Title:
集塊性研磨粒子、その粒子を含む研磨物品、及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017509715
Kind Code:
A
Abstract:
集塊性研磨粒子を製造するための方法は：第１のガラス状結合剤内の鉱物粒子を含む粒塊性研磨粒子を提供する工程；粒塊性研磨粒子を第２のガラス状結合剤材料前駆体と組み合わせ、集塊性研磨粒子前駆体を形成する工程；及び、集塊性研磨粒子前駆体を加熱し、第２のガラス状結合剤材料前駆体を、第１のガラス状結合剤とは異なる第２のガラス状結合剤に転換し、それにより集塊性研磨粒子を形成する工程、を含む。第１のガラス状結合剤は、第２のガラス状結合剤とは：ｉ）元素組成、又はｉｉ）固有の物理的性質；のうち少なくとも１つの点で異なっており、集塊性研磨粒子は、１ｍｍの目を有する試験用ふるいを通過することが可能である。その方法により調整可能な集塊性研磨粒子、及びそれらの粒子を含有する研磨物品もまた開示される。【選択図】 図１
Inventors:
Toshikazu Kasai
Gacuredie, John Jay.
Fletcher, Timothy Dee.
Gacuredie, John Jay.
Fletcher, Timothy Dee.
Application Number:
JP2016537538A
Publication Date:
April 06, 2017
Filing Date:
December 08, 2014
Export Citation:
Assignee:
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
International Classes:
C09K3/14; B24B37/00; B24D3/00; H01L21/304
Foreign References:
| US20030194947A1 | 2003-10-16 | |||
| US20020151265A1 | 2002-10-17 | |||
| US20070084133A1 | 2007-04-19 | |||
| US6551366B1 | 2003-04-22 | |||
| US20090235591A1 | 2009-09-24 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Ikeda adult
Yoshinori Shimizu
Junichiro Sakamaki
Ikeda adult
Yoshinori Shimizu
Junichiro Sakamaki