<摺動部材>
 以下、本発明に係る摺動部材の一形態につ� ��て、図1~図6を参照して詳細に説明する。本� ��態の摺動部材は、摺動面を有している。そ� ��摺動面には、複数の開気孔を有している。� ��れら開気孔には、摺動特性を向上させる潤� ��剤が予め充填され、摺動中には摺動面に潤� ��剤を供給するように構成されている。本形� ��でいう摺動面とは、摺動部材同士が当接し� ��擦り合う面を意味する。したがって、初期� ��態はもちろんのこと、摺動中、摩耗して新� ��に出現した面も含めて摺動面という。

 本形態の摺動部材に係る前記開気孔は、� ��1に示すように、円形度が0.24以上、かつ円� �当径が10μm以上150μm以下である開口部1aを1以 上有している。また、図2に示すように、複� �の前記開気孔のうち、開口部1a同士の重なり 度が10%以上である開気孔の個数比率が、3%以� ��である。

 開口部1aの円形度とは、開口部1aの円らし さを示す指標であり、下記式(1)に示すように 定義される。この開口部1aの円形度の範囲は0 以上1以下であり、その値が大きいほど開口� �1aは真円に近くなる。

 また、開口部1aの円相当径とは、後述す� �画像解析によって、開口部1aを、該開口部1a� ��面積と等しい円Cに置き換えた場合における 、円Cの直径Dを意味しており、下記式(2)に示� ��ように定義される。

 円形度が0.24以上、かつ円相当径が10μm以� ��150μm以下である開口部とは、真円に近く、� ��端に大きすぎない開口部であることを意味� ��る。即ち、本形態の摺動部材は、真円に近� ��、比較的小さい開口部1aを摺動面に備えた� �のである。開口部1aの円形度を0.24以上とす� �ことで、開口部1aの周囲から摺動中に発生し ていた脱粒によるシール性の劣化を抑制した り、当接する摺動部材の損傷を低減したりす ることができる。併せて、開口部1aの円相当� ��を150μm以下とすることで、開口部1aが大き� �ことに起因して発生していたシール性の劣� �を抑制することができる。

 また、開口部1a同士の重なり度とは、隣接� �る開口部1a ₁ ,1a ₂ 同士の重なっている程度を示す指標であり、 これら開口部1a ₁ ,1a ₂ を画像解析により、それぞれ図3に示す面積� �等しい円C ₁ ,C ₂ に置き換えて、下記式(3)に示すように定義さ れる。この重なり度の範囲は、0%以上90%以下� ��あり、その値が小さいほど、重なっている� ��分の面積は小さくなり、開口部全体の面積� ��大きくなる。

 重なり度が10%以上の開気孔とは、重なり� ��が10%以上であって、開口部1aを複数有する� �気孔を意味する。該開気孔が有する開口部1a の個数としては、通常、2~4個程度である。ま た、重なり度を10%以上とすることで、開口部 全体の面積が制限される。そして、複数の開 気孔のうち、重なり度が10%以上の開気孔の個 数比率を、3%以下とすることで、面積の小さ� ��開口部1aを有する開気孔が、摺動面におい� �見かけ上単独で存在する比率が高くなる。� �のため、長期間使用を続けてもシール性と� �滑液の保持性能とを維持することができる� �重なり度が10%以上の開気孔の個数比率は、1% 以上2.4%以下にすることがより好ましい。こ� �により、摺動面におけるシール性をさらに� �いものにすることができる。

 上述した開口部の円形度(a)、開口部の円� ��当径(φ)、開口部同士の重なり度(b)および開 気孔の個数比率を求めるには、まず、研磨砥 粒を用いて研磨して得られる摺動面を工業顕 微鏡を用いて観察する。研磨砥粒としては、 例えば平均粒径1~3μmのダイヤモンド砥粒を用 いればよい。

 工業顕微鏡を用いて、倍率を50倍とし、� �動面から1箇所当たりの測定面積を2471μm×1853 μmに設定した範囲を4箇所撮影して得られた� �像を、画像解析ソフトを用いて解析する。� �の画像解析ソフトとしては、例えば、「A像� ��ん」(登録商標、旭化成エンジニアリング(� �)製)を用い、円形粒子解析という手法を適用 する。

 摺動面に、円形度が0.24以上、かつ円相当 径が10μm以上150μm以下である開口部1aを1以上� ��する開気孔の個数は、摺動面から1箇所当た りの測定面積を2471μm×1853μmに設定した範囲� �指定して、4箇所の前記範囲を撮影して得ら� ��る画像を、画像解析ソフトで解析すること� ��より求めることができる。

 また、本形態の摺動部材は、開口部1aの� �相当径の平均値によって、潤滑液の保持性� �およびシール性が影響を受ける。開口部1aの 円相当径の平均値が大きいと、開気孔が大き くなるので、潤滑液の保持性能は高くなるが 、シール性が低くなる。一方、開口部1aの円� ��当径の平均値が小さいと、開気孔が小さく� ��るので、シール性は高くなるが、潤滑液の� ��持性能が低くなる。

 このような観点から、本形態の摺動部材� ��、開口部1aの円相当径の平均値が20μm以上40� �m以下であることが好ましい。これにより、� ��用する潤滑液の保持性能を高くすることが� ��きるとともに、高いシール性を維持するこ� ��ができる。さらに、開口部1aの円相当径の� �均値を20μm以上30μm以下とすることがより好� ��しい。

 円相当径の平均値についても、上記と同� ��に工業顕微鏡を用いて、倍率を50倍とし、� �動面から1箇所当たりの測定面積を2471μm×1853 μmに設定した範囲を指定して、4箇所の前記� �囲を撮影して得られる画像を、画像解析ソ� �トで解析することにより求めることができ� �。

 前記開気孔の比率としては、1%以上2.4%以� ��とすることが好ましい。前記比率は、後述� ��る気孔形成剤の比率等で調整することがで� ��る。前記比率は、上記と同様な方法で工業� ��微鏡と画像解析ソフトとを用いて解析する� ��とにより求めることができる。なお、画像� ��析ソフトを用いて解析する場合、円相当径� ��10μm未満の開気孔を予め解析の対象から省� �ような設定をしておけばよい。

 一方、前記摺動面は、例えば炭化珪素、� ��化珪素、サイアロン、炭窒化珪素、炭化チ� ��ン、酸化アルミニウムまたは酸化ジルコニ� ��ム等のセラミックスからなる。特に、摺動� ��が酸化アルミニウムまたは炭化珪素からな� ��ことが好適である。酸化アルミニウムおよ� ��炭化珪素は、高硬度で高耐食性を有し、摺� ��時の摩擦係数が小さく平滑性も優れている� ��したがって、摺動面が酸化アルミニウムま� ��は炭化珪素からなると、摺動特性を高くす� ��ことができる。

 また、摺動面は、セラミック焼結体の表� ��に酸化アルミニウムまたは炭化珪素を主成� ��とする膜が形成されていてもよい。ここで� ��成分とは膜を構成する全成分中50質量%以上� ��いうものとする。

 特に、本形態の摺動部材は、少なくとも� ��動面が図4に示す炭化珪素質焼結体4からな� �ことが好適である。該炭化珪素質焼結体4は� ��炭化珪素を主成分とする主相2と、この主相 2とは異なる組成で、少なくとも硼素、珪素� �よび炭素を含有してなる副相3とを有してい� ��。前記摺動面には、円形度が0.24以上であり 、かつ円相当径が10μm以上150μm以下である開� ��部を1以上有する開気孔1を複数備えている� �

 開気孔1は、焼結の過程で消滅することな く、粒界に沿って残留した気孔、即ち残留気 孔1bと、気孔形成剤が加熱により焼失または� ��分解することによって生じた気孔、即ち焼� ��性気孔1cとを有している。これら2種類の開� ��孔1b,1cは、開口部の円相当径で区別するこ� �ができる。即ち、残留気孔1bは円相当径が10� �m未満の開気孔であり、焼失性気孔1cは円相� �径が10μm以上の開気孔である。

 残留気孔1bは円相当径が10μm未満と小さい ため、摺動特性やシール性にほとんど影響す ることはない。一方、焼失性気孔1cは円相当� ��が10μm以上と大きいため、摺動面上に存在� �る焼失性気孔の形状や分布は、摺動部材の� �動特性やシール性に与える影響が大きい。� �形態では、複数の開気孔1のうち、開口部同� ��の重なり度が10%以上である開気孔の個数比� ��が、3%以下である。したがって、焼失性気� �1cの形状や分布が、摺動部材の摺動特性やシ ール性に与える影響を抑制することができる 。

 残留気孔1b、単独で存在する焼失性気孔1c ₁ 、および隣接する開口部同士が重なっている 焼失性気孔1c ₂ は、図5および図6に示すように、顕微鏡写真� ��観察することができる。

 ここで、副相3は、通常、硼素、珪素および 炭素の各元素が単独で存在するか、または、 珪素と硼素が化合してSiB ₄ および/またはSiB ₆ 等の珪化物および/または炭化珪素として存� �する。また、この副相3は複数の主相2で囲ま れた領域にのみ存在する粒状の相である。こ の副相3が複数の主相2にまたがって存在する� ��状の相あるいは針状の相であると、熱伝導� ��担体であるフォノンの動きが大きな制約を� ��ける。これに対し、副相3が複数の主相2間� �点在する粒状の相であると、フォノンの動� �がほとんど制約されない。このため、熱伝� �性および耐熱衝撃性を向上することができ� �その結果、摩擦による発熱を低下させて、� �動面の摩耗を低減することができる。

 また、炭化珪素質焼結体4における主相2� �よび副相3の各比率は、それぞれ99~99.8体積%� �0.2~1体積%であることが好適である。この比� �は、例えば蛍光X線分析法、ICP(Inductively Coupl ed Plasma)発光分析法または炭素分析法等を用� ��て測定することができる。

 なお、摺動面以外の部分は、摺動面と同� ��に、炭化珪素を主成分とする主相と、硼素� ��珪素および炭素を含有してなる副相とから� ��成されていてもよいが、主相や副相を構成� ��る成分が異なっていても何等差し支えない� ��

 また、摺動面に、円形度が0.24以上であり 、かつ、円相当径が10μm以上78μm以下である� �口部を1以上有する開気孔を複数備えた摺動� ��材においては、摺動面には比較的小さい開� ��部が存在することになる。これにより、長� ��間使用を続けても漏れのない、良好なシー� ��性を維持することができる。

 さらに、変動係数√V/X(ここで、√Vは円� �当径の標準偏差、Xは円相当径の平均値であ� ��。)を1.03以上1.51以下とすることで、摺動面� ��は円相当径の平均値に応じて大小様々な開� ��部が広範に存在することになる。これによ� ��、当接する摺動部材から発生する磨耗粉が� ��択的に小さい開口部に入りやすくなり、磨� ��粉が相対的に大きい開口部に入りにくくな� ��。これにより、大きい開口部には潤滑液を� ��期間保持することができるため、摺動特性� ��維持することができる。

 変動係数√V/Xは1.12以上1.21以下にするこ� �がより好ましく、摺動面におけるシール性� �摺動特性とのバランスをさらに好適なもの� �することができる。

<メカニカルシールリングおよびメカニカ� �シール>
 以下、本発明のメカニカルシールリングお� ��びメカニカルシールの一形態について、図7 および図8を参照して詳細に説明する。図7,8� �示すように、本形態のメカニカルシールは� �メカニカルシールリング5と、該メカニカル� ��ールリング5の内周側に挿入されて駆動力を 伝達する回転軸6とを備えている。

 即ち、該メカニカルシールは、環状体で� ��る固定リング5aの摺動面15a上で、凸状部を� �する環状体である回転リング5bの摺動面15bを 摺動させてシール作用を及ぼすメカニカルシ ールリング5を用いた装置である。メカニカ� �シールリング5は、駆動機構(不図示)による� �動力を伝達する回転軸6と、この回転軸6を回 転可動に支承するケーシング7との間に取り� �けられ、固定リング5aと回転リング5bとの互� ��の摺動面15a,15bが回転軸6に対して垂直面を� �成するように設置されている。

 回転リング5bは、パッキング8によって緩� ��的に支持されている。このパッキング8の回 転リング5bと相対する側には、回転軸6のまわ りに巻回するコイルスプリング9が設置され� �いる。予め設定されたコイルスプリング9の� ��発力により、パッキング8を押圧することに よって、回転リング5bの摺動面15bが固定リン� ��5aの摺動面15aに押圧されて摺動する。また� �コイルスプリング9がパッキング8を押圧する 側と相対する側には、カラー10がセットスク� ��ュー11により回転軸6に固定され、コイルス� ��リング9のストッパーとして設置されている 。

 一方、回転リング5bの摺動面15bと摺動面15 aを介して接する固定リング5aは、緩衝ゴム12� ��よって支持されている。緩衝ゴム12は、こ� �メカニカルシールの外枠となるケーシング7� ��内側に取り付けられて固定リング5aを支持� �ている。なお、緩衝ゴム12およびパッキング 8は、回転軸6の回転で発生する振動を吸収す� ��機能も有している。

 そして、回転軸6が回転すると、これに伴 いカラー10が回転し、コイルスプリング9の弾 発力によって押圧されるパッキング8と、こ� �パッキング8によって支持されている回転リ� ��グ5bの摺動面15bとが押圧されながら回転す� �。これにより、回転リング5bの摺動面15bと、 固定リング5aの摺動面15aとの間でシール作用� ��働く。このようなメカニカルシールを流体� ��器(不図示)に取り付ける場合には、メカニ� �ルシールリング5に対してカラー10の側の延� �上に、流体機器が配置されるように取り付� �て用いられる。

 このとき、流体は、メカニカルシールの� ��ーシング7で囲まれた内部にまで浸入する。 しかし、パッキング8と回転軸6との間に設け� ��れたOリング13によるシール作用と、メカニ� ��ルシールリング5の摺動面15a,15bのシール作� �によって、流体がメカニカルシールより外� �に漏洩しないようにしている。なお、メカ� �カルシールによって密封された流体である� �封流体14の一部が、メカニカルシールリング 5の摺動面15a,15bの間に入り込み潤滑液として� ��用する。

 メカニカルシールリング5は、潤滑液を介 して互いの摺動面15a,15bを当接し摺動させる� �定リング5aと回転リング5bとからなる。これ� ��固定リング5aおよび回転リング5bの少なくと も一方を、上述した本形態の摺動部材で構成 する。これにより、シール性および潤滑液の 保持性能に優れ、長期信頼性の高いメカニカ ルシールリングとすることができる。

 本形態のメカニカルシールは、回転リン� ��5bが摺動を開始すると、摺動面15a,15bで空気� ��流れによる動圧がまず発生し、続いて開口� ��にはその動圧より低い負圧が開気孔内で保� ��されていた潤滑液に対して働く。この開口� ��上で発生する負圧によって、開気孔内に保� ��されていた潤滑液を摺動面15a,15bに適切に供 給することができる。上述の通り、本形態の メカニカルシールは、長期信頼性が高いメカ ニカルシールリング5を用いているため、該� �カニカルシールもメカニカルシールリング5� ��同様に長期信頼性が高い。

 なお、図7,8に示すメカニカルシールでは� ��固定リング5aを環状体とし、回転リング5bを 凸状部を有する環状体としたが、これとは逆 に、固定リング5aを凸状部を有する環状体と� ��、回転リング5bを環状体とすることも可能� �ある。

<フォーセットバルブ>
 以下、本発明のフォーセットバルブの一形� ��について、図9および図10を参照して詳細に� ��明する。図9,10に示すように、本形態のフォ ーセットバルブ16は、潤滑液を介して互いの� ��動面17a,18aを当接し摺動させる基板状の固定 弁体17と回転弁体18とを備えている。

 固定弁体17は、樹脂ケース(不図示)に固定 されている。可動弁体18は、樹脂ケースの内� ��で、かつ固定弁体17上で可動するように構� �されている。固定弁体17,可動弁体18内には、 それぞれ厚み方向に流体通路17b,18bが形成さ� �ている。双方の流体通路17b,18bは、摺動面17a, 18a上で連結している。また、可動弁体18には� ��バー19が固定され、このレバー19を上下方向 あるいは回転方向に動かすことにより可動弁 体18は可動する。

 そして、図9に示すように、流体通路17b,18 bが開いた状態では、矢印方向から水,湯水等� ��流体が流体通路17b,18bに順次流れ、フォーセ ットバルブ16に接続された蛇口(不図示)から� �体が吐出する。このとき、いずれかの摺動� �17a,18aに予め塗布されていたシリコングリス� ��のグリスとともに、摺動面17a,18a間に挿入し た流体が潤滑液となって、摺動特性を維持す るように作用する。

 他方、図10に示すように、レバー19で可動 弁体18を上下方向のいずれかに動かすことに� ��って、流体通路17b,18b間を閉ざすことができ 、蛇口からの流体の吐出を制止することがで きる。また、可動弁体18を回転方向に動かす� ��とによって、流体通路17b,18bが連結する端面 の面積が調整されるので、蛇口から吐出する 流体の流量を調整することができる。

 本形態のフォーセットバルブ16は、固定� �体17および回転弁体18の少なくとも一方を、� ��ール性および潤滑液の保持性能に優れた、� ��述の本形態の摺動部材で構成する。したが� ��て、フォーセットバルブ16は、長期信頼性� �高い。

<製造方法>
 次に、上述した本形態の摺動部材の製造方� ��について説明する。本形態の摺動部材を得� ��には、まず、炭化珪素または酸化アルミニ� ��ム等のセラミックスの粉末と、樹脂ビーズ� ��らなる気孔形成剤と、この気孔形成剤を分� ��させる気孔分散剤および水と、必要に応じ� ��セラミックスの粉末を分散させる分散剤と� ��、ボールミルまたはビーズミル等で混合し� ��スラリーとする。

 ついで、このスラリーに、焼結助剤と、� ��形助剤としてのバインダーとを添加して混� ��する。この混合物を、噴霧乾燥することで� ��粒を得る。得られた大部分の顆粒には、前� ��気孔形成剤が内包された状態となる。

 ここで、前記セラミックスの粉末が炭化� ��素である場合には、前記焼結助剤は酸化ア� ��ミニウム粉末とイットリア等の希土類酸化� ��粉末とを組み合わせるか、炭化硼素粉末と� ��素粉末またはフェノール樹脂とを組み合わ� ��てもよい。焼結助剤の成分として炭素を用� ��ると、この炭素は遊離炭素となって開気孔� ��に存在する。摺動部材が摺動すると、遊離� ��素は摺動面上に容易に流出して、潤滑液に� ��まれるようになる。遊離炭素が潤滑液に含� ��れることにより、摺動部材の摺動特性は向� ��するので、摺動初期に異音やリンキングが� ��生しやすいメカニカルシールリングやフォ� ��セットバルブには好適である。

 前記セラミックスの粉末が酸化アルミニ� ��ムである場合には、前記焼結助剤は二酸化� ��素粉末、酸化マグネシウム粉末および酸化� ��ルシウム粉末から選ばれる少なくとも1種と するのが好ましい。

 前記気孔分散剤を用いる理由としては、� ��下の理由が挙げられる。即ち、摺動面に、� ��形度が0.24以上、かつ円相当径が10μm以上150� �m以下である開口部を1以上有する開気孔を複 数存在させ、開口部同士の重なり度が10%以上 である開気孔の個数比率を3%以下とするには� ��真円度が4μm以下であって、最大径が13μm以� ��60μm以下の気孔形成剤を用いるのが好まし� �。前記真円度は、真円に近づくほど小さく� �り、真円では0となるものであり、式:真円度 =(最大径-最小径)×1/2から算出される値である 。気孔形成剤の比率としては、主成分である セラミックスの粉末,焼結助剤および成形助� �の合計100質量%に対して0.3質量%以下とするの が好ましい。

 気孔形成剤は、通常、疎水性であること� ��ら、水を溶媒とするスラリーに分散できず� ��凝集しやすい。そのため、摺動面上で開口� ��同士が連結して大きな開口部が発生するこ� ��がある。このような開口部の発生を抑制す� ��上で、気孔分散剤を添加するとよい。添加� ��れた気孔分散剤は、気孔形成剤に吸着する� ��これにより、気孔形成剤はスラリー中に容� ��に湿潤して浸透するので、スラリー中で凝� ��することなく分散する。

 気孔分散剤は、気孔形成剤100質量%に対し て0.13質量%以上、好ましくは0.13質量%以上0.45� ��量%以下の割合で添加すればよい。これによ り、気孔形成剤の種類にかかわらず、気孔形 成剤を容易に分散できる。そして、焼成後に は、摺動面に、円形度が0.24以上、かつ最大� �円相当径が150μm以下である開口部を1以上有� ��る開気孔を複数存在させ、開口部同士の重� ��り度が10%以上である開気孔の個数比率を3%� �下とすることができる。さらに、気孔形成� �の平均直径を35μm以上45μm以下にすることに� ��って、開口部の円相当径の平均値を20μm以� �40μm以下とすることができる。

 前記気孔形成剤としては、例えばシリコ� ��ンビーズ、ポリスチレンおよびポリアクリ� ��-スチレンの少なくとも1種からなる懸濁重� �された非架橋性の樹脂ビーズを用いるのが� �ましい。これら樹脂ビーズは、その圧縮強� �が1.2MPa以下と低いために、成形工程で加圧� �向に容易に塑性変形して、弾性回復に伴っ� �発生しやすいマイクロクラックの発生を抑� �することができる。また、気孔形成剤は、� �分解または消失することにより、摺動面上� �潤滑剤を供給することが可能な開気孔を形� �する。

 前記気孔分散剤としては、例えばカルボ� ��酸塩、スルホン酸塩、硫酸エステル塩また� ��リン酸エステル塩等のアニオン界面活性剤� ��好ましい。アニオン界面活性剤が気孔形成� ��に吸着することで、気孔形成剤はスラリー� ��に容易に湿潤し浸透する。さらにアニオン� ��面活性剤が有する親水基の電荷反発により� ��気孔形成剤の凝集がさらに抑制される。こ� ��により、気孔形成剤がスラリー中に凝集す� ��ことなく十分に分散することができる。ア� ��オン界面活性剤は、気孔形成剤をスラリー� ��湿潤させ浸透させる効果が高い。

 また、摺動面に、円形度が0.24以上であり 、かつ、円相当径が10μm以上78μm以下である� �口部を1以上有する開気孔を複数備え、前記� ��口部の変動係数が前記特定式を満足するよ� ��にするには、気孔形成剤や気孔分散剤の組� ��、添加量等を調整すればよい。具体例を挙� ��ると、気孔形成剤は、その最大径が30μm以� �50μm以下、平均直径が5μm以上40μm以下、添加 量が0.1質量%以上5.0質量%以下程度であるのが� ��ましい。また、気孔分散剤は、気孔形成剤1 00質量%に対して0.05質量%以上0.40質量%以下の� �合で添加するのが好ましい。

 一方、上記で得られた顆粒を所定の成形� ��に充填し、成形圧力49~147MPaの範囲で適宜選� ��される成形圧力で成形して成形体を得る。

 成形体の主成分が炭化珪素である場合に� ��、成形体を窒素雰囲気中、温度450~650℃、保 持時間2~10時間で脱脂して、脱脂体とする。� �の脱脂体を焼成炉に入れ、不活性ガスの減� �雰囲気中で、温度1800~2100℃、保持時間3~5時� �で保持し、焼成することで炭化珪素質焼結� �とすることができる。なお、不活性ガスに� �いては特に限定されるものではないが、ア� �ゴンガスを用いると入手および取り扱いが� �易である。

 成形体の主成分が酸化アルミニウムであ� ��場合には、成形体を大気雰囲気中、温度1500 ~1700℃で焼成することで酸化アルミニウム質� ��結体とすることができる。

 得られた焼結体(摺動部材)は、必要に応� �て加圧面に研削、研磨等の加工を施しても� �い。例えば、まず、両頭研削盤または平面� �削盤等で加圧面を平面とし、平均粒径3μmの� ��イヤモンド砥粒を用いてアルミナ製のラッ� ��盤で粗加工する。その後、平均粒径1~3μmの� ��イヤモンド砥粒を用いて錫製のラップ盤で� ��術平均高さRaが0.98μm以下となるように鏡面� ��工して摺動面としてもよい。算術平均高さR aを0.98μm以下とするのは、シール性を維持す� ��ためである。

 前記算術平均高さRaは、JIS B 0601-2001に準 拠して測定すればよい。即ち、測定長さおよ びカットオフ値をそれぞれ5mmおよび0.8mmとす� ��。触針式の表面粗さ計を用いて測定する場� ��には、例えば、摺動部材の摺動面に、触針� ��端半径が2μmの触針を当て、触針の走査速度 は0.5mm/秒とすればよい。

 得られた焼結体の表面を研磨することで� ��メカニカルシールリングとすることができ� ��。上述のような製造方法によれば、潤滑液� ��保持性能に優れ長期間使用を続けても良好� ��シール性を維持することができるメカニカ� ��シールリング等の摺動部材を安価に得るこ� ��ができる。