本発明の搬送装置及び搬送方法を図に示� ��実施形態に基づいて詳細に説明する。この� ��施形態は、本発明の搬送装置及び搬送方法� ��、液晶表示装置に液晶ディスプレイとして� ��いられるフラットディスプレイ(平板状ガラ ス基板)の製造工程に適用したものである。

 本発明に係る搬送装置及び搬送方法にお� ��る第1実施形態を、図1から図6に基づいて詳� ��する。図1は第1実施形態の搬送テーブルを� �す平面図、図2は図1のII-II線における矢視拡� ��断面図、図3は図1のIII-III線における矢視拡� ��断面図、図4は気体の流れ方向を平面図で示 した作用説明図である。

 尚、図1、図5、及び図6では、被搬送物で� ��る基板は説明の都合により表示を省略して� ��る。また、図2から図4における矢印は、気� �として用いるエアの流れ方向を示すもので� �る。そして、図5及び図6は、第2窪み部にお� �る駆動手段の備え方が異なる例を示す平面� �である。

 図1及び図2に示すように、搬送装置10は、 液晶表示装置に液晶ディスプレイとして用い られる平板状のガラス基板30(以降、基板30と� ��す。)に、レジスト液を供給して塗布膜を形 成し、これを乾燥、熱処理した後に、露光処 理、現像処理等の各処理工程を実施する塗布 膜形成装置の製造ラインに設置して用いられ る。搬送装置10は、これら処理工程のライン� ��沿って配置される搬送テーブル50を有し、� �送テーブル50は基板30(図3及び図4も併せて参� ��)が搬送されるX方向に延在され、基板30は後 述する噴出孔90aから噴出するエアで浮上し、 搬送テーブル50上を離隔して順次X方向へ搬送 されていく。

 搬送テーブル50には、その搬送面50aの全� �に亘り平面視矩形であって、所定の深さの� �みを有する複数の第1窪み部90と、該第1窪み� ��90とほぼ同じ形状を有する複数の第2窪み部1 10とが設けられ、これら窪み部90、110は互い� �所定間隔を存して規則的に、かつ、搬送方� �であるX方向及びそれに垂直な方向であるY方 向に沿って交互に、いわゆる市松模様状に配 置される。第1窪み部90は、図示されない圧縮 ポンプからエア配管を介してエアを基板下面 に向けて噴出するもので、その底部の中央に はエアを噴出するための噴出孔90a(図1、図4に おいて白丸で図示)が上方に向けて設けられ� �。第2窪み部110は、第2窪み部110へ流れ込むエ アを図示されない吸引ポンプに接続したエア 配管を介して外部へ排出するもので、その底 部の中央にはエアを吸引する吸引孔110a(図1、 図4において黒丸で図示)が設けられる。

 図1から図3に示すように、各第2窪み部110� ��は、駆動手段としての円盤状のローラ130が� ��納され、その外周面は基板30の下面に接触� �支持するとともに、電動モータ130aの回転(図 2において矢印で示すように右回転)により、� ��板30を搬送方向に駆動する。従って、ロー� �130は、搬送方向であるX方向に沿う立て壁に� ��の両端面がほぼ平行になるように備えられ� ��。また、ローラ130の外周面の一部は、図3に 示すように、搬送面50aから上方に突出してい て基板30の下面に接触可能になっており、こ� ��接触する接触部で基板30を支持するととも� �搬送方向に駆動する。また、ローラ130は、� �さ調整手段130bにより、前記作動位置の上下� ��高さを調整できる。なお、該高さ調整手段� ��しては、例えば、電磁ソレノイド方式、エ� ��シリンダ方式、液体シリンダ方式、ステッ� ��モータ駆動方式等を用いた機構であって、� ��ーラ130を上下方向にストロークさせて行う� ��態のものが適宜利用される。また、ローラ1 30は吸引孔110aに対してオフセット配置され、 エアの吸引を妨げないようになっている。ロ ーラ130は基板30に傷を付けないような軟質の� ��成樹脂材であって、かつ、基板30との間で� �定の摩擦力を生じさせる素材で構成される� �尚、基板30との接触に関与するローラ130の外 周面のみを、このような摩擦特性に優れる(� �要な摩擦力を生じ得る摩擦係数を持ち、摺� �により磨耗や粉塵が生じ難い)材質を用いる� ��とができる。こうして、基板30は各ローラ13 0を介して搬送面50aに実質的に被接触の状態� �支持される。

 図1及び図2に示すように、第1窪み部90及� �第2窪み部110が存在しない搬送面50aの一定の� ��さを占めるエリアには、基板30の下面とで� �隙150が形成され、第1窪み部90から流入した� �アが流動する。空隙150は第1窪み部90や第2窪� ��部110の深さに比べると、エアの流動通路と� ��ては微少な間隙である。これにより、噴出� ��90aから第1窪み部90内に噴出したエアの少な� ��とも一部は、第1窪み部90の周囲に存する空� ��150を流れ、第2窪み部110に流入し、吸引孔110 aへ吸引される。空隙150を流動するエアは、� �隙150の間隙が小さい場合は高い流速で流れ� �。

 搬送テーブル50のX方向に沿う両側端縁に� ��、図8に示す後述する第2実施形態で使用さ� �るのと同様の形態のガイドローラ170が設け� �れる。このガイドローラ170は、水平面内で� �転するように搬送テーブル50に、実質的に鉛 直な軸により回転可能に軸支される。基板30� ��搬送方向から横ズレして搬送面からはみ出� ��ように移動しようとする場合には、ガイド� ��ーラ170に接触して、そのような移動を制限� ��、横ズレを防止するようにしている。なお� ��ガイドローラ170は、基板30のY方向のサイズ� ��応じて適宜位置を自動調整できるように設� ��られ、どのような基板にも対応できるよう� ��なっている。

 本第1実施形態においては、前記のローラ 130を回転駆動する電動モータ130aの回転数、� �ーラ130の上下調整手段130b、噴出孔90aからの� ��ア噴出量の調整弁90b、90d及び吸引孔110aへの エア吸引量の調整弁110b、110dや圧縮ポンプ90e� ��吸引ポンプ110e等の運転調整、ガイドローラ 170の位置調整等は、調整手段としてのコント ローラ130cにより自動制御されるようになっ� �いる。該コントローラには、基板30の重量を 検知する荷重センサ、第1窪み部90、第2窪み� �110、空隙150及び空気室90c、110cのエア圧を検� ��する圧力センサ、電動モータ130aの回転数を 検知する回転数検知センサ、及び基板30の厚� ��や横幅寸法を検知する寸法検知センサ等の� ��示されないセンサで検知した信号が入力さ� ��、その結果に基づいて前記自動制御が実行� ��れ、基板30をエア浮上させて搬送するよう� �なっている。

 第1実施形態の作用を説明する。搬送テー ブル50上を基板30がX方向へ搬送される場合に� ��、噴出孔90aから噴出されたエアは、図4に示 す矢印の方向へ流れる。換言すると、搬送面 50aと基板下面との間の空隙150を経由して流動 した後、隣りの第2窪み部110に流下し、吸引� �110aへ吸引される。ここで、第2窪み部110はデ ィフューザーとして機能することができ、空 隙150のエアを吸引する。このとき、空隙150を 流れるエアの流速が速いので、ベルヌーイの 定理により空隙内の静圧は低くなると考えら れる。基板30の上面の気圧は開放大気圧と一� ��であるので、対抗する静圧が低くなった基� ��30の当該部分には搬送面50aへ押す力(搬送面5 0aから見れば引き付ける力)が他の部分より大 きく作用する。また、第2窪み部110の底には� �吸引孔110aがあり、エアが吸引されるため、� ��2窪み部110内の静的な圧力が低下するだけで なく、鉛直下向きに流れるエアによる動的な 圧力低下も、このような基板30を搬送面50aへ� ��き付ける力の原因となる。従って、基板30� �第2窪み部110の近傍に相当する部分には、搬� ��面50aへ引き付ける力が働くので、空隙150の� ��隔が狭くなり、そこを流れるエアの流速は� ��くなるものの流路断面が小さくなるため流� ��抵抗が増し、単位時間当たりの第2窪み部110 への流量が少なくなる傾向が生じる。このた め、かえって第1窪み部90内のエアの空隙150へ の流量自体は減少し、第1窪み部90内から流出 しにくくなると考えられる。そのため、第1� �み部90内の圧力が高まり、この圧力と噴出孔 90aから噴出されるエアの動圧とが相まって基 板30にこれを上方へ浮上させる力が作用する� ��この結果、浮上させる力と吸引孔110aのエア 吸引による負圧とが相まって空隙150に生じる 静圧の減少による基板30に対する引き付け力� ��、第1窪み部90における基板30を浮上させる� �上力とバランスし、基板30は搬送面50aから離 隔する。

 一方、基板30は、その重力、及びベルヌ� �イの定理により作用する前述の引き付ける� �で搬送面50aに引き付けられ、ローラ130に接� �する。すなわち、この引き付ける力は、一� �のベルヌーイチャックとして機能している� �考えることができる。一般のベルヌーイチ� �ックでは、第1窪み部90内の圧力低下も考慮� �入っているが、本実施例において、搬送面� �基板30との間の距離等の種々の条件によりこ のような作用が第1窪み部90で生じることがあ ってもよい。また、吸引孔110aによるエアの� �引によって第2窪み部110内の静圧が、負側へ� ��かれるので、ローラ130に対する基板30の接� �圧が大きくなり、ローラ130と基板下面との� �の摩擦力が強められる態様で基板30が接触す る。そして、各ローラ130が電動モータ130aに� �り回転駆動されると、基板30はX方向へ搬送� �れる。一般に接触による駆動では、ローラ13 0の表面及び基板30の下面という接触面の間で 少なくとも微視的には滑りが生じている。こ の滑りに伴い接触面から脱落する表面の汚れ 、劣化した表面層等に起因する粉塵が発生す る。また、ローラ130は軸による駆動回転が自 在にできるように搬送テーブル50に固定・支� ��されているが、この軸受けでの粉塵の発生� ��生じ得る。このように、駆動・摺動する部� ��からは、粉塵等を含むいわゆるゴミの発生� ��起こるが、本実施例では、かかる駆動・摺� ��する部材を、第2窪み部110内に留めているの で、搬送装置全体として系外に排出されるゴ ミの発生を低く抑えることができる。より詳 細には、第2窪み部110は、搬送面50に開いてい る開口以外は、周囲を壁に囲われており、略 密閉して収納されているので、この第2窪み� �110から外に出て行くゴミの発生は効果的に� �制される。更に、第2窪み部110には、吸引手� ��として吸引孔110aを備えるので、一旦は第2� �み部110内に発生した粉塵等のゴミをトラッ� �して吸引孔110aより所定の場所(例えば、掃除 機等に一般に用いられる集塵バック等)に集� �しておくことができる。また、この吸引孔11 0aは、搬送面50aからローラ130よりも遠い位置� ��備えられているので、ローラ130で発生した� ��ミが搬送面50aに移動することを効果的に抑� ��することができる。また、第2窪み部110の搬 送面50aに開いた開口は、基板30の駆動時には� ��板30の下面により覆われているので、開口� �ら進入する気流の乱れ等を比較的少なくす� �ことができる。このような第2窪み部110のゴ� ��抑制効果は、以下に述べる他の実施の形態� ��おいても、同様に発揮され得る。

 本第1実施形態によれば、噴出孔90aからエ アを噴出するだけでなく、空隙150を流動した エアを積極的に吸引孔110aから吸引するため� �従来技術のようにエアを噴出するだけの形� �のものに比べると、基板30と搬送面50aとの離 隔高さの精度を高めることができ、また、ロ ーラへの接触部を除き、基板30を搬送テーブ� ��50ないしはその搬送面50aから非接触で搬送� �るため、基板に振動が生じることを抑制で� �る搬送装置及び搬送方法となっている。さ� �に、噴出孔90aからのエア噴出量、吸引孔110a� ��のエア吸引量を増減調整して基板30の浮上� �をコントロールすることで、基板30の重量の 大小に応じた搬送制御を行うことができる。 また、多少とも吸引力を強くするように調整 することで、さらにローラ130に対する基板30� ��支持力が高まり、基板30と搬送面50aとの離� �距離の精度及び搬送駆動力を増すことがで� �る。また、第2窪み部110に吸引孔110aを設けて いるので、ローラ130と基板30との接触により� ��じた塵埃は、吸引孔110aに吸引されるため、 クリーンな処理環境を実現できる。また、ロ ーラ130は吸引孔110aがある第2窪み部110に収納� ��れるため、基板下面をローラ130表面に引き� ��けることができ、ローラ130と基板30との間� �摩擦力が強まり、ローラ130を少なくしても� �板30の搬送力を増すことができる。また、噴 出孔90aと吸引孔110aとは交互に配置したこと� �より、エアの流れは効率の良い流れとなり� �基板30の浮上力を効率良く行え、かつ、浮上 の安定性を増すことができる。また、ローラ 130の上下高さは調整可能に形成しているので 、基板30のローラ130に対する摩擦力を適宜に� ��整することができ、確実な搬送力を得るこ� ��ができる。

 前記の第1実施形態では、第1の窪み部90、 第2の窪み部110の平面視における形状は矩形� �あるが、このような形に限られるものでは� �い。円形、楕円形等、機能、製造のしやす� �、その他の条件に応じて適宜形状を変更す� �ことができる。また、第1実施形態の各窪み� ��90、110は縦横にそれぞれ直線上にほぼ等間� �で並ぶように規則正しく配設したが、規則� �に配設しなくてもよい。

 また、第1実施形態における第1窪み部90と 第2窪み部110とは、交互に順に配置したが、� �のような配置に限られないことはいうまで� �ない。例えば、第1窪み部90同士が隣に並ん� �あってもよく、第2窪み部110同士が隣に並ん� ��あってもよい。しかしながら、第1窪み部90� ��傍では、上向きの力が基板にかかり、第2窪 み部110近傍では、下向きの力が基板にかかる ため、偏りすぎると基板の搬送面から離隔し た搬送がうまくいかない場合がある。従って 、交互であるとより好ましい。また、基板30� ��働く力がうまくバランスされ、安定的に基� ��30が浮上保持されるように第1窪み部90と第2� ��み部110が複数配置されるのが好ましい。

 また、第1実施形態では、ローラ130を第2� �み部110に設けたが、第1窪み部90に設けても� �い。この場合は、前記のような吸引孔110aの� ��引負圧によるローラ130に対する引き付け力� ��ないが、条件により、空隙150におけるベル� ��ーイの定理による引き付け力が発生するの� ��、基板30のローラ130に対する搬送力が得ら� �、安定した搬送が可能となる。

 また、ローラ130は、各窪み部90、110に必� �設けなければならないものでなく、窪み部90 、110の一部に設けるようにしてもよい。この ようにすれば、基板30の下面での接触部(又は 接触点)が減少し、より非接触での基板30の搬 送が可能となる。しかしながら、ローラ130は 、基板30を駆動するだけでなく、基板30の自� �を支持するため、少なすぎると搬送の安定� �を阻害する恐れがある。更に、エアの吹き� �しが急に止まった場合等において、基板が� �送面50aに直接クラッシュすることを防ぐラ� �ディング補助装置になるため、これらの機� �を担保できる数のローラ130を配置すること� �より好ましい。

 また、図1ではローラ130を吸引孔110aの片� �に設置したが、図5に示すように、吸引孔110a を挟むように両側にローラ130、130を設置して もよく、さらに、図6のように、ローラ130を� �2窪み部110の中央に置き、該ローラ130の両脇� ��吸引孔110aを設ける態様にすることも可能で ある。勿論、ローラ130を吸引孔110a側でなく� �噴出孔90a側に設ける態様の場合にも、前記� �同様にすることが可能である。

 また、ローラ130の駆動は、ローラ毎に電� ��モータ130aを取付けた構造としたが、これに 代わって、各ローラ130の駆動軸を共通にし、 その駆動軸に電動モータ130aの出力軸に結合� �る構造にしてもよい。個々に電動モータ130a� ��取付けると、回転力伝達分配手段(例えば、 ベルト/プーリ変速機、ギア変速機等)でのエ� ��ルギーの損失を防ぐことができるが、安定� ��に基板30を搬送するには、搬送駆動力を与� �る電動モータ130aの制御を全体として調和す� ��ように行うことが好ましい。

 次に、本発明の第2実施形態を図7~図9に基 づいて詳述する。図7は第2実施形態の平面図� ��図8は図7のVIII-VIII線における矢視拡大断面� �、図9はエアの流れ方向を平面図で示した作� ��説明図である。なお、図8、図9における矢� �は、エアの流れ方向を示す。

 図7及び図8に示すように、搬送装置10Aは� �搬送テーブル50を有し、その搬送面50aには、 平面視円形状の複数の内側窪み部190を有する 。ここで、内側窪み部190は、第1実施形態に� �ける第2窪み部110に相当し、他に制約が無い� ��り同様な機能(例えば、ゴミ発生抑制機能)� �有することができ、それぞれに程度の差は� �っても同様な効果を有する。内側窪み部190� �、円錐側面状に縮径するテーパー壁190aと、� ��のテーパー壁190aに連接して水平面をなす底 面部190bと、この底面部190bの中央に前記ロー� ��130を取り付ける凹部190cとが設けられている 。凹部190cは搬送面50aから底面部190bまでの深� ��よりも深い深さ寸法となっている。この凹� ��190cに、円盤状のローラ130がその大半を収容 される状態で設けられ、一部が搬送面50aから 上方に突出しており、後述する電動モータ130 aを組み込んだ駆動手段を介して回転駆動す� �。これにより、基板30は隣り合うローラ130ど うしにより、搬送面50aから空隙150を介して支 持され、ローラ130の回転駆動により基板30をX 方向へ搬送する。また、内側窪み部190には、 前記テーパー壁190aと、底面部190bとの境界を� ��す円周上に接する底面部190bの周囲に設けら れた環状に配置された複数の吸引孔190fと、� �部190cの底面に設けられた凹部吸引孔190gとか らなる内側吸引部を備えている。

 内側窪み部190の搬送面50aに沿ったそれぞ� ��の外方に前記基板下面に向けて気体を噴出� ��る環状の噴出溝200が内側窪み部190とほぼ同� ��円状に設けられている。そして、この噴出� ��200は、その底部に、環状に配置された複数� ��噴出孔200aを有している。

 噴出溝200及び前記内側窪み部190が存しな� ��搬送面50aと、前記基板下面との間に形成さ� ��た空隙150は、噴出溝200から噴出された気体� ��流入域をなし、噴出溝200から噴出したエア� ��、空隙150に流入して基板を浮上させた後、� ��記内側吸引部190dに吸引されることにより、 基板30を搬送面50aから離隔させながら該搬送� ��50aに吸引保持した状態で搬送する。

 環状に配置された噴出孔200aは、エア供給 配管200bに連通され、外部に設けた図示しな� �圧縮エアポンプからエアが供給される。ま� �、環状に配置された吸引孔190f及び凹部吸引� ��190gにはエア排出配管190hに連通され、図示� �ない吸引エアポンプでエアが排出される。� �して、環状に配置された各噴出孔200aから噴� ��されるエア、及び環状に配置された各吸引� ��190f及び凹部吸引孔190gから吸引されるエア� �、それぞれ均一なエア圧力となるようにな� �ている。

 ローラ130の駆動機構は、搬送テーブル50� �各側縁に設けた電動モータ130aと、該電動モ� ��タ130aの駆動力を伝達するために搬送方向(X� ��向)に沿って設けた駆動シャフト130bと、駆� �シャフト130bにベベルギア130cを介して連結さ れ、搬送方向に直交する方向(Y方向)に伸びる ローラシャフト130dとで構成される。各ロー� �シャフト130dには、3個のローラ130が一体回転 可能に結合され、電動モータ130aの駆動によ� �、各ローラ130が回転駆動する。

 また、搬送テーブル50の両側縁には、図8� ��示すように、水平面内で回転するガイドロ� ��ラ170が設けられ、基板30の側端面に接触す� �ことで、基板30の搬送方向が横ズレしないよ うにしている。なお、該ガイドローラ170は、 Y方向に位置調整ができるようになっており� �基板30の横幅寸法に応じて位置を調整する。

 本第2実施形態においては、前記第1実施� �態の場合と同様に、ローラ130を回転駆動す� �電動モータ130aの回転数、環状に配置された� ��出孔200aからのエア噴出量及び環状に配置さ れた吸引孔190f及び凹部吸引孔190gへのエア吸� ��量の調整や、各エアポンプの運転調整、ガ� ��ドローラ170の位置調整等は、コントローラ1 30cにより自動制御されるようになっている。

 このようにして、基板30を浮上させるエ� �が、環状に配置された噴出孔200aから噴出さ� ��た後、搬送面50aと基板下面との間に形成さ� ��る空隙150を流動して、環状に配置された吸� ��孔190f及び凹部吸引孔190gに吸引されること� �より、基板30が搬送面50aから離隔した状態で 、吸引保持されて搬送されるようになってい る。

 本第2実施形態の作用を説明する。搬送面 50aに形成した内側窪み部190の凹部190cに基板30 を搬送するローラ130を収納し、また、内側窪 み部190を取り囲むように、外側から内側へ順 に環状に配置された噴出孔200aと環状に配置� �れた吸引孔190fと凹部吸引孔190gとを設けるこ とにより、環状に配置された噴出孔200aから� �出したエアは、搬送テーブル50の搬送面50aと 基板30との間に形成される空隙150を介して流� ��し、環状に配置された吸引孔190fと凹部吸引 孔190gへ吸引される。その結果、作動原理が� �ルヌーイの定理である、いわゆるベルヌー� �チャックに似た構造により、基板30が搬送面 50aに対して非接触状態で引き付けておくこと ができる。

 すなわち、環状に配置された噴出孔200aか ら噴出したエアは、空隙150を流れるとき、狭 い空隙を流れるエアの流速は高い。一方、基 板30の上面側は大気圧開放の圧力であり、表� ��を流れるエアの流速は低い。ベルヌーイの� ��理を考えれば、空隙150内の静圧は基板30の� �面側より低くなり、基板30を搬送面50aに押す 力(搬送面50a側からみれば、引き付ける力)が� ��用する。これにより、該空隙150の流通断面� ��はさらに狭くなろうとするので、上述した� ��うに空隙150のエア流通抵抗が高まり、環状� ��配置された噴出孔200aから噴出するエアは、 全体の流量を考えれば、空隙150へ流れにくく なる。そのため、環状に配置された噴出孔200 a近傍の気体圧が高くなり、基板30に上方へ浮 上させる力が作用する。また、空隙150を通過 したエアは、図9に示す矢印のように、環状� �配置された吸引孔190f及び凹部吸引孔190g(図8� ��照)へ集中して流れ込むように吸引されるの で、エアの流れが円滑になり、基板30は、表� ��部50に非接触で、安定した離隔状態で釣り� �う。

 したがって、本第2実施形態によれば、基 板30はローラ130に引き付けられて接触するが� ��ローラ130と基板下面との間の摩擦力が強め� ��れる。その結果、基板30が浮上する高さは� �外環状に配置された噴出孔200aから噴出され� ��エア圧と、空隙150を流動する流速と、環状� ��配置された吸引孔190f及び凹部吸引孔190gに� �るエアの吸引圧と、基板30の重さとのバラン スで決まるので、基板30の重量に応じて外環� ��に配置された噴出孔200aから噴出するエア量 と、環状に配置された吸引孔190f及び凹部吸� �孔190gに吸引される吸引エア量を調整するこ� ��で、基板が浮上する高さと、ローラ130に対� ��る摩擦力とを調整することができる。この� ��果、基板30は、効率的で安定したエア浮上� �を得ることができ、適当な搬送面50aとの離� �距離が得られ、ローラ130の回転駆動により� �板30を安定して搬送できる。

 また、基板30は、空隙150を流動するエア� �速に起因する引き付け力と、基板30の重量と によりローラ130を押し、逆にローラ130によっ て搬送面50aから一定の離隔高さで支持される 。ローラ130の高さを最適な位置に調整するこ とで、適度な摩擦力を得ることができ、ロー ラ130の回転駆動時における搬送力を最適にコ ントロールできる。その結果、基板の搬送を 安定して行うことができる。

 また、内側窪み部190の底部に、環状に配� ��された吸引孔190fとは別の凹部吸引孔190gを� �けたので、環状に配置された吸引孔190fだけ� ��なく、凹部吸引孔190gからもエアを吸引する ので、エアの吸引力が増し、その結果、基板 30の搬送面50a側への引き込み力(吸引力)が増� �し、基板30により安定した浮上力を付与でき る。

また、外環状に配置された噴出孔200aから� �出されるエア量、及び環状に配置された吸� �孔190fと凹部吸引孔190gに吸引されるエア量を 調整することで、基板30は、エアの流速に起� ��する引き付け力と、基板30の重量とにより� �ーラ130を押し、逆にローラ130によって搬送� �50aから一定の離隔高さで支持される。この� �うに、エア量をコントロールすることで、� �度な摩擦力を得ることができ、ローラの回� �駆動時における搬送力を最適にコントロー� �できる。その結果、基板の搬送を安定して� �うことができる。

 また、ローラ130と基板30との接触により� �じた塵埃は環状に配置された吸引孔190f及び� ��部吸引孔190gから外部へ排出することができ 、クリーンな処理環境を得ることができる。 また、基板30はエアにより浮上力を受けて搬� ��されるため、基板30への振動伝達は抑制さ� �た状態となり、基板の処理精度を高めるこ� �ができる。

 以上、第2実施形態を説明したが、前記第 2実施形態では、各内側窪み部190を規則的に� �列して設けたが、規則的な配列でなくても� �い。また、各内側窪み部190にローラ130を設� �たが、ローラ130を内側窪み部190に部分的に� �けてもよい。また、各内側窪み部190の平面� �における形状を円形としたが、楕円形、矩� �、あるいはそれら以外の形状であってもよ� �。

 また、前記第1実施形態及び前記第2実施� �態におけるローラ130の材質を、多孔質体で� �成するとともに、内部から負圧を作用させ� �外部へ塵埃が出ない構造にしてもよい。ま� �、ローラ130は、搬送方向に直角なY方向に一� ��に波打つような規則的な高さに設定しても� ��い。このとき、波の山は気体を噴出する第1 窪み部上近傍に、波の谷は気体を吸引する第 2窪み部上近傍に配置することが好ましい。� �のように、基板30自体を湾曲させるか、ある いは波を打たせるように変形させて、搬送方 向における曲げに対する剛性を高めておくこ とで、搬送方向に基板30が垂れ下がらないよ� ��になり、前後のローラ130、130間を移動する� ��板30がローラ130に干渉することなく、スム� �ズに乗り移っていくようにすることができ� �。これにより、円滑な搬送が可能となる。