Title:
粒子を監視する装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3189910
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】エーロゾルを含むチャネル又は空間内の粒子を監視する装置を提供する。【解決手段】装置１は、入口チャンバ４と、エゼクタ２４と、本質的に粒子のないガス流Ｃを、入口チャンバ４を介してエゼクタ２４に送り込むように配置されるガス供給源６、１６、１８と、ガス供給源６、１６、１８及びエゼクタ２４によってもたらされる吸引によってチャネル１１又は空間から入口チャンバ４へとサンプル・エーロゾルの流れＡをもたらすように配置される少なくとも１つのサンプル入口２とを備える。装置１は、サンプル・エーロゾルを本質的に粒子のないガス流Ｃに混合するために、サンプル入口２と入口チャンバ４との間に配置されるサンプル供給チャネル５をさらに備える。サンプル供給チャネル５は、サンプル・エーロゾルの流れＡを本質的に粒子のないガス流Ｃとは反対方向に少なくとも部分的に方向付けるように配置される。【選択図】図１
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Inventors:
Yanka, Kauko
Landcomer, Yang
Landcomer, Yang
Application Number:
JP2014600002U
Publication Date:
April 10, 2014
Filing Date:
March 15, 2012
Export Citation:
Assignee:
Pegasaw Owai
International Classes:
G01N15/06; G01N1/22; G01N1/38
Attorney, Agent or Firm:
Asamura patent office