Title:
研磨用スラリー及びこれを用いた基板の研磨方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015502417
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、タングステン研磨用スラリーであって、研磨を行う研磨剤及び酸化物形成を促す酸化促進剤を含み、前記研磨剤として酸化チタン粒子を含むスラリー及びこれを用いた研磨方法を提供する。
Inventors:
パク ジェグン
イ コンソップ
パク ジンヒョン
イム ジェヒョン
チェ ジョンヨン
ファン ヒソップ
ツイ ハオ
イ コンソップ
パク ジンヒョン
イム ジェヒョン
チェ ジョンヨン
ファン ヒソップ
ツイ ハオ
Application Number:
JP2014539865A
Publication Date:
January 22, 2015
Filing Date:
September 14, 2012
Export Citation:
Assignee:
ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド
International Classes:
C09K3/14; B24B37/00; C09G1/02; H01L21/304
Domestic Patent References:
| JP2002009023A | 2002-01-11 | |||
| JP2002173669A | 2002-06-21 | |||
| JP2002528903A | 2002-09-03 | |||
| JP2002003825A | 2002-01-09 | |||
| JP2011014840A | 2011-01-20 | |||
| JPH10121035A | 1998-05-12 | |||
| JP2002009023A | 2002-01-11 | |||
| JP2002173669A | 2002-06-21 | |||
| JP2002528903A | 2002-09-03 |
Foreign References:
| WO2001048109A1 | 2001-07-05 | |||
| WO2001000745A1 | 2001-01-04 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation MAEDA PATENT OFFICE