Title:
放射コレクタ、放射源及びリソグラフィ装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016521373
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】従来技術に対して新規且つ進歩的な放射コレクタを提供する。【解決手段】放射コレクタは、当該放射コレクタからある距離を置いた第１位置に実質的に集光するように放射を導くよう構成された複数の斜入射リフレクタシェルを備える第１コレクタセグメントと、当該放射コレクタから前記距離を置いた第２位置に実質的に集光するように放射を導くよう構成された複数の斜入射リフレクタシェルを備える第２コレクタセグメントと、を備え、第１位置と第２位置が相互に分離されている。【選択図】図６ａ
Inventors:
Lupustra, Eric
Berence, lute
B-Link, Stig
Cadet, Theodorus
Dondels, Schuurt
Flyns, Olaf
Kempen, Antonius
Shapers, marx
Strecken, Alexander
Tencate, Nikolaas
Van der haren, warts
Van Reithhout, Richard
Berence, lute
B-Link, Stig
Cadet, Theodorus
Dondels, Schuurt
Flyns, Olaf
Kempen, Antonius
Shapers, marx
Strecken, Alexander
Tencate, Nikolaas
Van der haren, warts
Van Reithhout, Richard
Application Number:
JP2016504539A
Publication Date:
July 21, 2016
Filing Date:
February 26, 2014
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
Carl Zeiss SGM Gaehha
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B17/06; H05G1/00; H05G2/00
Domestic Patent References:
| JP2012049526A | 2012-03-08 | |||
| JP2012028813A | 2012-02-09 | |||
| JP2013505573A | 2013-02-14 |
Foreign References:
| US6285737B1 | 2001-09-04 | |||
| US20070001131A1 | 2007-01-04 |
Attorney, Agent or Firm:
Sakaki Morishita
Takeshi Aoki
Takeshi Aoki