Title:
【発明の名称】クリーンルームの風量制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2673835
Kind Code:
B2
Inventors:
Takahashi Atsushi
Takanori Yoshida
Hiroshi Gomi
Ikegoro Shiro
Yui Ito
Takanori Yoshida
Hiroshi Gomi
Ikegoro Shiro
Yui Ito
Application Number:
JP21981890A
Publication Date:
November 05, 1997
Filing Date:
August 21, 1990
Export Citation:
Assignee:
Takasago Thermal Engineering Co., Ltd.
International Classes:
F24F7/007; F24F7/06; (IPC1-7): F24F7/06; F24F7/007
Domestic Patent References:
| JP1102640U |
Other References:
【文献】社団法人 電気学会編「電気工学ハンドブック」昭55.3.1. P742
【文献】東芝マイコン/応用技術グループ著「《実例20で知る》マイクロコンピュータの活用法」昭55.9.1 技術評論社発行 第175~190頁
【文献】東芝マイコン/応用技術グループ著「《実例20で知る》マイクロコンピュータの活用法」昭55.9.1 技術評論社発行 第175~190頁
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Wada