Title:
単結晶の切断方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015526313
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】極性軸を有する単結晶を、平面状の切断面を有するスライスに出来るだけ簡単に且つ低コストで切断することのできる方法を提供する。【解決手段】第１の極性軸Ｐ１を有する単結晶１を切断する方法は、単結晶１を、切断工具２に対し、第１の極性軸Ｐ１が目標の切断平面ＳＥに対して略垂直に向くように配置する過程と、第２の極性軸Ｐ２を有する少なくとも１つのさらなる単結晶５を、第１の極性軸Ｐ１と第２の極性軸Ｐ２とが略平行でありながら反対に向くように配置する過程と、切断工具２を、目標の切断平面ＳＥに沿って、単結晶１と少なくとも１つのさらなる単結晶５とに同時に案内する過程と、を含む。【選択図】図４
Inventors:
Philip Octavian
Eperbaum Boris
Vicarman Matthias
Vinker Albrecht
Hyman Paul
Seitz Ulrich
Eperbaum Boris
Vicarman Matthias
Vinker Albrecht
Hyman Paul
Seitz Ulrich
Application Number:
JP2015516517A
Publication Date:
September 10, 2015
Filing Date:
April 16, 2013
Export Citation:
Assignee:
CRYSTAL-N GMBH
International Classes:
B28D5/04; B24B27/06; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Shuji Sugimoto
Masashi Noda
Kenro Tsutsumi
Kumiko Hayashida
Yuka Kobayashi
Kenichi Nakata
Daisuke Kaneko
Masashi Noda
Kenro Tsutsumi
Kumiko Hayashida
Yuka Kobayashi
Kenichi Nakata
Daisuke Kaneko