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Patent Searching and Data


Title:
層構造の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4700652
Kind Code:
B2
Inventors:
ディエゴ フェイホー
ギュンター シュヴァープ
トーマス ブッシュハルト
Application Number:
JP2007118716A
Publication Date:
June 15, 2011
Filing Date:
April 27, 2007
Export Citation:
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Assignee:
Siltronic AG
International Classes:
H01L21/302
Domestic Patent References:
JP6168922A
JP6151359A
JP2000281497A
JP8039753A
JP9190999A
JP2106927A
JP2004533118A
Foreign References:
WO2005078786A1
Attorney, Agent or Firm:
矢野 敏雄
久野 琢也
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
ラインハルト・アインゼル