図9、図10を参照し、本発明の基板ステージ1 0は、一台の主載置台11と、平面形状が主載置 台11よりも小型・小面積の複数(ここでは四台 )の補助載置台12a~12dと、二本の下部レール13 ₁ 、13 ₂ とを有している。
 図9、図10は本発明の基板ステージ10を製造� �所に於いて仮に組み立てた状態の平面図と� �面図である。

 主載置台11と補助載置台12a~12dの平面形状は� ��角形であり、表面は平坦である。
 主載置台11と補助載置台12a~12dは着脱可能に� ��成されており、補助載置台12a~12dは、主載置 台11の互いに平行な二辺に二個ずつ固定され� ��いる。

 下部レール13 ₁ 、13 ₂ は主載置台11の長さよりも長く、中央部分が� ��載置台11上に配置され、一端が主載置台11の 一辺側の補助載置台12a、12c上に配置され、他 端が他辺側の補助載置台12b、12d上に配置され ている。二本の下部レール13 ₁ 、13 ₂ は互いに平行にされている。

 主載置台11は表面が水平になるように配置� �れており、補助載置台12a~12dは、表面が主載� ��台11よりも低くされた状態で主載置台11に固 定されている。
 補助載置台12a~12dには、複数の上下方向調整 装置6が設けられている。ここでは上下方向� �整装置6はネジで構成されており、各上下方� ��調整装置6は補助載置台12a~12dの底面側から� �面側に向けてそれぞれ上向きに挿通されて� �る。

 下部レール13 ₁ 、13 ₂ の主載置台11上に乗せられた部分は主載置台1 1の表面と密着され、補助載置台12a~12d上の部� ��は上下方向調整装置6の上端に乗せられてい る。

 下部レール13 ₁ 、13 ₂ はグラナイト製である。下部レール13 ₁ 、13 ₂ 上にリニア移動手段のガイドが設置される。 グラナイトは剛性を有しているが、微少量の 変形は可能であり、上下方向調整装置6を回� �させ、その先端を上下に移動させると、下� �レール13 ₁ 、13 ₂ の端部は曲がり、下部レール13 ₁ 、13 ₂ の主載置台11上の部分が主載置台11表面と密� �した状態を維持しながら、両端部分の高さ� �、主載置台11上に位置する部分の高さよりも 高く、又は低くすることができる。

 下部レール13 ₁ 、13 ₂ は、補助載置台12a~12d上では、下部レール13 ₁ 、13 ₂ の長手方向に沿った複数位置で上下方向調整 装置6の先端に当接されており、一本の下部� �ール13 ₁ 、13 ₂ に当接された複数本の上下方向調整装置6の� �端の高さを変えることで、直線状に伸びる� �うにも、上下方向に湾曲するようにもする� �とができる。上下方向調整装置6の上端を、� ��部レール13 ₁ 、13 ₂ の端部に近い位置程上方に移動させると、下 部レール13 ₁ 、13 ₂ を上方に湾曲させることができる。

 また、下部レール13 ₁ 、13 ₂ には、水平面内調整装置が設けられており、 水平面内調整装置によって、下部レール13 ₁ 、13 ₂ の水平面内での向きを調整することができる 。
 下部レール13 ₁ 、13 ₂ 上には、エアベアリング等の摩擦低減装置21� ��介してグラナイト製の移動板16が乗せられ� �おり、不図示の基板移動機構を動作させる� �移動板16は下部レール13 ₁ 、13 ₂ 上を走行し、補助載置台12a~12d上にも主載置� �11上にも位置できるようにされている。
 ここでは、移動板16に摩擦低減装置21を設け 、摩擦低減装置21の平坦な面と下部レール13 ₁ 、13 ₂ の表面との間に空気層を設けて、下部レール 13 ₁ 、13 ₂ と摩擦低減装置21及び移動板16とを非接触の� �態にして移動板16を下部レール13 ₁ 、13 ₂ 上に乗せて走行できるようにした。
 また、ここでは互いに平行に配置された二� ��の下部レール13 ₁ 、13 ₂ 上に亘って一台の移動板16を乗せて走行させ� ��ようにしたが、互いに平行に配置された三� ��の下部レール上に亘って一台の移動板を乗� ��て走行させるようにしても良い。

 主載置台11上の二本の下部レール13 ₁ 、13 ₂ の外側には支柱22が立設されており、支柱22� �上には二本の上部レール15 ₁ 、15 ₂ が互いに平行に、且つ下部レール13 ₁ 、13 ₂ の伸びる方向とは垂直に配置されている。

 上部レール15 ₁ 、15 ₂ には、インクジェットヘッド17が移動可能に� ��り付けられている。上部レール15 ₁ 、15 ₂ は主載置台11の幅よりも長く、両端部が主載� ��台11の外側に突き出されており、不図示の� �ッド移動機構を動作させてインクジェット� �ッド17を上部レール15 ₁ 、15 ₂ に沿って走行させると、インクジェットヘッ ド17は主載置台11上にも、主載置台11の外側に も位置できるようになっている。上部レール 15 ₁ 、15 ₂ は水平に配置されており、インクジェットヘ ッド17は水平面内を移動する。

 上部レール15 ₁ 、15 ₂ とインクジェットヘッド17は、下部レール13 ₁ 、13 ₂ よりも上方に位置しており、下部レール13 ₁ 、13 ₂ と上部レール15 ₁ 、15 ₂ の間には隙間が形成される。
 インクジェットヘッド17を主載置台11上に位 置させ、移動板16上に基板5を乗せて移動させ ると、移動板16は、下部レール13 ₁ 、13 ₂ と上部レール15 ₁ 、15 ₂ の間の隙間を通って、インクジェットヘッド 17の真下位置を通過することができる。

 補助載置台12a~12dの下方には昇降ピン8 ₁ 、8 ₂ が鉛直に配置されている。昇降ピン8 ₁ 、8 ₂ は昇降装置に取り付けられており、上下方向 に昇降移動できるようにされている。
 補助載置台12a~12dと移動板16には、それぞれ� ��通孔14a~14d、19が形成されている。

 移動板16の貫通孔19は、移動板16を補助載置� ��12a、12c又は12b、12d上に位置させたときに、� ��助載置台12a~12dの貫通孔14a、14c又は14b、14dの 真上に位置するように形成されており、その 状態で昇降ピン8 ₁ 、8 ₂ を上昇させると、昇降ピン8 ₁ 、8 ₂ は貫通孔14a、14c又は14b、14d、19を通って、上� ��が移動板16の表面上に突き出される。

 この基板ステージ10は、製造場所に於いて� �記のように一旦移動板16やインクジェットヘ ッド17が走行できるように仮組み立てを行な� ��、下部レール13 ₁ 、13 ₂ 等の製造精度を確認した後、分解し、主載置 台11から補助載置台12a~12dや下部レール13 ₁ 、13 ₂ を取り外す。図11は、主載置台11から取り外� �れた補助載置台12a~12dと下部レール13 ₁ 、13 ₂ を示している。
 この状態では、基板ステージ10は運搬可能� �大きさになっており、主載置台11や補助載置 台12a~12d等の分解した部材を車両に乗せ、実� �に使用する場所まで搬送する。

 使用場所では、先ず、主載置台11を表面が� �平になるように設置し、補助載置台12a~12dを� ��載置台11の側面に取り付け、搬送前と同じ� �態に組み立てる。
 補助載置台12a~12dは、一側面が主載置台11の� ��面に固定されており、主載置台11に固定さ� �た部分は主載置台11によって支持されている のに対し、それと反対側の部分は支持されて おらず、自重で下方に湾曲する。

 本発明では、上下方向調整装置6により、下 部レール13 ₁ 、13 ₂ の補助載置台12a~12d上に位置する部分を上向� �に補正し、補助載置台12a~12dが下方に湾曲し� ��場合に、下部レール13 ₁ 、13 ₂ の表面を水平面にすることができる。
 下部レール13 ₁ 、13 ₂ の水平面内の角度は水平面内調整装置によっ て調整すると、下部レール13 ₁ 、13 ₂ は、水平面内で一直線に伸び、二本の下部レ ール13 ₁ 、13 ₂ は水平面内で平行になる。

 図1、2は、使用場所で組み立てた基板ステ� �ジ10のインクジェットヘッド17を主載置台11� �外側に位置させ、移動板16を補助載置台12b、 12d上に位置させ、基板5を移動板16上に配置し た状態を示している。
 印刷液が配置された吐出液供給系23にイン� �ジェットヘッド17を接続し、図3、4に示すよ� ��に、インクジェットヘッド17を主載置台11の 上へ移動させ、主載置台11上で静止させ、図5 、6に示すように、インクジェットヘッド17の 下方に向けて基板5を移動させる。

 インクジェットヘッド17の下方に向けら� �た面には複数の吐出孔が設けられており吐� �液供給系23からインクジェットヘッド17に印� ��液を供給しながらインクジェットヘッド17� �設けられた吐出機構を動作させると、各吐� �孔から印刷液の液滴を吐出することができ� �。

 吐出孔は、基板の幅方向(基板5の移動方� �とは垂直な方向)に沿って配置されている。� ��出孔が配置された領域の長さは、基板5の幅 よりも短くなっており、インクジェットヘッ ド17と基板5の相対位置を制御しながら、イン クジェットヘッド17から印刷液を吐出すると� ��基板5表面の(基板長)×(基板幅)の領域のうち 、(基板長)×(吐出孔が配置された領域)内の所 望位置に吐出液を着弾させることができる。

 その領域内に吐出液を着弾させた後、イン� ��ジェットヘッド17を移動させ、インクジェ� �トヘッド17を静止させた状態で基板5を移動� �せ、基板5表面の吐出液が着弾していない領� ��に向けて吐出液を吐出すると、基板5表面の 所望位置に吐出液を着弾させることができる 。
 下部レール13 ₁ 、13 ₂ は、上下方向調整装置6と水平方向調整装置� �よって一直線にされているので移動板16が走 行する際に揺れが発生せず、基板5を高速に� �動させることができる。また、吐出液の着� �位置精度も向上する。

 主載置台11上で基板5表面の所定位置に印刷� ��が着弾された後、基板5を補助載置台12a、12c 上に移動させ、昇降ピン8 ₁ を上昇させると基板5は移動台16上から昇降ピ ン8 ₁ に移載される。基板5と移動台16の間に基板搬 送ロボットのハンドを挿入して基板5をハン� �上に移載すると、基板ステージ10の外部に移 動させることができる。

 図7、8は、基板5を基板ステージ10の外部に� �動後の状態を示している。
 上記例では、吐出液の吐出時には、インク� ��ェットヘッド17を静止させ、基板5を移動さ� ��て吐出液を吐出したが、基板5を静止させて インクジェットヘッド17を移動させて吐出液� ��吐出してもよい。要するに、基板5とインク ジェットヘッド17が相対的に移動できればよ� ��、一方が静止していても、両方が移動して� ��よい。
 インクジェットヘッド17に替え、測定装置� �の他の装置を上部レール15 ₁ 、15 ₂ に取り付けてもよい。

 また、上記例では上部レール15 ₁ 、15 ₂ は主載置台11に固定したが、上部レール15 ₁ 、15 ₂ を下部レール13 ₁ 、13 ₂ に移動可能に取り付け、上部レール15 ₁ 、15 ₂ が下部レール13 ₁ 、13 ₂ の延びる方向に移動できるようにしておくと 、インクジェットヘッド17は、水平面内で互� ��に直角な二方向(X-Y)に移動することが可能� �なるから、基板5を静止させておいても基板5 の全表面に吐出液を着弾させることが可能に なる。

 この場合、インクジェットヘッド17に替え� �種々の装置を取り付けることができる取付� �具を上部レール15 ₁ 、15 ₂ 上に設けておくと、汎用的なX-Yステージとし て用いることもできる。
 また、上記例では補助載置台12a~12dに貫通孔 14a~14dを設け、昇降ピン8 ₁ 、8 ₂ を挿通させて上下移動させたが、補助載置台 12a~12dの間で上下移動させてもよい。