プラズマ生成方法 - 東京エレクトロン株式会社

Title:

プラズマ生成方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP4486068

Kind Code:

B2

Inventors:

Nobuo Ishii
Yasaka Hoho
Masaharu Takahashi
Makoto Ando

Application Number:

JP2006218965A

Publication Date:

June 23, 2010

Filing Date:

August 10, 2006

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社
八坂保能
高橋応明
安藤真

International Classes:

H01L21/3065; C23C16/505; H01L21/205; H05H1/46

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Masaki Yamakawa
Shigeki Yamakawa

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