Title:
静電クランプ、リソグラフィ装置および方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015515136
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】従来技術における問題のうちの１つまたは複数を除去または軽減する改良された静電クランプを提供する。【解決手段】物体を保持するように構成された静電クランプであって、電極と、この電極上に位置する抵抗材料から形成された抵抗部分と、この抵抗部分上に位置する誘電体材料から形成された誘電体部分と、を備える静電クランプである。【選択図】図６
Inventors:
Van der Wilk, Ronald
Schmitz, roger
Notten Boom, Arnaud
Will, Manon, Elise
Schmitz, roger
Notten Boom, Arnaud
Will, Manon, Elise
Application Number:
JP2015506148A
Publication Date:
May 21, 2015
Filing Date:
March 19, 2013
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
H01L21/683; G03F7/20; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JP2012023371A | 2012-02-02 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Toshifumi Onuki