Title:
ガスキャビネット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018522167
Kind Code:
A
Abstract:
ガス利用プロセスツール、例えば、半導体製品、フラットパネルディスプレイ、太陽電池パネルなどの製造のためのガス利用ツールにガスを送出のためのガス供給システムおよび方法について記載される。ガス供給システムは、吸着剤に基づくガス供給容器および／または内部圧力調整ガス供給容器によって配置されたガスキャビネットを内部に備えることができ、ガスキャビネット内に配置されてもよい、またはスタンドアロン様式で動作してもよいガス混合マニホールについて記載される。一態様において、供出動作の圧力制御終了後に容器内に残留するガスの利用を実現する供出動作のために、ガス供給圧力低下を伴う冷却の影響を受けやすい容器がそのような圧力制御終了後に処理されるガス供給システムについて記載される。【選択図】図３
Inventors:
Desplay, Joseph Earl.
Chambers, Barry Lewis
Sweeney, Joseph Dee.
Ray, Richard S.
Bishop, Stephen E.
Chambers, Barry Lewis
Sweeney, Joseph Dee.
Ray, Richard S.
Bishop, Stephen E.
Application Number:
JP2017559805A
Publication Date:
August 09, 2018
Filing Date:
May 16, 2016
Export Citation:
Assignee:
Entegris Incorporated
International Classes:
F17C13/02; H01L21/02
Domestic Patent References:
| JP2005164044A | 2005-06-23 | |||
| JP2004324862A | 2004-11-18 | |||
| JP2006165399A | 2006-06-22 | |||
| JP2006118569A | 2006-05-11 |
Foreign References:
| US20060088948A1 | 2006-04-27 | |||
| US7248791B2 | 2007-07-24 |
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation