Title:
アルミニウム合金製真空チャンバ要素
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016500757
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、組成が重量％で、Ｓｉ：０．４〜０．７、Ｍｇ：０．４〜０．７、Ｔｉ：０．０１〜＜０．１５、Ｆｅ＜０．２５、Ｃｕ＜０．０４、Ｍｎ＜０．４、Ｃｒ：０．０１〜＜０．１、Ｚｎ＜０．０４、他の元素は各々＜０．０５、および合計で＜０．１５、残りはアルミニウムである、厚さが少なくとも１０ｍｍに等しいアルミニウム合金製シートメタルの機械加工および表面処理によって作製された真空チャンバ要素に関する。本発明はまた、連続した下記の段階、厚さが少なくとも１０ｍｍの５０００系または６０００系のアルミニウム合金製シートメタルを供給し、前記シートメタルを真空チャンバ要素に機械加工し、前記要素を脱脂および／または酸洗いし、硫酸１００〜３００ｇ／ｌ、およびシュウ酸１０〜３０ｇ／ｌ、および少なくとも一つのポリオール５〜３０ｇ／ｌを含む溶液を使用して、１０〜３０℃の温度で陽極処理を実施し、任意で、好ましくは少なくとも約一時間、少なくとも９８℃の温度で、脱イオン水中でこのように陽極処理された製品を水和させる、ことからなる真空チャンバ要素の製造方法に関する。本発明による製品は、特に改良された均質性の特性、および好ましい腐食耐性を有する。【選択図】なし
Inventors:
Van Capel, Jost Michel
Gaskle, Cedric
Phi Phi Sumid, Christine
Davo Gutierre, Maria Blanc
Gaskle, Cedric
Phi Phi Sumid, Christine
Davo Gutierre, Maria Blanc
Application Number:
JP2015537319A
Publication Date:
January 14, 2016
Filing Date:
October 15, 2013
Export Citation:
Assignee:
Constellium France
International Classes:
C22C21/06; C22C21/02; C22F1/05; C25D11/04; C25D11/08; C25D11/10; C25D11/18
Domestic Patent References:
| JP2007308768A | 2007-11-29 | |||
| JP2008255371A | 2008-10-23 | |||
| JP2001288527A | 2001-10-19 |
Other References:
毛利衛 他: "アルミニウム合金(6063)表面の特性と脱ガス挙動", 真空, vol. 24, no. 4, JPN6017036919, 29 September 2009 (2009-09-29), JP, pages 153 - 157
小野 幸子: "アルミニウムアノード酸化皮膜の構造と成長機構および真空中でのガス放出特性", J.VAC.SOC.JPN., vol. 52, no. 12, JPN6017036921, 13 January 2010 (2010-01-13), JP, pages 637 - 644
小野 幸子: "アルミニウムアノード酸化皮膜の構造と成長機構および真空中でのガス放出特性", J.VAC.SOC.JPN., vol. 52, no. 12, JPN6017036921, 13 January 2010 (2010-01-13), JP, pages 637 - 644
Attorney, Agent or Firm:
Keiichi Ota