Title:
熱処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3225553
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】マッフルの中に供給されたガスがそのマッフルの中で均一に流れる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置１０は、圧力容器１２と、圧力容器１２の内方に配置された断熱体１６と、断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒーター２０と、断熱体１６の内部空間１８に配置され、被処理物２２を収容するマッフル２４と、ガス源５４、６０と、ガス源５４から断熱体１６の内部空間１８につながる第１供給パイプ５６と、ガス源６０からマッフル２４の内部空間２８につながる第２供給パイプ６２と、断熱体１６の内部空間１８において第２供給パイプ６２に形成された開口８０と、断熱体１６の内部空間１８のガスの圧力とマッフル２４の内部空間２８のガスの圧力との差によって第２供給パイプ６２に形成された開口８０を開閉する差圧制御弁８２とを備える。【選択図】図１
Inventors:
Naoya Takeda
Application Number:
JP2019004285U
Publication Date:
March 19, 2020
Filing Date:
November 12, 2019
Export Citation:
Assignee:
Shimadzu Industrial Systems Co., Ltd.
International Classes:
F27B5/16; C21D1/74; F27D7/06
Attorney, Agent or Firm:
Takayoshi Kusumoto
Satoshi Mikumo
Tsuneo Fujikawa
Shigeki Nakagawa
Takuro Hiramatsu
Satoshi Mikumo
Tsuneo Fujikawa
Shigeki Nakagawa
Takuro Hiramatsu