Title:
流体装置およびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020507444
Kind Code:
A
Abstract:
例示する方法は、第１基板層と、第２基板層と、第１基板層と第２基板層との間に配置された放射吸収材料とを有する作業スタックを提供するステップを含む。作業スタックは、その中に指定された液体を有するキャビティを備える。結合界面は、放射吸収材料と、第１基板層または第２基板層の少なくとも一方との間に画定される。結合界面は指定された液体の膜を有する。この方法はまた、境界面シールを形成するために結合界面に放射を向けるステップを含む。外周シールは、キャビティを結合界面の外側領域から分離する。この方法はまた、第１および第２基板層を互いに固定するために結合界面の外側領域に放射を向けるステップを含む。外周シールは、放射が外側領域に向けられるときに、外側領域からキャビティ内への気泡の進入を妨げる。【選択図】図１
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Inventors:
John Gerhard Arnie
Justin Fullerton
Caleb Smith
Rose Murari Cave Venkatesan
Justin Fullerton
Caleb Smith
Rose Murari Cave Venkatesan
Application Number:
JP2018566891A
Publication Date:
March 12, 2020
Filing Date:
December 12, 2017
Export Citation:
Assignee:
Iramina Incorporated
International Classes:
B01J19/00; B81B3/00; B81C3/00; G01N37/00
Domestic Patent References:
| JP2003216059A | 2003-07-30 | |||
| JP2005338886A | 2005-12-08 | |||
| JP2012223889A | 2012-11-15 |
Foreign References:
| US20160288120A1 | 2016-10-06 | |||
| US20160207041A1 | 2016-07-21 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Rintaro Takahashi
Mitsutsugu Sugimura
Rintaro Takahashi