Title:
シリコンチューブを製造するための炉および鋳型を含む電磁鋳造システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020536217
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】管状シリコンインゴットを電磁鋳造するための炉を提供する。炉は、鋳型、外誘導コイルおよび内誘導コイル、ならびに支持部材を含んでいる。鋳型は、外ルツボおよび内ルツボを含んでいる。外ルツボは環状である。内ルツボは、外ルツボの中に配置され、内ルツボと外ルツボとの間に間隙ができるように外ルツボから間隔をあけている。鋳型は、この間隙に粒状シリコンを受け入れるように構成される。外誘導コイルは、外ルツボの周囲に配置される。内誘導コイルは、内ルツボの中に配置される。外誘導コイルおよび内誘導コイルは、鋳型内で粒状シリコンを加熱、溶融して管状シリコンインゴットを形成するように構成される。支持部材は、種晶に管状シリコンインゴットを形成する過程で種晶を鋳型に対して保持し、動かすように構成される。【選択図】図１
Inventors:
Peidus Igor
Nissia Nansan Vijay
Nissia Nansan Vijay
Application Number:
JP2020519427A
Publication Date:
December 10, 2020
Filing Date:
October 02, 2018
Export Citation:
Assignee:
LAM RESEARCH CORPORATION
International Classes:
F27B14/06; B22D11/041; F27B14/10; F27B14/14; F27B14/20; F27D3/10; F27D11/06; F27D21/00
Domestic Patent References:
| JPH08229924A | 1996-09-10 | |||
| JP2005523584A | 2005-08-04 | |||
| JPH0230698A | 1990-02-01 | |||
| JP2011177792A | 2011-09-15 |
Foreign References:
| WO2007020706A1 | 2007-02-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Meisei International Patent Office