Title:
基板処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4018362
Kind Code:
B2
Inventors:
Seiichiro Okuda
Application Number:
JP2001295541A
Publication Date:
December 05, 2007
Filing Date:
September 27, 2001
Export Citation:
Assignee:
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/302; H01L21/304; H01L21/027; H01L21/3065
Domestic Patent References:
| JP8108125A | ||||
| JP7201794A | ||||
| JP63299233A | ||||
| JP10074725A | ||||
| JP10032157A | ||||
| JP5273768A |
Attorney, Agent or Firm:
Takashi Otsubo
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