Title:
【発明の名称】排気除害システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3008518
Kind Code:
B2
Inventors:
Mikio Hachikawa
Application Number:
JP4854491A
Publication Date:
February 14, 2000
Filing Date:
March 14, 1991
Export Citation:
Assignee:
富士通株式会社
富士通ヴィエルエスアイ株式会社
富士通ヴィエルエスアイ株式会社
International Classes:
B01D53/34; H01L21/02; (IPC1-7): B01D53/34; H01L21/02
Domestic Patent References:
| JP51144370A | ||||
| JP5135702A | ||||
| JP55124529A | ||||
| JP3170685A | ||||
| JP6439816U | ||||
| JP286550U |
Attorney, Agent or Firm:
Teiichi Igeta