Title:
複数のビーム経路を有するＸ線装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022552686
Kind Code:
A
Abstract:
試料のＸ線検査をする装置（１００）が記載され、この装置はＸ線ビーム生成システム（１３０）を備え、該Ｘ線ビーム生成システムは、当初の一次Ｘ線ビーム（１４５）を生成するためのＸ線源（１０１）と、Ｘ線源（１０１）に対して相対的に移動可能である第１の光学コンポーネント（１０２）および少なくとも１つの第２の光学コンポーネント（１０３）を含む光学システム（１０４）とを有し、それにより選択的に、第１の光学コンポーネント（１０２）を当初の一次Ｘ線ビーム（１４５）と相互作用させて、その後に第１の偏向角（α１）のもとで偏向された第１の一次Ｘ線ビーム（１１７）が生成され、または、第２の光学コンポーネント（１０３）を当初の一次Ｘ線ビーム（１４５）と相互作用させて、その後に第２の偏向角（α２）のもとで偏向された第２の一次Ｘ線ビーム（１１８）が生成され、および、Ｘ線ビーム生成システム（１３０）が上に組み付けられた回転台（１１５）を有する回転装置（１４０）を備え、それによりＸ線ビーム生成装置（１３０）を選択的に第１の回転角（β１）または第２の回転角（β２）だけ回転台軸（１０６）を中心として回転させ、それにより選択的に第１の一次Ｘ線ビーム（１１７）または第２の一次Ｘ線ビーム（１１８）を試料領域（１４７）に当てさせる。
Inventors:
Gauchi, Josef
Prischnegg, Romain
Prischnegg, Romain
Application Number:
JP2022522676A
Publication Date:
December 19, 2022
Filing Date:
August 21, 2020
Export Citation:
Assignee:
Anton Paar GmbH
International Classes:
G01N23/20008; G21K1/06
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation RYUKA International Patent Office