮想中心面Qに次第に近接� ��、仮想中心面Qに最も近接した屈曲部13eを経 た後に、仮想中心面Qから次第に離間するよ� �に形成されている。つまり、溝深さ方向に� �った断面が略L字状又は略逆L字状に形成され ている。

 被固定部13dは、可撓伸縮部13bから仮想中� ��面Qに向けて所定の長さだけ封止部材13が延� ��されたものである。また、この被固定部13d� ��端部は、仮想中心面Qを挟んで対向し、固定 部材15により溝底面11cに密着固定されている� ��

 固定部材15は、環状に形成されて、環状溝� �11に配置されており、環状溝部11の溝深さの� ��半分程度の高さを有している。この固定部� ��15は、溝底面11cから仮想中心面Qに沿って被� ��定部13dの厚さより長く延ばした後に、溝底� ��11cの幅方向に張り出し、その後、環状溝部1 1の開放側に向けて次第に張り出しの幅が狭� �る形状となっている。
 この固定部材15には、ボルト貫通孔11dと同� �をなす雌ネジ15aが形成されると共に、ノズ� �貫通孔11eと同軸をなす一つの空気給排気孔15 bが形成されている。

 すなわち、この固定部材15は、張り出した� �分と溝底面11cとで被固定部13dを挟んで封止� �材13を環状溝部11に固定している。すなわち� ��ボルト16をボルト貫通孔11dに挿入すると共� �雌ネジ15aに螺着させることにより、このボ� �ト16の緊締力が被固定部13dを溝底面11cに押圧 し、封止部材13を環状溝部11に密着固定して� �る。
 なお、ノズル貫通孔11eには空気給排気孔15b� ��密着固定されたノズル18が配置固定されて� �る。

 このような構成により封止部材13は、環� �溝部11に固定収容されると共に、その内部が 空気Aの封入部13sとなっている。また、この� �入部13sは、空気給排気孔15b(ノズル18)と連通� ��るようになっている。

 ポンプ機構17は、空気Aを圧送及び排気す� ��ものであり、封入部13s内の空気Aの圧力を制 御することを可能にしている。

 続いて、上記の構成からなる構造体1におい て、開口部2を封止する方法及びこの封止状� �を解除する方法を、図1及び図4を用いて説明 する。
 まず、図1に示すように、封止扉5を開口部2� ��りも上方に位置させて開口部2を開放した状 態から、昇降装置6を作動させて封止扉5をス� ��イドガイド7に沿ってスライドさせる。そし て、封止扉5をスライドガイド7のストッパ(不 図示)に接触させて、開口部2を封止する。

 開口部2を封止扉5で封止した状態におい� �、図4Aに示すように、ポンプ機構17から封入� ��13sに空気Aを供給し、封入部13sの圧力を上昇 させる。封入部13sの圧力が上昇するにつれて 、図4Bに示すように、可撓伸縮部13bが速やか� ��伸長すると共に、剛性パッド部13aが環状溝� ��11(溝側面11a,11b)に沿って、環状溝部11の開放 側に変位し、突起部13cの先端が壁部3に接触� �る。

 さらに、封入部13sの圧力を上昇させると� ��図4Cに示すように、剛性パッド部13aが壁部3� ��向かって変位し、突起部13cを押しつぶしな� ��ら剛性パッド部13aが壁部3に密着し、開口部 2を迅速に封止する。

 開口部2が封止されて密閉室Rが密閉され� �と、密閉室Rに不活性ガスが注入されて、密� ��室Rの圧力が上昇する。密閉室Rが高圧にな� �と、この密閉室Rと外部空間とに圧力差が生� ��て、環状溝部11から突出した剛性パッド部13 aの一部が、扉板面5aの中心から外方へ向けて 押し出す力を受ける。すなわち、剛性パッド 部13aに、扉板面5aの方向に沿って、せん断力� ��発生する。

 剛性パッド部13aは、扉板面5aの方向に沿� �たせん断力により極めて小さく変形するが� �壁部3との接触状態が解消されるほどには変� ��せず、壁部3と密着して開口部2を継続して� �止する。

 最後に開口部2を再度開放するために、密閉 室Rに注入された不活性ガスを排気管(不図示) から排気して密閉室Rを減圧する。その後に� �封入部13sから空気Aを排気して、可撓伸縮部1 3bを短縮すると共に、剛性パッド部13aを壁部3 から離間させ、開口部2の封止を解除する(図4 B参照)。さらに、封入部13sの減圧を続け、可� ��伸縮部13bが固定部材15と接触するように、� �性パッド部13aを環状溝部11に収容する(図4A参 照)。
 そして、剛性パッド部13aを環状溝部11に収� �した状態で、昇降装置6を作動させ、封止扉5 を上方に移動させて開口部2を開放する(図1参 照)。

 以上説明したように、構造体1の封止機構10� ��よれば、封止部材13が剛性パッド部13aと可� �伸縮部13bとを備えているので、開口部2の封� ��を迅速に行うと共に、開口部2の封止を継続 して確実に行うことができる。
 すなわち、剛性パッド部13aが壁部3に密着し た状態において、剛性パッド部13aの溝底面11c 側の一部が環状溝部11に嵌合しているので、� ��性パッド部13aに作用する圧力を環状溝部11� �受けることができる。また、剛性パッド部13 aの各寸法は、扉板面5aの方向に沿ったせん断 力に十分に耐え得るように設定されており、 剛性パッド部13aは肉厚に形成されている。こ れにより、密閉室Rが高圧で、外部空間と圧� �差がある場合でも、剛性パッド部13aの変形� �極めて小さくなり、壁部3との密着状態が解� ��されるほどの変形が生じない。従って、剛� ��パッド部13aを壁部3に密着させ続けることで 、開口部2を継続して確実に封止することが� �きる。
 また、封入部13sに空気Aを出入させると可撓 伸縮部13bが伸縮する。これにより、開口部2� �封止時では、剛性パッド部13aを環状溝部11か ら突出させて開口部2を迅速に封止すること� �できる。
 よって、開口部2の封止を迅速に行うと共に 、開口部2の封止を継続して確実に行うこと� �できる。

 また、可撓伸縮部13bは屈曲部を備えるので� ��封止部材13を折り畳んでコンパクトに収容� �ることができる一方、開口部2を封止する場� ��には速やかに伸長することが可能となる。
 また、固定部材15が被固定部13dを環状溝部11 の溝底面11cに密着固定するので、封入部13sの 密閉を確実なものとすることができる。従っ て、空気Aを圧送又は排気することで、可撓� �縮部13bを良好に変形させることができる。
 また、剛性パッド部13aは突起部13cを備える� ��で、この突起部13cを押し潰して剛性パッド� ��13aを壁部3に密着させることで、開口部2の� �止を確実にすることができる。

 続いて、上述した封止機構10を採用した� �処理炉について説明する。図5は、封止機構1 0を採用した多室型熱処理炉(熱処理炉)30の全� ��構成を示す垂直断面図であり、図6は、多室 型熱処理炉30の全体構成を示す水平断面図で� ��る。なお、図5~図7において、図1~図4に示す� ��成要素と同様の構成要素については、同一� ��符号を付し説明を省略する。

 図5、図6に示すように、本実施形態にお� �る多室型熱処理炉30は、真空加熱炉40と、真� ��加熱炉40と壁部3を介して隣接配置されるガ� ��冷却炉60と、真空加熱炉40とガス冷却炉60と� ��接続された真空装置70と(図5で不図示)、ガ� �冷却炉60に接続された冷却ガス供給装置80と( 図5で不図示)、真空加熱炉40に配置された移� �装置90と、を備えている。

 真空加熱炉40は、内部に搬入された被処� �品Wを減圧下で加熱する機能を有している。� ��の真空加熱炉40は、耐圧設計されて壁部3と� ��熱処理室(熱処理室)R1を構成する真空容器41� ��、被処理品Wを内部に収容する箱型断熱材42� ��、被処理品Wをガス冷却炉60の方向に前後移� ��可能に載置する載置台45(図6で不図示)と、� �型断熱材42の内部空間に配置され被処理品W� �加熱するためのヒータ46(図6で不図示)と、を 備えている。

 真空容器41は、内部に箱型断熱材42が配置 されている略円筒部41aと、壁部3の開口部2を� ��止できる封止扉5が上下に移動する空間Sが� �成された箱型部41bと、から一体的に構成さ� �ている。

 箱型断熱材42は、ガス冷却炉60の方向に被 処理品Wを出し入れするための前口42aと、移� �装置90を被処理品Wに接触させるための後口42 bと、が形成されており、それぞれに開放及� �封止が可能な前扉42cと後扉42dとが設けられ� �いる。

 載置台45は、図5に示すように、細長形状の� ��レーム45aが対向配置されて、このフレーム4 5aにフリーローラFが取り付けられたものであ る。この載置台45は、フレーム45aの長手方向� ��おける両端部がそれぞれ前口42aまたは後口4 2bとの開口部を向くように配置されている。
 なお、空間Sにおいて、載置台45のフリーロ� ��ラFと同一の高さに、被処理品Wを真空加熱� �40とガス冷却炉60との間で移動させる為のフ� ��ーローラFが設けられている。

 壁部3は、真空加熱炉40とガス冷却炉60との� �に配置されて、加熱処理室R1と後述の冷却処 理室R2とを隔絶する隔壁として機能している� ��また、この壁部3の開口部2は、被処理品Wが� ��過可能な大きさを有しており、加熱処理室R 1と冷却処理室R2とを連通する搬入搬の為の開 口として機能する。
 さらに、壁部3の加熱処理室R1側に封止扉5が 配置され、箱型部41bの上方に封止扉5を上下� �移動させる昇降装置51が配置されている。さ らに、空間Sに封止扉5の鉛直方向以外の動き� ��規制するスライドガイド機構52が配され、� �止扉5の扉板面5aに封止機構10が設けられてい る。

 昇降装置51は、空圧シリンダからなり、封� �扉5に接続された連結部材51aを介して封止扉5 を上下に昇降させる。
 スライドガイド機構52は、2つのクランプ部� ��53(53A,53B)と4つのガイド部材54とから構成さ� �ている。

 図7は、スライドガイド機構52の構成を示す� ��成断面図であり、図6の一部拡大図である。
 クランプ部材53(53A,53B)は、細長い略四角柱� �部材であって、方形の断面を有する本体部53 aと、本体部53aの一側面53cから突出する矩形� �の断面を有するレール部53bと、を備えてい� �。レール部53bは、本体部53aの一側面53cと隣� �した位置に、一側面53cと直交して形成され� �と共に、本体部53aの長手方向に沿って形成� �れた取付面53dから封止扉5の厚さと略同一の� ��さだけ離間した位置に突設されている。
 このクランプ部材53A,53Bは、クランプ部材53A ,53Bのレール部53bを互いに向き合わせるよう� �、その長手方向を鉛直方向に重ねて壁部3に� ��ルトで固定されている。

 ガイド部材54は、二つの屈曲部を備えた部� �であって、封止扉5の扉板面5bに接触して固� �される固定部54aと、この固定部54aのクラン� �部材53側の端部から固定部54aと直交する方向 に向けて形成された中間部54bと、この中間部 54bのクランプ部材53側の端部から中間部54bと� ��交する方向、かつ、固定部54aの延設方向と� ��対方向に向けて形成されたスライド部54cと� ��からなる部材である。
 このガイド部材54は、スライド部54cと封止� �5の扉板面5bとがレール部53bを微小な隙間を� �して挟むように、封止扉5にボルトで固定さ� ��ている。
 なお、ガイド部材54の下部には、上述した� �ライドガイド7と同様に封止扉5の下方向の移 動を制限するストッパ(不図示)が形成されて� ��る。

 このようなスライドガイド機構52は、封� �扉5の鉛直方向以外への移動を規制すると共� ��、封止扉5と壁部3とが常に一定の隙間が生� �るようにしている。さらに、図5に示すよう� ��、封止扉5が連結部材51aを介して昇降装置51� ��ぶら下がるように構成されている。

 ガス冷却炉60は、図5、図6に示すように、 加熱処理後の被処理品Wを、加圧した不活性� �スCによって冷却するものである。このガス� ��却炉60は、耐圧設計された壁部3と冷却処理� ��R2(熱処理室)を構成する真空容器61と、壁部3 に隣接すると共に、その内側に鉛直方向に断 面一定のガス流路が形成された整流容器62と� ��この整流容器62の内部に配置され載置台45と 同様の構成の載置台63(図6で不図示)と、不活� ��ガスCを冷却すると共にこの不活性ガスCを� �却処理室R2に循環させるガス冷却循環装置64� ��を備えている。

 真空容器61は、整流容器62が配置されると共 に一方の端部が壁部3と接合された円筒形の� �器胴部61bと、ガス冷却循環装置64を収容しこ の容器胴部61bの他方の端部と接合可能な循環 部61cと、気密性を確保できるクラッチリング 61e及びクランプ61dを備えて構成されている。
 このような真空容器61は、クラッチリング61 eを開放し循環部61cを容器胴部61bから図5にお� ��る右方向に後退させることによって、被処� ��品Wを容器胴部61bの内部に直接収容する。ま た、クラッチリング61e及びクランプ61dにより 、気密性を確保した状態で容器胴部61bの端部 と循環部61cとを連結し、壁部3の開口部2を封� ��すると共に冷却処理室R2が密閉されるよう� �なっている。

 真空装置70は、真空加熱炉40とガス冷却炉60� ��に接続されており、加熱処理室R1と冷却処� �室R2とを減圧することができる。
 ガス供給装置80は、ガス冷却炉60に接続され ており、アルゴン、ヘリウム、窒素等の不活 性ガスを冷却処理室R2に加圧供給する。

 移動装置90は、被処理品Wを真空加熱炉40� �ガス冷却炉60との間で移動させる為のもので ある。この移動装置90は、先端に被処理品Wと 係合可能な係合部91aを備え、フリーローラF� �下を水平移動可能な搬送棒91と、搬送棒91を� ��動するラックピニオン機構と、を備えてい� ��。

 続いて、上記構成からなる多室型熱処理炉3 0の熱処理工程について説明する。
 まず、図5に示すように、クラッチリング61e を開放し循環部61cを容器胴部61bから図5にお� �る右方向に後退させて、整流容器62の載置台 63に被処理品Wを載置する。その後、循環部61c を容器胴部61bに接合すると共に、クラッチリ ング61eを装着して循環部61cと容器胴部61bとの 接合部を気密にする。

 次に、箱型断熱材42の前口42a、後口42bと� �壁部3の開口部2とを開放させて、搬送棒91を� ��処理品Wの下部まで移動させ、係合部91aを被 処理品Wに係合させる。その後冷却処理室R2か ら加熱処理室R1に搬送棒91を移動させること� �、被処理品WがフリーローラF上を移動して箱 型断熱材42に収容される。

 次に、昇降装置51を作動させて、開口部2� ��上方に位置していた封止扉5を下方にスライ ドさせて開口部2を封止する。そして、封止� �構10により開口部2を速やかに封止して、加� �処理室R1及び冷却処理室R2を密閉する。この� ��態において、加熱処理室R1及び冷却処理室R2 を所定の真空度まで減圧し、加熱処理室R1が� ��定の真空度になった後に、前口42aを前扉42c� ��封止し、後口42bを後扉42dで封止する。

 この状態で被処理品Wをヒータ46で加熱し� ��所定の時間が経過した後に、前口42a、後口4 2bを再び開放すると共に、開口部2の封止を解 除する。そして、昇降装置51を作動させて、� ��止扉5が開口部2を封止した状態から上方ま� �移動する。この際、封止扉5は、壁部3と接触 せず、速やかに上方に移動して開口部2を開� �する。

 そして、搬送棒91により、箱型断熱材42か ら整流容器62まで被処理品WがフリーローラF� �を移動する。被処理品Wが整流容器62まで移� �した後に、昇降装置51を作動させて、封止扉 5を上方から下方に移動させて開口部2を封止� ��る。その後、封止機構10で開口部2を速やか� ��封止し、再度加熱処理室R1と冷却処理室R2と を密閉する。

 冷却処理室R2を密閉した状態で、ガス供� �装置80により不活性ガスCを冷却処理室R2に加 圧供給する。そして、冷却処理室R2に充填さ� ��た不活性ガスCをガス冷却循環装置64で冷却� ��ると共に循環させて、整流容器62に収容さ� �た被処理品Wを冷却する。この際、冷却処理� ��R2は、比較的に高圧となるが、封止機構10の 剛性パッド部13aの変形が極めて小さく壁部3� �の接触状態が解消されるほどには変形しな� �ので、開口部2を封止し続ける。すなわち、� ��活性ガスCが加熱処理室R1に漏出しない。

 所定の時間が経過した後に、不活性ガスC を不図示の排気管により排気して冷却処理室 R2を減圧し、減圧後にクラッチリング61eを開� ��する。そして、循環部61cを容器胴部61bから� ��5における右方向に後退させて、整流容器62� ��載置台63から被処理品Wを回収する。

 以上説明したように、多室型熱処理炉30� �よれば、封止機構10を用いているので、迅速 に開口部2の封止を行って速やかに冷却処理� �行うことができる。さらに、不活性ガスCが� ��熱処理室R1へ漏出することも防止し、一定� �雰囲気下で冷却処理を行うことができる。� �って、設定した処理工程及び処理条件で被� �理品Wに熱処理を行い、所望の性質の被処理� ��Wを得ることが可能となる。

 また、上記構成の封止扉5は、壁部3と常� �一定の距離以上の隙間を維持した状態で、� �結部材51aを介して昇降装置51にぶら下がって いるので、昇降装置51を作動させて迅速に開� ��部2の開放及び風止を行うことができる。

 なお、本発明は上記実施形態に限定される� ��のではなく、例えば以下の変形例が考えら� ��る。
(1)上記実施形態では、封止扉5に環状溝部11を 形成して封止機構10を構成したが、環状溝部� ��壁部3における開口部2の周縁近傍に形成し� �封止機構10を構成してもよい。
(2)上記実施形態では、封止機構10の封止部材1 3の材質にフッ素ゴムを用いたが、他の材質� �例えばシリコンゴムを用いてもよい。
(3)上記実施形態では、封入部13sに封入する流 体として空気Aを用いたが、液体や他のガス� �用いても良い。
(4)上記実施形態では、封止扉5を上下に移動� �能に構成したが、例えば、封止扉5の下方に� ��輪等を設けて、左右の方向(水平方向)に移� �可能に構成してもよい。
(5)上記実施形態では、加熱処理室R1と冷却処� ��室R2の隔壁として機能する封止扉5によって� ��開口部2を封止する場合について説明したが 、例えば、炉外の空間と、加熱処理室R1又は� ��却処理室R2とを連通する装入用抽出口を設� �、これを封止する場合について本発明を適� �してもよい。
(6)上記実施形態では、多室型熱処理炉30につ� ��て本発明を適用したが、他の構成の熱処理� ��、例えば、加熱処理と冷却処理を一つの熱� ��理室において行う単室型熱処理炉や、加熱� ��理炉と冷却処理炉を列設し、これらの間を� ��動して被処理品を搬送する搬送炉を設けた� ��処理炉についても本発明を適用することが� ��きる。