Title:
【発明の名称】セラミック被覆部材とその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2746505
Kind Code:
B2
Inventors:
TAMURA MOTONORI
Application Number:
JP27353692A
Publication Date:
May 06, 1998
Filing Date:
September 18, 1992
Export Citation:
Assignee:
SHINNIPPON SEITETSU KK
International Classes:
C23C14/06; C23C14/32; C23C28/04; (IPC1-7): C23C14/06; C23C14/32
Domestic Patent References:
| JP61170559A | ||||
| JP5382672A |
Other References:
桑野三郎他、″反応性イオンプレーティングによるＴｉ（Ｃ，Ｎ）複合皮膜の形成について″，表面技術，（１９９２），Ｖｏｌ．４３，Ｎｏ．９，ｐ．８５２−８５７
Attorney, Agent or Firm:
Takashi Ishida (3 others)