Title:
リソグラフィ方法、リソグラフィ製品及びリソグラフィ材料
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021500598
Kind Code:
A
Abstract:
本発明はリソグラフィの分野に関し、特に、リソグラフィ方法、リソグラフィ製品及びリソグラフィ材料に関する。本発明は、ステップ１）と、ステップ２）とを含むリソグラフィ方法を提供する。ステップ１）において、リソグラフィ材料に第１光、第２光を付与し、少なくとも一部のオン状態にある分子スイッチで制御可能な作用分子の発生分子は作用分子を生成して、分子スイッチがオンにした領域のリソグラフィ材料の物理的及び／又は化学的特性を変化させる。ステップ２）において、物理的又は化学的特性が変化しているリソグラフィ材料又は変化していないリソグラフィ材料のいずれか一方を除去する。本発明の新規なリソグラフィ方法は、光の回折限界による制限を効果的に突破し、リソグラフィの精度をより一層高めることができる。【選択図】なし
Inventors:
One Lee Jean
WANG Wei
Zooson
WANG Wei
Zooson
Application Number:
JP2020520477A
Publication Date:
January 07, 2021
Filing Date:
October 23, 2018
Export Citation:
Assignee:
SHANGHAI BIXIUFU ENTERPRISE MANAGEMENT CO., LTD.
International Classes:
G03F7/20; G03F7/26
Domestic Patent References:
| JP2014526152A | 2014-10-02 |
Foreign References:
| US20140199636A1 | 2014-07-17 | |||
| CN107272180A | 2017-10-20 |
Other References:
RUIJI LJ, TAKUYA NAKASHIMA AND TSUYOSHIKAWAI: "A self-contained photoacid generator for super acid based on photochromic terarylene", CHEM COMM, vol. Chem Comm 2017,53, JPN7022003847, 2 March 2017 (2017-03-02), GB, pages 4339 - 4341, ISSN: 0005006332
Attorney, Agent or Firm:
KTS Patent Business Corporation