Title:
高速ＥＥＬＳスペクトル取得のための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020529706
Kind Code:
A
Abstract:
透過型電子顕微鏡における電子エネルギー損失分光（ＥＥＬＳ）スペクトルを取得するためのシステム及び方法が開示される。本発明のシステム及び方法は、以前に露出したセンサの部分が露出時間の一部又は全部の間、センサから読み出される間、イメージ・センサの第１の部分を第１のスペクトルに露出することによって、スペクトル取得速度及びデューティ・サイクルを最大にする。
Inventors:
James, Edward Michael
Twesten, Ray Dudley
Twesten, Ray Dudley
Application Number:
JP2020505186A
Publication Date:
October 08, 2020
Filing Date:
August 01, 2018
Export Citation:
Assignee:
GATAN,INC.
International Classes:
H01J37/28; G01N23/02; H01J37/244
Domestic Patent References:
| JP2008509510A | 2008-03-27 |
Foreign References:
| US7642513B2 | 2010-01-05 |
Attorney, Agent or Firm:
Asamura patent office