Title:
加工装置ユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024000232
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研削装置等の加工装置に吸引装置を配置する場合に、吸引装置から加工装置へ伝わる振動を低減する。【解決手段】加工装置ユニットであって、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルで吸引保持された被加工物を加工する加工ユニットと、を含む加工装置と、チャックテーブルに負圧を供給する吸引装置と、加工装置を支持する第１ベースと、吸引装置を支持する第２ベースと、を備え、第２ベースは、第１ベースに接触することなく第１ベースに設けられた貫通穴を貫通する様に配置され各々伸縮可能な複数の足部を底部に有し、加工装置及び吸引装置を搬送するときは、複数の足部の各々の突出長さを縮めることで第２ベースを第１ベースで支持可能であり、加工装置及び吸引装置を床面に設置するときは、複数の足部の各々の突出長さを伸ばすことで第２ベースが第１ベースに接触することなく自立する加工装置ユニットを提供する。【選択図】図２
Inventors:
Satoshi Yamanaka
Application Number:
JP2022098906A
Publication Date:
January 05, 2024
Filing Date:
June 20, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q1/00; B23K26/53; B23Q1/01; B24B41/02; B24B41/06; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato