Title:
マイクロキャビティプラズマ発光アレイを有する高出力紫外（ＵＶ）及び真空紫外（ＶＵＶ）ランプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019519086
Kind Code:
A
Abstract:
プラズマランプは、ほぼ平行な内部板を含み、少なくとも１つの内部板の表面内にマイクロキャビティの少なくとも１つのアレイが形成される。望ましい場合、内部板はスペーサによって固定距離に分離され、少なくとも１つのスペーサは内部板の縁近くに配置され、その内部板と共に気密封止を形成する。ガスがマイクロキャビティアレイと接触する。時間変化する電圧を供給することができる電極が各々の内部板の表面上に配置される。少なくとも１つの電極が、少なくとも１つの内部板の外表面上に配置される。任意選択として、保護窓を電極の上に配置することができる。時間変化する電圧の印加がガスと相互作用して、マイクロキャビティと内部板の間の固定体積（存在する場合）との中にグロー放電プラズマを形成する。グロー放電プラズマは、プラズマランプの全表面にわたり、効率的且つ均一にＵＶ／ＶＵＶ放射を発する。【選択図】図１Ｂ
Inventors:
Park, Sung-Chin
Herring, Cyrus, M.
Eden, james, gary
Herring, Cyrus, M.
Eden, james, gary
Application Number:
JP2019519952A
Publication Date:
July 04, 2019
Filing Date:
June 27, 2016
Export Citation:
Assignee:
Eden Park Illumination
International Classes:
H01J61/33; H01J65/00
Domestic Patent References:
| JP2009524204A | 2009-06-25 | |||
| JP2012503844A | 2012-02-09 | |||
| JP2001281426A | 2001-10-10 | |||
| JP2010226053A | 2010-10-07 |
Foreign References:
| US8900027B2 | 2014-12-02 | |||
| US6127780A | 2000-10-03 | |||
| US20100072893A1 | 2010-03-25 | |||
| US20100140511A1 | 2010-06-10 | |||
| US20100253207A1 | 2010-10-07 | |||
| US20100296978A1 | 2010-11-25 | |||
| US20140265036A1 | 2014-09-18 | |||
| US20120025696A1 | 2012-02-02 | |||
| US20140026506A1 | 2014-01-30 | |||
| US20020063537A1 | 2002-05-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Isshiki International Patent Service Corporation